JPH05113305A - プローブ針検査装置 - Google Patents
プローブ針検査装置Info
- Publication number
- JPH05113305A JPH05113305A JP27422091A JP27422091A JPH05113305A JP H05113305 A JPH05113305 A JP H05113305A JP 27422091 A JP27422091 A JP 27422091A JP 27422091 A JP27422091 A JP 27422091A JP H05113305 A JPH05113305 A JP H05113305A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe needle
- probe
- current
- electrode
- measuring
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- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】プローブ針の先端位置を測定する検査装置に於
て、安価で測定精度が高く、しかも複数ピンのプローブ
針でも測定時間が短いプローブ針先端位置検査装置を提
供する。 【構成】プローブカード１に平行に位置するように、平
坦で単位体積当りの抵抗が均一で複数のプローブ針を同
時に接触可能な均一抵抗板３を設ける。位置を測定する
際はプローブ針２の先端と均一抵抗板３を接触させ、電
極Ａ４と電極Ｂ５の間、叉は電極Ｃ６と電極Ｄ７との間
に電流を流し、電極Ａ４叉は電極Ｃ６とプローブ針との
間か電極Ｂ５叉は電極Ｄ７との間に発生する電圧を測定
し、抵抗を算出し更に距離に換算することでプローブ針
２の先端位置を検査する。 【効果】電気的に測定できるため、従来の画像処理によ
る方法に比べ安価なシステムにする事が出来る。
て、安価で測定精度が高く、しかも複数ピンのプローブ
針でも測定時間が短いプローブ針先端位置検査装置を提
供する。 【構成】プローブカード１に平行に位置するように、平
坦で単位体積当りの抵抗が均一で複数のプローブ針を同
時に接触可能な均一抵抗板３を設ける。位置を測定する
際はプローブ針２の先端と均一抵抗板３を接触させ、電
極Ａ４と電極Ｂ５の間、叉は電極Ｃ６と電極Ｄ７との間
に電流を流し、電極Ａ４叉は電極Ｃ６とプローブ針との
間か電極Ｂ５叉は電極Ｄ７との間に発生する電圧を測定
し、抵抗を算出し更に距離に換算することでプローブ針
２の先端位置を検査する。 【効果】電気的に測定できるため、従来の画像処理によ
る方法に比べ安価なシステムにする事が出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気的測定対象が微細
である際に使用されるプローブ針の、検査装置に関する
ものである。
である際に使用されるプローブ針の、検査装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来プローブ針の先端の位置測定は、顕
微鏡による目視検査か、画像処理によりにより行なわれ
ていた。
微鏡による目視検査か、画像処理によりにより行なわれ
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかる従来の顕微鏡に
よる目視検査だと、検査精度が低く、作業工数がかかっ
ていた。又、画像処理による方法だと装置コストが高く
なってしまっていた。本発明は、検査精度を高く、作業
工数を少なく、測定時間も短く、しかも安価なプローブ
針検査装置を提供することを目的とする。
よる目視検査だと、検査精度が低く、作業工数がかかっ
ていた。又、画像処理による方法だと装置コストが高く
なってしまっていた。本発明は、検査精度を高く、作業
工数を少なく、測定時間も短く、しかも安価なプローブ
針検査装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のプロー
ブ針を同時に接触可能で、均一な抵抗をもつ抵抗板を有
し、その抵抗板にプローブ針を接触させ、測定対称プロ
ーブ針と抵抗板の任意位置との間の抵抗値を測定し距離
換算する事を特長とする。
ブ針を同時に接触可能で、均一な抵抗をもつ抵抗板を有
し、その抵抗板にプローブ針を接触させ、測定対称プロ
ーブ針と抵抗板の任意位置との間の抵抗値を測定し距離
換算する事を特長とする。
【０００５】
【実施例】図１に本発明の一実施例を示す。図１に示す
ように、プローブ針２が装着されているプローブカード
１に平行に位置するように均一抵抗板３を設ける。
