JPH0511101A - 反射防止膜を有する光学部材 - Google Patents
反射防止膜を有する光学部材Info
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 29
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims abstract description 17
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229920001558 organosilicon polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 239000000178 monomer Substances 0.000 abstract description 6
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 abstract description 5
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 abstract description 4
- SYFOAKAXGNMQAX-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) carbonate;2-(2-hydroxyethoxy)ethanol Chemical compound OCCOCCO.C=CCOC(=O)OCC=C SYFOAKAXGNMQAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 5
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 5
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 5
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 5
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 2
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 42
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 24
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 24
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 8
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- YJLUBHOZZTYQIP-UHFFFAOYSA-N 2-[5-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-1,3,4-oxadiazol-2-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1=NN=C(O1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 YJLUBHOZZTYQIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KZEVSDGEBAJOTK-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-2-[5-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]-1,3,4-oxadiazol-2-yl]ethanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)C(CC=1OC(=NN=1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)=O KZEVSDGEBAJOTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C(CN1CC2=C(CC1)NN=N2)=O HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound C1CN(CC2=NNN=C21)CC(=O)N3CCN(CC3)C4=CN=C(N=C4)NCC5=CC(=CC=C5)OC(F)(F)F LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]propan-1-one Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CCC(=O)N1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CONKBQPVFMXDOV-QHCPKHFHSA-N 6-[(5S)-5-[[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]methyl]-2-oxo-1,3-oxazolidin-3-yl]-3H-1,3-benzoxazol-2-one Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C[C@H]1CN(C(O1)=O)C1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1 CONKBQPVFMXDOV-QHCPKHFHSA-N 0.000 description 2
