JPH0511106A - Color filter manufacturing method - Google Patents

Color filter manufacturing method

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JPH0511106A
JPH0511106A JP29893791A JP29893791A JPH0511106A JP H0511106 A JPH0511106 A JP H0511106A JP 29893791 A JP29893791 A JP 29893791A JP 29893791 A JP29893791 A JP 29893791A JP H0511106 A JPH0511106 A JP H0511106A
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JP
Japan
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colored
photosensitive
light transmittance
coating
resin
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Pending
Application number
JP29893791A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukio Yamashita
幸男 山下
Toru Nakamura
徹 中村
Haruyoshi Sato
晴義 佐藤
Hitoshi Yuasa
仁士 湯浅
Yutaka Otsuki
裕 大月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eneos Corp
Original Assignee
Nippon Oil Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 カラーフィルターの着色部に相当する部分
を、色毎に異なる光透過率を有するネガマスクを介し
て、1回の露光で、パターニングを全て行ない、光透過
率の順に対応するパターン部分を順次、現像・着色する
カラーフィルターの製造法。 【効果】 前記製造法は、高度な微細加工技術を必要と
せず、着色層のパターン形状の自由度を大きくすること
ができ、一回の露光ですべてのパターニングが可能で、
更に大型化への対処も容易である。従ってカラーフィル
ターを、簡便に、しかも大量生産することができるので
工業的にも極めて有用である。
(57) [Summary] [Structure] The portion corresponding to the colored portion of the color filter is patterned in a single exposure through a negative mask having a different light transmittance for each color, and the light transmittance is set in order. A method of manufacturing color filters that sequentially develops and colors corresponding pattern parts. [Effect] The above manufacturing method does not require high-level fine processing technology, can increase the degree of freedom in the pattern shape of the coloring layer, and can perform all patterning with a single exposure.
Furthermore, it is easy to deal with the increase in size. Therefore, the color filter can be easily mass-produced and is extremely useful industrially.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
法に関し、特にカラー液晶表示装置用等として好適なカ
ラーフィルターの製造法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, and more particularly to a method for manufacturing a color filter suitable for a color liquid crystal display device or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、一般に使用されているカラーフィ
ルターの製造法としては、透明基板を染料や顔料を含ん
だバインダーによって着色する染色法、印刷法、顔料分
散法等がある。
2. Description of the Related Art At present, as a color filter manufacturing method that is generally used, there are a dyeing method, a printing method, a pigment dispersion method, and the like, in which a transparent substrate is colored with a binder containing a dye or a pigment.

【0003】しかしながら、前記染色法は、基板上の樹
脂薄膜を色素で選択染色する方法であるので、色替えの
度に防染およびフォトリソグラフィー工程を行なう必要
があり、また前記印刷法では防染の必要はないが、色パ
ターンの微細化に限界が生じ、多色化が進むほど印刷位
置の精度が悪くなるという問題がある。更に前記顔料分
散法では微細パターンは可能であるものの、色替えの度
に高精度のフォトリソグラフィー工程を経ねばならず工
程がきわめて複雑化するという欠点がある。
However, since the dyeing method is a method of selectively dyeing a resin thin film on a substrate with a dye, it is necessary to carry out a dye-proof and a photolithography step each time the color is changed, and the printing method is dye-proof. However, there is a limit to the miniaturization of the color pattern, and there is a problem that the accuracy of the printing position deteriorates as the number of colors increases. Further, although the above-mentioned pigment dispersion method allows a fine pattern, it has a drawback in that a highly accurate photolithography process must be performed each time the color is changed, and the process becomes extremely complicated.

【0004】一方、これらの欠点を解消するために、特
開昭59−114572号公報において、電着塗装法に
よるカラーフィルターの製造法が提案されている。該方
法では、まず基板上に形成された透明導電膜をパターニ
ングして透明電極を形成し、該パターン化透明電極の同
じ色に着色される箇所にのみ電圧を印加し、着色電着浴
中で電着して着色層を形成する。次に別の色に着色され
る箇所にのみ電圧を印加し電着処理して別の着色層を形
成する。しかしこの方法は、まず高精度を必要とする透
明電極のパターニングを最初に行なわなければならず、
後工程での取扱に多大の注意が必要であり、微細パター
ンの一部でも断線すると以後の着色工程が困難となるた
め製造上好ましくない。さらにパターン化透明電極は、
微細部分であってもすべて電気的に連続していなければ
ならず、パターン形状の自由度に制約がある。
On the other hand, in order to eliminate these drawbacks, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-114572 proposes a method for producing a color filter by an electrodeposition coating method. In this method, first, a transparent conductive film formed on a substrate is patterned to form a transparent electrode, and a voltage is applied only to a portion of the patterned transparent electrode that is colored in the same color, and the transparent electrode is placed in a colored electrodeposition bath. Electrodeposited to form a colored layer. Next, a voltage is applied only to a portion colored with another color and electrodeposition treatment is performed to form another colored layer. However, in this method, the patterning of the transparent electrode, which requires high precision, must be performed first.
Great care must be taken in handling in the subsequent process, and even if a part of the fine pattern is broken, the subsequent coloring process becomes difficult, which is not preferable in manufacturing. In addition, the patterned transparent electrode
All of the fine parts must be electrically continuous, which limits the flexibility of the pattern shape.

【0005】また特開昭63−210901号公報にお
いて、ポジ型感光性樹脂組成物を用いて同じ色に着色さ
れる箇所のみのパターンを有するマスクを介して露光、
現像し電着によって着色層を形成し、その後この露光・
現像・電着の工程を所望回数繰り返すという方法が提案
されているが、この方法は不安定なキノンジアジド基を
有する化合物を使用するため安定性に劣る。更に現像の
ためキノンジアジド化合物をアルカリ水溶液に曝すと、
未露光部のキノンジアジド化合物もアルカリ水溶液と反
応して感光性が著しく変化し、以後の露光・現像が困難
になるという欠点がある。
Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 63-210901, exposure is carried out through a mask having a pattern of only portions colored in the same color by using a positive type photosensitive resin composition,
After developing and forming a colored layer by electrodeposition, this exposure
A method has been proposed in which the steps of development and electrodeposition are repeated a desired number of times, but this method is inferior in stability because it uses a compound having an unstable quinonediazide group. When the quinonediazide compound is exposed to an aqueous alkaline solution for further development,
The quinonediazide compound in the unexposed area also reacts with the alkaline aqueous solution to significantly change the photosensitivity, which makes subsequent exposure and development difficult.

【0006】上述の方法はいずれもアラインメントのた
めに高精度の加工技術が要求され、ワークサイズの大型
化の要求、すなわち画面寸法の大型化や多面付によるコ
ストダウンの要求に対しての対応が困難である。
All of the above-mentioned methods require high-precision processing technology for alignment, and thus meet the demand for a larger work size, that is, a larger screen size and a cost reduction due to multiple surfaces. Have difficulty.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、上記のような欠点を解決し、高度な微細加工技術
を必要とせず、着色層のパターン形状の自由度が大き
く、大型化への対処も容易であり、かつ大量生産が容易
で簡便な、カラーフィルターの製造法を提供するもので
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks, to require no advanced fine processing technology, to have a large degree of freedom in the pattern shape of the coloring layer, and to increase the size. The present invention provides a method for producing a color filter, which is easy to deal with and easy to mass-produce.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、着色層の
パターン形状の自由度が大きく、大型化にも対処可能な
カラーフィルターの製造法について研究の結果、ネガ型
感光性樹脂と特定のマスクを組み合わせるという簡便な
工程により優れた性能を有するカラーフィルターが得ら
れることを見いだしたものである。
As a result of research on a method of manufacturing a color filter which has a large degree of freedom in the pattern shape of a colored layer and can cope with an increase in size, the present inventors have identified a negative photosensitive resin. It was found that a color filter having excellent performance can be obtained by a simple process of combining the above masks.

【0009】すなわち、本発明によれば、(A)表面に
透明な導電層を有する透明基板上に感光性塗膜を形成
し、少なくとも光透過率が3段階に異なるパターンを有
するネガマスクを介して露光する工程と、(B)該パタ
ーン部分の感光性塗膜を現像除去し露出した導電層上に
着色塗料を電着塗装し着色層を形成する操作を、ネガマ
スクの光透過率の小さい順に対応するパターン部分につ
いて順次繰り返すことにより着色層を形成する工程とを
含むことを特徴とするカラーフィルターの製造法が提供
される。
That is, according to the present invention, (A) a photosensitive coating film is formed on a transparent substrate having a transparent conductive layer on the surface thereof, and a negative mask having a pattern having at least three different light transmittances is provided through a negative mask. Corresponds to the exposure step and the operation of (B) developing and removing the photosensitive coating film on the pattern portion to form a colored layer by electrodeposition coating a colored paint on the exposed conductive layer in the order of increasing light transmittance of the negative mask. And a step of forming a colored layer by sequentially repeating the above pattern portions.

【0010】以下、本発明をさらに詳細に説明する。The present invention will be described in more detail below.

【0011】本発明においては、まず表面に透明な導電
層を有する透明基板上に感光性塗膜を形成し、少なくと
も光透過率が3段階に異なるパターンを有するネガマス
クを通して露光する(以下、(A)工程という)。
In the present invention, first, a photosensitive coating film is formed on a transparent substrate having a transparent conductive layer on the surface, and exposed through a negative mask having a pattern having at least three different light transmittances (hereinafter, referred to as (A ) Process).

【0012】本発明に使用される表面に透明な導電層を
有する透明基板は、その表面に導電層を有し、かつ透明
な板状のものであれば特に制限されず、例えばガラス、
プラスチック板、その他の板状物の表面に透明な導電層
を形成した基板等が挙げられる。基板の表面はカラーフ
ィルターの性能上、平滑であることが望ましく、必要に
よっては表面を研磨して使用することもできる。
The transparent substrate having a transparent conductive layer on the surface used in the present invention is not particularly limited as long as it has a conductive layer on the surface and is a transparent plate, and for example, glass,
Examples thereof include a plastic plate and a substrate having a transparent conductive layer formed on the surface of another plate-shaped material. It is desirable that the surface of the substrate is smooth in view of the performance of the color filter, and the surface can be polished before use if necessary.

【0013】該導電層の材料としては例えば、酸化ス
ズ、酸化インジウムまたは酸化アンチモン等を成分とす
る材料が挙げられる。また導電層の形成方法は特に制限
されず、例えばスプレー法、CVD法、スパッタリング
法、真空蒸着法等の公知の方法が挙げられる。また市販
の、透明導電層を有する透明基板を使用してもよい。該
基板は、カラーフィルターの性能上、できる限り透明度
の高いものを用いることが望ましい。
Examples of the material of the conductive layer include materials containing tin oxide, indium oxide, antimony oxide or the like. The method for forming the conductive layer is not particularly limited, and examples thereof include known methods such as a spray method, a CVD method, a sputtering method, and a vacuum vapor deposition method. Alternatively, a commercially available transparent substrate having a transparent conductive layer may be used. It is desirable to use a substrate having as high transparency as possible in terms of the performance of the color filter.

【0014】前記透明基板上に形成する感光性塗膜の形
成方法は、特に限定されないが、通常は感光性塗料を公
知の方法、例えば電着法、吹き付け法、浸漬塗装法、ロ
ールコート法、スクリーン印刷法、スピンコーターなど
で塗装する方法等で、基板上に塗布することにより形成
することができる。
The method for forming the photosensitive coating film formed on the transparent substrate is not particularly limited, but usually a known method for forming a photosensitive coating material, for example, an electrodeposition method, a spraying method, a dip coating method, a roll coating method, It can be formed by coating on the substrate by a screen printing method, a coating method using a spin coater or the like.

