JPH0511269A - 光変調素子及び表示装置 - Google Patents

光変調素子及び表示装置

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JPH0511269A
JPH0511269A JP3183798A JP18379891A JPH0511269A JP H0511269 A JPH0511269 A JP H0511269A JP 3183798 A JP3183798 A JP 3183798A JP 18379891 A JP18379891 A JP 18379891A JP H0511269 A JPH0511269 A JP H0511269A
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JP3183798A
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Toshio Konno
俊男 昆野
Shintaro Nakagaki
新太郎 中垣
Ichiro Negishi
一郎 根岸
Tetsuji Suzuki
鉄二 鈴木
Fujiko Tatsumi
扶二子 辰巳
Riyuusaku Takahashi
竜作 高橋
Keiichi Maeno
敬一 前野
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Victor Company of Japan Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高出力の入射光により加熱された状態の光変
調素子を、冷却機構により冷却させて、高解像度の画像
の表示を可能ならしめた光変調素子を得る。 【構成】 2枚の相対配置された基板BP1 ,BP2 間
に少なくとも透明電極Et1 ,Et2 、光導電層部材P
CL、光変調材層部材PMLを積層した光変調素子の少
なくとも前記1枚の基板に冷媒を通過させる流路を設
け、この流路内を冷媒を通過させることにより、高出力
の入射光により加熱された素子を冷却し、もって高解像
度の画像の表示を可能にした光変調素子。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光コンピュータ、撮像
装置等に好適な光変調素子及びこの光変調素子を用いた
表示装置に係るものであり、特に光変調素子の改良に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】光コンピュータ若しくは大画面ディスプ
レイのキーデバイスとして、図7に示すような光変調素
子SLMが開発されている。この光変調素子SLMは例
えば、透明基板BP1 と透明電極Et1 と光導電層部材
PCLと誘電体ミラーDMLと光変調材層部材PMLと
透明電極Et2 と透明基板BP2 とを積層して構成され
ている。透明電極Et1 ,Et2 は、透明導電物質の薄
膜で構成されており、また、光導電層部材PCLは使用
される光の波長域において光導電性を示す物質を用いて
構成され、さらに、誘電体ミラーDMLは所定の波長帯
の光を反射させるように多層膜として構成された周知形
態のものが使用され、さらにまた光変調材層部材PML
は、印加されている電界強度に応じて光の状態(光の偏
光状態、光の旋光状態、光の散乱状態)を変化させる光
変調材(例えばネマティック液晶、ニオブ酸リチウム、
BSO、PLZT、高分子ー液晶複合膜等)を用いて構
成されている。Eは、透明電極Et1 ,Et2 間に所定
の電圧を印加するための電源でありこの電源Eは図中で
は交流電源として示されているが、光変調部中の光変調
材層部材PMLの構成物質に応じて直流電源となされた
り交流電源となされたりするものである。WLは、光変
調素子SLMの透明基板BP1 側から入射されて光導電
層部材PCLに集光される書込み光であって、この書込
み光WLは表示の対象にされている情報によって発光量
変調されているものである。
【0003】さて、透明電極Et1 ,Et2 間に電源E
から所定の電圧が供給されている光変調素子SLMの透
