JPH0511309U - Ｆｉｂ装置の電源系制御方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 イオン源の無駄な使用を最小限に食い止め
る。 【構成】 製品の加工終了後、ＷＰＧ部５のＯＦＦスイ
ッチ６を押すと、電源ＯＦＦタイマー８が作動し、電源
ＯＦＦタイマー８の時間設定ダイヤル９でセットされて
いる一定の時間内に、アクセレレーター１の電源スイッ
チ２をＯＦＦにするか、ＷＰＧ部５のＯＮスイッチ７を
押さなければ、一定時間後にアクセレレーター１の電源
スイッチ２が切れるのと同時に、エクストラクター３，
イオンビームモニター４の電源も切れる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ＦＩＢ（Ｆｏｃｕｓｅｄ Ｉｏｎ Ｂｅａｍ Ｓｙｓｔｅｍ）装置 におけるイオン源コントローラ部の電源系制御方式に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種のＦＩＢ装置において、使用しているイオン源（Ｇａ液体金属イ オン源）は、メーカーの保証時間が２００時間である。このＦＩＢ装置は、使用 していない時間にも拘らず、電源が入り放しになると、イオンが放出されている 構造となっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

したがって、従来のＦＩＢ装置では、たとえば、平日に電源の立ち下げを行う のを忘れて帰ってしまうと、翌朝（約１０〜１５時間）まで、また週末（金曜日 ）に立ち下げずに帰ってしまうと、月曜日の朝（約６０時間）まで電源が入り放 しになり、イオンが出放しとなり、イオン源を無駄に使用するという大きな問題 点が生じている。

【０００４】 本考案の目的は前記課題を解決したＦＩＢ装置の電源制御方式を提供すること にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記目的を達成するため、本考案に係るＦＩＢ装置の電源系制御方式において は、イオン源コントローラ部と、二次電子検出器制御部と、電源ＯＦＦタイマー とを有するＦＩＢ装置（Ｆｏｃｕｓｅｄ Ｉｏｎ Ｂｅａｍ Ｓｙｓｔｅｍ）で あって、 イオン源コントローラ部は、アクセレレーターと、エクストラクターと、イオ ンビームモニターとを含んでおり、 アクセレレーター及びエクストラクター並びにイオンビームモニターは、アク セレレーターの電源スイッチにより連動してＯＮ，ＯＦＦされるものであり、 二次電子検出器制御部は、ＦＩＢ装置の光学系本体中で発生する二次電子を検 出制御するものであり、 電源ＯＦＦタイマーは、前記アクセレレーターの電源スイッチをＯＦＦにする か、または、前記二次電子検出器制御部のＯＮスイッチを押すとリセットが掛か り、前記二次電子検出器制御部のスイッチをＯＦＦにすると作動して、一定時間 後に前記イオン源コントローラ部の電源スイッチをＯＦＦにするものである。

【０００６】

【作用】

本考案では、製品の加工終了後、ＷＰＧ部５のＯＦＦスイッチ６を押すと、電 源ＯＦＦタイマー８が作動し、電源ＯＦＦタイマー８の時間設定ダイヤル９でセ ットされている一定の時間内に、アクセレレーター１の電源スイッチ２をＯＦＦ にするか、ＷＰＧ部５のＯＮスイッチ７を押さなければ、一定時間後にアクセレ レーター１の電源スイッチ２が切れるのと同時に、エクストラクター３，イオン ビームモニター４の電源も切れるようにしたものである。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図により説明する。図１は、本考案の一実施例を示 すブロック図、図２は、ＦＩＢ装置におけるイオン源コントローラ部及びＷＰＧ 部のパネルを示す図、図３はＦＩＢ装置を示す図である。

【０００８】 図に示すように、ＦＩＢ装置は、光学系本体１０と、イオン源コントローラ部 １１と、二次電子検出器制御部（以下、ＷＰＧ部という）１５とを有している。

【０００９】 光学系本体１０は、イオンをサンプルに照射して加工するものである。

【００１０】 イオン源コントローラ部１１は、光学系本体１０中のイオン源を制御するもの である。

【００１１】 ＷＰＧ部５は、光学系本体１０中で発生する二次電子を検出，制御するもので ある。

【００１２】 またイオン源コントローラ部１１と、ＷＰＧ部５との接続関係を図１に示す。

【００１３】 イオン源コントローラ部１１は、アクセレレーター１と、エクストラクター３ と、イオンビームモニター４とを有している。

【００１５】 アクセレレーター１は、イオンを電圧を印加して加速するものであり、エクス トラクター３は、電圧を印加してイオンを引き出すものであり、イオンビームモ ニター４はイオン量をコントロールするためにモニターするものである。２は、 アクセレレーター１の電源スイッチである。

