JPH05128509A - 記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 各種寸法形状の記録媒体を効率よく製造する
方法を提供する。特に3.5 、2.5 、２インチなど寸法が
異なり、しかも小径の記録媒体を効率よく製造する方法
を提供する。 【構成】 多数個の記録媒体が切り出せる大きさの大型
基板上に少なくとも記録層、保護層を形成した記録媒体
母材を作製する。この母材からレーザー、超音波、放電
加工又は機械的切断による方法によって、目的とする所
望の形状の記録媒体を切り出し記録媒体を製造する。従
来の方法に比べ、生産効率がよく、製造品種の切替えが
容易である。品質的にも長期間安定して良品質のものが
得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は磁気記録媒体、光記録
媒体、光磁気記録媒体などの記録媒体に関し、特に小型
の磁気記録媒体を効率よく製造する方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピューター、光記
録装置の普及に伴い、記録媒体の需要が急増している。
これらの装置はより多くの情報が処理できるよう小型
化、軽量化がはかられている。これに伴って、これら装
置に内蔵されている記録媒体は需要の急増とともに、高
記録密度化が強く要求されており、小型化、薄肉化の要
求が高くなっている。従って、より小さな記録媒体を大
量に、経済的に製造する方法が強く求められている。

【０００３】通常、記録媒体の製造方法は、あらかじめ
基板を打抜き、切断加工などの機械的方法によって切り
出し、Ni-Pメッキなどの表面加工をし、さらに表面研磨
をして表面を平滑に仕上げ処理し、その基板上に記録層
をメッキまたはスパッタリングなどの方法によって形成
しさらにその上に保護層を形成するという方法がとられ
ている。特に近年、普及してきているスパッタリング法
による磁気記録媒体の製造方法は次のように行われてい
る。すなわち、所定の寸法形状に加工された非磁性基板
にNi-Pメッキを施し、研磨加工して表面を平滑にした
後、テクスチャーとよばれる凹凸を形成する。その後、
まず下地層をスパッタリング法により形成し、つづいて
磁性層、保護層の順で各層を形成して記録媒体とするも
のである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の方法では記録媒体用基板をあらかじめ機械加工により
準備し、１枚づつを研磨、テクスチャリング加工を行
い、その後記録層を形成しているが基板の寸法が小さく
なるとこれらの加工装置の基板取付部を小型化および精
密加工することが必要となってくる。ついで記録層を形
成する工程、たとえばスパッタリング工程で支持台に基
板を装着する場合、ロボットで自動装着しているが装着
に精密さを要求するためうまく装着できない割合が従来
の寸法形状の時より増加する。

【０００５】又、装着に時間がかかりコストアップの大
きな要因となっている。さらに、種々の寸法形状の異な
るものを製造するため、ポリッシング、テクスチャー及
び記録層をはじめとする各層の成膜工程を通して各装置
への取付治具を交換したり、製造条件の設定変更が必要
であるため、装置の稼働率が下がり、生産効率が低下す
るという問題があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は以下
を要旨とするものである。複数個の記録媒体がとれる面
積を有する大型基板を用い、該大型基板の表面を仕上げ
処理し、少なくとも記録層、保護層を形成した後、所望
の寸法形状に切断して複数個の記録媒体を形成すること
を特徴とする記録媒体の製造方法である。また、特に記
録媒体が磁気記録媒体であり、大型基板の材質がガラス
であり、所望の寸法形状に切断する方法がレーザー、超
音波、放電加工または機械的切断による方法であること
を特徴とする記録媒体の製造方法である。

【０００７】以下、本発明についてさらに詳細に説明す
る。本発明に用いられる大型基板は通常、アルミニウ
ム、アルミニウム合金、ＮｉＦｅ系、ＦｅＡｌ系、Ｍｎ
Ｚｎフェライトなどの高透磁性を有する軟磁性合金、ガ
ラス、セラミックス、ポリカーボネートなど、硬度が高
く平滑性を容易に出すことができ耐食性の優れているも
のがよい。光記録媒体や光磁気記録媒体の場合はポリカ
ーボネートなどの樹脂やガラスが用いられる。

【０００８】記録媒体が光記録媒体の場合、大型基板は
ポリカーボネートなどの樹脂やガラスが用いられ、記録
層はＴｅ系合金などの薄膜材料がスパッタ法や蒸着法に
よって形成される。また光磁気記録媒体の場合はポリカ
ーボネートなどの樹脂基板の上に、ＴｂＦｅＣｏ系、Ｇ
ｄＦｅＣｏ系、ＮｄＦｅＣｏ系の薄膜が光記録媒体の場
合と同様にスパッタ法や蒸着法によって形成される。