- WTFUTSCZYYCBAY-SXBRIOAWSA-N 6-[(E)-C-[[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]methyl]-N-hydroxycarbonimidoyl]-3H-1,3-benzoxazol-2-one Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C/C(=N/O)/C1=CC2=C(NC(O2)=O)C=C1 WTFUTSCZYYCBAY-SXBRIOAWSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920000298 Cellophane Polymers 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
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- Eyeglasses (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 経時的な耐熱温度の低下の程度が小さい反射
防止膜を有する光学部材を提供する。 【構成】 合成樹脂上に下地層と反射防止膜とを有する
光学部材であって、前記下地層はSiO2 とAl2 O3
との混合物からなり、さらに前記下地層の屈折率の範囲
が1.48〜1.52であることを特徴とする反射防止
膜を有する光学部材。
防止膜を有する光学部材を提供する。 【構成】 合成樹脂上に下地層と反射防止膜とを有する
光学部材であって、前記下地層はSiO2 とAl2 O3
との混合物からなり、さらに前記下地層の屈折率の範囲
が1.48〜1.52であることを特徴とする反射防止
膜を有する光学部材。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は反射防止膜を有する光学
部材に関する。
部材に関する。
【0002】
【従来の技術】合成樹脂からなる光学部材の表面反射特
性を改善するために合成樹脂の表面上に反射防止膜を施
すこと、またその反射防止膜の耐擦傷性を向上させるた
めに合成樹脂と反射防止膜との間に下地層を介在させる
ことがよく知られている。この下地層を介在させている
例として、例えば特開昭56−116003号公報(以
下、「公報1」という。)、特開平2−291502号
公報(以下、「公報2」という。)にはSiO2 のみか
らなる下地層が、また特開昭56−66802号公報
(以下「公報3」という。)には屈折率が1.54でS
iO2 とAl2 O3 を混合してなる下地層を施した合成
樹脂製光学部材が開示されている。
性を改善するために合成樹脂の表面上に反射防止膜を施
すこと、またその反射防止膜の耐擦傷性を向上させるた
めに合成樹脂と反射防止膜との間に下地層を介在させる
ことがよく知られている。この下地層を介在させている
例として、例えば特開昭56−116003号公報(以
下、「公報1」という。)、特開平2−291502号
公報(以下、「公報2」という。)にはSiO2 のみか
らなる下地層が、また特開昭56−66802号公報
(以下「公報3」という。)には屈折率が1.54でS
iO2 とAl2 O3 を混合してなる下地層を施した合成
樹脂製光学部材が開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】公報1、2に開示され
ているSiO2 のみからなる下地層を施した合成樹脂製
光学部材、公報3に開示されている屈折率が1.54で
SiO2 とAl2 O3 を混合してなる下地層を施した合
成樹脂製光学部材はガラス製基板のように蒸着時の基板
温度を高くして成膜することができないため、下地層が
経時的に耐熱温度の低下する程度が大きいという特性を
有する。その影響で下地層の上に施される反射防止膜も
経時的に耐熱温度の低下する程度が大きくなるという問
題を有する。この問題は例えば、以下に記す不都合が生
じる。眼鏡装用者はサウナの中で眼鏡を装用したり、ま
た自動車の中に眼鏡を置いたまま自動車の外に出ること
がよくある。このような高温の条件下で公報1〜3に開
示されている光学部材を眼鏡用レンズとして使用する場
合、前記光学部材を作製して4ケ月ぐらいで反射防止膜
にひび割れが生じやすくなる。本発明は上述した不都合
を解決するためになされ、その目的は基板が合成樹脂の
ように、蒸着時の基板温度を低くしなければならない場
合でも、経時的に耐熱温度の低下する程度が小さくなる
反射防止膜を有する光学部材を提供することにある。
ているSiO2 のみからなる下地層を施した合成樹脂製
光学部材、公報3に開示されている屈折率が1.54で
SiO2 とAl2 O3 を混合してなる下地層を施した合
成樹脂製光学部材はガラス製基板のように蒸着時の基板
温度を高くして成膜することができないため、下地層が
経時的に耐熱温度の低下する程度が大きいという特性を
有する。その影響で下地層の上に施される反射防止膜も
経時的に耐熱温度の低下する程度が大きくなるという問
題を有する。この問題は例えば、以下に記す不都合が生
じる。眼鏡装用者はサウナの中で眼鏡を装用したり、ま
た自動車の中に眼鏡を置いたまま自動車の外に出ること
がよくある。このような高温の条件下で公報1〜3に開
示されている光学部材を眼鏡用レンズとして使用する場
合、前記光学部材を作製して4ケ月ぐらいで反射防止膜
にひび割れが生じやすくなる。本発明は上述した不都合
を解決するためになされ、その目的は基板が合成樹脂の
ように、蒸着時の基板温度を低くしなければならない場
合でも、経時的に耐熱温度の低下する程度が小さくなる
反射防止膜を有する光学部材を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上述した目的は、以下に
記す発明によって達成された。その発明は、合成樹脂上
に下地層と反射防止膜とを有する光学部材であって、前
記下地層はSiO2 とAl2 O3 との混合物からなり、
さらに前記下地層の屈折率の範囲が1.48〜1.52
であることを特徴とする反射防止膜を有する光学部材で
ある。
記す発明によって達成された。その発明は、合成樹脂上
に下地層と反射防止膜とを有する光学部材であって、前
記下地層はSiO2 とAl2 O3 との混合物からなり、
さらに前記下地層の屈折率の範囲が1.48〜1.52
であることを特徴とする反射防止膜を有する光学部材で
