JPH05114121A - 磁気抵抗効果ヘツド - Google Patents
磁気抵抗効果ヘツドInfo
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- JPH05114121A JPH05114121A JP30258691A JP30258691A JPH05114121A JP H05114121 A JPH05114121 A JP H05114121A JP 30258691 A JP30258691 A JP 30258691A JP 30258691 A JP30258691 A JP 30258691A JP H05114121 A JPH05114121 A JP H05114121A
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高密度磁気記録再生に好適な磁気抵抗効果ヘ
ッドに関する。 【構成】 MR素子7が媒体対向面8に露出した構成の
磁気抵抗効果ヘッドであり、MR素子及びこのMR素子
にセンス電流を供給するための電極材料5,6を0.0
07%の塩水に対して6×105 V/A/cm2 以上の
分極抵抗を有する金属材料で構成する。あるいは、前記
MR素子と前記電極材料とを異種金属接触腐蝕電流密度
が、0.007%の塩水に対し1×10-1μA/cm2
以下より成る金属材料の組合せにより構成するようにし
て、シ−ルド型MRヘッドの腐蝕の防止を図る。
ッドに関する。 【構成】 MR素子7が媒体対向面8に露出した構成の
磁気抵抗効果ヘッドであり、MR素子及びこのMR素子
にセンス電流を供給するための電極材料5,6を0.0
07%の塩水に対して6×105 V/A/cm2 以上の
分極抵抗を有する金属材料で構成する。あるいは、前記
MR素子と前記電極材料とを異種金属接触腐蝕電流密度
が、0.007%の塩水に対し1×10-1μA/cm2
以下より成る金属材料の組合せにより構成するようにし
て、シ−ルド型MRヘッドの腐蝕の防止を図る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク等磁気記録
再生装置に装備される磁気ヘッドに関わり、特に高密度
磁気記録再生に好適な磁気抵抗効果ヘッドに関する。
再生装置に装備される磁気ヘッドに関わり、特に高密度
磁気記録再生に好適な磁気抵抗効果ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク装置の大容量化に伴い、高
密度化に対応したヘッドが望まれている。磁気記録の高
密度化は、線記録密度とトラック密度の向上により達成
される。しかし、従来のインダクティブヘッドではギャ
ップ損失による出力低下(これは線記録密度を制限する
要因となる)、狭トラックによる出力低下とクロスト−
クノイズ(これはトラック密度を制限する要因となる)
の問題から磁気記録の高密度化には限界が予想される。
これらの問題はいずれも再生特性に係わることから、磁
気記録における更なる高密度化を成しえるためには、高
分解能でかつ狭トラックにおいても高出力の得られる再
生専用ヘッドの開発が必要である。そのような再生ヘッ
ドとしては磁気抵抗効果ヘッド(以下MRヘッドとも記
す)が有望である。MRヘッドには磁気抵抗効果素子
(以下MR素子とも記す)の両側に軟磁性材(シ−ルド
とも記す)を配したシ−ルド型MRヘッドや、MR素子
に媒体から漏洩した磁束を導くための軟磁性材からなる
ヨ−クを有するヨ−ク型MRヘッドがある。
密度化に対応したヘッドが望まれている。磁気記録の高
密度化は、線記録密度とトラック密度の向上により達成
される。しかし、従来のインダクティブヘッドではギャ
ップ損失による出力低下(これは線記録密度を制限する
要因となる)、狭トラックによる出力低下とクロスト−
クノイズ(これはトラック密度を制限する要因となる)
の問題から磁気記録の高密度化には限界が予想される。
これらの問題はいずれも再生特性に係わることから、磁
気記録における更なる高密度化を成しえるためには、高
分解能でかつ狭トラックにおいても高出力の得られる再
生専用ヘッドの開発が必要である。そのような再生ヘッ
ドとしては磁気抵抗効果ヘッド(以下MRヘッドとも記
す)が有望である。MRヘッドには磁気抵抗効果素子
(以下MR素子とも記す)の両側に軟磁性材(シ−ルド
とも記す)を配したシ−ルド型MRヘッドや、MR素子
に媒体から漏洩した磁束を導くための軟磁性材からなる
ヨ−クを有するヨ−ク型MRヘッドがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、高密度化の
観点からすれば、ヘッド構造的にはシ−ルド型MRヘッ
ドの方が優れているが、シ−ルド型MRヘッドはMR素
子と該MR素子にセンス電流を供給するための電極材料
の異種金属同士が接触してヘッドの媒体対向面に露出し
ているために、MR素子の腐蝕の問題があった。しか
も、MR素子には常時センス電流が流されており電位が
かかった状態にあり、腐蝕が生じ易い状況に置かれてい
た。しかし、従来のシ−ルド型MRヘッドにおいてはこ
のような腐蝕の問題に対する配慮が何等なされていなか
