JPH051235U - 半導体素子検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブカードがプローブソケットに確実に
取付けられているかどうかを確認して検査時に生じるプ
ローブカードの破損を防止すると共に、半導体素子の品
種に適合したプローブカードがプローブソケットに取付
けられているか否かを自動的に確認する。 【構成】 半導体素子検査装置１０にリミットスイッチ
２４が設けられたので、プローブカード２０が半導体素
子検査装置１０に正規の状態で取付けられているか否か
を検知することができる。また、プローブカード２０に
バーコード２６Ａを設けると共に半導体素子検査装置１
０にバーコード読取部２６を設けた。従って、プローブ
カード２０が半導体素子検査装置１０に取付けられた
時、バーコード読取部２６でバーコード２６Ａを読取
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体素子検査装置に係り、特に半導体ウエハ上に多数形成され た半導体素子回路の電気的性能を検査する半導体素子検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体素子は、ウエハと称される所定大の略円盤形の薄板上を縦横に整列区画 してそれぞれに所要の同一電気素子回路を多数形成することにより製造されてい る。 しかしてこれらの製造されたウエハは、素子を各チップとして分断する前に素 子回路の形成品質を検査すべくウエハプローバと称される半導体素子検査装置で 素子個々毎にその良・不良を判定選別される。この半導体素子検査装置はテーブ ル及び装置制御部判定部等から成り、テーブルはウエハを載設して所要時にその 素子配列に従ったＸ・Ｙ方向の水平移動とＺ方向の上下移動を行なう。そして装 置制御部判定部は、このテーブル上方に配設されて、検査しようとする素子の各 電極に対応する位置に設けられた接触針としての測子を固定保持する測子カード を介して各素子の回路を順次検査判定する。

【０００３】 ところで、測子カードは半導体素子の品種に対応したものが数種類用意されて いて必要に応じて交換される。この測子カードは測定する素子の品種毎に専用の 測子カードが用意されていて、専用の測子カードには測定する素子に関する品種 ・記号等が明記されており、更に素子電極に接触する測子は半導体素子の各電極 に対応した配置状態となっている。従って、検査する素子の種類を変える毎に装 置制御部判定部のソケットに専用の測子カードを取り付ける必要がある。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、測子カードをソケットに取付ける時に、確実に取付けられない 場合や、僅かにずれて取付けられる場合があり、この状態で測子を半導体素子の 各電極に当接して半導体素子の検査を行なうと測子カードが破損擦るという問題 がある。

【０００５】 一方、ソケットに取付けられた測子カードが半導体素子の品種に対応している か否かの確認はオペレータが行なっているので、検査の為の時間が必要となり生 産性の向上が図れないという問題がある。 本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、測子カードがソケットに確 実に取付けられているかどうかを確認すると共に、半導体素子の品種に適合した 測子カードがソケットに取付けられているか否かを確認することができる半導体 素子検査装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、半導体素子検査装置に取付けられた測子カードの接触針を半導体素 子の電極に当接して半導体素子の良否を検査する半導体検査装置において、測子 カードが半導体素子検査装置に取付けられた時、測子カードを検知する手段が半 導体素子検査装置に設けられたことを特徴とする。

【０００７】

【作用】

本考案によれば、半導体素子検査装置に測子カード検知手段が設けられたので 、測子カードが半導体素子検査装置に正規の状態で取付けられているか否かを検 知することができる。

【０００８】

【実施例】

以下添付図面に従って本考案に係る半導体素子検査装置について詳細する。 図１には本考案に係る半導体素子検査装置１０の概略図が示されている。半導 体素子検査装置１０はテストヘッド１２を備え、テストヘッド１２にはヘッドス テージ１４が設けられている。ヘッドステージ１４にはプローブソケット１６の フランジ部１６Ａが載置されている。この場合テストヘッド１２のポゴピン１２ Ａ、１２Ａ…がプローブソケット１６の端子１６Ａ、１６Ａ…に嵌入され、テス トヘッド１２と、プローブソケット１６とが電気的に接続される。

【０００９】 また、ヘッドステージ１４には固定用リング１８が設けられ、固定用リング１ ８はプローブソケット１６の下部に配置された測子カード、すなわちプローブカ ード２０を固定する。この場合プローブソケット１６のポゴピン１６Ｂ、１６Ｂ …がプローブカード２０の端子２０Ａ、２０Ａ…に嵌入され、プローブソケット １６と、プローブカード２０とが電気的に接続される。そしてプローブソケット １６の端子１６Ａ、１６Ａ…とプローブソケット１６のポゴピン１６Ｂ、１６Ｂ …とはコード２２、２２…を介して電気的に接続されているので、テストヘッド １２とプローブカード２０とが電気的に接続される。