ように、プローブ針２が装着されているプローブカード
１に平行に位置するように均一抵抗板３を設ける。
【０００６】本均一抵抗板３は、単位体積当りの抵抗値
が一定であり、平坦度が優れており、全てのプローブ針
２が同時に接触可能なだけの大きさである。
が一定であり、平坦度が優れており、全てのプローブ針
２が同時に接触可能なだけの大きさである。
【０００７】本実施例に於てプローブ針２先端位置の測
定する際は、図１に示すように先ずプローブカード１を
下方向移動するか、均一抵抗板３を上方向に移動させ、
プローブ針２の先端位置を均一抵抗板３に接触させる。
定する際は、図１に示すように先ずプローブカード１を
下方向移動するか、均一抵抗板３を上方向に移動させ、
プローブ針２の先端位置を均一抵抗板３に接触させる。
【０００８】更に均一抵抗板３に設けられている、電極
Ａ４と電極Ｂ５の間に定電流を印加し、電極Ａ４または
電極Ｂ５と、測定対象プローブ針２との間に発生する電
圧を測定し、抵抗値を算出する。
Ａ４と電極Ｂ５の間に定電流を印加し、電極Ａ４または
電極Ｂ５と、測定対象プローブ針２との間に発生する電
圧を測定し、抵抗値を算出する。
【０００９】その抵抗値と、予め把握してある電極Ａ４
と電極Ｂ５の間の抵抗値との比率で距離Ａ１５を求め
る。
と電極Ｂ５の間の抵抗値との比率で距離Ａ１５を求め
る。
【００１０】この時、抵抗分Ａ１３とプローブ針の接触
抵抗１２を測定誤差としないようにするため、図２、図
３のブロック図に示すような測定回路９にする事によ
り、図３の接触抵抗１２、抵抗分Ａ１３に電流を流さな
いようにし、正確な距離を求められるようにする。
抵抗１２を測定誤差としないようにするため、図２、図
３のブロック図に示すような測定回路９にする事によ
り、図３の接触抵抗１２、抵抗分Ａ１３に電流を流さな
いようにし、正確な距離を求められるようにする。
【００１１】又プローブ針２の測定対象切り替えは、図
２の、リレー８を切り離し、接続する事により実施す
る。
２の、リレー８を切り離し、接続する事により実施す
る。
【００１２】以上の操作を全プローブ針分繰り返すこと
により、全てのプローブ針２の電極Ａ４、電極Ｂ５方向
の物理的距離を測定できる。
により、全てのプローブ針２の電極Ａ４、電極Ｂ５方向
の物理的距離を測定できる。
【００１３】次に、電極Ｃ６と電極Ｄ７の間に定電流を
印加し、電極Ｃ６または電極Ｄ７と、測定対象プローブ
針２との間に発生する電圧を測定し、抵抗値を算出す
る。
印加し、電極Ｃ６または電極Ｄ７と、測定対象プローブ
針２との間に発生する電圧を測定し、抵抗値を算出す
る。
【００１４】その抵抗値と、予め把握してある電極Ｃ６
と電極Ｄ７の間の抵抗値との比率で距離Ｂ１６を求め
る。
と電極Ｄ７の間の抵抗値との比率で距離Ｂ１６を求め
る。
【００１５】又プローブ針２の測定対象切り替えを、図
２の、リレー８により実施しながら上記操作を繰り返す
ことにより、電極Ｃ６、電極Ｄ７方向の距離を全プロー
ブ針分測定できる。
２の、リレー８により実施しながら上記操作を繰り返す
ことにより、電極Ｃ６、電極Ｄ７方向の距離を全プロー
ブ針分測定できる。
【００１６】以上により、プローブ針２の先端の水平方
向の位置が測定できる。
向の位置が測定できる。
【００１７】更に、プローブカード１の下方向の移動
量、叉は均一抵抗板３の上方向の移動量を任意量ずつ移
動させ、その都度全プローブ針を電気的に測定すること
によりプローブ針先端の垂直方向の高さ位置の測定が可
能となる。
量、叉は均一抵抗板３の上方向の移動量を任意量ずつ移
動させ、その都度全プローブ針を電気的に測定すること
によりプローブ針先端の垂直方向の高さ位置の測定が可
能となる。
【００１８】以上は、均一抵抗板３に電流を印加し、電
圧を測定する事で、距離を測定する例であるが、図４に
均一抵抗板３に電圧を印加して、電流を測定する事で、
距離を測定する例を示す。
圧を測定する事で、距離を測定する例であるが、図４に
均一抵抗板３に電圧を印加して、電流を測定する事で、
距離を測定する例を示す。
【００１９】電極Ａ４と電極Ｂ５の間に、定電圧を印加
し、電流Ａ１７を測定する。
し、電流Ａ１７を測定する。
【００２０】又、電極Ａ４とプローブ針２の間に、定電
圧を印加し電流Ｂ１８を測定する。更に、電極Ｂ５とプ
ローブ針２の間に定電圧を印加し電流Ｃ１９を測定す
る。以上操作により測定された電流Ａ１７、電流Ｂ１
８、電流Ｃ１９より抵抗分Ａ１３、抵抗分Ｂ１４と距離
Ａ１５と距離Ｂ１６を算出する。
圧を印加し電流Ｂ１８を測定する。更に、電極Ｂ５とプ
ローブ針２の間に定電圧を印加し電流Ｃ１９を測定す
る。以上操作により測定された電流Ａ１７、電流Ｂ１
８、電流Ｃ１９より抵抗分Ａ１３、抵抗分Ｂ１４と距離