った。そこで、本発明が解決しようとする課題は、前記
問題を解決し高密度再生に好適な信頼性のあるシ−ルド
型MRヘッドを提供しようとするのである。
観点からすれば、ヘッド構造的にはシ−ルド型MRヘッ
ドの方が優れているが、シ−ルド型MRヘッドはMR素
子と該MR素子にセンス電流を供給するための電極材料
の異種金属同士が接触してヘッドの媒体対向面に露出し
ているために、MR素子の腐蝕の問題があった。しか
も、MR素子には常時センス電流が流されており電位が
かかった状態にあり、腐蝕が生じ易い状況に置かれてい
た。しかし、従来のシ−ルド型MRヘッドにおいてはこ
のような腐蝕の問題に対する配慮が何等なされていなか
った。そこで、本発明が解決しようとする課題は、前記
問題を解決し高密度再生に好適な信頼性のあるシ−ルド
型MRヘッドを提供しようとするのである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題点を
解決するために以下の1)〜5)より成る磁気抵抗効果
ヘッドを提供しようというものである。即ち、 1)磁気抵抗効果素子が媒体対向面に露出した構成の磁
気抵抗効果ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果素子及び
この磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電
極材料として、0.007%の塩水に対して6×105
V/A/cm2 以上の分極抵抗を有する金属材料で構成
したことを特徴とする磁気抵抗効果ヘッド。 2)磁気抵抗効果素子と電極材料との異種金属接触腐蝕
電流密度が、0.007%の塩水に対し1×10-1μA
/cm2 以下と成る前記磁気抵抗効果素子と前記電極材
料との金属組合せで構成したことを特徴とする請求項1
記載の磁気抵抗効果ヘッド。 3)磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFeCoNbま
たはNiFeCoTiの何れか一つで構成し、前記磁気
抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電極材料の
少なくとも媒体対向面に露出した主たる電極材料をCr
で構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に配された前記
電極材料間の電位を0.2V以下で使用することを特徴
とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッド。 4)磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFeCoNbま
たはNiFeCoTiの何れか一つで構成し、前記磁気
抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電極材料の
少なくとも媒体対向面に露出した主たる電極材料をAu
で構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に配された前記
電極材料間の電位を0.3V以下で使用することを特徴
とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッド。 5)磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFeCoNbま
たはNiFeCoTiの何れか一つで構成し、前記磁気
抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電極材料の
少なくとも媒体対向面に露出した主たる電極材料をTa
で構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に配された前記
電極材料間の電位を0.4V以下で使用することを特徴
とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッド。
解決するために以下の1)〜5)より成る磁気抵抗効果
ヘッドを提供しようというものである。即ち、 1)磁気抵抗効果素子が媒体対向面に露出した構成の磁
気抵抗効果ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果素子及び
この磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電
極材料として、0.007%の塩水に対して6×105
V/A/cm2 以上の分極抵抗を有する金属材料で構成
したことを特徴とする磁気抵抗効果ヘッド。 2)磁気抵抗効果素子と電極材料との異種金属接触腐蝕
電流密度が、0.007%の塩水に対し1×10-1μA
/cm2 以下と成る前記磁気抵抗効果素子と前記電極材
料との金属組合せで構成したことを特徴とする請求項1
記載の磁気抵抗効果ヘッド。 3)磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFeCoNbま
たはNiFeCoTiの何れか一つで構成し、前記磁気
抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電極材料の
少なくとも媒体対向面に露出した主たる電極材料をCr
で構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に配された前記
電極材料間の電位を0.2V以下で使用することを特徴
とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッド。 4)磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFeCoNbま
たはNiFeCoTiの何れか一つで構成し、前記磁気
抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電極材料の
少なくとも媒体対向面に露出した主たる電極材料をAu
で構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に配された前記
電極材料間の電位を0.3V以下で使用することを特徴
とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッド。 5)磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFeCoNbま
たはNiFeCoTiの何れか一つで構成し、前記磁気
抵抗効果素子にセンス電流を供給するための電極材料の
少なくとも媒体対向面に露出した主たる電極材料をTa
で構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に配された前記
電極材料間の電位を0.4V以下で使用することを特徴
とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッド。
【0005】
【作用】磁気抵抗効果素子が媒体対向面に露出した構成
の磁気抵抗効果ヘッドにおいて、MR素子及びこのMR
素子にセンス電流を供給するための電極材料を0.00
7%の塩水に対して6×105 V/A/cm2 以上の分
極抵抗を有する金属材料で構成し、前記MR素子と前記
電極材料との異種金属接触腐蝕電流密度を、0.007
%の塩水に対し1×10-1μA/cm2 以下より成る前
記MR素子と前記電極材料との金属組合せで構成したこ
とを特徴とするものであり、共に電気化学的な腐蝕試験
に基づいて選ばれた耐蝕金属材料の組合せであり、シ−
ルド型MRヘッドの腐蝕の問題を回避できる。
の磁気抵抗効果ヘッドにおいて、MR素子及びこのMR
素子にセンス電流を供給するための電極材料を0.00
7%の塩水に対して6×105 V/A/cm2 以上の分
極抵抗を有する金属材料で構成し、前記MR素子と前記
電極材料との異種金属接触腐蝕電流密度を、0.007
%の塩水に対し1×10-1μA/cm2 以下より成る前
記MR素子と前記電極材料との金属組合せで構成したこ
とを特徴とするものであり、共に電気化学的な腐蝕試験
に基づいて選ばれた耐蝕金属材料の組合せであり、シ−
ルド型MRヘッドの腐蝕の問題を回避できる。
【0006】また、MR素子をNiFe、NiFeCo
NbまたはNiFeCoTiの何れか一つで構成し、前
記MR素子にセンス電流を供給するための電極材料の少
なくとも媒体対向面に露出した主たる電極材料をCrで
構成し、前記MR素子の両端に配された前記電極材料間
の電位を0.2V以下で使用するか、またMR素子をN
iFe、NiFeCoNbまたはNiFeCoTiの何
れか一つで構成し、前記MR素子にセンス電流を供給す
るための電極材料の少なくとも媒体対向面に露出した主
たる電極材料をAuで構成し、前記MR素子の両端に配
された前記電極材料間の電位を0.3V以下で使用する
か、MR素子をNiFe、NiFeCoNbまたはNi
FeCoTiの何れか一つで構成し、前記MR素子にセ
ンス電流を供給するための電極材料の少なくとも媒体対
向面に露出した主たる電極材料をTaで構成して、前記
MR素子の両端に配された前記電極材料間の電位を0.
4V以下で使用することにより、常時センス電流が流さ
れた状態であってもシ−ルド型MRヘッドの腐蝕の問題
を防止できる。
NbまたはNiFeCoTiの何れか一つで構成し、前
記MR素子にセンス電流を供給するための電極材料の少
なくとも媒体対向面に露出した主たる電極材料をCrで
構成し、前記MR素子の両端に配された前記電極材料間
の電位を0.2V以下で使用するか、またMR素子をN
iFe、NiFeCoNbまたはNiFeCoTiの何
れか一つで構成し、前記MR素子にセンス電流を供給す
るための電極材料の少なくとも媒体対向面に露出した主
たる電極材料をAuで構成し、前記MR素子の両端に配
された前記電極材料間の電位を0.3V以下で使用する
か、MR素子をNiFe、NiFeCoNbまたはNi
FeCoTiの何れか一つで構成し、前記MR素子にセ
ンス電流を供給するための電極材料の少なくとも媒体対
向面に露出した主たる電極材料をTaで構成して、前記
MR素子の両端に配された前記電極材料間の電位を0.