【0015】前記感光性塗膜を形成するための感光性塗
料としては、塗膜形成能と感光性を有する樹脂(以下、
感光性塗料用樹脂という)、光重合開始剤および必要に
より染料および/または顔料等とを有機溶媒や水などに
分散あるいは溶解した塗料等を挙げることができる。該
感光性塗料は、染料および/または顔料等を含んでいて
も、含んでいなくとも良いが、目的とするカラーフィル
ターの一構成部分となる色相の染料および/または顔料
等を含んでいると、後述する(B)工程の繰返し回数を
1回省略することができ好適である。
As the photosensitive coating material for forming the photosensitive coating film, a resin having film forming ability and photosensitivity (hereinafter, referred to as
Examples thereof include a resin for a photosensitive coating), a photopolymerization initiator, and optionally a dye and / or a pigment, which are dispersed or dissolved in an organic solvent or water. The photosensitive paint may or may not contain a dye and / or a pigment, etc., but it does not contain a dye and / or a pigment having a hue which is a component of the target color filter. The number of times of repeating the step (B) described later can be omitted once, which is preferable.

【0016】本発明において好ましく使用される感光性
塗料用樹脂としては、アクリロイル基、メタクリロイル
基等の(メタ)アクリロイル基および/またはシンナモ
イル基等の感光性基を、分子末端および/または側鎖に
有する、一般に分子量500〜10,000程度のプレ
ポリマーまたは樹脂等を挙げることができる。
The photosensitive coating resin preferably used in the present invention includes a photosensitive group such as a (meth) acryloyl group such as an acryloyl group or a methacryloyl group and / or a cinnamoyl group at the molecular end and / or side chain. Examples thereof include a prepolymer or resin having a molecular weight of about 500 to 10,000.

【0017】該プレポリマーまたは樹脂としては、例え
ばエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)ア
クリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート等のプ
レポリマー;アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、ポリブタジエン樹脂等に、アミノ基、アンモニウ
ム、スルホニウム等のオニウム基と前記感光性基とを導
入した樹脂で、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸などの
酸あるいは酸性物質で水に可溶化および/または分散さ
れる樹脂等のカチオン性の樹脂;アクリル樹脂、ポリエ
ステル樹脂、マレイン化油樹脂、ポリブタジエン樹脂、
エポキシ樹脂等にカルボキシル基等と前記感光性基とを
導入した樹脂で、トリエチルアミン、ジエチルアミン、
ジメチルエタノールアミン、アンモニア等の塩基性物質
で水に可溶化および/または分散される樹脂等のアニオ
ン性の樹脂等を挙げることができ、特に工程簡略化や公
害防止の点から、水に可溶化および/または分散しうる
プレポリマーまたは樹脂の使用が好ましい。
Examples of the prepolymer or resin include prepolymers such as epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate; acrylic resin, epoxy resin, urethane resin, polybutadiene resin, and amino group. A resin in which an onium group such as ammonium, ammonium or sulfonium and the photosensitive group are introduced, and a cationic resin such as a resin which is solubilized and / or dispersed in water with an acid such as formic acid, acetic acid, propionic acid or lactic acid or an acidic substance. Resin; acrylic resin, polyester resin, maleated oil resin, polybutadiene resin,
A resin obtained by introducing a carboxyl group and the like and a photosensitive group into an epoxy resin, triethylamine, diethylamine,
Anionic resins such as resins that are solubilized and / or dispersed in water with a basic substance such as dimethylethanolamine and ammonia can be mentioned. Especially, from the viewpoint of process simplification and pollution prevention, solubilization in water is possible. The use of and / or dispersible prepolymers or resins is preferred.

【0018】また前記感光性塗料用樹脂には、塗膜の感
光性や粘度などを調整するために低分子量の(メタ)ア
クリレート類を添加してもよく、具体的には、2−ヒド
ロキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエ
チル(メタ)アクリレート、3−フェノキシ−2−ヒド
ロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキ
シル(メタ)アクリレート、トリシクロデカン(メタ)
アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート、トリス(アクリロイルオキシ
エチル)イソシアヌレート等が例示され、これらは混合
物として使用してもよい。これらの(メタ)アクリレー
ト類の配合割合は、感光性塗料用樹脂100重量部に対
して0〜50重量部、好ましくは0〜30重量部であ
る。(メタ)アクリレート類の配合割合が50重量部を
越えると塗膜に粘着性が出やすくなり好ましくない。
In addition, low molecular weight (meth) acrylates may be added to the resin for photosensitive coatings in order to adjust the photosensitivity and viscosity of the coating film. (Meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, 3-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, tricyclodecane (meth)
Acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tris (acryloyloxyethyl) isocyanurate, etc. are exemplified, and these may be used as a mixture. The blending ratio of these (meth) acrylates is 0 to 50 parts by weight, preferably 0 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the resin for photosensitive coating. If the mixing ratio of the (meth) acrylate exceeds 50 parts by weight, the coating film tends to have tackiness, which is not preferable.

【0019】前記光重合開始剤は公知のものでよく、例
えばベンゾインおよびそのエーテル類、ベンジルアルキ
ルケタール類、ベンゾフェノン誘導体、アントラキノン
誘導体、チオキサントン誘導体が挙げられ、さらに必要
によって増感剤を添加してもよい。光重合開始剤の添加
量は、前記感光性塗料用樹脂100重量部に対し、好ま
しくは0.1〜30重量部、特に好ましくは0.5〜2
0重量部の範囲である。光重合開始剤の添加量が0.1
重量部未満では光硬化性が不足し、また30重量部を越
えると硬化が進みすぎて塗膜強度が不足し、かつ不経済
であるため好ましくない。
The photopolymerization initiator may be a known one, and examples thereof include benzoin and its ethers, benzylalkyl ketals, benzophenone derivatives, anthraquinone derivatives, and thioxanthone derivatives. If necessary, a sensitizer may be added. Good. The addition amount of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 30 parts by weight, and particularly preferably 0.5 to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin for photosensitive coating.
It is in the range of 0 parts by weight. Addition amount of photopolymerization initiator is 0.1
If it is less than part by weight, the photocurability is insufficient, and if it exceeds 30 parts by weight, the curing is excessively advanced, the coating film strength is insufficient, and it is uneconomical, which is not preferable.

【0020】前記感光性塗料の各成分を分散または溶解
するために用いる、有機溶媒としては、上述のプレポリ
マーまたは樹脂を溶解しうるものであればよく、各種の
グリコールエーテル類、例えば、エチレングリコールモ
ノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエ
ーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレング
リコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコール
ジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエ
ーテル等;ケトン類、例えば、アセトン、メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、
イソホロン等;エーテル類、例えば、ジブチルエーテ
ル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等;アルコール
類、例えば、メトキシブタノール、ジアセトンアルコー
ル、ブタノール、イソプロパノール等;炭化水素類、例
えば、トルエン、キシレン、ヘキサン等;エステル類、
例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸2−メトキシエ
チル、酢酸2−メトキシプロピル等を挙げることがで
き、使用に際しては単独若しくは混合物として用いるこ
とができる。
The organic solvent used to disperse or dissolve the respective components of the photosensitive paint may be any one which can dissolve the above-mentioned prepolymer or resin, and various glycol ethers such as ethylene glycol. Monobutyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monophenyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monophenyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, etc .; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone,
Isophorone, etc .; Ethers, for example, dibutyl ether, dioxane, tetrahydrofuran, etc .; Alcohols, for example, methoxybutanol, diacetone alcohol, butanol, isopropanol, etc .; Hydrocarbons, for example, toluene, xylene, hexane, etc .; Esters,
For example, ethyl acetate, butyl acetate, 2-methoxyethyl acetate, 2-methoxypropyl acetate and the like can be mentioned, and when used, they can be used alone or as a mixture.

【0021】またこれらの有機溶媒は、可溶化や分散を
容易にするため、浴安定性の向上のため、平滑塗膜を得
る等のために、前記カチオン性の樹脂またはアニオン性
の樹脂の水溶化時または水分散時において添加すること
もできる。
These organic solvents are used for facilitating solubilization and dispersion, improving bath stability, and obtaining a smooth coating film. It can also be added at the time of chemical conversion or at the time of water dispersion.

【0022】必要により感光性塗料に配合される染料お
よび/または顔料の色相は、目的に応じ適宜選択できる
が、光もれを防止するためには暗色のものが好ましく、
特に黒色、濃紺、濃紫、濃茶等の色相が好ましい。
The hue of the dyes and / or pigments to be blended in the photosensitive coating, if necessary, can be appropriately selected according to the purpose, but dark ones are preferable in order to prevent light leakage.
Particularly, hues such as black, dark blue, dark purple and dark brown are preferable.

【0023】また、該染料および/または顔料には、塗
料の安定性、必要により電着特性、塗膜の耐久性等を損
なわないものを選択することが望ましい。この点から染
料としては油溶性あるいは分散性染料が好ましく、具体
的には例えばアゾ系、アントラキノン系、ベンゾジフラ
ノン系、縮合メチン系等が挙げられる。また顔料として
は、例えばアゾレーキ系、キナクリドン系、フタロシア
ニン系、イソインドリノン系、アントラキノン系、チオ
インジゴ系等の有機顔料、黄鉛、酸化鉄、クロムバーミ
リオン、クロムグリーン、群青、紺青、コバルトブル
ー、コバルトグリーン、エメラルドグリーン、カーボン
ブラック等の無機顔料が適している。また、目的とする
色相に応じ、前記染料および/または顔料を、その特性
を損なわない限りにおいて、2種類以上混合して用いる
こともできる。なお、染料および/または顔料について
は適宜「COLOUR INDEX」等を参照すればよ
い。
Further, it is desirable to select, as the dye and / or pigment, a dye and / or pigment that does not impair the stability of the coating, the electrodeposition characteristics, the durability of the coating film, etc., if necessary. From this viewpoint, the dye is preferably an oil-soluble or dispersible dye, and specific examples thereof include azo type, anthraquinone type, benzodifuranone type and condensed methine type dyes. As the pigment, for example, azo lake, quinacridone, phthalocyanine, isoindolinone, anthraquinone, thioindigo organic pigments, yellow lead, iron oxide, chrome vermillion, chrome green, ultramarine blue, dark blue, cobalt blue, Inorganic pigments such as cobalt green, emerald green and carbon black are suitable. Further, depending on the desired hue, two or more kinds of the dyes and / or pigments may be mixed and used as long as the characteristics are not impaired. For the dye and / or pigment, "COLOR INDEX" or the like may be appropriately referred to.

【0024】該染料および/または顔料の使用割合は、
目的、色相、使用する染料および/または顔料の種類、
感光性塗料の乾燥時の膜厚等により適宜選択され、好ま
しくは感光性塗料全体に対して、3〜70重量%、特に
好ましくは5〜60重量%程度が適している。
The proportion of the dye and / or pigment used is
Purpose, hue, type of dye and / or pigment used,
It is appropriately selected depending on the film thickness of the photosensitive coating when it is dried, etc., and is preferably 3 to 70% by weight, particularly preferably 5 to 60% by weight, based on the entire photosensitive coating.