ある。
【0005】以下、本発明について詳細に説明する。下
地層の屈折率の範囲を1.48〜1.52とし、さらに
膜素材の必須成分をSiO2 とAl2 O3 に特定するこ
とによって従来の特性を損なわずに下地層の耐熱温度が
向上し、経時的な耐熱温度の低下の程度が小さくなる。
さらに、基板が合成樹脂のように蒸着時の基板温度を低
くしなければならない場合であっても、この下地層を施
すことによって、下地層の表面上に施された反射防止膜
全体の耐熱温度が向上し、経時的な耐熱温度の低下の程
度が小さくなることを本発明者は見い出した。
地層の屈折率の範囲を1.48〜1.52とし、さらに
膜素材の必須成分をSiO2 とAl2 O3 に特定するこ
とによって従来の特性を損なわずに下地層の耐熱温度が
向上し、経時的な耐熱温度の低下の程度が小さくなる。
さらに、基板が合成樹脂のように蒸着時の基板温度を低
くしなければならない場合であっても、この下地層を施
すことによって、下地層の表面上に施された反射防止膜
全体の耐熱温度が向上し、経時的な耐熱温度の低下の程
度が小さくなることを本発明者は見い出した。
【0006】上述した範囲外の下地層の屈折率、例えば
1.48未満、1.52を超える場合、また下地層の必
須成分がSiO2 とAl2 O3 との混合物ではない場合
には、耐熱温度が向上せず、さらに経時的な耐熱温度の
低下の程度が小さくならないので好ましくない。
1.48未満、1.52を超える場合、また下地層の必
須成分がSiO2 とAl2 O3 との混合物ではない場合
には、耐熱温度が向上せず、さらに経時的な耐熱温度の
低下の程度が小さくならないので好ましくない。
【0007】本発明における下地層は、上述した効果を
損なわない程度でTa2 O5 、Y2 O3 、TiO2 、Z
rO2 、MgF2 等の金属を混合することが可能であ
る。また下地層の膜厚の範囲は特に限定されないが、反
射防止膜のひび割れ(クラック)発生温度を高くさせる
ために0.125λ〜0.8λ(λ=500nm)が特
に好ましい。
損なわない程度でTa2 O5 、Y2 O3 、TiO2 、Z
rO2 、MgF2 等の金属を混合することが可能であ
る。また下地層の膜厚の範囲は特に限定されないが、反
射防止膜のひび割れ(クラック)発生温度を高くさせる
ために0.125λ〜0.8λ(λ=500nm)が特
に好ましい。
【0008】本発明における反射防止膜の膜構成は特に
限定されず、λ/4−λ/4の2層膜、λ/4−λ/4
−λ/4あるいはλ/4−λ/2−λ/4の3層膜、さ
らに4層以上の多層膜などを用いることができる。特に
好ましい膜構成は以下に記述する二つの反射防止膜が挙
げられる。その第1の反射防止膜(特許請求の範囲の欄
の請求項2に該当する。)は、下地層の表面から順にT
a2 O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 と
を含む混合層より構成される第1の低屈折率層;Ta2
O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 とを含
む混合層と、Ta2 O5 層より構成される高屈折率層;
SiO2 層より構成される第2の屈折率層を積層して構
成されるものである。また第2の反射防止膜(特許請求
の範囲の欄の請求項3に該当する。)は、下地層の表面
から順にTa2 O5 、Y2 O3 及びSiO2 とを含む混
合層と、Ta2 O5 層より構成される第1の低屈折率
層;Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 とを含む混合
層と、Ta2 O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびS
iO2 とを含む混合層より構成される高屈折率層;Si
O2 層より構成される第2の低屈折率層を積層して構成
されるものである。
限定されず、λ/4−λ/4の2層膜、λ/4−λ/4
−λ/4あるいはλ/4−λ/2−λ/4の3層膜、さ
らに4層以上の多層膜などを用いることができる。特に
好ましい膜構成は以下に記述する二つの反射防止膜が挙
げられる。その第1の反射防止膜(特許請求の範囲の欄
の請求項2に該当する。)は、下地層の表面から順にT
a2 O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 と
を含む混合層より構成される第1の低屈折率層;Ta2
O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 とを含
む混合層と、Ta2 O5 層より構成される高屈折率層;
SiO2 層より構成される第2の屈折率層を積層して構
成されるものである。また第2の反射防止膜(特許請求
の範囲の欄の請求項3に該当する。)は、下地層の表面
から順にTa2 O5 、Y2 O3 及びSiO2 とを含む混
合層と、Ta2 O5 層より構成される第1の低屈折率
層;Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 とを含む混合
層と、Ta2 O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびS
iO2 とを含む混合層より構成される高屈折率層;Si
O2 層より構成される第2の低屈折率層を積層して構成
されるものである。
【0009】これらの反射防止膜が特に好ましい理由
は、これらの反射防止膜自体が良好な耐熱性を有し、さ
らに経時的な耐熱温度の低下の程度が小さいという特性
を有しているためである。本発明における下地層の上に
これらの反射防止膜を施すことによって耐熱性に優れ、
さらに経時的な耐熱温度の低下の程度が極めて小さい反
射防止膜を有する光学部材を得ることができる。
は、これらの反射防止膜自体が良好な耐熱性を有し、さ
らに経時的な耐熱温度の低下の程度が小さいという特性
を有しているためである。本発明における下地層の上に
これらの反射防止膜を施すことによって耐熱性に優れ、
さらに経時的な耐熱温度の低下の程度が極めて小さい反
射防止膜を有する光学部材を得ることができる。