4V以下で使用することにより、常時センス電流が流さ
れた状態であってもシ−ルド型MRヘッドの腐蝕の問題
を防止できる。
【0007】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の一実施例に
つき説明する。金属の腐蝕は電気化学反応に基づいて進
行するものとされている。従って、金属の腐蝕を評価す
るには電気化学手法を用いると有効である。ここでは、
図1に示した定電位二電極法の腐蝕試験装置を用いた。
図1において、金属試料片1,2が電解層3内に対向し
て配置されている。前記金属試料片1,2には直流電源
Eにより定電位einが与えられる(以下これを分極と呼
び、この電位を分極電位とも記す)。金属試料片1,2
間の電位einはVRによって可変され、極性はSWによ
って切り換えられる。分極により金属試料片1,2間に
流れる電流(分極電流)iは、CFの無抵抗電流計回路
を通してeout により電圧として読みとることができ
る。
つき説明する。金属の腐蝕は電気化学反応に基づいて進
行するものとされている。従って、金属の腐蝕を評価す
るには電気化学手法を用いると有効である。ここでは、
図1に示した定電位二電極法の腐蝕試験装置を用いた。
図1において、金属試料片1,2が電解層3内に対向し
て配置されている。前記金属試料片1,2には直流電源
Eにより定電位einが与えられる(以下これを分極と呼
び、この電位を分極電位とも記す)。金属試料片1,2
間の電位einはVRによって可変され、極性はSWによ
って切り換えられる。分極により金属試料片1,2間に
流れる電流(分極電流)iは、CFの無抵抗電流計回路
を通してeout により電圧として読みとることができ
る。
【0008】MRヘッドの金属材料の耐蝕性は分極抵抗
法により評価した。即ち、図1の試験装置を用い同質同
形状の金属試料片を電極として用い、両電極間に20m
Vの定電位(ΔE)を与え、その時流れる分極電流I1
を測定する。次に、電源Eの極性を反転して再び流れる
分極電流I2 を測定し、その平均電流I=(I1 +
I2 )/2から分極抵抗はRp =ΔE/2Iで求めるこ
とができる。分極電流I1 ,I2 は時間の経過と共に変
化するが、分極抵抗の測定に当たっては二重層の充電が
完了するのには充分に長く、金属表面変化がおこらない
程度に短い10秒の一定時間経過後の分極電流を測定し
た。分極抵抗と腐蝕電流密度との関係は図2のように表
される。
法により評価した。即ち、図1の試験装置を用い同質同
形状の金属試料片を電極として用い、両電極間に20m
Vの定電位(ΔE)を与え、その時流れる分極電流I1
を測定する。次に、電源Eの極性を反転して再び流れる
分極電流I2 を測定し、その平均電流I=(I1 +
I2 )/2から分極抵抗はRp =ΔE/2Iで求めるこ
とができる。分極電流I1 ,I2 は時間の経過と共に変
化するが、分極抵抗の測定に当たっては二重層の充電が
完了するのには充分に長く、金属表面変化がおこらない
程度に短い10秒の一定時間経過後の分極電流を測定し
た。分極抵抗と腐蝕電流密度との関係は図2のように表
される。
【0009】腐蝕試験に用いた電解液4は塩水であり、
その濃度は0.007%とした。腐蝕環境として最も過
酷な条件として海岸地帯の大気を想定して塩水濃度を決
めた。海岸地帯の大気中にふくまれる海塩粒子の量は2
mg/m3とされている。この全てが30℃の飽和水蒸
気(30g/m3 )中に溶けて金属に付着し腐蝕させる
ものと想定すると、その時の塩水濃度は上記の0.00
7%になる。以上説明した条件の下で、各種MR素子材
料及び電極材料の耐蝕性を評価した。その結果を表1,
2に示した。尚、腐蝕試験に用いたMR素子材料はNi
Fe、NiFeCo、NiFeCoNb、NiFeCo
Ti、NiFeCoCu及びNiFeCoAgであり、
電極材料はCr、Ti、Au、Ag、Al、Cu、Ta
及びMoである。
その濃度は0.007%とした。腐蝕環境として最も過
酷な条件として海岸地帯の大気を想定して塩水濃度を決
めた。海岸地帯の大気中にふくまれる海塩粒子の量は2
mg/m3とされている。この全てが30℃の飽和水蒸
気(30g/m3 )中に溶けて金属に付着し腐蝕させる
ものと想定すると、その時の塩水濃度は上記の0.00
7%になる。以上説明した条件の下で、各種MR素子材
料及び電極材料の耐蝕性を評価した。その結果を表1,
2に示した。尚、腐蝕試験に用いたMR素子材料はNi
Fe、NiFeCo、NiFeCoNb、NiFeCo
Ti、NiFeCoCu及びNiFeCoAgであり、
電極材料はCr、Ti、Au、Ag、Al、Cu、Ta
及びMoである。
【0010】
【表1】
【0011】
【表2】
【0012】NiFeは一般に耐蝕材料とされており、
腐蝕試験においてNi82Fe18の薄膜の分極抵抗は6×
105 V/A/cm2 、腐蝕電流密度は図2より1×1
0-1μA/cm2 が確認された。そこで、NiFeの分
極抵抗(6×105 V/A/cm2 )及び腐蝕電流密度
(1×10-1μA/cm2 )を耐蝕基準として定め、該
耐蝕基準以上の分極抵抗または前記耐蝕基準以下の腐蝕