【0025】さらに、該染料および/または顔料の種類
や使用割合により、得られる塗膜を透光性又は遮光性に
もすることができ、目的により適宜選択できる。例えば
顔料としてカーボンブラック等を、感光性塗料全体に対
して3〜34重量%の範囲で用いることにより、黒色か
つ遮光性の塗膜を得ることができる。該黒色かつ遮光性
の塗膜は、光もれを防止する目的においては特に好まし
い。また該染料および/または顔料の色には白色も含ま
れる。更にまた使用する染料および/または顔料は、良
好な塗膜を得るために精製して不純物を除去して使用す
るのが好ましい。さらに感光性塗料に、該染料や顔料の
分散助剤、塗膜の平滑性をよくするレベリング剤、粘度
調整剤、消泡剤等の各種助剤類等を添加してもよい。
Further, the coating film to be obtained can be made to have a light-transmitting property or a light-shielding property depending on the kind and the ratio of use of the dye and / or pigment, and can be appropriately selected depending on the purpose. For example, a black and light-shielding coating film can be obtained by using carbon black or the like as a pigment in the range of 3 to 34% by weight with respect to the entire photosensitive coating material. The black and light-shielding coating film is particularly preferable for the purpose of preventing light leakage. The color of the dye and / or pigment also includes white. Furthermore, the dyes and / or pigments used are preferably purified and used to obtain good coating films. Further, various additives such as a dispersion aid for the dye or pigment, a leveling agent for improving the smoothness of the coating film, a viscosity modifier, and a defoaming agent may be added to the photosensitive paint.

【0026】前記感光性塗料の調製は、感光性塗料用樹
脂、光重合開始剤、有機溶媒および/または水、必要に
応じて染料および/または顔料、酸性物質または塩基性
物質、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の平滑性をよ
くするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各種助剤
類等を混合し、一般的に使用されるサンドミル、ロール
ミル、アトライター等の分散機を用いて充分に分散させ
る方法等により得ることができる。このようにして得ら
れる感光性塗料により形成される感光性塗膜の膜厚は特
に制限されず、カラーフィルターに要求される性能等に
応じて適宜選択できるが、乾燥時に通常0.3〜5μ
m、好ましくは1〜3μm程度であればよい。該膜厚を
調整するには、例えば感光性塗膜を電着法で形成する場
合、電圧、電着時間、液温等の電着条件を調整すること
により制御できるが、通常は後述の着色塗料の電着塗装
と同様の条件で行うことができる。
The above-mentioned photosensitive paint is prepared by using a resin for photosensitive paint, a photopolymerization initiator, an organic solvent and / or water, if necessary, a dye and / or a pigment, an acidic substance or a basic substance, a dye or a pigment. A dispersing aid, a leveling agent for improving the smoothness of the coating film, a viscosity adjusting agent, a defoaming agent and various other auxiliaries are mixed, and a commonly used dispersing machine such as a sand mill, a roll mill or an attritor is used. It can be obtained by a method of sufficiently using and dispersing. The film thickness of the photosensitive coating film formed by the photosensitive coating material thus obtained is not particularly limited and can be appropriately selected according to the performance required for the color filter, etc., but is usually 0.3 to 5 μm when dried.
m, preferably about 1 to 3 μm. To adjust the film thickness, for example, when a photosensitive coating film is formed by an electrodeposition method, it can be controlled by adjusting electrodeposition conditions such as voltage, electrodeposition time, liquid temperature, etc. It can be performed under the same conditions as the electrodeposition coating of the paint.

【0027】本発明において、前記感光性塗膜を露光す
るには、少なくとも光透過率が3段階に異なるパターン
を有するネガマスクを介して行う必要がある。ここで光
透過率とは、露光に使用する光線が、該ネガマスクを透
過する前後における強度の比率をいう。また該ネガマス
クのパターンの異なる光透過率の段数は、少なくとも3
段階あれば良く、使用する着色塗料の種類の数に応じて
決定でき、各段階間の光透過率の差は露光条件や後述の
現像条件に応じて適宜選択することができる。一般には
それぞれの光透過率の相対的な差を大きくする方が露光
量、露光時間の調整が容易となるために好ましいが、光
透過率の差が小さい場合であっても露光量を増大し、あ
るいは露光時間を長くすることで同一目的を達成するこ
とができる。従って、光透過率の相対的な差は特に限定
されないが、通常5%以上の有意差を有することが好ま
しい。
In the present invention, it is necessary to expose the photosensitive coating film through a negative mask having a pattern having at least three different light transmittances. Here, the light transmittance means the ratio of the intensity of light rays used for exposure before and after passing through the negative mask. Further, the number of steps of different light transmittance of the negative mask pattern is at least 3
The number of stages is sufficient, and it can be determined according to the number of types of colored paints to be used, and the difference in light transmittance between the stages can be appropriately selected according to the exposure conditions and the development conditions described below. Generally, it is preferable to increase the relative difference between the respective light transmittances because the exposure amount and the exposure time can be easily adjusted, but even if the difference in the light transmittance is small, the exposure amount is increased. Alternatively, the same purpose can be achieved by increasing the exposure time. Therefore, the relative difference in light transmittance is not particularly limited, but it is generally preferable that the relative difference is 5% or more.

【0028】前記露光は通常紫外線を多量に発生できる
装置を用いて行うことができ、例えば、高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、メタルハライドランプ等を光源として用い
ることができ、必要によっては他の放射線を使用しても
よい。露光条件は、用いる感光性塗料、露光装置、前記
ネガマスク等に応じて適宜選択できる。
The exposure can be carried out by using an apparatus capable of generating a large amount of ultraviolet rays, and for example, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp or the like can be used as a light source, and if necessary, other radiation is used. You may. The exposure conditions can be appropriately selected according to the photosensitive paint used, the exposure device, the negative mask, and the like.

【0029】本発明の(A)工程において、少なくとも
光透過率が3段階に異なるパターンを有するネガマスク
を介して露光を行うことにより、感光性塗膜に、ネガマ
スクのパターンの光透過率の異なる段階の数と同数の、
異なる露光状態を形成することができる。
In the step (A) of the present invention, the photosensitive coating is exposed through a negative mask having a pattern having at least three different light transmittances so that the photosensitive coating has a different light transmittance of the negative mask pattern. As many as
Different exposure conditions can be created.

【0030】本発明の製造法では、前記(A)工程に次
いで、該パターン部分の感光性塗膜を現像除去し露出し
た導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層を形成する操
作を、ネガマスクの光透過率の小さい順に対応するパタ
ーン部分について順次繰り返すことにより着色層を形成
する(以下、(B)工程という)。すなわち、該(B)
工程では、まずネガマスクの光透過率が最少であるパタ
ーンに対応する部分の感光性塗膜を選択的に現像除去
し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層を
形成し、次いでネガマスクの光透過率が次に小さいパタ
ーンに対応する部分の感光性塗膜を選択的に現像除去
し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層を
形成するという工程を順次繰り返すことにより着色層を
形成することができる。
In the production method of the present invention, after the step (A), the photosensitive coating film on the pattern portion is developed and removed, and a colored coating material is electrodeposited on the exposed conductive layer to form a colored layer. The colored layer is formed by sequentially repeating the pattern portions corresponding to the light transmittance of the negative mask in the ascending order (hereinafter referred to as step (B)). That is, the (B)
In the process, first, the light transmittance of the negative mask is selectively developed and removed to remove the photosensitive coating film in the portion corresponding to the pattern, and the colored layer is formed by electrocoating a colored coating on the exposed conductive layer, Then, the photosensitive coating film in the portion corresponding to the pattern having the next smallest light transmittance of the negative mask is selectively developed and removed, and the colored coating is electrodeposited on the exposed conductive layer to form the colored layer. A colored layer can be formed by repeating.

【0031】前記感光性塗膜を選択的に現像除去する条
件は、選択的に除去すべき部分の露光量、使用する感光
性塗料の現像液に対する溶解性、現像液の種類や濃度、
さらには現像温度、現像時間によって変わりうるもので
あり、感光性塗料の調製に使用する樹脂等に適した条件
を適宜選択すればよい。具体的には例えば、感光性塗料
の成分にカチオン性の樹脂を使用する場合の現像液とし
ては、酸性物質を溶解した水溶液を使用することができ
る。該酸性物質としては、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、
乳酸等の有機酸や塩酸、リン酸等の無機酸を挙げること
ができ、例えば乳酸を現像液に使用する場合は、乳酸濃
度は通常0.01〜50重量%、好ましくは0.01〜
30重量%、温度は通常10〜70℃、好ましくは20
〜50℃、現像時間は通常5〜600秒等の範囲から適
宜選定すれば良い。また感光性塗料の成分にアニオン性
の樹脂を使用する場合の現像液としては塩基性物質を溶
解した水溶液等を使用することができる。該塩基性物質
としては、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、メタ
珪酸ナトリウム、テトラアルキルアンモニウムヒドロキ
シド、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等を挙げるこ
とができ、例えば炭酸ナトリウム水溶液を現像液に使用
する場合、炭酸ナトリウム濃度は通常0.01〜25重
量%、好ましくは0.05〜15重量%、温度は通常1
0〜70℃、現像時間は通常5〜600秒、好ましくは
5〜300秒等の範囲から適宜選択すれば良い。さらに
現像液としてアルコール類、グリコールエーテル類、ケ
トン類、塩素化炭化水素類等の有機溶媒を使用すること
もできる。またこれらの現像液には濡れ性改良や消泡の
ために界面活性剤や消泡剤を添加してもよく、毒性や作
業環境性等の点で水溶液系の現像液を使用するのが好ま
しい。
The conditions for selectively developing and removing the photosensitive coating film are as follows: the amount of exposure of the portion to be selectively removed, the solubility of the photosensitive paint used in the developer, the kind and concentration of the developer,
Further, it may vary depending on the developing temperature and the developing time, and the conditions suitable for the resin or the like used for preparing the photosensitive coating material may be appropriately selected. Specifically, for example, an aqueous solution in which an acidic substance is dissolved can be used as the developing solution when a cationic resin is used as a component of the photosensitive paint. Examples of the acidic substance include formic acid, acetic acid, propionic acid,
Examples thereof include organic acids such as lactic acid and inorganic acids such as hydrochloric acid and phosphoric acid. For example, when lactic acid is used in a developing solution, the lactic acid concentration is usually 0.01 to 50% by weight, preferably 0.01 to
30% by weight, the temperature is usually 10 to 70 ° C, preferably 20
The developing time may be appropriately selected from the range of -50 ° C and the developing time of usually 5-600 seconds. When an anionic resin is used as a component of the photosensitive paint, an aqueous solution in which a basic substance is dissolved can be used as a developer. Examples of the basic substance include sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, sodium metasilicate, tetraalkylammonium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide and the like. For example, when an aqueous solution of sodium carbonate is used in the developing solution, The sodium carbonate concentration is usually 0.01 to 25% by weight, preferably 0.05 to 15% by weight, and the temperature is usually 1
The developing time may be appropriately selected from the range of 0 to 70 ° C. and the developing time of usually 5 to 600 seconds, preferably 5 to 300 seconds. Furthermore, organic solvents such as alcohols, glycol ethers, ketones and chlorinated hydrocarbons can be used as the developing solution. Further, a surfactant or an antifoaming agent may be added to these developers for improving wettability and defoaming, and it is preferable to use an aqueous solution type developing agent in view of toxicity and working environment. ..

【0032】次に前記現像後、露出した導電層上に、着
色塗料を電着塗装し、着色層を形成する。
Next, after the development, a coloring paint is electrodeposited on the exposed conductive layer to form a coloring layer.

【0033】該着色塗料は、例えば造膜成分としてカチ
オン性またはアニオン性の樹脂を使用し、着色成分とし
て染料および/または顔料を加え、更に酸性または塩基
性物質を使用して水に溶解および/または分散させた塗
料等を用いることができ、更にまた着色塗料における樹
脂の溶解および/または分散を容易ならしめるため、浴
安定性の向上のため又は平滑塗膜を得る等のために有機
溶媒等を添加してもよい。
The colored coating composition uses, for example, a cationic or anionic resin as a film forming component, a dye and / or a pigment as a coloring component, and an acidic or basic substance to dissolve and / or dissolve in water. Alternatively, a dispersed paint or the like can be used, and further, for facilitating the dissolution and / or dispersion of the resin in the colored paint, for improving bath stability or for obtaining a smooth coating film, an organic solvent, etc. May be added.