Ａ１５と距離Ｂ１６を算出する。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、プローブ針先端位置測
定が、電気的に測定できるため、従来の画像処理による
方法に比べ安価なシステムにする事が出来る。叉、複数
のプローブ針を測定のための機械的移動動作は、１回で
済むため測定時間の大幅な低減が可能となる。
定が、電気的に測定できるため、従来の画像処理による
方法に比べ安価なシステムにする事が出来る。叉、複数
のプローブ針を測定のための機械的移動動作は、１回で
済むため測定時間の大幅な低減が可能となる。
【図１】（ａ）はプローブ針の先端位置を測定するとき
の、プローブ針と均一抵抗板の位置関係を示した平面
図。 （ｂ）はその側面図。
の、プローブ針と均一抵抗板の位置関係を示した平面
図。 （ｂ）はその側面図。
【図２】電気的に測定する際のブロック図。
【図３】プローブ針１本を測定する際の等価回路図。
【図４】プローブ針１本を測定する際の電圧印加、電流
測定の等価回路図
測定の等価回路図
１ プローブカード ２ プローブ針 ３ 均一抵抗板 ４ 電極Ａ ５ 電極Ｂ ６ 電極Ｃ ７ 電極Ｄ ８ リレー ９ 測定回路 １０ 抵抗板の抵抗Ａ １１ 抵抗板の抵抗Ｂ １２ プローブ針の接触抵抗 １３ 抵抗分Ａ １４ 抵抗分Ｂ １５ 距離Ａ １６ 距離Ｂ １７ 電流Ａ １８ 電流Ｂ １９ 電流Ｃ
Claims (1)
- 【請求項１】 電気的測定対象が微細である際に使用さ
れるプローブ針の、先端位置を検査する装置に於て、複
数の針を一回の接触で測定でき、均一の抵抗を持ち、複
数ピンを同時に接触可能な大きさの抵抗板に、複数のプ
ローブ針を接触させ、その内の測定対象針と抵抗板の適
当な位置に設けた電極に、電圧叉は電流を印加し、発生
する電流叉は電圧を測定することで抵抗値を求め距離変
換する事で位置を測定し、接触動作を繰り返す事なく針
先位置を測定できる事を特徴とする、プローブ針検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27422091A JPH05113305A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | プローブ針検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27422091A JPH05113305A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | プローブ針検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05113305A true JPH05113305A (ja) | 1993-05-07 |
Family
ID=17538702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27422091A Pending JPH05113305A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | プローブ針検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05113305A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103293503A (zh) * | 2013-05-24 | 2013-09-11 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 探针卡的检测方法 |
| JP2023025989A (ja) * | 2021-08-12 | 2023-02-24 | 有限会社ケニックシステム | プローブカードの検査装置 |
-
1991
- 1991-10-22 JP JP27422091A patent/JPH05113305A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103293503A (zh) * | 2013-05-24 | 2013-09-11 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 探针卡的检测方法 |
| JP2023025989A (ja) * | 2021-08-12 | 2023-02-24 | 有限会社ケニックシステム | プローブカードの検査装置 |
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