JPH05123886A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
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- JPH05123886A JPH05123886A JP3291553A JP29155391A JPH05123886A JP H05123886 A JPH05123886 A JP H05123886A JP 3291553 A JP3291553 A JP 3291553A JP 29155391 A JP29155391 A JP 29155391A JP H05123886 A JPH05123886 A JP H05123886A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、被加工物から発生する蒸発物質が
集光レンズを保護する保護部材に付着するのを防止した
レ−ザ加工装置を提供することにある。 【構成】内部に集光レンズ２６が保持され先端が開口し
たホルダ−１３を有し、このホルダ−１３の先端面と被
加工物１５との間に隙間をあけ、これらを相対的に移動
させながらホルダ−１３内に導入されたレ−ザ光を記集
光レンズ２６で集束して被加工物１５に照射するレ−ザ
加工装置において、ホルダ−１３内の集光レンズ２６の
下面側には、この集光レンズ２６に被加工物１５からの
蒸発物質が付着するのを防止する透光性の保護部材２２
を設け、ホルダ−１３には保護部材２２の下面側を上記
ホルダ−１３の外部に連通させる連通孔２９と連通溝３
１を形成するとともに、ホルダ−１３の周壁の保護部材
２２の下面側の部分には吸引ポンプ３４を接続してなる
ことを特徴とする。
集光レンズを保護する保護部材に付着するのを防止した
レ−ザ加工装置を提供することにある。 【構成】内部に集光レンズ２６が保持され先端が開口し
たホルダ−１３を有し、このホルダ−１３の先端面と被
加工物１５との間に隙間をあけ、これらを相対的に移動
させながらホルダ−１３内に導入されたレ−ザ光を記集
光レンズ２６で集束して被加工物１５に照射するレ−ザ
加工装置において、ホルダ−１３内の集光レンズ２６の
下面側には、この集光レンズ２６に被加工物１５からの
蒸発物質が付着するのを防止する透光性の保護部材２２
を設け、ホルダ−１３には保護部材２２の下面側を上記
ホルダ−１３の外部に連通させる連通孔２９と連通溝３
１を形成するとともに、ホルダ−１３の周壁の保護部材
２２の下面側の部分には吸引ポンプ３４を接続してなる
ことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はたとえば有機薄膜をレ
−ザ光で除去加工する場合などに好適するレ−ザ加工装
置に関する。
−ザ光で除去加工する場合などに好適するレ−ザ加工装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レ−ザ光によって有機薄膜を除去加工す
るような場合、有機薄膜をレ−ザ光で照射溶融するとカ
−ボンなどの蒸発物質が飛散することが避けられない。
蒸発物質がレ−ザ光を集束する集光レンズに付着する
と、レンズの損傷やレ−ザ光のエネルギ低下を招くこと
になる。そこで、従来は集光レンズに蒸発物質が付着す
るのを防止するため、図４あるいは図５に示すような構
成のレ−ザ加工装置が用いられていた。
るような場合、有機薄膜をレ−ザ光で照射溶融するとカ
−ボンなどの蒸発物質が飛散することが避けられない。
蒸発物質がレ−ザ光を集束する集光レンズに付着する
と、レンズの損傷やレ−ザ光のエネルギ低下を招くこと
になる。そこで、従来は集光レンズに蒸発物質が付着す
るのを防止するため、図４あるいは図５に示すような構
成のレ−ザ加工装置が用いられていた。
【０００３】図４に示す装置はレ−ザ発振器１を有す
る。このレ−ザ発振器１から出力されたレ−ザ光Ｌは反
射ミラ−２で反射して集光レンズ３に入射する。この集
光レンズ３で集束されたレ−ザ光ＬはＸＹテ−ブル４上
に載置された被加工物５を照射する。この被加工物５の
表面には有機薄膜６がコ−テイングされている。上記集
光レンズ３の下面側にはレ−ザ光Ｌによって照射溶融さ
れた上記有機薄膜６から飛散するカ−ボンなどの蒸発物
質が上記集光レンズ３に付着するのを防止するために透
光性の保護部材７が配設されている。
る。このレ−ザ発振器１から出力されたレ−ザ光Ｌは反
射ミラ−２で反射して集光レンズ３に入射する。この集
光レンズ３で集束されたレ−ザ光ＬはＸＹテ−ブル４上
に載置された被加工物５を照射する。この被加工物５の
表面には有機薄膜６がコ−テイングされている。上記集
光レンズ３の下面側にはレ−ザ光Ｌによって照射溶融さ
れた上記有機薄膜６から飛散するカ−ボンなどの蒸発物
質が上記集光レンズ３に付着するのを防止するために透