【０００９】本発明について大型基板としてアルミニウ
ムを用いて磁気記録媒体を作成する場合の例で説明す
る。まず、所望の寸法形状の媒体が多数個きり出せる大
きさの寸法のアルミニウムの大型基板を使用する。つい
で、その表面にNi-P合金めっきあるいはNiFe系等の軟磁
性合金めっき膜を形成する。大型基板の材質が軟磁性合
金の場合にはめっき膜を形成する必要はない。この大型
基板上に磁性層を主とする各構成層を形成するのに先立
って、その表面を仕上げ処理する。ここでいう仕上げ処
理というのは化学的方法、機械的方法等によりこの基板
の表面に最大粗さ（Ｒ_max ）が１〜３０ｎｍ、平均粗さ
（Ｒ_av）が１〜３ｎｍ程度の凹凸を形成することであ
る。

【００１０】たとえば化学的方法としては、アルミニウ
ム大型基板の表面を陽極酸化しアルマイトとするととも
に小さな穴を形成し、その穴の中へ非磁性のＮｉＣｕ合
金を電析した後、燐酸、クロム酸溶液中でエッチングし
た後、仕上げ処理する方法、またガラス大型基板を弗酸
系の溶液中に浸漬して、仕上げ処理する方法などがあ
る。これらの仕上げ処理により、表面にＲ_max ５〜３０
ｎｍ、Ｒ_av１〜３ｎｍの凹凸が形成される。その他、化
学薬品処理により上記したような表面の凹凸処理ができ
るものであればこれらに限定される必要はない。また、
ガス、プラズマまたはイオンエッチングなどにより仕上
げ処理することも可能である。

【００１１】機械的方法としてはダイヤモンド、アルミ
ナなどの砥粒を使用して研摩する方法があり、基板の表
面に上記したような凹凸が形成される。通常、テクスチ
ャリングと呼ばれているのはこのことをさす。

【００１２】以下、図１〜図４を用いて詳細に説明す
る。メッキ法による磁気記録媒体の場合にはこのように
仕上げ処理した大型基板上に CoP, CoNiP などの磁性合
金膜をメッキ法によって形成するが、スパッタリング法
による磁気記録媒体の場合には、クロム、チタン等の金
属または合金の非磁性層あるいはNi−Fe等の軟磁性の下
地層を形成し、その上にCoNiCr, CoCr, CoCrTa, CoCrP
t, CoNiPtなどの磁性合金膜を形成する。

【００１３】このように仕上げ処理した大型基板１１を
搬送台１０に装着して、下地層、磁性層、保護層の順で
スパッタリングして連続的に製造する。図４に示す従来
の方法では目的とする寸法形状の基板１５の支持台１２
への装着は寸法精度の高い支持台の各保持部１３に精密
にロボット１４で装着する必要があったが、本発明では
大型基板１枚を保持するだけなので簡単な装置で短時間
で容易に行うことができる。

【００１４】また、従来のように支持台を用いる方法の
場合は支持台にもこれら各層のスパッタリング粒子及び
これに吸着される水分子などの不純物が付着し、支持台
をリサイクル使用するときこれらの不純物が磁気記録媒
体の品質を低下させるという問題があったが、本発明で
は大型基板の上に磁性層を初めとして必要な各層が形成
された磁気記録媒体母材から必要部分がきり出されて磁
気記録媒体が作製され、残りは廃棄されリサイクルして
スパッタ装置内に戻されることがないので上記したよう
な問題はなく良質な磁気記録媒体を歩留よく作製するこ
とができる。

【００１５】このようにしてできた下地層、磁性層、保
護層を有する磁気記録媒体母材から多数個の所望する寸
法形状の磁気記録媒体をレーザー切断機、超音波加工
機、放電加工機または機械的切断機によって切り出す。
第１図にレーザー切断機を用いて、切り出す場合を示
す。磁気記録層、保護層を形成した磁気記録媒体母材１
を固定して保持する固定装置２に装着する。磁気記録媒
体母材１の固定は水平方向、垂直方向いずれでも可能で
ある。

【００１６】つぎにレーザー発生装置４よりレーザー３
を発振してプログラム化した切り出し寸法形状、位置に
従って所望の寸法形状の磁気記録媒体５を多数個切り出
す。レーザーによって切り出された円盤状の磁気記録媒
体の周端の切断面はレーザー光により局部的な高温で短
時間で切断され、寸法精度も表面状態も良好でレーザー
の影響を受けず記録層、保護層は熱的、機械的歪を有し
ていないので品質的にも良質なものが得られる。