【0034】前記カチオン性の樹脂としては、例えばア
クリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジ
エン樹脂、ポリアミド樹脂等に、アミノ基、アンモニウ
ム、スルホニウム等のオニウム基を導入した樹脂で、蟻
酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸等の酸あるいは酸性物質
で水に可溶化または分散される樹脂等を挙げることがで
きる。
Examples of the above-mentioned cationic resin include acrylic resin, epoxy resin, urethane resin, polybutadiene resin, polyamide resin and the like into which an onium group such as amino group, ammonium or sulfonium is introduced. Formic acid, acetic acid, propion Examples thereof include resins that are solubilized or dispersed in water with an acid such as acid or lactic acid or an acidic substance.

【0035】また、前記アニオン性の樹脂としては、例
えばアクリル樹脂、ポリエステル樹脂、マレイン化油樹
脂、ポリブタジエン樹脂、エポキシ樹脂等にカルボキシ
ル基等を導入した樹脂で、トリエチルアミン、ジエチル
アミン、ジメチルエタノールアミン、アンモニア等の塩
基性物質で水に可溶化または分散される樹脂等を挙げる
ことができる。更にまた、着色塗料の造膜成分は感光性
を有するものであってもよく、前記(A)工程における
感光性塗膜に使用するプレポリマーや樹脂の中で電着に
適するものを用いることもでき、光重合開始剤を併用し
てもよい。
Examples of the anionic resin include acrylic resins, polyester resins, maleated oil resins, polybutadiene resins, epoxy resins and the like having a carboxyl group introduced therein, such as triethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, and ammonia. Examples thereof include resins that are solubilized or dispersed in water with a basic substance such as. Furthermore, the film-forming component of the colored paint may have photosensitivity, and among the prepolymers and resins used for the photosensitive coating film in the step (A), those suitable for electrodeposition may be used. A photopolymerization initiator may be used in combination.

【0036】(B)工程において用いる着色塗料は、光
透過率が異なる部分ごとに種類、色相、色濃度、色明暗
の異なるものを使用することが望ましいが、重複して同
じものを用いることもできる。
It is desirable that the colored paint used in the step (B) has different kinds, hues, color densities, and light and shades for different portions having different light transmittances, but the same thing may be used repeatedly. it can.

【0037】着色塗料の色相は、目的に応じ適宜選択す
ることができる。例えば(A)工程において使用する感
光性塗料と(B)工程において使用する着色塗料、さら
には(B)工程において着色塗料を電着塗装する工程を
複数回行う場合に使用する各々の着色塗料には色相の異
なるものを用いることができる。
The hue of the colored paint can be appropriately selected according to the purpose. For example, for the photosensitive coating used in the step (A), the colored coating used in the step (B), and each colored coating used when the step of electrodeposition coating the colored coating in the step (B) is performed a plurality of times. Can have different hues.

【0038】前記着色塗料に使用する染料および/また
は顔料は、目的とする色相に応じ選択されるが、得られ
る塗膜の透明性、塗料の安定性、電着特性、塗膜の耐久
性等について問題の生じないものを選択することが望ま
しく、この点から染料としては、油溶性あるいは分散性
染料、具体的には例えばアゾ系、アントラキノン系、ベ
ンゾジフラノン系、縮合メチン系等が挙げられ、顔料と
しては例えばアゾレーキ系、キナクリドン系、フタロシ
アニン系、イソインドリノン系、アントラキノン系、チ
オインジゴ系等の有機顔料、黄鉛、酸化鉄、クロムバー
ミリオン、クロムグリーン、群青、紺青、コバルトブル
ー、コバルトグリーン、エメラルドグリーン、チタンホ
ワイト、カーボンブラック等の無機顔料を挙げることが
できる。また目的とする色相に応じ、上記染料および/
または顔料を、その性状を損なわない限りにおいて、2
種類以上混合して用いることもできる。
The dyes and / or pigments used in the colored paint are selected according to the desired hue, but the transparency of the resulting coating film, the stability of the coating material, the electrodeposition characteristics, the durability of the coating film, etc. It is desirable to select a dye that does not cause a problem with this point, and as the dye, oil-soluble or dispersible dyes, specifically, for example, azo-based, anthraquinone-based, benzodifuranone-based, condensed methine-based dyes, etc. Examples of organic pigments such as azo lake type, quinacridone type, phthalocyanine type, isoindolinone type, anthraquinone type, thioindigo type, yellow lead, iron oxide, chrome vermillion, chrome green, ultramarine blue, dark blue, cobalt blue, cobalt green, Inorganic pigments such as emerald green, titanium white and carbon black can be mentioned. Further, depending on the desired hue, the dye and / or
Alternatively, the pigment may be used as long as it does not impair its properties.
It is also possible to use a mixture of more than one type.

【0039】前記着色塗料の調製は、樹脂、染料および
/または顔料、酸性物質または塩基性物質および必要に
より有機溶剤や、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の
平滑性をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等
の各種助剤類等を混合し、一般的に使用されるサンドミ
ル、ロールミル、アトライター等の分散機を用いて充分
に分散させ、その後、水で所定の濃度、好ましくは固形
分含量約4〜25重量%、特に好ましくは7〜20重量
%に希釈して電着に適する塗料とする方法等により行な
うことができる。このようにして得られる着色塗料は、
導電層上に電着塗装することによって着色層を形成させ
る。
For the preparation of the above-mentioned colored paint, a resin, a dye and / or a pigment, an acidic substance or a basic substance and, if necessary, an organic solvent, a dispersion aid for the dye or the pigment, a leveling agent for improving the smoothness of the coating film, Viscosity modifier, various auxiliaries such as defoaming agents, etc. are mixed and sufficiently dispersed using a commonly used sand mill, roll mill, disperser such as attritor, and then a predetermined concentration with water, The solid content is preferably about 4 to 25% by weight, particularly preferably 7 to 20% by weight, and a coating suitable for electrodeposition can be obtained by such a method. The colored paint obtained in this way is
The colored layer is formed by electrodeposition coating on the conductive layer.

【0040】該着色層の膜厚は特に制限されず、カラー
フィルターに要求される性能に応じて適宜選択できる
が、乾燥時に通常0.3〜5μm、好ましくは1〜3μ
m程度であればよい。
The thickness of the colored layer is not particularly limited and can be appropriately selected according to the performance required for the color filter, but is usually 0.3 to 5 μm, preferably 1 to 3 μm when dried.
It may be about m.

【0041】前記電着塗装の条件は、使用する着色塗料
の種類、目的とする着色層の膜厚に応じて適宜選択され
るが、電圧は通常5〜500V、好ましくは10〜30
0Vの直流であるのが好ましく、電着時間は通常5〜3
00秒、好ましくは10〜200秒、液温は通常10〜
35℃、好ましくは15〜30℃であるのが望ましい。
この際所望の膜厚を得る電着時間が経過したところで通
電を停止し、基板を浴から取り出し、余剰に付着した浴
液を水等でよく洗浄し乾燥することにより着色層を形成
することができる。
The conditions for the electrodeposition coating are appropriately selected according to the kind of the colored coating used and the thickness of the desired colored layer, but the voltage is usually 5 to 500 V, preferably 10 to 30 V.
It is preferably 0 V DC, and the electrodeposition time is usually 5 to 3
00 seconds, preferably 10 to 200 seconds, the liquid temperature is usually 10
It is desirable that the temperature is 35 ° C, preferably 15 to 30 ° C.
At this time, when the electrodeposition time for obtaining the desired film thickness has elapsed, the energization is stopped, the substrate is taken out of the bath, and the excessively adhered bath liquid is thoroughly washed with water or the like and dried to form the colored layer. it can.

【0042】該乾燥条件は、後工程の条件等により適宜
選択できるが、通常は表面の水分が乾燥し得る条件であ
れば良く、例えば120℃以下、好ましくは30℃〜1
00℃で、通常1〜20分、好ましくは2〜10分程度
乾燥させるのが望ましい。ここで乾燥温度が120℃よ
りも高いと感光性塗膜が熱により硬化することがあり、
後の現像作業が困難となるために好ましくない。
The drying conditions can be appropriately selected depending on the conditions of the post-process and the like, but it is usually required that the surface moisture can be dried, for example, 120 ° C. or less, preferably 30 ° C. to 1
It is desirable to dry at 00 ° C. for usually 1 to 20 minutes, preferably 2 to 10 minutes. If the drying temperature is higher than 120 ° C, the photosensitive coating film may be cured by heat,
It is not preferable because the subsequent developing work becomes difficult.

【0043】以上の(A)工程および(B)工程により
目的とするカラーフィルターを製造することができる
が、必要により更に加熱・硬化又は光硬化等を行ない、
耐候性や耐薬品性等をより向上させることもできる。該
加熱・硬化を行なう場合には、例えば温度を通常100
〜250℃、好ましくは150〜250℃とし、5分〜
1時間、好ましくは15〜40分間の条件で行なえば良
い。
The desired color filter can be manufactured by the above steps (A) and (B), but if necessary, further heating / curing or photocuring is carried out,
It is also possible to further improve weather resistance and chemical resistance. When the heating / curing is performed, for example, the temperature is usually 100.
~ 250 ° C, preferably 150-250 ° C for 5 minutes
It may be carried out for 1 hour, preferably for 15 to 40 minutes.

【0044】以下、図1および図2を参照して本発明の
工程を説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。
The process of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2, but the present invention is not limited thereto.

【0045】図1は、本発明の一実施態様を示す工程図
であり、図2は、本発明に用いるネガマスクの実施態様
のうち光透過率が4段階に異なるネガマスクの拡大模式
図であって、1は光透過率100%の遮光膜相当部分、
2は光透過率5%の第1の色相当部分、3は光透過率2
5%の第2の色相当部分、4は光透過率80%の第3の
色相当部分を示す。
FIG. 1 is a process diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged schematic view of a negative mask of the embodiment of the negative mask used in the present invention in which the light transmittance differs in four stages. 1 is a portion corresponding to a light-shielding film having a light transmittance of 100%,
2 is a portion corresponding to the first color having a light transmittance of 5%, 3 is a light transmittance of 2
A portion corresponding to the second color of 5%, and 4 indicates a portion corresponding to the third color having a light transmittance of 80%.

【0046】まず表面に透明な導電層を有する透明基板
上に黒色の感光性塗膜(遮光膜となる)を形成し、乾燥
した基板を、例えば図2に示されるネガマスクを介して
露光後、第1回目の現像を行い、ネガマスクの光透過率
が5%の第1の色相当部分2に該当する部分の導電層を
露出させ、第1の色の着色塗料を入れた電着浴で電着塗
装後、水洗する。
First, a black photosensitive coating film (which becomes a light-shielding film) is formed on a transparent substrate having a transparent conductive layer on its surface, and the dried substrate is exposed through, for example, a negative mask shown in FIG. The first development is carried out, the conductive layer of the portion corresponding to the first color equivalent portion 2 where the light transmittance of the negative mask is 5% is exposed, and the negative electrode is electroplated in the electrodeposition bath containing the colored paint of the first color. After coating, wash with water.

【0047】次いで第2回目の現像(第1回目の現像と
は条件が異なる)を行い、ネガマスクの光透過率が25
%の第2の色相当部分3に該当する部分の導電層を露出
させ、第2の色の着色塗料を入れた電着浴で電着塗装
し、水洗する。
Next, the second development (the conditions are different from those of the first development) is performed, and the light transmittance of the negative mask is 25.
% Of the portion corresponding to the second color corresponding portion 3, the conductive layer is exposed, and electrodeposition coating is performed in an electrodeposition bath containing a coloring paint of the second color, followed by washing with water.