電流密度を示した金属を耐蝕材料として判定した。その
結果、耐蝕性に優れた金属材料はNiFe、NiFeC
oNb、NiFeCoTiのMR素子材料とCr、T
i、Au、Taの電極材料であった。
腐蝕試験においてNi82Fe18の薄膜の分極抵抗は6×
105 V/A/cm2 、腐蝕電流密度は図2より1×1
0-1μA/cm2 が確認された。そこで、NiFeの分
極抵抗(6×105 V/A/cm2 )及び腐蝕電流密度
(1×10-1μA/cm2 )を耐蝕基準として定め、該
耐蝕基準以上の分極抵抗または前記耐蝕基準以下の腐蝕
電流密度を示した金属を耐蝕材料として判定した。その
結果、耐蝕性に優れた金属材料はNiFe、NiFeC
oNb、NiFeCoTiのMR素子材料とCr、T
i、Au、Taの電極材料であった。
【0013】次に、前記の選ばれた耐蝕金属材料である
NiFe、NiFeCoNb、NiFeCoTiのMR
素子材料と、Cr、Ti、Au、Taの電極材料の各組
合せからなる異種金属接触腐蝕を評価した。異種金属接
触腐蝕は図1の腐蝕試験装置を用い、einを零としてそ
の時流れる分極電流(この場合は異種金属接触腐蝕電流
と称する)を測定することにより評価できる。尚、図1
において金属試料片1をMR素子材料、金属試料片2を
電極材料とすると、正の異種金属接触腐蝕電流が流れる
とMR素子材料に対して電極材料が卑な金属として作用
し電極材料が腐蝕する。また、負の異種金属接触腐蝕電
流が流れるとMR素子が卑な金属として作用しMR素子
材料が腐蝕する。
NiFe、NiFeCoNb、NiFeCoTiのMR
素子材料と、Cr、Ti、Au、Taの電極材料の各組
合せからなる異種金属接触腐蝕を評価した。異種金属接
触腐蝕は図1の腐蝕試験装置を用い、einを零としてそ
の時流れる分極電流(この場合は異種金属接触腐蝕電流
と称する)を測定することにより評価できる。尚、図1
において金属試料片1をMR素子材料、金属試料片2を
電極材料とすると、正の異種金属接触腐蝕電流が流れる
とMR素子材料に対して電極材料が卑な金属として作用
し電極材料が腐蝕する。また、負の異種金属接触腐蝕電
流が流れるとMR素子が卑な金属として作用しMR素子
材料が腐蝕する。
【0014】前記のNiFe、NiFeCoNb、Ni
FeCoTiのMR素子材料と前記のCr、Ti、A
u、Taの電極材料の各組合せになる異種金属接触腐蝕
電流の測定結果を表3に示した。耐蝕性の判定はここで
もNiFeの腐蝕電流密度1×10-1μA/cm2 に基
づいて行った。
FeCoTiのMR素子材料と前記のCr、Ti、A
u、Taの電極材料の各組合せになる異種金属接触腐蝕
電流の測定結果を表3に示した。耐蝕性の判定はここで
もNiFeの腐蝕電流密度1×10-1μA/cm2 に基
づいて行った。
【0015】
【表3】
【0016】表3のように、前記各MR素子材料とCr
及びAuの電極材料の組合せでは負の異種金属接触腐電
流が観測され、MR素子材料の腐蝕進行を示した。しか
し、その電流密度は耐蝕基準以下でありMR素子の腐蝕
進行は極めて遅く、Cr及びAuの電極材料と前記Ni
Fe、NiFeCoNb、NiFeCoTiの各MR素
子材料との金属組合せは異種金属接触腐蝕が生じ難かっ
た。一方、前記各MR素子材料とTi及びTaの電極材
料との組合せでは正の異種金属接触腐蝕電流が観測され
ており、MR素子は腐蝕せず電極材料の方が腐蝕してい
ることを示した。しかし、前記各MR素子とTaの電極
材料との組合せでは異種金属接触腐蝕電流は耐蝕基準以
下であり、Taの腐蝕進行は遅く、Taの電極材料と前
記NiFe、NiFeCoNb、NiFeCoTiの各
MR素子材料との金属組合せは異種金属接触腐蝕が生じ
難かった。しかしながら、Tiの電極材料と前記NiF
e、NiFeCoNb、NiFeCoTiの各MR素子
材料との金属組合せでは耐蝕基準以上の異種金属接触腐
蝕電流が発生しており、Tiの電極が激しく腐蝕した。
以上から、異種金属接触腐蝕の生じ難い金属組合せ
は、NiFe、NiFeCoNb、NiFeCoTiの
MR素子材料とCr、Au、Taの電極材料の各組合せ
である。
及びAuの電極材料の組合せでは負の異種金属接触腐電
流が観測され、MR素子材料の腐蝕進行を示した。しか
し、その電流密度は耐蝕基準以下でありMR素子の腐蝕
進行は極めて遅く、Cr及びAuの電極材料と前記Ni
Fe、NiFeCoNb、NiFeCoTiの各MR素
子材料との金属組合せは異種金属接触腐蝕が生じ難かっ
た。一方、前記各MR素子材料とTi及びTaの電極材
料との組合せでは正の異種金属接触腐蝕電流が観測され
ており、MR素子は腐蝕せず電極材料の方が腐蝕してい
ることを示した。しかし、前記各MR素子とTaの電極
材料との組合せでは異種金属接触腐蝕電流は耐蝕基準以
下であり、Taの腐蝕進行は遅く、Taの電極材料と前
記NiFe、NiFeCoNb、NiFeCoTiの各
MR素子材料との金属組合せは異種金属接触腐蝕が生じ
難かった。しかしながら、Tiの電極材料と前記NiF
e、NiFeCoNb、NiFeCoTiの各MR素子
材料との金属組合せでは耐蝕基準以上の異種金属接触腐
蝕電流が発生しており、Tiの電極が激しく腐蝕した。