【００１６】 アクセレレーター１，エクストラクター３，イオンビームモニター４は連動式 であり、アクセレレーター１の電源スイッチ２をＯＮ又は、ＯＦＦにすれば、エ クストラクター３，イオンビームモニター４の電源もＯＮ又は、ＯＦＦする。

【００１７】 ここに、本実施例では、電源ＯＦＦタイマー８を有している。電源ＯＦＦタイ マー８は、アクセレレーター１の電源スイッチ２をＯＦＦにするか、又はＷＰＧ 部５のスイッチ７をＯＮにするとリセットが掛かり、ＷＰＧ部５のスイッチ６を ＯＦＦにすると作動して、一定時間後にイオン源コントローラ部１１の電源スイ ッチ２をＯＦＦにする働きをするものである。また、タイマー８は、時間設定ダ イヤル９を有している。

【００１８】 図２は、図３のイオン源コントローラ部１１及びＷＰＧ部５，タイマー８等を 表示するパネルである。

【００１９】 したがって、ＦＩＢ装置を使用して、１サンプルの加工が終わり、ＷＰＧ部５ のＯＦＦスイッチ６を押すと、電源ＯＦＦタイマー８のタイマーが作動しはじめ て、電源ＯＦＦタイマー８の時間設定ダイヤル９でセットしている一定時間内に アクセレレーター１の電源スイッチ２をＯＦＦにするか、又はＷＰＧ部５のＯＮ スイッチ７を押さなければ、一定時間後、自動的にアクセレレーター１の電源ス イッチ２のスイッチが切れる。

【００２０】 これにより、エクストラクター３，イオンビームモニター４の電源も切れる。 また、アクセレレーター１の電源スイッチ２をＯＦＦにするか、ＷＰＧ部５のＯ Ｎスイッチ７のスイッチを押すと、電源ＯＦＦタイマー８のタイマーはリセット がかかる。

【００２１】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、アクセレレーター，イオンビームモニター，エ クストラクターの電源を制御できるタイマーにより、イオン源の無駄な使用を最 小限に食い止め使用可能日数を延ばす効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示すブロック図である。

【図２】図３のイオン源コントローラ部及びＷＰＧ部の
パネルを示す図である。

【図３】ＦＩＢ装置の外観図である。

【符号の説明】

１ アクセレレーター ２ アクセレレーターの電源スイッチ ３ エクストラクター ４ イオンビームモニター ５ ＷＰＧ部 ６ ＷＰＧ部のＯＦＦスイッチ ７ ＷＰＧ部のＯＮスイッチ ８ 電源ＯＦＦタイマー ９ 電源ＯＦＦタイマーの時間設定ダイヤル １０ 光学系本体 １１ イオン源コントローラ部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/265

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 イオン源コントローラ部と、二次電子検
   出器制御部と、電源ＯＦＦタイマーとを有するＦＩＢ装
   置（Ｆｏｃｕｓｅｄ Ｉｏｎ Ｂｅａｍ Ｓｙｓｔｅ
   ｍ）であって、 イオン源コントローラ部は、アクセレレーターと、エク
   ストラクターと、イオンビームモニターとを含んでお
   り、 アクセレレーター及びエクストラクター並びにイオンビ
   ームモニターは、アクセレレーターの電源スイッチによ
   り連動してＯＮ，ＯＦＦされるものであり、 二次電子検出器制御部は、ＦＩＢ装置の光学系本体中で
   発生する二次電子を検出制御するものであり、 電源ＯＦＦタイマーは、前記アクセレレーターの電源ス
   イッチをＯＦＦにするか、または、前記二次電子検出器
   制御部のＯＮスイッチを押すとリセットが掛かり、前記
   二次電子検出器制御部のスイッチをＯＦＦにすると作動
   して、一定時間後に前記イオン源コントローラ部の電源
   スイッチをＯＦＦにするものであることを特徴とするＦ
   ＩＢ装置の電源系制御方式。