【0010】また他の特に好ましい反射防止膜の例とし
て、前述した下地層と同じ屈折率範囲、同じ膜素材から
なる層を反射防止膜の中に設けたものが挙げられる。
(特許請求の範囲の欄の請求項4に該当する。)この層
を反射防止膜の中に設けることにより、さらに反射防止
膜の耐熱性が向上し、経時的な耐熱温度の低下の程度が
小さくなる。
て、前述した下地層と同じ屈折率範囲、同じ膜素材から
なる層を反射防止膜の中に設けたものが挙げられる。
(特許請求の範囲の欄の請求項4に該当する。)この層
を反射防止膜の中に設けることにより、さらに反射防止
膜の耐熱性が向上し、経時的な耐熱温度の低下の程度が
小さくなる。
【0011】本発明の光学部材に用いる合成樹脂として
は、メチルメタクリレート単独重合体、メチルメタクリ
レートと1種以上の他のモノマーとをモノマー成分とす
る共重合体、ジエチレングリコールビスアリルカーボネ
ート単独重合体、ジエチレングリコールビスアリルカー
ボネートと1種以上の他のモノマーとをモノマー成分と
する共重合体、イオウ含有共重合体、ハロゲン含有共重
合体、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニ
ル、不飽和ポリエステル、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリウレタンなどの重合体が挙げられる。
は、メチルメタクリレート単独重合体、メチルメタクリ
レートと1種以上の他のモノマーとをモノマー成分とす
る共重合体、ジエチレングリコールビスアリルカーボネ
ート単独重合体、ジエチレングリコールビスアリルカー
ボネートと1種以上の他のモノマーとをモノマー成分と
する共重合体、イオウ含有共重合体、ハロゲン含有共重
合体、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニ
ル、不飽和ポリエステル、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリウレタンなどの重合体が挙げられる。
【0012】合成樹脂の上に下地層、反射防止膜を設け
る場合には、合成樹脂表面に有機ケイ素重合体を含むハ
ードコート層をディッピング法、スピンコート法等の塗
布法により成膜し、このハードコート層上に下地層およ
び反射防止膜を設けることが好ましい。なお、本発明の
反射防止膜を成膜するにあたっては、真空蒸着法の他、
同様の焼結体をターゲット材料とするスパッタリング法
や、イオンプレーティング法等の方法を用いることもで
きる。
る場合には、合成樹脂表面に有機ケイ素重合体を含むハ
ードコート層をディッピング法、スピンコート法等の塗
布法により成膜し、このハードコート層上に下地層およ
び反射防止膜を設けることが好ましい。なお、本発明の
反射防止膜を成膜するにあたっては、真空蒸着法の他、
同様の焼結体をターゲット材料とするスパッタリング法
や、イオンプレーティング法等の方法を用いることもで
きる。
【0013】本発明の反射防止膜を有する光学部材は、
眼鏡レンズのほか、カメラ用レンズ、自動車の窓ガラ
ス、ワードプロセッサーのディスプレイに付設する光学
フィルターなどに使用することが可能である。
眼鏡レンズのほか、カメラ用レンズ、自動車の窓ガラ
ス、ワードプロセッサーのディスプレイに付設する光学
フィルターなどに使用することが可能である。
【0014】
【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた反射防止膜を有
する光学部材は、以下に示す試験方法により、諸物性を
測定した。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた反射防止膜を有
する光学部材は、以下に示す試験方法により、諸物性を
測定した。
【0015】(a)耐擦傷性試験
#0000のスチールウールにより表面を往復回数で1
0回こすって耐擦傷性を次のように判定した。 A:わずかに傷がつく B:多く傷がつく C:膜のはがれが生じる
0回こすって耐擦傷性を次のように判定した。 A:わずかに傷がつく B:多く傷がつく C:膜のはがれが生じる
【0016】(b)密着性試験
JIS−Z−1522に従いゴバン目を10×10個作
りセロファン粘着テープにより剥離試験を3回行い、残
ったゴバン目の数を数えた。
りセロファン粘着テープにより剥離試験を3回行い、残
ったゴバン目の数を数えた。
【0017】(c)視感反射率(片面)
日立製作所製U3410型自記分光光度計を用い、視感
反射率を求めた。 (d)耐熱性試験 蒸着膜形成直後の反射防止膜を有する光学部材をオーブ
ンに1時間入れて加熱し、クラックの発生の有無を調べ
た。加熱温度は、50℃より始め、5℃づつ上げて、ク
ラックが発生する温度を調べた。
反射率を求めた。 (d)耐熱性試験 蒸着膜形成直後の反射防止膜を有する光学部材をオーブ
ンに1時間入れて加熱し、クラックの発生の有無を調べ
た。加熱温度は、50℃より始め、5℃づつ上げて、ク
ラックが発生する温度を調べた。
【0018】(e)経時的な耐熱性試験
蒸着形成直後の反射防止膜を有する光学部材を4ケ月間
屋外暴露を行い、その後、前記した耐熱性試験と同じ方
法により評価を行った。
屋外暴露を行い、その後、前記した耐熱性試験と同じ方
法により評価を行った。
【0019】(f)耐酸性試験
20℃、10%塩酸水溶液に1時間浸漬した後、耐酸性
を次のように判定した。 ○:浸漬前と変化せず ×:反射防止膜にはがれが生じる
を次のように判定した。 ○:浸漬前と変化せず ×:反射防止膜にはがれが生じる
【0020】(g)耐アルカリ性試験
20℃、10%水酸化ナトリウム水溶液に1時間浸漬し
た後、耐アルカリ性を次のように判定した。 ○:浸漬前と変化せず ×:反射防止膜にはがれが生じる
た後、耐アルカリ性を次のように判定した。 ○:浸漬前と変化せず ×:反射防止膜にはがれが生じる
【0021】実施例1
まず反射防止膜を設ける合成樹脂として、ジエチレング
ルコールビスアリルカーボネートを主成分とし、紫外線
吸収剤として2−ヒドロキシ−4−n−オプトキシベン
ゾフェノンを、前者/後者の重量比が99.97/0.