明電極Et1 側から、表示の対象にされている情報によ
って発光量変調されている例えば、N本の書込み光WL
が入射されて、透明基板BP1 と透明電極Et1 とを通
して光導電層部材PCLに集光されると、前記したN本
の書込み光WLが集光された部分の光導電層部材PCL
の電気抵抗値が、照射された光量に応じて変化して光導
電層部材PCLと誘電体ミラーDMLとの境界に、表示
の対象にされている情報によって発光量変調されている
と共に、例えば一直線的に配列されいるN本の書込み光
WLのそれぞれ照射光量に対応している状態のN個の電
荷像が形成されるが、前記したN個の電荷像は、時系列
信号における順次の画素信号と対応している電荷量の電
荷が配列している状態のものである。それで、光変調素
子SLMにおける光変調材層部材PMLには、光導電層
部材PCLと誘電体ミラーDMLとの境界に形成された
N個の電荷像による電界が印加されることになる。
【0004】この様な状態において、光変調素子SLM
における透明基板BP2 側から読出し光RLを入射させ
ると、その読出し光RLは透明基板BP2 →透明電極E
t2→光変調材層部材PML→誘電体ミラーDMLの経
路により誘電体ミラーDMLに達してそこで反射し、読
出し光の反射光は誘電体ミラーDML→光変調材層部材
PML→透明電極Et2 →透明基板BP2 →の経路で光
変調素子SLMから出射する。この様にして光変調素子
SLMから出射した例えばN本の光束は、時系列信号に
おける順次の画素信号と対応している電荷量の電荷が配
列しいる状態のN個の電荷像による電界が印加されてい
る光変調材層部材PMLを往復した光束であるから、そ
のN本の光束は時系列信号における順次の画素信号と対
応して光の状態が変化しているものになっている。
【0005】光変調素子SLMにおける光変調材層部材
PMLの構成材料が、(1)それに印加された電界強度に
応じてその中を通過する光の散乱状態を変化させるよう
なものであった場合には、前記のようにして光変調素子
SLMから出射されたN本の読出し光の反射光束は、時
系列信号におけるN個の順次の画素情報と対応して光の
強度が変化している状態のものになっており、また、光
変調素子SLMにおける光変調材層部材PMLの構成材
料が、(2)それに印加された電界強度に応じてその中を
通過する光の偏光の状態を変化させるようなものであっ
た場合には、前記のようにして光変調素子SLMから出
射されたN個の読出し光の反射光束は、時系列信号にお
けるN個の順次の画素情報と対応して偏光の状態が変化
している状態のものになっている。前記した(2)の場合
には、光変調素子SLMから出射した光束を検光子(例
えばビームスプリッタ)に通過させることにより、光変
調素子SLMから出射されたN本の読出し光の反射光束
を、時系列信号におけるN個の順次の画素情報と対応し
て光の強度が変化している状態のものにすることができ
る。
【0006】この様に、光変調素子SLMは、所定の電
圧が透明電極Et1 ,Et2 間に加えられている状態
で、光導電層部材PCLに光学像が書込まれると、像の
光強度に応じて光導電層部材PCLのインピーダンスが
変化し光変調材層部材PMLに与えられた読出し光が変
調されるというものである。
【0007】
【発明が解決すべき課題】この光変調素子SLMは、小
さな書込み光で大きな読出し光を変調できるため高輝度
の大画面ディスプレイ用デバイスとして注目されている
が、その場合、小さな面積に高出力の光が入射するた
め、構成部材の光吸収によって温度が上昇し動作点が移
動したり光変調材層部材PMLに液晶を用いた場合には
相転移を起こして動作不能となる問題点があった。そこ
で、かかる問題点を解決するために、光変調素子SLM
の例えば光導電層部材PCLの前面(書込み光の入射
側)に設けられた透明基板BP1 の厚みを増やし、そこ
に冷却機構を設けることによりこの光変調素子SLMを
冷却する方法が考えられるが、かかる方法では光導電層
部材PCLの前面の厚みが増えることにより素子全体の
厚みが増加する結果になるので、解像度の劣化につなが
る欠点があった。同様の欠点は、光変調材層部材PML