【００１０】 一方、プローブソケット１６にはリミットスイッチ２４が設けられている。リ ミットスイッチ２４はプローブカード２０がプローブソケット１６に取り付けら れた時、プローブカード２０に当接して作動するように配設され、リミットスイ ッチ２４が作動するとリミットスイッチ２４から信号が出力される。これにより プローブカード２０がプローブソケット１６に取り付けられたことを確認するこ とができる。さらにリミットスイッチ２４から信号が出力された時に次工程（） が実行されるように設定することも可能である。

【００１１】 さらに、プローブソケット１６にはバーコード読取りセンサ２６が設けられて いる。バーコード読取りセンサ２６はプローブカード２０がプローブソケット１ ６に取り付けられた時、プローブカード２０に設けられているバーコード２６Ａ を読み取り、その信号をテスタ２８に入力されているプローブカード２０のデー タと比較し、プローブカード２０が所望のプローブカードであるか否かを確認す る。

【００１２】 前記の如く構成された本考案に係る半導体素子検査装置の作用について説明す る。 先ず、プローブソケット１６が次に検査する半導体素子に適合するプローブカ ード２０の上方に位置決めされ、プローブソケット１６とプローブカード２０と が当接する。次に固定用リング１８でプローブカード２０をプローブソケット１ ６に固定する。この場合プローブカード２０がプローブソケット１６に固定され るとプローブカード２０の上面がリミットスイッチ２４に当接する。これにより 、リミットスイッチ２４が作動してリミットスイッチ２４から信号が出力されて プローブカード２０をプローブソケット１６に取り付けたことが確認される。

【００１３】 また、プローブカード２０がプローブソケット１６に固定されるとバーコード 読取りセンサ２６はプローブカード２０に設けられているバーコード２６Ａを読 み取り信号を出力する。出力された信号はプローブソケット１６及びテストヘッ ド１２を介してテスタ２８に入力される。 一方、テスタ２８にはマスタコンピュータ（図示せず）から、プローブソケッ ト１６に取り付けられるプローブカード２０を表示する信号が入力されている。 従ってテスタ２８でマスタコンピュータから入力されたプローブカード２０の表 示信号と、バーコード読取りセンサ２６から入力されたプローブカード２０の表 示信号とを比較し、プローブカード２０が所望のプローブカードであるか否かを 確認する。

【００１４】 確認完了後、半導体素子が取り付けられているテーブルをＸ・Ｙ・Ｚ方向に移 動して半導体素子を位置決めして、接触針３４、３４…を半導体素子の電極に当 接して半導体素子の検査を行う。 前記実施例ではプローブカード２０がプローブソケット１６に取り付けられた か否かを確認するためにリミットスイッチ２４を使用したが、これに限らず、光 センサや近接センサ等の他のセンサを使用してもよい。そして光センサを使用す る場合にはプローブカード２０の光センサに対向する位置に反射板が設けられる 。

【００１５】 尚、図１上で３６はプローブカード２０を載置する台である。

【００１６】

【考案の効果】

以上述べたように本考案に係る半導体素子検査装置によれば、測子カードが半 導体素子検査装置に正規の状態で取付けられているか否かを検知して、測子カー ドがソケットに確実に取付けられているかどうかを確認することができる。従っ て検査時に生じる測子カードの破損を防止することができる。

【００１７】 また、本考案に係る半導体素子検査装置によれば、半導体素子の品種に適合し た測子カードがソケットに取付けられているか否かを自動的に確認することがで きるので、検査の為の時間が不要となり生産性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本考案の一実施例に係る半導体素子検査
装置の構成を示す概略図

【符号の説明】

１０…半導体素子検査装置 ２４…リミットスイッチ ２６…バーコード読取部 ２６Ａ…バーコード ２０…プローブカード ３４…接触針

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体素子検査装置に取付けられた測子
   カードの接触針を半導体素子の電極に当接して半導体素
   子の良否を検査する半導体検査装置において、測子カー
   ドが半導体素子検査装置に取付けられた時、測子カード
   を検知する手段が半導体素子検査装置に設けられたこと
   を特徴とする半導体素子検査装置。
2. 【請求項２】 前記測子カードにバーコードを設けると
   共に前記半導体素子検査装置にバーコード読取部を設
   け、測子カードが半導体素子検査装置に取付けられた
   時、バーコード読取部でバーコードを読取ることを特徴
   とする請求項１の半導体検査装置。