【0048】さらに第3回目の現像(第1回目および第
2回目の現像とは条件が異なる)を行い、ネガマスクの
光透過率が80%の第3の色相当部分4に該当する部分
の導電層を露出させ、第3の色の着色塗料を入れた電着
浴で電着塗装後、水洗・乾燥し、遮光膜を有する着色層
を形成することによって、本発明のカラーフィルターを
得ることができる。
Further, the third development (the conditions are different from those of the first and second development) is performed, and the conductivity of the portion corresponding to the third color corresponding portion 4 having the light transmittance of the negative mask of 80% is obtained. The color filter of the present invention can be obtained by exposing the layer, performing electrodeposition coating in an electrodeposition bath containing a colored coating material of the third color, washing with water and drying to form a colored layer having a light-shielding film. it can.

【0049】本発明においては、感光性塗料としてカチ
オン性樹脂を水に溶解および/または分散させた塗料を
用い、電着法で塗装を行い、アニオン性樹脂を用いて調
製した着色塗料により着色層を形成する方法またはこれ
とは逆に感光性塗料としてアニオン性樹脂を水に溶解お
よび/または分散させた方法を用い、カチオン性樹脂に
より調製した着色塗料を用いて着色層を形成する方法等
が特に好ましい。
In the present invention, a coating in which a cationic resin is dissolved and / or dispersed in water is used as a photosensitive coating, coating is performed by an electrodeposition method, and a colored coating layer prepared by using an anionic resin is used. Or a method in which an anionic resin is dissolved and / or dispersed in water as a photosensitive coating, and a method of forming a colored layer using a colored coating prepared with a cationic resin is used. Particularly preferred.

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明のカラーフィルターの製造法は、
高度な微細加工技術を必要とせず、着色層のパターン形
状の自由度を大きくすることができ、一回の露光ですべ
てのパターニングが可能で、更に大型化への対処も容易
である。従ってカラーフィルターを、簡便に、しかも大
量生産することができるので工業的にも極めて有用であ
る。
The method for producing the color filter of the present invention is
The degree of freedom of the pattern shape of the colored layer can be increased without the need for advanced fine processing technology, all patterning can be performed with a single exposure, and it is easy to deal with larger size. Therefore, the color filter can be easily mass-produced and is extremely useful industrially.

【0051】[0051]

【実施例】以下に本発明を合成例および実施例によって
具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもの
ではない。
EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to synthetic examples and examples, but the present invention is not limited thereto.

【0052】[0052]

【合成例1】感光性樹脂(A−1)の合成 アミン付加エポキシ化ポリブタジエン(a−1)の合成 エポキシ化液状ポリブタジエン(日本石油化学(株)
製、商品名「E−1000−8」、数平均分子量1,0
00、オキシラン酸素量8%)1,000gを、温度
計、撹拌装置および還流冷却管が装着された2リットル
のセパラブルフラスコに仕込み、系内を窒素置換した
後、メチルエタノールアミン231.2gを加え、17
0℃で5時間反応させた。次に減圧下に未反応のメチル
エタノールアミンを留去し、アミン価が230.4mmol
/100gのアミン付加エポキシ化ポリブタジエン(a
−1)を得た。
[Synthesis Example 1] Synthesis of photosensitive resin (A-1) Synthesis of amine-added epoxidized polybutadiene (a-1) Epoxidized liquid polybutadiene (Nippon Petrochemical Co., Ltd.)
Product name "E-1000-8", number average molecular weight 1,0
00, oxirane oxygen amount 8%) 1,000 g was charged into a 2 liter separable flask equipped with a thermometer, a stirrer and a reflux condenser, the system was replaced with nitrogen, and then 231.2 g of methylethanolamine was added. In addition, 17
The reaction was carried out at 0 ° C for 5 hours. Then, unreacted methylethanolamine was distilled off under reduced pressure to obtain an amine value of 230.4 mmol.
/ 100 g of amine-added epoxidized polybutadiene (a
-1) was obtained.

【0053】不飽和基含有イソシアネート化合物の合成 温度計、撹拌装置、還流冷却管および滴下漏斗の付いた
加熱および冷却可能な2リットルの丸底フラスコに、
2,4−トリレンジイソシアナート435.5gおよび
ジエチレングリコールジメチルエーテル266.1gを
仕込み、40℃に加熱した後、2−ヒドロキシエチルア
クリレート362.8gを滴下漏斗から滴下した。この
際200ppmのパラベンゾキノンも添加した。2−ヒド
ロキシエチルアクリレートの滴下により発熱が見られる
が、必要に応じて冷却し同温度に保った。2−ヒドロキ
シエチルアクリレートの滴下終了後、70℃まで昇温
し、同温度で3時間反応させ、赤外線吸収スペクトル分
析によりイソシアナート基の吸収強度が反応開始前のほ
ぼ1/2になったことを確認後、冷却し不飽和基含有イ
ソシアナート化合物(a−2)を得た。
Synthesis of Unsaturated Group-Containing Isocyanate Compound In a heatable and coolable 2 liter round bottom flask equipped with a thermometer, stirrer, reflux condenser and dropping funnel,
After charging 435.5 g of 2,4-tolylene diisocyanate and 266.1 g of diethylene glycol dimethyl ether and heating to 40 ° C., 362.8 g of 2-hydroxyethyl acrylate was added dropwise from a dropping funnel. At this time, 200 ppm of parabenzoquinone was also added. Although heat generation was observed by the dropwise addition of 2-hydroxyethyl acrylate, it was cooled and kept at the same temperature as needed. After the completion of the dropwise addition of 2-hydroxyethyl acrylate, the temperature was raised to 70 ° C., the reaction was carried out at the same temperature for 3 hours, and it was confirmed by infrared absorption spectrum analysis that the absorption intensity of the isocyanate group was almost half that before the reaction was started. After confirmation, the mixture was cooled to obtain an unsaturated group-containing isocyanate compound (a-2).

【0054】感光性樹脂(A−1)の合成 2リットルのセパラブルフラスコ中で、(a−1)50
0gをジエチレングリコールジメチルエーテル166.
7gに溶解し、(a−1)713.4g((a−1)中
のヒドロキシル基1当量に対してイソシアナート基0.
8当量)を40℃で滴下し、さらに同温度で1時間反応
させて、赤外線吸収スペクトル分析によりイソシアナー
ト基が消失したことを確認し、(a−1)に(a−2)
を付加した感光性樹脂(A−1)を得た。
Synthesis of Photosensitive Resin (A-1) (a-1) 50 in a 2-liter separable flask.
0 g of diethylene glycol dimethyl ether 166.
(A-1) 713.4 g ((a-1) 1 equivalent of the hydroxyl group to the isocyanate group 0.
(8 equivalent) was added dropwise at 40 ° C., and the mixture was further reacted at the same temperature for 1 hour, and it was confirmed by infrared absorption spectrum analysis that the isocyanate group had disappeared, and (a-1) was added to (a-2).
To obtain a photosensitive resin (A-1).

【0055】[0055]

【合成例2】ポリアミン(A−2)溶液の合成 「日石ポリブタジエンB−1000」(日本石油化学
(株)製、商品名、数平均分子量1,000、沃素価4
30、1,2−結合65%)1,000g、無水マレイ
ン酸554g、キシレン10gおよびトリメチルハイド
ロキノン3.0gを、温度計、撹拌装置、還流冷却管お
よび窒素吹き込み管を付けた3リットルのセパラブルフ
ラスコに仕込み、窒素下にて190℃で5時間反応させ
た。次いで未反応無水マレイン酸およびキシレンを留去
させ、全酸価400mgKOH/gのマレイン化ポリブタ
ジエンを得た。
[Synthesis Example 2] Synthesis of polyamine (A-2) solution "Nisseki Polybutadiene B-1000" (manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd., trade name, number average molecular weight 1,000, iodine value 4
3,1,2-bond 65%) 1,000 g, maleic anhydride 554 g, xylene 10 g and trimethylhydroquinone 3.0 g were added to a 3 liter separable tube equipped with a thermometer, a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen blowing tube. The mixture was placed in a flask and reacted under nitrogen at 190 ° C. for 5 hours. Then, unreacted maleic anhydride and xylene were distilled off to obtain maleated polybutadiene having a total acid value of 400 mgKOH / g.

【0056】次に還流冷却管を付けた3リットルのセパ
ラブルフラスコに、前記マレイン化ポリブタジエン1,
000g、エチレングリコールモノブチルエーテル43
3gを仕込み、均一に溶解させてから、窒素気流下で1
35℃に保ちながら、N,N−ジメチルアミノプロピル
アミン364.3gを1時間かけて滴下した。さらに同
温度に5時間保持し、第三級アミノ基およびイミド基を
有するポリアミン(A−2)溶液を得た。得られたポリ
アミン(A−2)溶液は、溶液100g当り206ミリ
モルの第三級アミンを含有し、不揮発分は75.0重量
%であった。
Next, in a 3 liter separable flask equipped with a reflux condenser, the maleated polybutadiene 1,
000g, ethylene glycol monobutyl ether 43
Charge 3 g and dissolve it uniformly, then under nitrogen flow 1
While maintaining the temperature at 35 ° C., 364.3 g of N, N-dimethylaminopropylamine was added dropwise over 1 hour. Further, the temperature was maintained for 5 hours to obtain a polyamine (A-2) solution having a tertiary amino group and an imide group. The obtained polyamine (A-2) solution contained 206 mmol of tertiary amine per 100 g of the solution, and the nonvolatile content was 75.0% by weight.

【0057】[0057]

【合成例3】半エステル化物(A−3)溶液の合成 「日石ポリブタジエンB−1000」(日本石油化学
(株)製、商品名、数平均分子量1,000、沃素価4
30、1,2−結合65%)1,000g、無水マレイ
ン酸554g、キシレン10gおよびトリメチルハイド
ロキノン3.0gを、温度計、撹拌装置、還流冷却管お
よび窒素吹き込み管を付けた3リットルのセパラブルフ
ラスコに仕込み、窒素下にて190℃で5時間反応させ
た。次いで未反応無水マレイン酸およびキシレンを留去
させ、全酸価400mgKOH/gのマレイン化ポリブタ
ジエンを得た。
[Synthesis Example 3] Synthesis of semi-esterified product (A-3) solution "Nisseki Polybutadiene B-1000" (manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd., trade name, number average molecular weight 1,000, iodine value 4
3,1,2-bond 65%) 1,000 g, maleic anhydride 554 g, xylene 10 g and trimethylhydroquinone 3.0 g were added to a 3 liter separable tube equipped with a thermometer, a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen blowing tube. The mixture was placed in a flask and reacted under nitrogen at 190 ° C. for 5 hours. Then, unreacted maleic anhydride and xylene were distilled off to obtain maleated polybutadiene having a total acid value of 400 mgKOH / g.

【0058】次に還流冷却管を付けた3リットルのセパ
ラブルフラスコに、前記マレイン化ポリブタジエン1,
000g、ジエチレングリコールジメチルエーテル46
1.8g、N,N−ジメチルベンジルアミン3.0gお
よびベンジルアルコール385.5gを仕込み、均一に
溶解させてから、窒素気流下、120℃で2時間反応さ
せ、半エステル化物(A−3)溶液を得た。得られた半
エステル化物(A−3)溶液の全酸価は109.3mgK
OH/gであり、不揮発分は75.0重量%であった。
Next, in a 3 liter separable flask equipped with a reflux condenser, the maleated polybutadiene 1,
000g, diethylene glycol dimethyl ether 46
1.8 g, N, N-dimethylbenzylamine 3.0 g and benzyl alcohol 385.5 g were charged and uniformly dissolved, and then reacted at 120 ° C. for 2 hours under a nitrogen stream to give a half-esterified product (A-3). A solution was obtained. The total acid value of the obtained half-esterified product (A-3) solution was 109.3 mgK.
It was OH / g, and the nonvolatile content was 75.0% by weight.