側において、その読出し光の入射側の透明基板BP2 の
厚みを増やし、そこに冷却機構を設ける方法を採った場
合においても発生していた。図8は、光変調素子におけ
る投射対象像の前面に、空気と屈折率の異なる部材が配
置された場合の空間周波数と解像度の変化を示す特性曲
線図であり、この特性曲線図より明らかな如く、投射対
象像の前面に何等かの介在物が存在した場合は、その厚
みが増すほど解像度が劣化することがわかる。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる点に鑑
みなされたものであり、第1の発明として、2枚の相対
配置された基板間に、少なくとも透明電極、光変調材層
部材を積層してなる光変調素子において、少なくとも前
記1枚の基板に冷媒を通過させる流路が設けられている
光変調素子を、また第2の発明として、2枚の相対配置
された基板間に少なくとも透明電極、光導電層部材、光
変調材層部材を積層してなる光変調素子において、少な
くとも前記1枚の基板に冷媒を通過させる流路が設けら
れている光変調素子を、更に第3の発明として、2枚の
相対配置された基板間に、少なくとも透明電極、光導電
層部材、光変調材層部材を積層してなる光変調素子の少
なくとも前記1枚の基板に、冷媒を通過させる流路が設
けられた光変調素子と、この光変調素子に所望の表示情
報を書き込む書込み手段と、前記光変調素子に書き込ま
れた表示情報を読み出す読出し手段と、前記光変調素子
に設けられた流路に冷媒を流す手段とを備えた表示装置
をそれぞれ提供するものである。
【0009】
【実施例】以下、本発明に係る光変調素子及び表示装置
の好適な一実施例を図1〜図6を用いて説明する。な
お、図中前記した部分と同一の構成部分は同一の符号を
付しその詳細な説明は省略する。図1,図2は、それぞ
れ本発明になる光変調素子SLM1 ,SLM2 の一実施
例の斜視図であり、1aは、例えば読出し光RLが入射
する側である透明基板BP2 側で、この透明基板BP2
内を貫通する如く設けられた流路で、この流路1a内を
例えば、冷媒である液体(例えば水)を後記する冷却機
構10によって還流させることにより強制的に光変調素
子SLM1 を冷却させ、光吸収による温度上昇を抑えて
前記した問題点を解決したものである。また1bは、書
込み光WLが入射される側である透明基板BP1 側で、
この透明基板BP1 内を貫通する如く設けられた流路
で、前記したと同様、この流路1b内を冷媒である例え
ば水が還流されるものである。この様に、本発明になる
光変調素子SLM1 ,SLM2 によれば、例えば書込み
光が入射する側の透明基板BP1 の厚みを増すことなく
そこに流路を設けたものであるから、素子全体の厚みが
増すようなことは全くなく、従って、光学系が劣化する
ようなことはなく高解像度の画像の表示が可能となる。
【0010】なお、流路1a,1bの形成方法として
は、貫通孔として形成しても良いし、複数の基板を貼り
合わせて形成するようにしても勿論良いものである。図
2にそれぞれ設けられている流路1a,1bは、それぞ
れ貼り合わせて形成したものが示されているものであ
る。また、一般に発熱量Qと温度上昇ΔTの関係は次の
式で表されている。即ち、Q=αSΔT ここで、αは
熱伝達率、Sは放熱面積である。熱伝達率αは、強制液
冷による場合は、自然対流時に比し10〜100 倍も大きく
なることが知られているので、強制液冷にした場合は、
同じ入射光量に対して温度上昇を1 /100 〜1 /10に抑
えることができる。
【0011】図3,図4は、それぞれ本発明になる光変
調素子SLM3 ,SLM4 の一実施例の斜視図であり、
この両図において図1,図2と同一部分は同一符号を付
し、その詳細な説明は省略する。この図3,図4は、図
1,図2において設けられていた光導電層部材PCLを
省略したものである。即ち、ガラス基板BP1 ,BP2
間に透明電極Et1 ,Et2 およびこの透明電極Et1
,Et2 間に光変調材層部材PMLを配置して光変調
素子SLM3 ,SLM4 を構成したものである。この図
3,図4の光変調素子SLM3 ,SLM4 は、例えば、