光性の保護部材７が配設されている。
【０００４】このような構成によれば、有機薄膜６から
の蒸発物質が上記集光レンズ３に付着するのを上記保護
部材７によって防止することができる。しかしながら、
蒸発物質が保護部材７に付着することで、この保護部材
７の透光性が損なわれ、レ−ザ光Ｌの透過率が低下した
り、付着した蒸発物質によって保護部材７がレ−ザ光Ｌ
の熱を吸収して熱損するなどのことがあり、早期に交換
しなければならないということがあった。とくに、レ−
ザ発振器１がエキシマレ−ザの場合、保護部材７を形成
する硝材としてはレ−ザ光Ｌを吸収しずらい合成石英を
用いなければならない。合成石英は普通の硝子に比べて
高価であるから、ランニングコストが大きく上昇すると
いうことが生じる。
の蒸発物質が上記集光レンズ３に付着するのを上記保護
部材７によって防止することができる。しかしながら、
蒸発物質が保護部材７に付着することで、この保護部材
７の透光性が損なわれ、レ−ザ光Ｌの透過率が低下した
り、付着した蒸発物質によって保護部材７がレ−ザ光Ｌ
の熱を吸収して熱損するなどのことがあり、早期に交換
しなければならないということがあった。とくに、レ−
ザ発振器１がエキシマレ−ザの場合、保護部材７を形成
する硝材としてはレ−ザ光Ｌを吸収しずらい合成石英を
用いなければならない。合成石英は普通の硝子に比べて
高価であるから、ランニングコストが大きく上昇すると
いうことが生じる。
【０００５】そこで、有機薄膜６からの蒸発物質が保護
部材７に付着しずらいようにするため、図５に示すよう
に被加工物５のレ−ザ光Ｌによって照射される部位に、
ガスボンベ８に収容されたＨｅガスなどの不活性ガスを
ノズル９によって吹付けるということも行われている。
このような手段によれば、確かに保護部材７には蒸発物
質が付着しずらくなる。しかしながら、不活性ガスによ
って加工部位から除去される蒸発物質は周囲に舞い上が
るため、その蒸発物質が保護部材７に付着するのを確実
に防止できるものでなく、またＨｅなどの不活性ガスは
比較的高価であるから、ランニグコストの上昇を招くと
いうこともある。
部材７に付着しずらいようにするため、図５に示すよう
に被加工物５のレ−ザ光Ｌによって照射される部位に、
ガスボンベ８に収容されたＨｅガスなどの不活性ガスを
ノズル９によって吹付けるということも行われている。
このような手段によれば、確かに保護部材７には蒸発物
質が付着しずらくなる。しかしながら、不活性ガスによ
って加工部位から除去される蒸発物質は周囲に舞い上が
るため、その蒸発物質が保護部材７に付着するのを確実
に防止できるものでなく、またＨｅなどの不活性ガスは
比較的高価であるから、ランニグコストの上昇を招くと
いうこともある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように、保護部材
を用いて集光レンズに蒸発物質が付着するのを防止した
場合、この保護部材に蒸発物質が付着し、レ−ザ光の透
過率が低下して被加工物を照射するレ−ザ光のエネルギ
が減少したり、保護部材を早期に損傷させるなどのこと
があった。
を用いて集光レンズに蒸発物質が付着するのを防止した
場合、この保護部材に蒸発物質が付着し、レ−ザ光の透
過率が低下して被加工物を照射するレ−ザ光のエネルギ
が減少したり、保護部材を早期に損傷させるなどのこと
があった。
【０００７】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、集光レンズを保護する
ための保護部材に蒸発物質が付着するのを確実に防止で
きるようにしたレ−ザ加工装置を提供することにある。
ので、その目的とするところは、集光レンズを保護する
ための保護部材に蒸発物質が付着するのを確実に防止で
きるようにしたレ−ザ加工装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、内部に集光レンズが保持され先端が開口
したホルダ−を有し、このホルダ−の先端面と被加工物
との間に隙間をあけ、これらを相対的に移動させながら
上記ホルダ−内に導入されたレ−ザ光を上記集光レンズ
で集束して上記被加工物に照射するレ−ザ加工装置にお
いて、上記ホルダ−内の上記集光レンズの下面側には、
この集光レンズに上記被加工物からの蒸発物質が付着す
るのを防止する透光性の保護部材を設け、上記ホルダ−
には上記保護部材の下面側の空間部を上記ホルダ−の外
部に連通させる連通部を形成するとともに、上記ホルダ
−の周壁の上記保護部材の下面側の部分には吸引手段を
接続してなることを特徴とする。
にこの発明は、内部に集光レンズが保持され先端が開口
したホルダ−を有し、このホルダ−の先端面と被加工物
との間に隙間をあけ、これらを相対的に移動させながら
上記ホルダ−内に導入されたレ−ザ光を上記集光レンズ