【0059】[0059]

【合成例4】樹脂(A−4)の合成 合成例3で得られたマレイン化ポリブタジエン400
g、ジエチレングリコールジメチルエーテル188.5
gおよびハイドロキノン0.4gを還流冷却管の付いた
2リットルのセパラブルフラスコに仕込み、80℃に昇
温し撹拌し均一にした。次いで2−ヒドロキシエチルア
クリレート165.6gおよびトリエチルアミン20g
を加え、同温度で2時間反応させ、マレイン化ポリブタ
ジエンの半エステル化物(A−4)溶液を得た。得られ
た半エステル化物(A−4)溶液の全酸価は105mgK
OH/gであり、不揮発分は75.0重量%であった。
[Synthesis Example 4] Synthesis of Resin (A-4) Maleated polybutadiene 400 obtained in Synthesis Example 3
g, diethylene glycol dimethyl ether 188.5
g and 0.4 g of hydroquinone were charged into a 2 liter separable flask equipped with a reflux condenser, heated to 80 ° C., and stirred to homogenize. Next, 165.6 g of 2-hydroxyethyl acrylate and 20 g of triethylamine
Was added and the mixture was reacted at the same temperature for 2 hours to obtain a half-esterified product (A-4) solution of maleated polybutadiene. The total acid value of the obtained half-esterified product (A-4) solution is 105 mgK.
It was OH / g, and the nonvolatile content was 75.0% by weight.

【0060】[0060]

【合成例5】黒色感光性塗料(B−1)の調製 合成例1で得られた感光性樹脂(A−1)500gに、
光重合開始剤として「Irgacure 907」(チ
バーガイギー社製、商品名)27.0g、「KAYAC
URE DETX」(日本化薬(株)製、商品名)3.
0gおよびカーボンブラック#5B(三菱化成工業
(株)製品)37.5gを撹拌下に加えて混合後、実験
室用三本ロールミル(小平製作所製)にて、カーボンブ
ラック粒径が0.3μm以下となるまで分散した。粒径
の測定はコールターカウンターN4(コールターカウン
ター社製)を用いた。
[Synthesis Example 5] Preparation of black photosensitive coating (B -1) To 500 g of the photosensitive resin (A-1) obtained in Synthesis Example 1,
27.0 g of "Irgacure 907" (manufactured by Chiver Geigy Co., Ltd.) as a photopolymerization initiator, "KAYAC"
URE DETX "(manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) 3.
0 g and 37.5 g of carbon black # 5B (product of Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) were added with stirring and mixed, and then the carbon black particle size was 0.3 μm or less with a laboratory three-roll mill (manufactured by Kodaira Seisakusho). Dispersed until. The particle size was measured using Coulter Counter N4 (manufactured by Coulter Counter).

【0061】上記分散混合物に、中和剤として酢酸1
6.7gを加えて充分に撹拌し再度均一化した後、脱イ
オン水をゆっくりと加えながら高速ミキサーで激しくか
き混ぜながら水分散させて固形分濃度15重量%の黒色
感光性塗料(B−1)水溶液(カチオン電着型)を調製
した。
To the above dispersion mixture, acetic acid 1 was added as a neutralizing agent.
After adding 6.7 g and thoroughly stirring to homogenize again, deionized water was slowly added and stirred vigorously with a high speed mixer to disperse in water to disperse the water in a black photosensitive paint (B-1) having a solid content concentration of 15% by weight. An aqueous solution (cationic electrodeposition type) was prepared.

【0062】[0062]

【合成例6】黒色感光性塗料(B−2)の調製 合成例4で得られた半エステル化物(A−4)溶液50
0gに光重合開始剤として「Irgacure 90
7」(チバーガイギー社製、商品名)27.0g、「K
AYACURE DETX」(日本化薬(株)製、商品
名)3.0gおよびカーボンブラック#5B(三菱化成
工業(株)製品)37.5gを撹拌下に加えて混合後、
実験室用三本ロールミル(小平製作所製)にて、カーボ
ンブラック粒径が0.3μm以下となるまで分散した。
粒径の測定は、コールターカウンターN4(コールター
カウンター社製)を用いた。
[Synthesis Example 6] Preparation of black photosensitive coating (B-2) Half-esterified product (A-4) solution 50 obtained in Synthesis Example 4
0 g as a photopolymerization initiator "Irgacure 90
7 "(Ciba Geigy, trade name) 27.0 g," K
AYACURE DETX "(manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) 3.0 g and carbon black # 5B (Mitsubishi Kasei Kogyo Co., Ltd. product) 37.5 g were added under stirring and mixed,
The carbon black was dispersed with a laboratory three-roll mill (manufactured by Kodaira Seisakusho) until the particle size of carbon black was 0.3 μm or less.
The particle size was measured using Coulter Counter N4 (manufactured by Coulter Counter).

【0063】上記分散混合物に、中和剤としてトリエチ
ルアミン33.7gを加えて充分に撹拌し再度均一化し
た後、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速ミキサー
で激しくかき混ぜながら水分散させて固形分濃度15重
量%の黒色感光性塗料(B−2)水溶液(アニオン電着
型)を調製した。
To the above dispersion mixture, 33.7 g of triethylamine was added as a neutralizing agent, and the mixture was thoroughly stirred and homogenized again. Then, deionized water was slowly added to the dispersion mixture while stirring vigorously with a high-speed mixer to disperse in water to obtain a solid content concentration. A 15% by weight black photosensitive coating (B-2) aqueous solution (anion electrodeposition type) was prepared.

【0064】[0064]

【合成例7】黒色感光性塗料(B−3)の調製 合成例1で得られた感光性樹脂(A−1)500gに、
光重合開始剤として「Irgacure 907」(チ
バーガイギー社製、商品名)27.0g、「KAYAC
URE DETX」(日本化薬(株)製、商品名)3.
0gおよびカーボンブラック#5B(三菱化成工業
(株)製品)37.5gを撹拌下に加えて混合後、実験
室用三本ロールミル(小平製作所製)にて、カーボンブ
ラック粒径が0.3μm以下となるまで分散した。粒径
の測定はコールターカウンターN4(コールターカウン
ター社製)を用いた。
[Synthesis Example 7] Preparation of black photosensitive coating (B-3 ) To 500 g of the photosensitive resin (A-1) obtained in Synthesis Example 1,
27.0 g of "Irgacure 907" (manufactured by Chiver Geigy Co., Ltd.) as a photopolymerization initiator, "KAYAC"
URE DETX "(manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) 3.
0 g and 37.5 g of carbon black # 5B (product of Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) were added with stirring and mixed, and then the carbon black particle size was 0.3 μm or less with a laboratory three-roll mill (manufactured by Kodaira Seisakusho). Dispersed until. The particle size was measured using Coulter Counter N4 (manufactured by Coulter Counter).

【0065】上記分散混合物を、固形分濃度が40重量
%となるようにメチルエチルケトンで希釈し、黒色感光
性の塗料溶液(B−3)を調製した。
The above dispersion mixture was diluted with methyl ethyl ketone to a solid content concentration of 40% by weight to prepare a black photosensitive coating solution (B-3).

【0066】[0066]

【合成例8】着色塗料(C−1,C−2,C−3)の調製 半エステル化物(A−3)溶液および顔料を撹拌下に混
合し、実験室用三本ロールミル(小平製作所製)にて、
顔料粒径が0.3μm以下となるまで分散した。粒径の
測定は、コールターカウンターN4(コールターカウン
ター社製)を用いた。次いで得られた分散混合物に、中
和剤であるトリエチルアミンを加えて充分に撹拌し再度
均一化した後、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速
ミキサーで激しくかき混ぜながら水分散させて固形分濃
度10重量%の着色塗料(C−1,C−2,C−3)を
調製した。得られた3色の着色塗料(カチオン電着型)
水溶液の組成を表1に示す(表1中の数値はいずれも重
量部である)。
[Synthesis Example 8] Preparation of colored coating materials (C-1, C-2, C-3) The half-esterified product (A-3) solution and the pigment were mixed under stirring, and a laboratory three-roll mill (manufactured by Kodaira Seisakusho) ),
The pigment was dispersed until the particle diameter became 0.3 μm or less. The particle size was measured using Coulter Counter N4 (manufactured by Coulter Counter). Next, triethylamine, which is a neutralizing agent, was added to the obtained dispersion mixture, and the mixture was thoroughly stirred and homogenized again. Then, deionized water was slowly added to the dispersion mixture while stirring vigorously with a high-speed mixer to disperse the water to a solid content concentration of 10% by weight. % Of colored paints (C-1, C-2, C-3) were prepared. Obtained three-color paint (cationic electrodeposition type)
The composition of the aqueous solution is shown in Table 1 (all numerical values in Table 1 are parts by weight).

【0067】[0067]

【表1】 [Table 1]

【0068】[0068]

【合成例9】着色塗料(C−4,C−5,C−6)の調製 ポリアミン(A−2)溶液および顔料を撹拌下に混合
し、実験室用三本ロールミル(小平製作所製)にて、顔
料粒径が0.3μm以下となるまで分散した。粒径の測
定はコールターカウンターN4(コールターカウンター
社製)を用いた。得られた分散混合物に、中和剤である
酢酸を加えて充分に撹拌し、再度均一化した後、脱イオ
ン水をゆっくりと加えながら高速ミキサーで激しくかき
混ぜながら水分散させて、固形分濃度10重量%の着色
塗料(C−4,C−5,C−6)を調製した。得られた
3色の着色塗料(アニオン電着型)水溶液の組成を表2
に示す(表2中の数値はいずれも重量部である)。
[Synthesis Example 9] Preparation of colored paint (C-4, C-5, C-6) The polyamine (A-2) solution and the pigment were mixed under stirring, and the mixture was placed in a laboratory three-roll mill (manufactured by Kodaira Seisakusho). And dispersed until the pigment particle size was 0.3 μm or less. The particle size was measured using Coulter Counter N4 (manufactured by Coulter Counter). Acetic acid, which is a neutralizing agent, was added to the obtained dispersion mixture, and the mixture was thoroughly stirred and homogenized again. Then, deionized water was slowly added to the dispersion mixture while vigorously stirring with a high-speed mixer to disperse the water to a solid content concentration of 10 Weight percent colored paints (C-4, C-5, C-6) were prepared. Table 2 shows the composition of the resulting three-colored colored coating solution (anionic electrodeposition type).
(The values in Table 2 are all parts by weight).

【0069】[0069]

【表2】 [Table 2]

【0070】[0070]

【実施例1】膜厚80nmのITO(インジウム−錫酸
化物)膜を表面に有する厚さ1.1mmのパイレックスガ
ラス基板を陰極とし、黒色感光性塗料(B−1)水溶液
を入れたステンレススチール製ビーカーを陽極として、
直流電圧30V、25℃の条件で3分間電着した。ガラ
ス基板をイオン交換水で洗浄した後、80℃で5分間乾
燥、冷却したところ粘着性のない膜厚2μmの黒色の均
一塗膜が形成された。次いで図2に示す光透過率が4段
階に異なるパターンを有するネガマスクを該塗膜上に密
着し、高圧水銀ランプを有するUV露光装置((株)オ
ーク製作所製、商品名「JL−3300」)を使用して
500mJ/cm2の紫外線を照射した。
Example 1 Stainless steel containing an aqueous solution of a black photosensitive paint (B-1) using a 1.1 mm thick Pyrex glass substrate having an ITO (indium-tin oxide) film having a thickness of 80 nm on the surface as a cathode. With the beaker made as an anode,
Electrodeposition was performed for 3 minutes under the conditions of a DC voltage of 30 V and 25 ° C. After the glass substrate was washed with ion-exchanged water, dried at 80 ° C. for 5 minutes and cooled, and a black uniform coating film having a film thickness of 2 μm and having no tackiness was formed. Then, a negative mask having a pattern in which the light transmittance shown in FIG. 2 has four different levels is adhered onto the coating film, and a UV exposure device having a high pressure mercury lamp (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., trade name “JL-3300”) Was irradiated with an ultraviolet ray of 500 mJ / cm 2 .