以上から、異種金属接触腐蝕の生じ難い金属組合せ
は、NiFe、NiFeCoNb、NiFeCoTiの
MR素子材料とCr、Au、Taの電極材料の各組合せ
である。
【0017】次に、実際のMRヘッドの腐蝕挙動を図
3、4を用いて説明する。図3はMRヘッドの基本構成
である。図3において、第1の電極5と第2の電極6が
MR素子7の両端7a、7bに接して設けられており、
MRヘッドの媒体対向面8において第1の電極5と第2
の電極6及びMR素子7は電解液4に曝されている。一
方、前記MRヘッド7には直流電源Eにより一定電流が
流され、MR素子7の両端7a、7b間に電位Vが発生
している。図3のMRヘッドの腐蝕反応は、等価的に図
4の電気化学的な回路構成で表すことができる。図3に
おける電極間電位Vは図4の分極電位einに対応する。
また、図3の第1の電極5とMR素子7の端部7aの金
属組合せは図4のアノ−ド電極9に対応し、図3の第2
の電極6とMR素子7の端部7bの金属組合せは図4の
カソ−ド電極10に対応する。
3、4を用いて説明する。図3はMRヘッドの基本構成
である。図3において、第1の電極5と第2の電極6が
MR素子7の両端7a、7bに接して設けられており、
MRヘッドの媒体対向面8において第1の電極5と第2
の電極6及びMR素子7は電解液4に曝されている。一
方、前記MRヘッド7には直流電源Eにより一定電流が
流され、MR素子7の両端7a、7b間に電位Vが発生
している。図3のMRヘッドの腐蝕反応は、等価的に図
4の電気化学的な回路構成で表すことができる。図3に
おける電極間電位Vは図4の分極電位einに対応する。
また、図3の第1の電極5とMR素子7の端部7aの金
属組合せは図4のアノ−ド電極9に対応し、図3の第2
の電極6とMR素子7の端部7bの金属組合せは図4の
カソ−ド電極10に対応する。
【0018】このような回路構成では、アノ−ド9及び
カソ−ド10側で共に第1の電極5とMR素子7及び第
2の電極6とMR素子7の異種金属接触腐蝕が進行し卑
な金属が腐蝕する。一方、大きな分極電位の下では第1
の電極5とMR素子7の端部7bの金属組合せにおける
第1の電極のアノ−ド反応が進行し第1の電極5が腐蝕
する。また、MR素子7の端部7aと第2の電極6の金
属組合せにおいてはMR素子7の端部7aのアノ−ド反
応が進行しMR素子7の端部7aが腐蝕する。何れにし
ても、大きな分極電位の下ではアノ−ド側で電極材料及
びMR素子材料の双方が腐蝕することになる。以上説明
して来たことをTa NiFeの金属組合せを用いて、
0.007%の塩水の下での各金属の腐蝕挙動を説明す
る。Ta−NiFeの金属組合せは前述したように異種
金属接触腐蝕の生じ難い組合せであった。従って、アノ
−ド側及びカソ−ド側における第1の電極5とMR素子
7の端部7a及び第2の電極6とMR素子7の端部7b
間の異種金属接触腐蝕は無視でき、Ta−NiFe金属
組合せにおける分極に基づくアノ−ド反応による腐蝕を
問題にすればよい。
カソ−ド10側で共に第1の電極5とMR素子7及び第
2の電極6とMR素子7の異種金属接触腐蝕が進行し卑
な金属が腐蝕する。一方、大きな分極電位の下では第1
の電極5とMR素子7の端部7bの金属組合せにおける
第1の電極のアノ−ド反応が進行し第1の電極5が腐蝕
する。また、MR素子7の端部7aと第2の電極6の金
属組合せにおいてはMR素子7の端部7aのアノ−ド反
応が進行しMR素子7の端部7aが腐蝕する。何れにし
ても、大きな分極電位の下ではアノ−ド側で電極材料及
びMR素子材料の双方が腐蝕することになる。以上説明
して来たことをTa NiFeの金属組合せを用いて、
0.007%の塩水の下での各金属の腐蝕挙動を説明す
る。Ta−NiFeの金属組合せは前述したように異種
金属接触腐蝕の生じ難い組合せであった。従って、アノ
−ド側及びカソ−ド側における第1の電極5とMR素子
7の端部7a及び第2の電極6とMR素子7の端部7b
間の異種金属接触腐蝕は無視でき、Ta−NiFe金属
組合せにおける分極に基づくアノ−ド反応による腐蝕を
問題にすればよい。
【0019】図5はTa−NiFeの金属組合せにおけ
るTa及びNiFeの各々のアノ−ド分極曲線を測定し
たものである。例えば、0.6V以上の分極電位(また
は電極間電位)がMR素子の電極間に生じると、図5よ
りTa及びNiFeはX、X’のアノ−ド反応を呈し、
共に耐蝕基準以上の分極電流が発生しTa及びNiFe
の双方が腐蝕する。また、0.4〜0.6Vの分極電位
(または電極間電位)の下では図5のY,Y’のアノ−
ド反応が生じ、Taは耐蝕基準以上の分極電流を発生し
腐蝕してしまうが、NiFeの分極電流は耐蝕基準以下
となりNiFeは腐蝕することはない。一方、0.4V
以下の分極電位(または電極間電位)の下では、Z,
Z’のアノ−ド反応が起こりTa及びNiFe双方の分
極電流が耐蝕基準以下となるから、Ta電極及びNiF
eのMR素子双方共に腐蝕することはない。即ち、Ta
−NiFeの金属組合せのMRヘッドにおいて腐蝕の問
題を回避するためには、電極間電位が0.4V以下とな
るようにセンス電流を定めればよい。ここで、電極間電