で集束して上記被加工物に照射するレ−ザ加工装置にお
いて、上記ホルダ−内の上記集光レンズの下面側には、
この集光レンズに上記被加工物からの蒸発物質が付着す
るのを防止する透光性の保護部材を設け、上記ホルダ−
には上記保護部材の下面側の空間部を上記ホルダ−の外
部に連通させる連通部を形成するとともに、上記ホルダ
−の周壁の上記保護部材の下面側の部分には吸引手段を
接続してなることを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、吸引手段によって保護部材
の下面側の空間部が吸引されることで、被加工物から発
生する蒸発物質はホルダ−の先端開口から吸引手段に吸
引されるばかりか、外気が連通部から保護部材の下面側
に沿いながら吸引手段に吸引される流れが生じること
で、蒸発物質が保護部材に付着する方向に飛散するのを
防止することができる。
の下面側の空間部が吸引されることで、被加工物から発
生する蒸発物質はホルダ−の先端開口から吸引手段に吸
引されるばかりか、外気が連通部から保護部材の下面側
に沿いながら吸引手段に吸引される流れが生じること
で、蒸発物質が保護部材に付着する方向に飛散するのを
防止することができる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１乃至図３を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１１】図３は装置の概略的構成を示し、図中１１
はエキシマレ−ザなどのレ−ザ発振器である。このレ−
ザ発振器１１から出力されたれレ−ザ光Ｌは反射ミラ−
１２で反射して後述する構成のホルダ−１３に入射す
る。このホルダ−１３から出射したレ−ザ光ＬはＸＹテ
−ブル１４上に載置された被加工物１５を照射する。こ
の被加工物１５の上面には有機薄膜１６がコ−テイング
されている。
はエキシマレ−ザなどのレ−ザ発振器である。このレ−
ザ発振器１１から出力されたれレ−ザ光Ｌは反射ミラ−
１２で反射して後述する構成のホルダ−１３に入射す
る。このホルダ−１３から出射したレ−ザ光ＬはＸＹテ
−ブル１４上に載置された被加工物１５を照射する。こ
の被加工物１５の上面には有機薄膜１６がコ−テイング
されている。
【００１２】上記ホルダ−１３は図１と図２に示すよう
に筒状の本体１７を有する。この本体１７は先端部が先
端面にゆくにしたがって小径となるテ−パ部１８に形成
されている。この本体１７の上端開口は上記レ−ザ光Ｌ
が入射する入射口１７ａに形成され、先端開口はレ−ザ
光Ｌが出射する出射口１７ｂとなっている。
に筒状の本体１７を有する。この本体１７は先端部が先
端面にゆくにしたがって小径となるテ−パ部１８に形成
されている。この本体１７の上端開口は上記レ−ザ光Ｌ
が入射する入射口１７ａに形成され、先端開口はレ−ザ
光Ｌが出射する出射口１７ｂとなっている。
【００１３】上記本体１７の内部の中途部には、内周面
全長にわたる第１の段部１９およびこの第１の段部１９
よりも上部に第２の段部２１が形成されている。上記第
１の段部１９には合成石英によって円盤状に形成された
保護部材２２が周辺部を係合させて載置されている。こ
の保護部材２２は、上記本体１７の第１の内周部に形成
された第１のねじ部２４に螺合された第１の押えリング
２５によって保持されている。上記第２の段部２１には
集光レンズ２６が周辺部を係合させて載置されている。
この集光レンズ２６は、上記本体１７の第２の内周部に
形成された第２のねじ部２７に螺合された第２の押えリ
ング２８によって保持されている。上記本体１７の保護
部材２２と集光レンズ２６との間の周壁には、この部分
の空間部を外部に連通させる連通孔２９が穿設されてい
る。
全長にわたる第１の段部１９およびこの第１の段部１９
よりも上部に第２の段部２１が形成されている。上記第
１の段部１９には合成石英によって円盤状に形成された
保護部材２２が周辺部を係合させて載置されている。こ
の保護部材２２は、上記本体１７の第１の内周部に形成
された第１のねじ部２４に螺合された第１の押えリング
２５によって保持されている。上記第２の段部２１には
集光レンズ２６が周辺部を係合させて載置されている。
この集光レンズ２６は、上記本体１７の第２の内周部に
形成された第２のねじ部２７に螺合された第２の押えリ
ング２８によって保持されている。上記本体１７の保護
部材２２と集光レンズ２６との間の周壁には、この部分
の空間部を外部に連通させる連通孔２９が穿設されてい
る。
【００１４】また、上記保護部材２２の上面側と下面側
とは、上記本体１７の第１の内周部２３に周方向に９０
度間隔で形成された４つの連通溝３１によって連通して
いる。それによって、上記保護部材２２の下面側の空間
部３２は上記連通溝３１と連通孔２９を介してホルダ−
１３の外部に連通している。さらに、本体１７の保護部