【0071】次に濃度0.05重量%の乳酸水溶液で現
像したところ、ネガマスクの光透過率の最も低い部分の
黒色感光性塗料が選択的に除去され、ITO膜が露出さ
れた。水洗、乾燥後、ガラス基板を陽極とし、着色塗料
(C−1)に入れたステンレススチール製ビーカーを陰
極として、直流電圧25V、25℃の条件で3分間電着
した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄した後、80℃
で5分間乾燥し、常温で粘着性を示さない膜厚2μmの
赤色の着色層を形成した。次いで0.5重量%の乳酸水
溶液で現像したところ、赤色の着色層および遮光層に相
当する部分には何の変化は認められず、ネガマスクの光
透過率が2番目に低い部分の黒色感光性塗料が選択的に
除去された。
Next, when the film was developed with an aqueous solution of lactic acid having a concentration of 0.05% by weight, the black photosensitive paint in the portion of the negative mask having the lowest light transmittance was selectively removed, and the ITO film was exposed. After washing with water and drying, electrodeposition was performed for 3 minutes under the conditions of a DC voltage of 25 V and 25 ° C., using a glass substrate as an anode and a stainless steel beaker put in the colored coating material (C-1) as a cathode. After washing the glass substrate with deionized water, 80 ℃
And dried for 5 minutes to form a red colored layer having a film thickness of 2 μm and showing no tackiness at room temperature. When developed with a 0.5 wt% aqueous lactic acid solution, no change was observed in the portions corresponding to the red colored layer and the light-shielding layer, and the black photosensitivity of the portion of the negative mask having the second lowest light transmittance was observed. The paint was selectively removed.

【0072】次に水洗、乾燥後、ガラス基板を陽極と
し、着色塗料(C−2)を入れたステンレススチール製
ビーカーを陰極として、直流電圧25V、25℃の条件
で3分間電着した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄し
たところ、先に形成した赤色の着色層および遮光層に相
当する部分には全く変化が見られず、緑色の着色層が形
成された。80℃で5分間乾燥し、次いで3.0重量%
の乳酸水溶液で現像したところ、赤色および緑色の着色
層に変化は認められず、また遮光膜となる部分にも変化
は認められず、ネガマスクの光透過率が3番目に低い部
分の黒色感光性塗料が選択的に除去された。
Next, after washing with water and drying, the glass substrate was used as an anode, and a stainless steel beaker containing the colored coating material (C-2) was used as a cathode, and electrodeposition was carried out for 3 minutes under conditions of a DC voltage of 25 V and 25 ° C. When the glass substrate was washed with ion-exchanged water, no change was observed in the portions corresponding to the red colored layer and the light-shielding layer formed earlier, and the green colored layer was formed. Dry at 80 ° C for 5 minutes, then 3.0% by weight
When developed with the aqueous lactic acid solution, no change was observed in the red and green colored layers, and no change was observed in the part that becomes the light-shielding film. The black photosensitivity of the part where the light transmittance of the negative mask was the third lowest The paint was selectively removed.

【0073】次いで水洗、乾燥後、ガラス基板を陽極と
し、着色塗料(C−3)を入れたステンレススチール製
ビーカーを陰極として、直流電圧25V、25℃の条件
で3分間電着した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄し
たところ、先に形成した赤色、緑色の着色層および遮光
層には全く変化が見られず、青色の着色層が形成され
た。80℃で5分間乾燥後、硬化を完全に行なわせるた
め、175℃で30分間焼付けた。硬化後の各着色層お
よび遮光層の膜厚はいずれも1.9μmであり、透明性
に優れた均一な着色層を有するカラーフィルターが得ら
れた。
After washing with water and drying, the glass substrate was used as an anode, and a stainless steel beaker containing the colored coating material (C-3) was used as a cathode, and electrodeposition was carried out for 3 minutes under the conditions of a DC voltage of 25 V and 25 ° C. When the glass substrate was washed with ion-exchanged water, no change was observed in the red and green colored layers and the light-shielding layer formed earlier, and a blue colored layer was formed. After drying at 80 ° C. for 5 minutes, baking was performed at 175 ° C. for 30 minutes in order to complete the curing. The thickness of each of the colored layers and the light shielding layer after curing was 1.9 μm, and a color filter having a uniform colored layer excellent in transparency was obtained.

【0074】[0074]

【実施例2】実施例1で使用したものと同一のガラス基
板を陽極とし、黒色感光性塗料(B−2)水溶液を入れ
たステンレススチール製ビーカーを陰極として、直流電
圧25V、25℃の条件で3分間電着した。ガラス基板
をイオン交換水で洗浄した後、80℃で5分間乾燥した
ところ、粘着性のない膜厚1.8μmの黒色の均一塗膜
が形成された。
Example 2 The same glass substrate as used in Example 1 was used as an anode, a stainless steel beaker containing an aqueous solution of the black photosensitive coating (B-2) was used as a cathode, and a DC voltage of 25 V and a temperature of 25 ° C. were used. It was electrodeposited for 3 minutes. After the glass substrate was washed with ion-exchanged water and dried at 80 ° C. for 5 minutes, a black uniform coating film having a film thickness of 1.8 μm and having no tackiness was formed.

【0075】次いで図2に示す光透過率が4段階に異な
るパターンを有するネガマスクを該塗膜上に密着し実施
例1で用いたUV露光装置を使用して800mJ/cm2
の紫外線を照射した。濃度0.1重量%の炭酸ナトリウ
ム水溶液で現像したところ、ネガマスクの光透過率が最
小である部分の黒色感光性塗料が選択的に除去され、I
TO膜が露出された。
Then, a negative mask having different patterns of light transmittance shown in FIG. 2 having four steps was adhered onto the coating film, and 800 mJ / cm 2 was applied using the UV exposure device used in Example 1.
Of the ultraviolet rays. When developed with an aqueous solution of sodium carbonate having a concentration of 0.1% by weight, the black photosensitive paint in the portion of the negative mask where the light transmittance is minimum is selectively removed.
The TO film was exposed.

【0076】次に水洗、乾燥後、ガラス基板を陰極と
し、着色塗料(C−4)を入れたステンレススチール製
ビーカーを陽極として、直流電圧30V、25℃の条件
で3分間電着した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄し
た後、80℃で5分間乾燥し、赤色の着色層を形成し
た。次いで0.75重量%の炭酸ナトリウム水溶液で現
像したところ、赤色の着色層には何の変化も認められ
ず、ネガマスクの光透過率が2番目に低い部分の黒色感
光性塗料が選択的に除去された。
Next, after washing with water and drying, the glass substrate was used as a cathode, and the stainless steel beaker containing the colored coating material (C-4) was used as an anode, and electrodeposition was carried out for 3 minutes at a DC voltage of 30 V and 25 ° C. After washing the glass substrate with ion-exchanged water, it was dried at 80 ° C. for 5 minutes to form a red colored layer. When developed with a 0.75% by weight aqueous solution of sodium carbonate, no change was observed in the red colored layer, and the black photosensitive paint in the portion having the second lowest light transmittance of the negative mask was selectively removed. Was done.

【0077】次に水洗、乾燥後、ガラス基板を陰極と
し、着色塗料(C−5)を入れたステンレススチール製
ビーカーを陽極として、直流電圧30V、25℃の条件
で3分間電着した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄し
たところ、先に形成した赤色の着色層には全く変化が見
られず、緑色の着色層が形成された。80℃で5分間乾
燥し、次いで5重量%のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現
像したところ、赤色および緑色の着色層に変化は認めら
れず、また遮光膜となる部分にも変化は認められず、ネ
ガマスクの光透過率が3番目に低い部分の黒色感光性塗
料が選択的に除去された。
Next, after washing with water and drying, electrodeposition was carried out for 3 minutes under the conditions of a DC voltage of 30 V and 25 ° C., using a glass substrate as a cathode and a stainless steel beaker containing a colored paint (C-5) as an anode. When the glass substrate was washed with ion-exchanged water, no change was observed in the red colored layer formed earlier, and a green colored layer was formed. When dried at 80 ° C for 5 minutes and then developed with a 5% by weight aqueous solution of sodium metasilicate, no change was observed in the red and green colored layers, and no change was observed in the part that becomes the light-shielding film. The black photosensitive paint in the portion having the third lowest light transmittance was removed selectively.

【0078】次いで水洗、乾燥後、ガラス基板を陰極と
し、着色塗料(C−6)を入れたステンレススチール製
ビーカーを陽極として、直流電圧30V、25℃の条件
で3分間電着した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄し
たところ、先に形成した赤色、緑色の着色層および遮光
層には全く変化が見られず、青色の着色層が形成され
た。80℃で5分間乾燥後、硬化を完全に行なわせるた
め、170℃で30分焼付けた。硬化後の各着色層およ
び遮光層の膜厚はいずれも1.8μmであり、透明性に
優れた均一な着色層を有するカラーフィルターが得られ
た。
After washing with water and drying, electrodeposition was performed for 3 minutes under the conditions of a DC voltage of 30 V and 25 ° C. using a glass substrate as a cathode and a stainless steel beaker containing a colored coating material (C-6) as an anode. When the glass substrate was washed with ion-exchanged water, no change was observed in the red and green colored layers and the light-shielding layer formed earlier, and a blue colored layer was formed. After drying at 80 ° C. for 5 minutes, baking was performed at 170 ° C. for 30 minutes in order to complete the curing. The thickness of each of the colored layers and the light-shielding layer after curing was 1.8 μm, and a color filter having a uniform colored layer excellent in transparency was obtained.

【0079】[0079]

【実施例3】実施例1で使用したものと同じガラス基板
に黒色感光性の塗料溶液(B−3)をスプレー塗装し風
乾し、80℃で5分間乾燥したところ、粘着性のない膜
厚1.5μmの黒色の均一塗膜が形成された。
[Example 3] The same glass substrate as used in Example 1 was spray-coated with a black photosensitive coating solution (B-3), air-dried, and dried at 80 ° C for 5 minutes. A black uniform coating of 1.5 μm was formed.

【0080】次いで図2に示す光透過率が4段階に異な
るパターンを有するネガマスクを該塗膜上に密着し高圧
水銀ランプを有するUV露光装置((株)オーク製作所
製、商品名「JL−3300」)を使用して、500m
J/cm2の紫外線を照射した。濃度0.05重量%の乳
酸水溶液で現像したところ、ネガマスクの光透過率が最
小である部分の黒色感光性塗料が選択的に除去され、I
TO膜が露出された。
Next, a UV exposure apparatus (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., trade name "JL-3300" having a high-pressure mercury lamp in contact with a negative mask having a pattern in which the light transmittance shown in FIG. )), 500m
It was irradiated with UV of J / cm 2 . When developed with an aqueous solution of lactic acid having a concentration of 0.05% by weight, the black photosensitive paint in the portion of the negative mask where the light transmittance is minimum is selectively removed.
The TO film was exposed.