03となるように含有する、屈折率が1.499のプラ
スチックレンズを用意した。
ルコールビスアリルカーボネートを主成分とし、紫外線
吸収剤として2−ヒドロキシ−4−n−オプトキシベン
ゾフェノンを、前者/後者の重量比が99.97/0.
03となるように含有する、屈折率が1.499のプラ
スチックレンズを用意した。
【0022】(i)ハードコート層(nd1.50)の
形成 前記プラスチックレンズを、80モル%のコロイダルシ
リカと20モル%のγ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシランを含有するコーティング液に浸漬し、その後
硬化してハードコート層を設けた。
形成 前記プラスチックレンズを、80モル%のコロイダルシ
リカと20モル%のγ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシランを含有するコーティング液に浸漬し、その後
硬化してハードコート層を設けた。
【0023】(ii)下地層および反射防止膜の形成
前記ハードコート層を有するプラスチックレンズを80
℃に加熱し、前記ハードコート層の上に真空蒸着法(真
空度2×10-5Torr)によりSiO2 とAl2 O3
からなる下地層〔屈折率1.51、膜厚0.6λ(λ=
500nm)〕を形成した。次に、前記下地層の上にT
a2 O5 層(屈折率2.05、膜厚0.06λ)と、T
a2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 からなる混合層(屈
折率1.61、膜厚0.11λ)よりなる第1の低屈折
率層を形成した。この第1の低屈折率層の上にTa2 O
5 層(屈折率2.05、膜厚0.05λ)と、Ta2 O
5、Y2 O3 およびSiO2 からなる混合層(屈折率
1.61、膜厚0.05λ)と、Ta2 O5 層(屈折率
2.05、膜厚0.15λ)よりなる高屈折率層を形成
し、さらにこの高屈折率層の上にSiO2 からなる第2
の低屈折率層(屈折率1.46、膜厚0.25λ)を形
成して、反射防止膜付きプラスチックレンズを得た。
尚、前記第1の低屈折率層から第2の低屈折率層は前記
下地層を形成した同様の真空蒸着法により形成した。
℃に加熱し、前記ハードコート層の上に真空蒸着法(真
空度2×10-5Torr)によりSiO2 とAl2 O3
からなる下地層〔屈折率1.51、膜厚0.6λ(λ=
500nm)〕を形成した。次に、前記下地層の上にT
a2 O5 層(屈折率2.05、膜厚0.06λ)と、T
a2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 からなる混合層(屈
折率1.61、膜厚0.11λ)よりなる第1の低屈折
率層を形成した。この第1の低屈折率層の上にTa2 O
5 層(屈折率2.05、膜厚0.05λ)と、Ta2 O
5、Y2 O3 およびSiO2 からなる混合層(屈折率
1.61、膜厚0.05λ)と、Ta2 O5 層(屈折率
2.05、膜厚0.15λ)よりなる高屈折率層を形成
し、さらにこの高屈折率層の上にSiO2 からなる第2
の低屈折率層(屈折率1.46、膜厚0.25λ)を形
成して、反射防止膜付きプラスチックレンズを得た。
尚、前記第1の低屈折率層から第2の低屈折率層は前記
下地層を形成した同様の真空蒸着法により形成した。
【0024】実施例1は特許請求の範囲の欄の請求項2
に該当するものである。
に該当するものである。
【0025】得られた反射防止膜付きプラスチックレン
ズの評価結果を表2に示す。表2に示されるように実施
例1の反射防止膜付きプラスチックレンズは耐擦傷性、
密着性、耐酸性、耐アルカリ性に優れ、さらにクラック
発生温度が100℃と高く、また4ケ月間屋外暴露を行
った後のクラック発生温度が95℃と経時的な耐熱温度
の低下の程度が小さいものであった。
ズの評価結果を表2に示す。表2に示されるように実施
例1の反射防止膜付きプラスチックレンズは耐擦傷性、
密着性、耐酸性、耐アルカリ性に優れ、さらにクラック
発生温度が100℃と高く、また4ケ月間屋外暴露を行
った後のクラック発生温度が95℃と経時的な耐熱温度
の低下の程度が小さいものであった。
【0026】比較例1−1、比較例1−2
実施例1の比較として二つの比較例を挙げる。表1に示
すように下地層を本発明の範囲外である屈折率1.47
(比較例1−1)、1.54(比較例1−2)にした以
外はすべて実施例1と同様にして反射防止膜を作製し
た。評価結果を表2に示す。表2に示されるように比較
例1−1の反射防止膜付きプラスチックレンズのクラッ
ク発生温度が90℃、4ケ月間屋外暴露を行った後のク