材２２の下面側の周壁である上記空間部３２と対応する
部位には吸引パイプ３３の一端が接続されている。この
吸引パイプ３３の他端は吸引ポンプ３４に連通してい
る。したがって、この吸引ポンプ３４が作動すれば、上
記空間部３２を負圧にすることができる。
とは、上記本体１７の第１の内周部２３に周方向に９０
度間隔で形成された４つの連通溝３１によって連通して
いる。それによって、上記保護部材２２の下面側の空間
部３２は上記連通溝３１と連通孔２９を介してホルダ−
１３の外部に連通している。さらに、本体１７の保護部
材２２の下面側の周壁である上記空間部３２と対応する
部位には吸引パイプ３３の一端が接続されている。この
吸引パイプ３３の他端は吸引ポンプ３４に連通してい
る。したがって、この吸引ポンプ３４が作動すれば、上
記空間部３２を負圧にすることができる。
【００１５】このような構成のレ−ザ加工装置におい
て、被加工物１５の上面に設けられた有機薄膜１６を除
去加工する場合について説明する。まず、ホルダ−１３
を保持した図示しない上下機構を作動させてこのホルダ
−１３の下端面を被加工物１５の上面に数百ミクロンの
距離で接近させる。その状態でレ−ザ発振器１１と吸引
ポンプ３４とを作動させる。レ−ザ発振器１１が作動す
ることでレ−ザ光Ｌが出力され、このレ−ザ光Ｌは反射
ミラ−１２で反射してホルダ−１３に入射する。ホルダ
−１３に入射したレ−ザ光Ｌは集光レンズ２６で集光さ
れ、保護部材２２を透過して本体１７の下端面の出射口
１７ｂから出射してＸＹテ−ブル１４上の被加工物１５
の上面の有機薄膜１６を照射する。
て、被加工物１５の上面に設けられた有機薄膜１６を除
去加工する場合について説明する。まず、ホルダ−１３
を保持した図示しない上下機構を作動させてこのホルダ
−１３の下端面を被加工物１５の上面に数百ミクロンの
距離で接近させる。その状態でレ−ザ発振器１１と吸引
ポンプ３４とを作動させる。レ−ザ発振器１１が作動す
ることでレ−ザ光Ｌが出力され、このレ−ザ光Ｌは反射
ミラ−１２で反射してホルダ−１３に入射する。ホルダ
−１３に入射したレ−ザ光Ｌは集光レンズ２６で集光さ
れ、保護部材２２を透過して本体１７の下端面の出射口
１７ｂから出射してＸＹテ−ブル１４上の被加工物１５
の上面の有機薄膜１６を照射する。
【００１６】一方、吸引ポンプ３４を作動させること
で、その吸引力によって図１に矢印Ａと矢印Ｂとで示す
流れが生じる。つまり、矢印Ａで示す流れは、ホルダ−
１３の下端の出射口１７ｂから空間部３２内へ外気とと
もに有機薄膜１６が除去されることによって生じる蒸発
物質を吸引パイプ３３から吸引ポンプ３４へと吸引され
る。矢印Ｂで示す流れは、本体１７の周壁に穿設された
連通孔２９から外気を本体１７内へ吸引したのち、連通
溝３１から保護部材２２の下面側の空間部３２へ流入さ
せる。この空間部３２に流入した外気は保護部材２２の
下面側に沿って流れて上記吸引パイプ３３から吸引ポン
プ３４へと吸引される。
で、その吸引力によって図１に矢印Ａと矢印Ｂとで示す
流れが生じる。つまり、矢印Ａで示す流れは、ホルダ−
１３の下端の出射口１７ｂから空間部３２内へ外気とと
もに有機薄膜１６が除去されることによって生じる蒸発
物質を吸引パイプ３３から吸引ポンプ３４へと吸引され
る。矢印Ｂで示す流れは、本体１７の周壁に穿設された
連通孔２９から外気を本体１７内へ吸引したのち、連通
溝３１から保護部材２２の下面側の空間部３２へ流入さ
せる。この空間部３２に流入した外気は保護部材２２の
下面側に沿って流れて上記吸引パイプ３３から吸引ポン
プ３４へと吸引される。
【００１７】上記被加工物１５の有機物質１６からの蒸
発物質を単にホルダ−１３内へ吸引する矢印Ａで示すだ
けの流れだと、ホルダ−１３の空間部３２内へ吸引され
た蒸発物質はこの空間部３２内で飛散して保護部材２２
の下面に付着する虞がある。しかしながら、蒸発物質を
吸引すると同時に、矢印Ｂで示すように外気を連通孔２
９から連通溝３１を通じて吸引し、保護部材２２の下面
側に沿って流れるようにしているため、この矢印Ｂで示
す流れによって空間部３２内に吸引された蒸発物質が上
記保護部材２２の下面に付着するのを確実に防止するこ
とができる。それによって、レ−ザ光Ｌが減衰するのが
防止されるから、常に安定したパワ−で有機薄膜を除去
することができるばかりか、長期にわたって上記保護部
材２２を交換せずに使用することができ、ランニングコ
ストの低減が図れる。
発物質を単にホルダ−１３内へ吸引する矢印Ａで示すだ
けの流れだと、ホルダ−１３の空間部３２内へ吸引され
た蒸発物質はこの空間部３２内で飛散して保護部材２２
の下面に付着する虞がある。しかしながら、蒸発物質を
吸引すると同時に、矢印Ｂで示すように外気を連通孔２
９から連通溝３１を通じて吸引し、保護部材２２の下面
側に沿って流れるようにしているため、この矢印Ｂで示
す流れによって空間部３２内に吸引された蒸発物質が上