【0081】次に水洗、乾燥後、ガラス基板を陽極と
し、着色塗料(C−1)を入れたステンレススチール製
ビーカーを陰極として、直流電圧25V、25℃の条件
で3分間電着した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄し
た後、80℃で5分間乾燥し、赤色の着色層を形成し
た。次いで0.5重量%の乳酸水溶液で現像したとこ
ろ、赤色の着色層には何の変化も認められず、ネガマス
クの光透過率が2番目に低い部分の黒色感光性塗料が選
択的に除去された。
Next, after washing with water and drying, the glass substrate was used as an anode, and a stainless steel beaker containing the colored coating material (C-1) was used as a cathode, and electrodeposition was performed for 3 minutes under the conditions of a DC voltage of 25 V and 25 ° C. The glass substrate was washed with ion-exchanged water and then dried at 80 ° C. for 5 minutes to form a red colored layer. When developed with 0.5% by weight lactic acid aqueous solution, no change was observed in the red colored layer, and the black photosensitive paint in the portion having the second lowest light transmittance of the negative mask was selectively removed. It was

【0082】次に水洗、乾燥後、ガラス基板を陽極と
し、着色塗料(C−2)を入れたステンレススチール製
ビーカーを陰極として、直流電圧25V、25℃の条件
で3分間電着した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄し
たところ、先に形成した赤色の着色層には全く変化が見
られず、緑色の着色層が形成された。80℃で5分間乾
燥し、次いで3.0重量%の乳酸水溶液で現像したとこ
ろ、赤色および緑色の着色層に変化は認められず、また
遮光膜となる部分にも変化は認められず、ネガマスクの
光透過率が3番目に低い部分の黒色感光性塗料が選択的
に除去された。
After washing with water and drying, electrodeposition was performed for 3 minutes under the conditions of a DC voltage of 25 V and 25 ° C., using a glass substrate as an anode and a stainless steel beaker containing a colored coating material (C-2) as a cathode. When the glass substrate was washed with ion-exchanged water, no change was observed in the red colored layer formed earlier, and a green colored layer was formed. When dried at 80 ° C for 5 minutes and then developed with a 3.0% by weight aqueous lactic acid solution, no change was observed in the red and green colored layers, and no change was observed in the part serving as the light-shielding film. The black photosensitive paint in the portion having the third lowest light transmittance was removed selectively.

【0083】次いで水洗、乾燥後、ガラス基板を陽極と
し、着色塗料(C−3)を入れたステンレススチール製
ビーカーを陰極として、直流電圧25V、25℃の条件
で3分間電着した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄し
たところ、先に形成した赤色、緑色の着色層および遮光
層には全く変化が見られず、青色の着色層が形成され
た。80℃で5分間乾燥後、硬化を完全に行なわせるた
め、175℃で30分間焼付けた。硬化後の各着色層お
よび遮光層の膜厚はいずれも1.5μmであり、透明性
に優れた均一な着色層を有するカラーフィルターが得ら
れた。
After washing with water and drying, the glass substrate was used as an anode, and a stainless steel beaker containing the colored coating material (C-3) was used as a cathode, and electrodeposition was performed for 3 minutes under the conditions of a DC voltage of 25 V and 25 ° C. When the glass substrate was washed with ion-exchanged water, no change was observed in the red and green colored layers and the light-shielding layer formed earlier, and a blue colored layer was formed. After drying at 80 ° C. for 5 minutes, baking was performed at 175 ° C. for 30 minutes in order to complete the curing. The thickness of each of the colored layers and the light-shielding layer after curing was 1.5 μm, and a color filter having a uniform colored layer excellent in transparency was obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施態様を示す工程図。FIG. 1 is a process drawing showing an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例で使用したネガマスクの拡大模
式図。
FIG. 2 is an enlarged schematic view of a negative mask used in an example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 遮光膜相当部分(光透過率100%) 2 第1の色相当部分(光透過率5%) 3 第2の色相当部分(光透過率25%) 4 第3の色相当部分(光透過率80%) 1 Light-shielding film equivalent part (light transmittance 100%) 2 First color equivalent part (light transmittance 5%) 3 Second color equivalent part (light transmittance 25%) 4 Third color equivalent part (light transmission) 80%)

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成4年3月2日[Submission date] March 2, 1992

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0054[Correction target item name] 0054

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0054】感光性樹脂(A−1)の合成 2リットルのセパラブルフラスコ中で、(a−1)50
0gをジエチレングリコールジメチルエーテル166.
7gに溶解し、(a−)713.4g((a−1)中
のヒドロキシル基1当量に対してイソシアナート基0.
8当量)を40℃で滴下し、さらに同温度で1時間反応
させて、赤外線吸収スペクトル分析によりイソシアナー
ト基が消失したことを確認し、(a−1)に(a−2)
を付加した感光性樹脂(A−1)を得た。
Synthesis of Photosensitive Resin (A-1) (a-1) 50 in a 2-liter separable flask.
0 g of diethylene glycol dimethyl ether 166.
It was dissolved in 7 g, and (a- 2 ) 713.4 g (0.
(8 equivalent) was added dropwise at 40 ° C., and the mixture was further reacted at the same temperature for 1 hour, and it was confirmed by infrared absorption spectrum analysis that the isocyanate group had disappeared, and (a-1) was added to (a-2).
To obtain a photosensitive resin (A-1).

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0066[Name of item to be corrected] 0066

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0066】[0066]

【合成例8】着色塗料(C−1,C−2,C−3)の調製 半エステル化物(A−3)溶液および顔料を撹拌下に混
合し、実験室用三本ロールミル(小平製作所製)にて、
顔料粒径が0.3μm以下となるまで分散した。粒径の
測定は、コールターカウンターN4(コールターカウン
ター社製)を用いた。次いで得られた分散混合物に、中
和剤であるトリエチルアミンを加えて充分に撹拌し再度
均一化した後、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速
ミキサーで激しくかき混ぜながら水分散させて固形分濃
度10重量%の着色塗料(C−1,C−2,C−3)を
調製した。得られた3色の着色塗料(アニオン電着型)
水溶液の組成を表1に示す(表1中の数値はいずれも重
量部である)。
[Synthesis Example 8] Preparation of colored coating materials (C-1, C-2, C-3) The half-esterified product (A-3) solution and the pigment were mixed under stirring, and a laboratory three-roll mill (manufactured by Kodaira Seisakusho) ),
The pigment was dispersed until the particle diameter became 0.3 μm or less. The particle size was measured using Coulter Counter N4 (manufactured by Coulter Counter). Next, triethylamine, which is a neutralizing agent, was added to the obtained dispersion mixture, and the mixture was thoroughly stirred and homogenized again. Then, deionized water was slowly added to the dispersion mixture while stirring vigorously with a high-speed mixer to disperse the water to a solid content concentration of 10% by weight. % Of colored paints (C-1, C-2, C-3) were prepared. Obtained three-colored paint ( anion electrodeposition type)
The composition of the aqueous solution is shown in Table 1 (all numerical values in Table 1 are parts by weight).

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0068[Correction target item name] 0068

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0068】[0068]

【合成例9】着色塗料(C−4,C−5,C−6)の調製 ポリアミン(A−2)溶液および顔料を撹拌下に混合
し、実験室用三本ロールミル(小平製作所製)にて、顔
料粒径が0.3μm以下となるまで分散した。粒径の測
定はコールターカウンターN4(コールターカウンター
社製)を用いた。得られた分散混合物に、中和剤である
酢酸を加えて充分に撹拌し、再度均一化した後、脱イオ
ン水をゆっくりと加えながら高速ミキサーで激しくかき
混ぜながら水分散させて、固形分濃度10重量%の着色
塗料(C−4,C−5,C−6)を調製した。得られた
3色の着色塗料(カチオン電着型)水溶液の組成を表2
に示す(表2中の数値はいずれも重量部である)。
[Synthesis Example 9] Preparation of colored paint (C-4, C-5, C-6) The polyamine (A-2) solution and the pigment were mixed under stirring, and the mixture was placed in a laboratory three-roll mill (manufactured by Kodaira Seisakusho). And dispersed until the pigment particle size was 0.3 μm or less. The particle size was measured using Coulter Counter N4 (manufactured by Coulter Counter). Acetic acid, which is a neutralizing agent, was added to the obtained dispersion mixture, and the mixture was thoroughly stirred and homogenized again. Then, deionized water was slowly added to the dispersion mixture while vigorously stirring with a high-speed mixer to disperse the water to a solid content concentration of 10 Weight percent colored paints (C-4, C-5, C-6) were prepared. Table 2 shows the composition of the resulting aqueous solution of the three-color coloring paint ( cationic electrodeposition type).
(The values in Table 2 are all parts by weight).

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0071[Correction target item name] 0071

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0071】次に濃度0.05重量%の乳酸水溶液で現
像したところ、ネガマスクの光透過率の最も低い部分の
黒色感光性塗料が選択的に除去され、ITO膜が露出さ
れた。水洗、乾燥後、ガラス基板を陽極とし、着色塗料
(C−1)入れたステンレススチール製ビーカーを陰
極として、直流電圧25V、25℃の条件で3分間電着
した。ガラス基板をイオン交換水で洗浄した後、80℃
で5分間乾燥し、常温で粘着性を示さない膜厚2μmの
赤色の着色層を形成した。次いで0.5重量%の乳酸水
溶液で現像したところ、赤色の着色層および遮光層に相
当する部分には何の変化は認められず、ネガマスクの光
透過率が2番目に低い部分の黒色感光性塗料が選択的に
除去された。
Next, when the film was developed with an aqueous solution of lactic acid having a concentration of 0.05% by weight, the black photosensitive paint in the portion of the negative mask having the lowest light transmittance was selectively removed, and the ITO film was exposed. After washing with water and drying, the glass substrate as an anode and a stainless steel beaker containing a colored coating (C-1) as a cathode, and 3 minutes electrodeposition under conditions of DC voltage 25V, 25 ° C.. After washing the glass substrate with deionized water, 80 ℃
And dried for 5 minutes to form a red colored layer having a film thickness of 2 μm and showing no tackiness at room temperature. When developed with a 0.5 wt% aqueous lactic acid solution, no change was observed in the portions corresponding to the red colored layer and the light-shielding layer, and the black photosensitivity of the portion of the negative mask having the second lowest light transmittance was observed. The paint was selectively removed.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 湯浅 仁士 神奈川県横浜市中区千鳥町8番地 日本石 油株式会社中央技術研究所内 (72)発明者 大月 裕 神奈川県横浜市中区千鳥町8番地 日本石 油株式会社中央技術研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hitoshi Yuasa 8 Chidori-cho, Naka-ku, Yokohama-shi Kanagawa Japan Central Oil Research Institute (72) Inventor Yu Otsuki 8 Chidori-cho, Naka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Address: Central Research Institute of Nippon Oil Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 (A)表面に透明な導電層を有する透明
基板上に感光性塗膜を形成し、少なくとも光透過率が3
段階に異なるパターンを有するネガマスクを介して露光
する工程と、 (B)該パターン部分の感光性塗膜を現像除去し露出し
た導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層を形成する操
作を、ネガマスクの光透過率の小さい順に対応するパタ
ーン部分について順次繰り返すことにより着色層を形成
する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルターの
製造法。
Claims: (A) A photosensitive coating film is formed on a transparent substrate having a transparent conductive layer on the surface thereof, and a light transmittance of at least 3 is obtained.
A step of exposing through a negative mask having a different pattern at different stages, and (B) an operation of developing and removing the photosensitive coating film on the pattern portion and electrodepositing a colored coating material on the exposed conductive layer to form a colored layer. And a step of forming a colored layer by sequentially repeating the pattern portions corresponding to the light transmittance of the negative mask in the ascending order of light transmittance.
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