ラック発生温度が70℃と、また比較例1−2の反射防
止膜付きプラスチックレンズのクラック発生温度が90
℃、4ケ月間屋外暴露を行った後のクラック発生温度が
75℃と実施例1の反射防止膜付きプラスチックレンズ
と比べ耐熱性が小さく、経時的なクラック発生温度の低
下の程度が大きいものであった。
すように下地層を本発明の範囲外である屈折率1.47
(比較例1−1)、1.54(比較例1−2)にした以
外はすべて実施例1と同様にして反射防止膜を作製し
た。評価結果を表2に示す。表2に示されるように比較
例1−1の反射防止膜付きプラスチックレンズのクラッ
ク発生温度が90℃、4ケ月間屋外暴露を行った後のク
ラック発生温度が70℃と、また比較例1−2の反射防
止膜付きプラスチックレンズのクラック発生温度が90
℃、4ケ月間屋外暴露を行った後のクラック発生温度が
75℃と実施例1の反射防止膜付きプラスチックレンズ
と比べ耐熱性が小さく、経時的なクラック発生温度の低
下の程度が大きいものであった。
【0027】実施例2
特許請求の範囲の欄の請求項3に該当する実施例として
実施例2を挙げる。膜構成を表3に示したようにし、さ
らに成膜条件を実施例1と同じにして反射防止膜付きプ
ラスチックレンズを得た。評価結果は表4に示されるよ
うにクラック発生温度が100℃と優れ、さらに4ケ月
間屋外暴露を行った後のクラック発生温度が95℃と経
時的な耐熱温度の低下の程度が小さいものであった。
実施例2を挙げる。膜構成を表3に示したようにし、さ
らに成膜条件を実施例1と同じにして反射防止膜付きプ
ラスチックレンズを得た。評価結果は表4に示されるよ
うにクラック発生温度が100℃と優れ、さらに4ケ月
間屋外暴露を行った後のクラック発生温度が95℃と経
時的な耐熱温度の低下の程度が小さいものであった。
【0028】比較例2−1、比較例2−2
実施例2の比較として比較例2−1、比較例2−2を挙
げる。下地層の屈折率を本発明の範囲外である1.47
(比較例2−1)、1.54(比較例2−2)にした以
外は実施例2と同様にして反射防止膜付きプラスチック
レンズを得た。評価結果は表4に示されるように実施例
2の反射防止膜付きプラスチックレンズと比べ耐熱性が
小さく、また経時的なクラック発生温度の低下の程度が
大きいものであった。
げる。下地層の屈折率を本発明の範囲外である1.47
(比較例2−1)、1.54(比較例2−2)にした以
外は実施例2と同様にして反射防止膜付きプラスチック
レンズを得た。評価結果は表4に示されるように実施例
2の反射防止膜付きプラスチックレンズと比べ耐熱性が
小さく、また経時的なクラック発生温度の低下の程度が
大きいものであった。
【0029】実施例3
特許請求の範囲の欄の請求項2に該当するもう一つの実
施例として実施例3を挙げる。膜構成を表5に示したよ
うにし、さらに成膜条件を実施例1と同じにして反射防
止膜付きプラスチックレンズを得た。評価結果は表6に
示されるようにクラック発生温度が105℃と耐熱性に
優れ、さらに4ケ月間屋外暴露を行った後のクラック発
生温度が100℃と経時的な耐熱温度の低下の程度が小
さいものであった。
施例として実施例3を挙げる。膜構成を表5に示したよ
うにし、さらに成膜条件を実施例1と同じにして反射防
止膜付きプラスチックレンズを得た。評価結果は表6に
示されるようにクラック発生温度が105℃と耐熱性に
優れ、さらに4ケ月間屋外暴露を行った後のクラック発
生温度が100℃と経時的な耐熱温度の低下の程度が小
さいものであった。
【0030】比較例3−1、比較例3−2
実施例3の比較として比較例3−1、比較例3−2を挙
げる。下地層の屈折率を本発明の範囲外である1.47
(比較例3−1)、1.54(比較例3−2)にした以
外は実施例3と同様にして反射防止膜付きプラスチック
レンズを得た。評価結果は表6に示されるように実施例
3の反射防止膜付きプラスチックレンズと比べ耐熱性が
小さく、また経時的なクラック発生温度の低下の程度が
大きいものであった。
げる。下地層の屈折率を本発明の範囲外である1.47
(比較例3−1)、1.54(比較例3−2)にした以
外は実施例3と同様にして反射防止膜付きプラスチック
レンズを得た。評価結果は表6に示されるように実施例
3の反射防止膜付きプラスチックレンズと比べ耐熱性が
小さく、また経時的なクラック発生温度の低下の程度が
大きいものであった。
【0031】実施例4〜実施例6−2
特許請求の範囲の欄の請求項4に該当する実施例として
四つの実施例を挙げる。膜構成を表7(実施例4)、表
9(実施例5)、表11(実施例6−1、実施例6−
2)に示したようにし、さらに成膜条件を実施例1と同
じようにして反射防止膜付きプラスチックレンズを得