記保護部材２２の下面に付着するのを確実に防止するこ
とができる。それによって、レ−ザ光Ｌが減衰するのが
防止されるから、常に安定したパワ−で有機薄膜を除去
することができるばかりか、長期にわたって上記保護部
材２２を交換せずに使用することができ、ランニングコ
ストの低減が図れる。
【００１８】なお上記一実施例では保護部材２２の下面
側の空間部３２を外気に連通させるのに、ホルダ−１３
には保護部材２２の上面側の側壁に連通孔２９を穿設
し、内周面に保護部材２２の上面側と下面側とを連通さ
せる連通溝３１を形成したが、このような構成に代わ
り、上記ホルダ−１３の周壁の保護部材２２の下面側の
部位にその内部の空間部３２と外気とを連通させる連通
孔を穿設するようにしてもよい。また、加工の対象とな
る物質は有機薄膜に限定されず、その他の材質であって
もよく、その点もなんら限定されるものでない。
側の空間部３２を外気に連通させるのに、ホルダ−１３
には保護部材２２の上面側の側壁に連通孔２９を穿設
し、内周面に保護部材２２の上面側と下面側とを連通さ
せる連通溝３１を形成したが、このような構成に代わ
り、上記ホルダ−１３の周壁の保護部材２２の下面側の
部位にその内部の空間部３２と外気とを連通させる連通
孔を穿設するようにしてもよい。また、加工の対象とな
る物質は有機薄膜に限定されず、その他の材質であって
もよく、その点もなんら限定されるものでない。
【００１９】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、内部に集
光レンズを保持したホルダ−内の上記集光レンズの下面
側に保護部材を保持するとともに、上記ホルダ−には上
記保護部材の下面側の空間部を上記ホルダ−の外部に連
通させる連通部を形成するとともに、上記ホルダ−の周
壁の上記保護部材の下面側の部分には吸引手段を接続し
た。
光レンズを保持したホルダ−内の上記集光レンズの下面
側に保護部材を保持するとともに、上記ホルダ−には上
記保護部材の下面側の空間部を上記ホルダ−の外部に連
通させる連通部を形成するとともに、上記ホルダ−の周
壁の上記保護部材の下面側の部分には吸引手段を接続し
た。
【００２０】そのため、上記吸引手段の吸引力によっ
て、被加工物がレ−ザ光によって加工されることで発生
する蒸発物質をホルダ−の先端開口から吸引する流れ
と、上記保護部材の下面に沿う流れとが発生するから、
ホルダ−の先端開口から吸引された蒸発物質が保護部材
の下面に沿う流れによって上記保護部材の下面に付着す
るのを確実に防止することができる。
て、被加工物がレ−ザ光によって加工されることで発生
する蒸発物質をホルダ−の先端開口から吸引する流れ
と、上記保護部材の下面に沿う流れとが発生するから、
ホルダ−の先端開口から吸引された蒸発物質が保護部材
の下面に沿う流れによって上記保護部材の下面に付着す
るのを確実に防止することができる。
【図１】この発明の一実施例を示すホルダ−の縦断面
図。
図。
【図２】図１のＸ−Ｘ線に沿う断面図。
【図３】装置全体の構成図。
【図４】従来のレ−ザ装置の構成図。
【図５】同じく従来のレ−ザ装置の構成図。
１３…ホルダ−、１４…ＸＹテ−ブル、１５…被加工
物、１６…有機薄膜、２２…保護部材、２６…集光レン
ズ、２９…連通孔（連通部）、３１…連通溝（連通
部）、３３…吸引パイプ（吸引手段）、３４…吸引ポン
プ（吸引手段）。
物、１６…有機薄膜、２２…保護部材、２６…集光レン
ズ、２９…連通孔（連通部）、３１…連通溝（連通
部）、３３…吸引パイプ（吸引手段）、３４…吸引ポン
プ（吸引手段）。
Claims (1)
- 【請求項１】 内部に集光レンズが保持され先端が開口
したホルダ−を有し、このホルダ−の先端面と被加工物
との間に隙間をあけ、これらを相対的に移動させながら
上記ホルダ−内に導入されたレ−ザ光を上記集光レンズ
で集束して上記被加工物に照射するレ−ザ加工装置にお
いて、上記ホルダ−内の上記集光レンズの下面側には、
この集光レンズに上記被加工物からの蒸発物質が付着す
るのを防止する透光性の保護部材を設け、上記ホルダ−
には上記保護部材の下面側の空間部を上記ホルダ−の外
部に連通させる連通部を形成するとともに、上記ホルダ
−の周壁の上記保護部材の下面側の部分には吸引手段を