【００１７】ここでレーザー切断機のかわりに超音波加
工機、放電加工機または切削工具を備えた機械的切断機
を用いてもレーザーによる切断加工と同じように容易に
目的寸法形状を有する磁気記録媒体を切り出すことがで
きる。超音波加工機または放電加工機による場合は記録
層、保護層を有する母材をレーザー切断機による加工の
ときと同様、固定装置に保持して、それぞれ超音波加工
機または放電加工機を用いて所望の寸法形状を有する磁
気記録媒体を切り出すことができる。大型基板が非導電
性の場合は放電加工機は使用できない。切削工具を備え
た機械的切断機による場合、その切削工具は通常、ダイ
ヤモンド、立方晶ボロンナイトライドまたはその他超硬
材料などの研削材などで作製される。

【００１８】このように一枚の大型基板上に磁性層、保
護層を形成して大型の磁気記録媒体母材を形成した後、
多数個の所望の形状を有する磁気記録媒体を切り出す場
合、通常3.５インチ基板１６枚を装着できる支持台の大
きさと同じ大きさの磁気記録媒体母材を作製することが
でき、この母材から3.５インチの磁気記録媒体は２５
枚、2.5 インチ基板４９枚、２インチ基板１００枚の磁
気記録媒体を切り出すことができる。

【００１９】メッキ法による磁気記録媒体の場合はテク
チャリング加工をした後、クロム下地層の形成はせず、
メッキ法によって磁気記録層を形成したのち、保護層を
形成して磁気記録媒体母材を作製し、上述した方法によ
って磁気記録媒体を切り出す。記録媒体が光記録媒体、
光磁気記録媒体である場合についても磁気記録媒体の場
合と全く同様のことが言える。

【００２０】

【作用】本発明によれば、大型基板上にあらかじめ少な
くとも記録層、保護層等が形成された大型の磁気記録媒
体母材を作製した後、レーザー、超音波、放電加工また
は機械的切断による方法により切断することによって、
短時間に精度よく所望の寸法形状の記録媒体を切り出す
ことができるので、寸法形状の異なる品種の製造きりか
えが容易であり、かつ小型の記録媒体を効率よく生産す
ることができる。

【００２１】

【実施例１】本発明の実施例について具体的に説明す
る。縦５００mm、横５００mm、厚み1.２７mmの平滑な結
晶化ガラスを準備し大型基板とする。これを弗酸系の溶
液中に浸漬し、表面にＲ_max ２０ｎｍ、Ｒ_av３ｎｍの凹
凸を形成した。この大型基板を搬送装置にとりつけ、連
続式スパッタリング装置を通して、下地層としてクロ
ム、磁性層としてCoCrPtを、カーボン保護層を形成し
て、大型基板全面に磁気記録媒体が形成されている大型
の磁気記録媒体母材を得た。

【００２２】この大型の磁気記録媒体母材を図１に示す
固定装置２内に保持し、レーザー切断加工機（三菱電機
株式会社製、炭酸ガスレーザー、高精度加工機（ＭＬ12
12ＨＢ１、切断用発振器３０１６Ｓ）を用い、レーザー
ビームを発振し、外径９５mm、内径２５mmの3.５インチ
媒体、外径６５mm、内径２０mmの2.５インチ媒体、外径
４８mm、内径１２mmの２インチ磁気記録媒体を各々切出
した。切断速度はそれぞれ２２６、１６０、１１３秒で
あった。

【００２３】支持台に装着できる磁気記録媒体枚数、ま
たは大型の基板の大きさから切り出せる磁気記録媒体の
枚数を表１中に生産量として示す。また、収率は支持台
に装着できる大型基板の大きさから切り出せる磁気記録
媒体の枚数に対し、実際に作製された磁気記録媒体の割
合を示す。磁気特性は搬送台１台あたりの枚数のなかか
ら５枚の磁気記録媒体を抜きとり、試料振動型磁力計に
よりその保磁力を測定した。その結果を併せて表１に示
すが１０７０〜１１００Ｏｅで良好であった。