た。評価結果は表8(実施例4)、表10(実施例
5)、表12(実施例6−1、実施例6−2)に示され
るようにすべて経時的なクラック発生温度の低下の程度
が小さいものであった。
四つの実施例を挙げる。膜構成を表7(実施例4)、表
9(実施例5)、表11(実施例6−1、実施例6−
2)に示したようにし、さらに成膜条件を実施例1と同
じようにして反射防止膜付きプラスチックレンズを得
た。評価結果は表8(実施例4)、表10(実施例
5)、表12(実施例6−1、実施例6−2)に示され
るようにすべて経時的なクラック発生温度の低下の程度
が小さいものであった。
【0032】比較例4−1〜比較例6−2
実施例4の比較として比較例4−1〜比較例4−4を、
実施例5の比較として比較例5−1〜比較例5−4を、
実施例6−1、実施例6−2の比較として比較例6−1
〜比較例6−3を挙げる。膜構成を表7(比較例4−1
〜比較例4−4)、表9(比較例5−1〜比較例5−
4)、表11(比較例6−1〜比較例6−3)に示した
ようにし、さらに成膜条件を実施例1と同じようにして
反射防止膜付きプラスチックレンズを得た。評価結果は
表8(比較例4−1〜比較例4−4)、表10(比較例
5−1〜比較例5−4)、表12(比較例6−1〜比較
例6−3)に示されるように、比較例4−1〜比較例4
−4の反射防止膜付きプラスチックレンズは実施例4の
反射防止膜付きプラスチックレンズよりも、比較例5−
1〜比較例5−4の反射防止膜付きプラスチックレンズ
は実施例5の反射防止膜付きプラスチックレンズより
も、また比較例6−1〜比較例6−3の反射防止膜付き
プラスチックレンズは実施例6−1、実施例6−2の反
射防止膜付きプラスチックレンズよりも経時的なクラッ
ク発生温度の低下の程度が大きいものであった。
実施例5の比較として比較例5−1〜比較例5−4を、
実施例6−1、実施例6−2の比較として比較例6−1
〜比較例6−3を挙げる。膜構成を表7(比較例4−1
〜比較例4−4)、表9(比較例5−1〜比較例5−
4)、表11(比較例6−1〜比較例6−3)に示した
ようにし、さらに成膜条件を実施例1と同じようにして
反射防止膜付きプラスチックレンズを得た。評価結果は
表8(比較例4−1〜比較例4−4)、表10(比較例
5−1〜比較例5−4)、表12(比較例6−1〜比較
例6−3)に示されるように、比較例4−1〜比較例4
−4の反射防止膜付きプラスチックレンズは実施例4の
反射防止膜付きプラスチックレンズよりも、比較例5−
1〜比較例5−4の反射防止膜付きプラスチックレンズ
は実施例5の反射防止膜付きプラスチックレンズより
も、また比較例6−1〜比較例6−3の反射防止膜付き
プラスチックレンズは実施例6−1、実施例6−2の反
射防止膜付きプラスチックレンズよりも経時的なクラッ
ク発生温度の低下の程度が大きいものであった。
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】
【表3】
【0036】
【表4】
【0037】
【表5】
【0038】
【表6】
【0039】
【表7】
【0040】
【表8】
【0041】
【表9】
【0042】
【表10】
【0043】
【表11】
【0044】
【表12】
【0045】
【発明の効果】本発明の反射防止膜を有する光学部材
は、プラスチック基板のように低い基板温度で成膜する
場合でも耐擦傷性、密着性、耐酸性、耐アルカリ性が良
好なばかりでなく、経時的な耐熱温度の低下が小さい。
したがって、本発明の光学部材は例えば、作製して長時
間保存する可能性のある眼鏡レンズに特に好適に用いる
ことができる。
は、プラスチック基板のように低い基板温度で成膜する
場合でも耐擦傷性、密着性、耐酸性、耐アルカリ性が良
好なばかりでなく、経時的な耐熱温度の低下が小さい。
したがって、本発明の光学部材は例えば、作製して長時
間保存する可能性のある眼鏡レンズに特に好適に用いる
ことができる。
Claims (6)
- 【請求項1】 合成樹脂上に下地層と反射防止膜とを有
する光学部材であって、前記下地層はSiO2 とAl2
O3 との混合物からなり、さらに前記下地層の屈折率の
範囲が1.48〜1.52であることを特徴とする反射
防止膜を有する光学部材。 - 【請求項2】 前記反射防止膜は下地層の表面から順
に、Ta2 O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびSi
O2 とを含む混合層より構成される第1の低屈折率層;
Ta2 O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2