マトリクス駆動の液晶パネルとして使用されるものであ
る。なお、駆動形式としては、1画素毎にTFT(薄膜
トランジスタ)を取り付けたアクティブマトリクス形式
等様々なものが考えられる。
【0012】図5は、本発明になる光変調素子SLM1
〜SLM4 を冷却する冷却機構10の一実施例の概略図
であり、図中2a,2bは、光変調素子SLM1 の例え
ば、上,下側に設けた、例えばプラスティックス材料で
形成された連結部材、3,8は、それぞれ上記連結部材
2a,2bに連結されたビニール又はゴム製のチュー
ブ、4は、光変調素子SLM1 の一部に設けられた流路
1a,1b内を冷媒が還流するよう構成したポンプであ
り、これは、例えばベローズポンプ,ダイヤフラムポン
プが使用される。6は、その内部に冷媒7である例えば
プロピレングリコール,エチレングリコール,水等が収
納された容器である。なお、5は、ポンプ4と冷媒7が
収納された容器6とを連結するためのビニール又はゴム
製のチューブである。また9は、光変調素子SLM1 か
らの熱により温度上昇した冷媒7を冷却する冷却器であ
り、この冷却器9は、例えば、図示しないラジエタ−,
ファン等で構成されているものである。
【0013】次に、この冷却機構10の動作について説
明する。ポンプ4が作動することにより容器6内に収納
されている冷媒7が、例えば、ビニール製のチューブ
5,3内を通って連結部材2aに至り、この連結部材2
aより流路1a内に入りこみ、そこを通って連結部材2
bに至り、さらに冷却器9、チューブ8を通って容器6
内に戻ってくるものである。これにより、高出力の光が
入射されて加熱されている状態の光変調素子SLM1 が
冷却されるものである。
【0014】図6は、本発明になる光変調素子SLM1
(SLM2 〜SLM4 )を用いた表示装置20の一実施
例の斜視図である。なお、同図中、前記説明した部分と
同一部分については同一符号を付し、その具体的説明は
省略する。11は、書込み光源であるLEDアレイであ
り、N個(ただし、Nは2以上の自然数)の画素数と対
応するN個(ただし、Nは2以上の自然数)の発光素子
が直線的に配列しているものである。なお、このLED
アレイは、例えば、基板に多数の発光素子(発光ダイオ
ード,半導体レーザ等)を直線的に配列した構成のもの
あるいは、発光素子列上にマイクロレンズアレイを構成
させたものを使用することができる。このLEDアレイ
11に直線的に配列されているN個の発光素子から放射
される書込み光は、その書込み光が与えられるべき、そ
の一部に冷却機構を有する光変調素子SLM1 における
光導電層部材PCLの分光感度特性曲線におけるピーク
値近くの波長から大きくずれない波長の光となされてお
り、前記の書込み光は表示の対象にされている画像にお
ける1本の直線上のN個の画素の情報に従った発光量で
予め定められた期間にわたり同時に発光できるようにな
されている。なお、この図6の説明において、ここに使
用される光変調素子SLM1 は、前記図1で説明したと
同様なものが用いられているので、その具体的説明は省
略する。N個の画素情報によって発光量が変調されてい
る状態でLEDアレイにおけるN個の発光素子から出射
されたN本の光束は、書込みレンズLを介して例えば揺
動鏡あるいは回転鏡車のような光走査装置12に入射す
る。光走査装置12としての揺動鏡は図中の矢印方向に
所定の周期で揺動されているから、揺動鏡に入射した前
記の光束は光変調素子SLM1 の上から下に一定の移動
速度で移動するという動作状態での動作を繰返して光変
調素子SLM1 上に投影され、その光は書込み光として
光変調素子SLM1 の光導電層部材PCLに結像され
て、前記の光変調素子SLM1 には表示の対象にされて
いる画像情報が書込まれるのである。
【0015】なお図6に示されている表示装置におい
て、図1で示す如く透明電極Et1 ,Et2 間に電源E
から所定の電圧が供給されている光変調素子SLM1 に
おける透明基板BP1 側から、前記した光走査装置12
としての揺動鏡で反射した画像情報によって発光量変調
されているN本の書込み光束が入射して、それが光変調
素子SLM1 における光導電層部材PCLに集光される