【００２４】

【実施例２】ガラスの代わりに実施例１と同じ寸法のア
ルミニウム大型基板を準備した。このアルミニウム大型
基板上に１０μｍの Ni-P 層を無電解メッキ法により、
形成し、ついでその表面を鏡面研摩した後、1000番のア
ルミナ砥粒のついたテープを使用して表面をＲ_max ２０
ｎｍ、Ｒ_av３ｎｍの凹凸を形成した。この大型基板を搬
送台にとりつけ、連続式スパッタリング装置を通して、
下地層としてクロム、磁性膜としてCoCrPtを、カーボン
保護層を形成して、大型基板全面に磁気記録媒体が形成
されている磁気記録媒体母材を得た。この大型の磁気記
録媒体母材を日本サーモニクス社製超音波加工機を用い
て、外径９５mm、内径２５mmの3.５インチ媒体、外径６
５mm、内径２０mmの2.５インチ媒体を切り出した。

【００２５】また、ジャパックス製放電加工機を使用し
て外径４８mm、内径１２mmの２インチ磁気記録媒体を切
出した。実施例と同様、生産量、収率と保磁力を表１に
示す。その保磁力は１０８０〜１１００Ｏｅで良好であ
った。

【００２６】

【実施例３】実施例１と同様に大型基板全面に磁気記録
媒体が形成されている大型の磁気記録媒体母材を形成し
た。この大型の磁気記録媒体母材を図に示す固定装置内
に保持し、ダイヤモンドカッタ−を使用したガラス加工
機（ライザウェア株式会社製、ガラス加工システム、プ
ロカＦ９５０）を用い、外径９５mm、内径２５mmの３.
５インチ媒体、外径６５mm、内径２５mmの２. ５インチ
媒体、外径４８mm内径１２mmの２インチ磁気記録媒体を
各々切り出した。切断速度は各々３０、２０、１３秒で
あった。この時の生産量、収率と保磁力を表１に示す。
保磁力は１０８０〜１１００Ｏｅで良好であった。

【００２７】

【比較例１】所望の寸法形状を有するガラス基板を各
々、直径3.５インチ（外径９５mm×２５mm）１６枚、2.
５インチ（外径６５mm×２０mm）２５枚、２インチ（外
径４８mm×１２mm）３６枚のガラス基板を用意した。こ
のガラス基板１５を新しい支持台１２の基板装着部１３
にロボット１４で装着した。この時、装着不良で支持台
から落下するものが発生した。また、スパッタリング工
程中で落下するものも認められた。実施例と同様、生産
量、収率および保磁力を表１に示す。保磁力は実施例同
様良好であったが、生産量および収率は実施例に比べ低
下した。

【００２８】

【比較例２】新しい支持台の代わりに８０回リサイクル
使用した支持台を使用した以外は比較例１と同様にして
各種寸法形状の磁気記録媒体を作製した。実施例１と同
様にその生産量、収率および保磁力を表１に示す。実施
例に比べ生産量および収率だけでなく、保磁力も低下
し、その値は９００〜９２０Ｏｅであった。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば大型基板上に磁性層、保
護層を形成して大型の記録媒体母材を作製した後、目的
とする所望の寸法形状に切断加工して記録媒体を製造す
ることによって、各種寸法の異なる良質の記録媒体を効
率よく製造することができ、しかも寸法形状が小さけれ
ば小さい程、生産能率の高い記録媒体の工業的製法を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法の一例を示す大型の記録媒体
母材から記録媒体を切り出す切断加工装置を示す。

【図２】各種寸法形状の記録媒体を切り出す前の記録媒
体母材の構成を示す断面図である。

【図３】本発明の製造方法の一例を示す大型基板を搬送
台に据付けた状態を示す。

【図４】基板を支持台に装着する従来の方法を示す図で
ある。

【符号の説明】

１ 大型の基板上に記録層、保護層を形成した磁気記録
媒体母材 ２ 磁気記録媒体母材の固定装置 ３ レーザービーム ４ レーザー加工機 ５ 磁気記録媒体 ６ 基板 ７ 下地層 ８ 磁性層 ９ 保護層 10 搬送台 11 大型の基板 12 支持台 13 基板装着部 14 ロボット 15 基板

【表１】

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数個の記録媒体がとれる面積を有する
   大型基板を用い、該大型基板の表面を仕上げ処理し、少
   なくとも記録層、保護層を形成した後、所望の寸法形状
   に切断して複数個の記録媒体を形成することを特徴とす
   る記録媒体の製造方法。
2. 【請求項２】 所望の寸法形状に切断する方法がレーザ
   ー、超音波、放電加工または機械的切断による方法であ
   ることを特徴とする請求項１の製造方法。
3. 【請求項３】 大型基板がガラスであることを特徴とす
   る請求項２の製造方法。