位0.4VがTa−NiFeの金属組合せにおけるMR
ヘッドの耐蝕電位ということになる。
るTa及びNiFeの各々のアノ−ド分極曲線を測定し
たものである。例えば、0.6V以上の分極電位(また
は電極間電位)がMR素子の電極間に生じると、図5よ
りTa及びNiFeはX、X’のアノ−ド反応を呈し、
共に耐蝕基準以上の分極電流が発生しTa及びNiFe
の双方が腐蝕する。また、0.4〜0.6Vの分極電位
(または電極間電位)の下では図5のY,Y’のアノ−
ド反応が生じ、Taは耐蝕基準以上の分極電流を発生し
腐蝕してしまうが、NiFeの分極電流は耐蝕基準以下
となりNiFeは腐蝕することはない。一方、0.4V
以下の分極電位(または電極間電位)の下では、Z,
Z’のアノ−ド反応が起こりTa及びNiFe双方の分
極電流が耐蝕基準以下となるから、Ta電極及びNiF
eのMR素子双方共に腐蝕することはない。即ち、Ta
−NiFeの金属組合せのMRヘッドにおいて腐蝕の問
題を回避するためには、電極間電位が0.4V以下とな
るようにセンス電流を定めればよい。ここで、電極間電
位0.4VがTa−NiFeの金属組合せにおけるMR
ヘッドの耐蝕電位ということになる。
【0020】以上のような考えの基に、NiFe、Ni
FeCoNb、NiFeCoTiのMR素子材料とC
r、Au、Taの電極材料の各組合せにおけるMRヘッ
ドの耐蝕電位を調べると表4のようになった。即ち、耐
蝕性の観点からするとNiFe、NiFeCoNb、N
iFeCoTiの各MR素子とCrの電極材料の組合せ
からなるMRヘッドにおいては、電極間電位は0.2V
以下に成すべきであり、NiFe、NiFeCoNb、
NiFeCoTiの各MR素子とAuの電極材料の組合
せからなるMRヘッドにおいては、電極間電位は0.3
V以下に成すべきであり、またNiFe、NiFeCo
Nb、NiFeCoTiの各MR素子とTaの電極材料
の組合せからなるMRヘッドにおいては、電極間電位は
0.4V以下に成すべきである。
FeCoNb、NiFeCoTiのMR素子材料とC
r、Au、Taの電極材料の各組合せにおけるMRヘッ
ドの耐蝕電位を調べると表4のようになった。即ち、耐
蝕性の観点からするとNiFe、NiFeCoNb、N
iFeCoTiの各MR素子とCrの電極材料の組合せ
からなるMRヘッドにおいては、電極間電位は0.2V
以下に成すべきであり、NiFe、NiFeCoNb、
NiFeCoTiの各MR素子とAuの電極材料の組合
せからなるMRヘッドにおいては、電極間電位は0.3
V以下に成すべきであり、またNiFe、NiFeCo
Nb、NiFeCoTiの各MR素子とTaの電極材料
の組合せからなるMRヘッドにおいては、電極間電位は
0.4V以下に成すべきである。
【0021】
【表4】
【0022】
【発明の効果】請求項1及び2記載の磁気抵抗効果ヘッ
ドによれば、媒体対向面にMR素子の一部が露出したシ
−ルド型MRヘッドにおいてもMR素子の腐蝕の問題が
回避でき、高密度記録再生に適した信頼性の高い磁気抵
抗効果ヘッドの提供ができる。請求項3〜5記載の磁気
抵抗効果ヘッドによれば、常時センス電流が流された状
態であってもシ−ルド型MRヘッドの腐蝕の問題を防止
できるものとなる。
ドによれば、媒体対向面にMR素子の一部が露出したシ
−ルド型MRヘッドにおいてもMR素子の腐蝕の問題が
回避でき、高密度記録再生に適した信頼性の高い磁気抵
抗効果ヘッドの提供ができる。請求項3〜5記載の磁気
抵抗効果ヘッドによれば、常時センス電流が流された状
態であってもシ−ルド型MRヘッドの腐蝕の問題を防止
できるものとなる。
【図1】腐蝕試験装置の概略図である。
【図2】分極抵抗と腐蝕電流密度との関係を示した図で
ある。
ある。
【図3】MRヘッドの基本構成を示した図である。
【図4】MRヘッドの構成を電気化学的な回路構成で示
した図である。
した図である。
【図5】Ta−NiFeの金属組合せにおけるTa、N
iFeのアノ−ド分極曲線を示した図である。
iFeのアノ−ド分極曲線を示した図である。
1,2 金属試料片 3 電解層 4 電解液 5,6 電極 7 MR素子 8 媒体対抗面 9 アノ−ド 10 カソ−ド
Claims (5)
- 【請求項1】 磁気抵抗効果素子が媒体対向面に露出し
た構成の磁気抵抗効果ヘッドにおいて、 前記磁気抵抗効果素子及びこの磁気抵抗効果素子にセン
ス電流を供給するための電極材料として、0.007%
の塩水に対して6×105 V/A/cm2 以上の分極抵
抗を有する金属材料で構成したことを特徴とする磁気抵
抗効果ヘッド。 - 【請求項2】 磁気抵抗効果素子と電極材料との異種金
属接触腐蝕電流密度が、0.007%の塩水に対し1×
10-1μA/cm2 以下と成る前記磁気抵抗効果素子と
前記電極材料との金属組合せで構成したことを特徴とす
る請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッド。 - 【請求項3】 磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFe
CoNbまたはNiFeCoTiの何れか一つで構成