が、前記の書込み光束としては、光変調素子SLM1 に
おける光導電層部材PCLの分光感度特性曲線における
ピーク値近くの波長から大きくずれていない波長の光が
用いられるために前記したN本の書込み光束が集光され
た部分の光導電層部材PCLの電気抵抗値は、それぞれ
照射された光量に応じて高感度に変化して、光導電層部
材PCLと誘電体ミラーDMLとの境界には前記した表
示の対象にされている画像情報で発光量変調されている
N本の書込み光による照射光量と対応している電荷像、
例えば、時系列信号によるN個の順次の画素情報と対応
している電荷量の電荷が配列されている状態の電荷像が
良好に形成され、それにより光変調素子SLM1 の光変
調材層部材PMLには、光導電層部材PCLと誘電体ミ
ラーDMLとの境界に形成されたN個の電荷像による電
界が印加されることになる。
【0016】図6中のLSは読出し用の光源であり、こ
の読出し用の光源LSからは前記した光変調素子SLM
1 の光導電層部材PCLが実質的な感度を有している波
長域の光を含んでいない状態の可視域の読出し光RLが
放射されるようにする。13は、偏光ビームスプリッタ
であり、前記した読出し用の光源LSから放射された読
出し光RLがこの偏光ビームスプリッタ13に入射する
と、前記した読出し光RLにおけるS偏光光成分が偏光
ビームスプリッタ13で光変調素子SLM1 の読出し側
に反射されて、光変調素子SLM1 の読出し側の透明基
板BP2 から入射する。前記のように、光変調素子SL
M1 の透明基板BP2 側から入射した読出し光RLは、
透明基板BP2 →透明電極Et2 →光変調材層部材PM
L→誘電体ミラーDMLの経路により誘電体ミラーDM
Lに達して、そこで反射した読出し光の反射光は、誘電
体ミラーDML→光変調材層部材PML→透明電極Et
2→透明基板BP2 →の経路で光変調素子SLM1 から
出射する。
【0017】この様にして、光変調素子SLM1 から同
時に出射したN本の読出し光の光束は、N個の順次の画
素情報と対応している電荷量の電荷が配列されている状
態の電荷像による電界が印加されている光変調材層部材
PMLを往復した光束であるから、その光束は直線的に
配列されているN個の順次の画素状報と対応して偏光面
の状態が変化しているものになっている。そして、前記
の光変調素子SLM1から同時に出射したN本の読出し
光は偏光ビームスプリッタ13に入射して、前記の入射
光のうちP偏光光に変化した成分が偏光ビームスプリッ
タ13から投影レンズ14に同時に与えられ、投影レン
ズ14は、それをスクリーン15に直線的に配列されて
いるN個の光点として同時に映出させるものである。本
発明になる表示装置によれば、光変調素子SLM1 とし
て、冷却器9を有する冷却機構10を用いているため、
光変調素子SLM1 に高出力の光が入射したとしても、
素子内で光吸収によって温度が上昇するようなことはな
く、従ってスクリーン15上には高解像度の画像が表示
されるものである。本発明の実施例の説明においては、
光変調素子SLM1 〜SLM4として反射型の光変調素
子を使用して構成した表示装置について記述したが、必
ずしもこれに限定されず透過型の光変調素子を用いて構
成してもよいものである。
【0018】
【発明の効果】本発明は以上詳述した如く、第1の発明
として、2枚の相対配置された基板間に、少なくとも透
明電極、光変調材層部材を積層してなる光変調素子にお
いて、少なくとも前記1枚の基板に冷媒を通過させる流
路が設けられている光変調素子を、また第2の発明とし
て、2枚の相対配置された基板間に、少なくとも透明電
極、光導電層部材、光変調材層部材を積層してなる光変
調素子において、少なくとも前記1枚の基板に冷媒を通
過させる流路が設けられている光変調素子を提供するも
のであり、かく第1,第2の発明を構成したことにより
光学系が劣化するようなことはなく、高解像度の画像の
表示が可能となるものである。更に、第3の発明とし
て、2枚の相対配置された基板間に、少なくとも透明電
極、光導電層部材、光変調材層部材を積層してなる光変
調素子の少なくとも前記1枚の基板に、冷媒を通過させ