接続してなることを特徴とするレ−ザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3291553A JPH05123886A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3291553A JPH05123886A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05123886A true JPH05123886A (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=17770410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3291553A Pending JPH05123886A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05123886A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07155979A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-06-20 | Precitec Gmbh | レーザ加工装置 |
| WO2003095140A1 (en) * | 2002-05-13 | 2003-11-20 | Disco Corporation | Finishing machine using laser beam |
| JP2011147953A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
| CN104858560A (zh) * | 2015-06-09 | 2015-08-26 | 上海华庄模具有限公司 | 一种激光穿透焊接的焊缝结构及焊接方法 |
| US20160221121A1 (en) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | Rohr, Inc. | Collecting / removing byproducts of laser ablation |
| US10189116B2 (en) | 2014-03-13 | 2019-01-29 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser machining head |
| JP2021109183A (ja) * | 2020-01-07 | 2021-08-02 | 株式会社東京精密 | 集光レンズユニット及びレーザ加工装置 |
-
1991
- 1991-11-07 JP JP3291553A patent/JPH05123886A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07155979A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-06-20 | Precitec Gmbh | レーザ加工装置 |
| WO2003095140A1 (en) * | 2002-05-13 | 2003-11-20 | Disco Corporation | Finishing machine using laser beam |
| US7057136B2 (en) | 2002-05-13 | 2006-06-06 | Disco Corporation | Finishing machine using laser beam |
| JP2011147953A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
| CN102151996A (zh) * | 2010-01-20 | 2011-08-17 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
| US10189116B2 (en) | 2014-03-13 | 2019-01-29 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser machining head |
| US20160221121A1 (en) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | Rohr, Inc. | Collecting / removing byproducts of laser ablation |
| US9945253B2 (en) * | 2015-01-29 | 2018-04-17 | Rohr, Inc. | Collecting / removing byproducts of laser ablation |
| CN104858560A (zh) * | 2015-06-09 | 2015-08-26 | 上海华庄模具有限公司 | 一种激光穿透焊接的焊缝结构及焊接方法 |
| JP2021109183A (ja) * | 2020-01-07 | 2021-08-02 | 株式会社東京精密 | 集光レンズユニット及びレーザ加工装置 |
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