とを含む混合層と、Ta2 O5 層より構成される高屈折
率層;SiO2 層より構成される第2の低屈折率層を積
層してなることを特徴とする請求項1記載の反射防止膜
を有する光学部材。 - 【請求項3】 前記反射防止膜は下地層の表面から順
に、Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 とを含む混合
層と、Ta2 O5 層より構成される第1の低屈折率層;
Ta2 O5 、Y2 O3 およびSiO2 とを含む混合層
と、Ta2 O5 層と、Ta2 O5 、Y2 O3 およびSi
O2 とを含む混合層より構成される高屈折率層;SiO
2 層より構成される第2の低屈折率層を積層してなるこ
とを特徴とする請求項1記載の反射防止膜を有する光学
部材。 - 【請求項4】 前記反射防止膜はSiO2 とAl2 O3
との混合層を有し、さらにその混合層の屈折率の範囲が
1.48〜1.52であることを特徴とする請求項1記
載の反射防止膜を有する光学部材。 - 【請求項5】 前記合成樹脂と前記下地層の間に有機ケ
イ素重合体を含むハードコート層を介在させたことを特
徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の反射防止膜を
有する光学部材。 - 【請求項6】 前記光学部材は眼鏡用レンズであること
を特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載の反射防止
膜を有する光学部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3185494A JP3068252B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3185494A JP3068252B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0511101A true JPH0511101A (ja) | 1993-01-19 |
| JP3068252B2 JP3068252B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=16171755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3185494A Expired - Fee Related JP3068252B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3068252B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6004850A (en) * | 1998-02-23 | 1999-12-21 | Motorola Inc. | Tantalum oxide anti-reflective coating (ARC) integrated with a metallic transistor gate electrode and method of formation |
| US6606196B2 (en) * | 2000-08-29 | 2003-08-12 | Hoya Corporation | Optical element having antireflection film |
| JP2007505369A (ja) * | 2003-05-23 | 2007-03-08 | オプティマ インコーポレイテッド | 超低残留反射及び低応力レンズコーティング |
| FR2903197A1 (fr) * | 2006-06-28 | 2008-01-04 | Essilor Int | Article d'optique revetu d'une sous-couche et d'un revetement anti-reflets multicouches resistant a la temperature, et procede de fabrication |
| WO2008133136A1 (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Konica Minolta Opto, Inc. | 反射鏡 |
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|---|---|
| JP3068252B2 (ja) | 2000-07-24 |
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