る流路が設けられた光変調素子と、この光変調素子に所
望の表示情報を書き込む書込み手段と、前記光変調素子
に書き込まれた表示情報を読み出す読出し手段と、前記
光変調素子に設けられた流路に冷媒を流す手段とを備え
た表示装置を提供するものであり、かく構成したことに
より光変調素子SLM1 〜SLM4 に高出力の光が入射
したとしても、素子内で光吸収によって温度が上昇する
ようなことがないので、スクリーン上には高解像度の画
像の表示が可能となるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明になる光変調素子の一実施例の斜視図で
ある。
【図2】本発明になる光変調素子の一実施例の斜視図で
ある。
【図3】本発明になる光変調素子の一実施例の斜視図で
ある。
【図4】本発明になる光変調素子の一実施例の斜視図で
ある。
【図5】本発明になる光変調素子を冷却する冷却機構の
一実施例の概略図である。
【図6】本発明になる光変調素子を用いた表示装置の一
実施例の斜視図である。
【図7】光変調素子の側面図である。
【図8】空間周波数と解像度の特性を示す特性曲線図で
ある。
【符号の説明】
BP1 ,BP2 透明基板 Et1 ,Et2 透明電極 PCL 光導電層部材 PML 光変調材層部材 SLM 光変調素子 1a,1b 流路 10 冷却機構 11 書込み光源 12 光走査装置 13 ビームスプリッタ LS 読出し用光源
フロントページの続き (72)発明者 鈴木 鉄二 神奈川県横浜市神奈川区守屋町3丁目12番 地 日本ビクター株式会社内 (72)発明者 辰巳 扶二子 神奈川県横浜市神奈川区守屋町3丁目12番 地 日本ビクター株式会社内 (72)発明者 高橋 竜作 神奈川県横浜市神奈川区守屋町3丁目12番 地 日本ビクター株式会社内 (72)発明者 前野 敬一 神奈川県横浜市神奈川区守屋町3丁目12番 地 日本ビクター株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】2枚の相対配置された基板間に、少なくと
    も透明電極、光変調材層部材を積層してなる光変調素子
    において、少なくとも前記1枚の基板に冷媒を通過させ
    る流路が設けられていることを特徴とする光変調素子。
  2. 【請求項2】2枚の相対配置された基板間に、少なくと
    も透明電極、光導電層部材、光変調材層部材を積層して
    なる光変調素子において、少なくとも前記1枚の基板に
    冷媒を通過させる流路が設けられていることを特徴とす
    る光変調素子。
  3. 【請求項3】2枚の相対配置された基板間に、少なくと
    も透明電極、光導電層部材、光変調材層部材を積層して
    なる光変調素子の少なくとも前記1枚の基板に、冷媒を
    通過させる流路が設けられた光変調素子と、この光変調
    素子に所望の表示情報を書き込む書込み手段と、前記光
    変調素子に書き込まれた表示情報を読み出す読出し手段
    と、前記光変調素子に設けられた流路に冷媒を流す手段
    とを備えたことを特徴とする表示装置。
JP3183798A 1991-06-28 1991-06-28 光変調素子及び表示装置 Pending JPH0511269A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111433664A (zh) * 2017-12-05 2020-07-17 浜松光子学株式会社 反射型空间光调制器、光观察装置及光照射装置

Cited By (2)

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CN111433664A (zh) * 2017-12-05 2020-07-17 浜松光子学株式会社 反射型空间光调制器、光观察装置及光照射装置
CN111433664B (zh) * 2017-12-05 2023-10-24 浜松光子学株式会社 反射型空间光调制器、光观察装置及光照射装置

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