し、前記磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給するため
の電極材料の少なくとも媒体対向面に露出した主たる電
極材料をCrで構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に
配された前記電極材料間の電位を0.2V以下で使用す
ることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッ
ド。 - 【請求項4】 磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFe
CoNbまたはNiFeCoTiの何れか一つで構成
し、前記磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給するため
の電極材料の少なくとも媒体対向面に露出した主たる電
極材料をAuで構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に
配された前記電極材料間の電位を0.3V以下で使用す
ることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッ
ド。 - 【請求項5】 磁気抵抗効果素子をNiFe、NiFe
CoNbまたはNiFeCoTiの何れか一つで構成
し、前記磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給するため
の電極材料の少なくとも媒体対向面に露出した主たる電
極材料をTaで構成し、前記磁気抵抗効果素子の両端に
配された前記電極材料間の電位を0.4V以下で使用す
ることを特徴とする請求項1記載の磁気抵抗効果ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3302586A JP2697423B2 (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 磁気抵抗効果ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3302586A JP2697423B2 (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 磁気抵抗効果ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05114121A true JPH05114121A (ja) | 1993-05-07 |
| JP2697423B2 JP2697423B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=17910766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3302586A Expired - Lifetime JP2697423B2 (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 磁気抵抗効果ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2697423B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5462637A (en) * | 1993-07-22 | 1995-10-31 | International Business Machines Corporation | Process for fabrication of thin film magnetic heads |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03214412A (ja) * | 1990-01-18 | 1991-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
-
1991
- 1991-10-22 JP JP3302586A patent/JP2697423B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03214412A (ja) * | 1990-01-18 | 1991-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5462637A (en) * | 1993-07-22 | 1995-10-31 | International Business Machines Corporation | Process for fabrication of thin film magnetic heads |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2697423B2 (ja) | 1998-01-14 |
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