JPH05128518A - Manufacture of magnetic recording medium - Google Patents
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- JPH05128518A JPH05128518A JP31153691A JP31153691A JPH05128518A JP H05128518 A JPH05128518 A JP H05128518A JP 31153691 A JP31153691 A JP 31153691A JP 31153691 A JP31153691 A JP 31153691A JP H05128518 A JPH05128518 A JP H05128518A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 原料供給ユニット内の金属磁性材料ペレット
を供給管を通じて真空蒸着装置内のルツボに供給し、加
熱により蒸発せしめて非磁性支持体上に蒸着するに際
し、供給管，供給管の中途部に設けられた中間予熱室あ
るいは原料供給ユニットの加熱により、前記金属磁性材
料ペレットを予め予熱しておく。
【効果】 ルツボ内温度を低下させることなく、原料の
供給が行えるため、生産性が向上し、膜厚分布が更に制
御され、品質の安定した蒸着テープを生産できる。
(57) [Summary] [Structure] When the metal magnetic material pellets in the raw material supply unit are supplied to the crucible in the vacuum vapor deposition apparatus through the supply pipe and evaporated by heating to deposit on the non-magnetic support, the supply pipe, The metal magnetic material pellets are preheated in advance by heating an intermediate preheating chamber or a raw material supply unit provided in the middle of the supply pipe. [Effect] Since the raw material can be supplied without lowering the temperature inside the crucible, the productivity is improved, the film thickness distribution is further controlled, and a vapor deposition tape with stable quality can be produced.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体の製造方法
に係わり、特に蒸着テープの製造方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium, and more particularly to a method for manufacturing a vapor deposition tape.
【０００２】[0002]
【従来の技術】金属あるいはＣｏ─Ｎｉ系合金等の磁性
材料を非磁性支持体上に直接被着して強磁性金属薄膜を
形成した薄膜媒体は、抗磁力、角形比及び短波長域にお
ける電磁変換特性等に優れていること、磁性層の薄膜化
が可能なため記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さ
いこと、或いは、磁性層中に非磁性体であるバインダー
等を含有しないために磁性材料の充填密度を高くできる
等、数々の利点を有している。2. Description of the Related Art A thin film medium in which a ferromagnetic metal thin film is formed by directly depositing a metal or a magnetic material such as a Co--Ni alloy on a non-magnetic support has a coercive force, a squareness ratio and an electromagnetic wave in a short wavelength region. Because it has excellent conversion characteristics, the magnetic layer can be made thin, and the thickness loss during recording demagnetization and reproduction is extremely small, or because the magnetic layer does not contain a binder that is a non-magnetic material. It has various advantages such as a high packing density of the magnetic material.
【０００３】そして、上述の薄膜媒体の製造には、通
常、大量生産性に適するという点から真空蒸着法が採用
されている。The vacuum deposition method is usually used for manufacturing the above-mentioned thin film medium because it is suitable for mass production.
【０００４】上記真空蒸着法は、真空室内でポリエチレ
ンテレフタレート等の高分子材料からなる非磁性支持体
（いわゆるベースフィルム）を送り出しロールから供給
し、これを冷却キャンに沿わせて走行させながら蒸発さ
せた金属磁性材料をその表面に蒸着し、これを巻き取り
ロールに巻き取って製造を行うものである。この時、金
属磁性材料は、冷却キャンの下方に設けられたルツボ内
に充填されており、加熱装置によって加熱蒸発させら
れ、ベースフィルム上に磁性層として被着する。In the above vacuum vapor deposition method, a non-magnetic support (so-called base film) made of a polymer material such as polyethylene terephthalate is fed from a roll in a vacuum chamber, and is vaporized while running along a cooling can. The metal magnetic material is vapor-deposited on the surface thereof, and the metal magnetic material is wound on a winding roll for production. At this time, the metallic magnetic material is filled in the crucible provided below the cooling can, is heated and evaporated by the heating device, and is deposited as a magnetic layer on the base film.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述のような真空蒸着
法を用いて磁気記録媒体の製造を行おうとする時、更に
生産性を向上させるために、上記ルツボ内に金属磁性材
料を一定時間おきに供給している。この方法を用いれ
ば、長時間連続して真空蒸着を行うことができ、生産性
は大幅に向上する。上記金属磁性材料の供給方法である
が、上記真空室内に原料供給ユニットを設け、ここより
供給管を通じて、ペレット状の金属磁性材料をルツボに
供給している。When a magnetic recording medium is manufactured by using the vacuum deposition method as described above, in order to further improve the productivity, a metal magnetic material is placed in the crucible at regular intervals. Is being supplied to. By using this method, vacuum deposition can be continuously performed for a long time, and productivity is significantly improved. Regarding the method of supplying the metal magnetic material, a raw material supply unit is provided in the vacuum chamber, and the metal magnetic material in pellet form is supplied from here to the crucible through a supply pipe.
【０００６】しかしながら、供給時の金属磁性材料ペレ
ットの温度はルツボ内に充填されている金属磁性材料の
温度と比較して２０００℃程低いため、ペレットの供給
によりルツボ内の温度が低下してしまう。このことは金
属磁性材料の蒸発速度を低下させるため、蒸着膜の膜厚
不良を引き起こしやすい。また、上記ルツボ内温度を一
定に保つために、金属磁性材料ペレットのルツボへの供
給時に上記加熱装置の出力を調整することも考えられる
が、操作が頻雑であり、実際の製造には適していない。However, since the temperature of the metal magnetic material pellets at the time of supply is lower than the temperature of the metal magnetic material filled in the crucible by about 2000 ° C., the temperature in the crucible is lowered by the supply of the pellets. .. This lowers the evaporation rate of the metallic magnetic material, and thus tends to cause a film thickness defect of the deposited film. Further, in order to keep the temperature inside the crucible constant, it is also possible to adjust the output of the heating device at the time of supplying the metal magnetic material pellets to the crucible, but the operation is frequent and suitable for actual production. Not not.
【０００７】そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであって、生産性が向上され、品質の
安定した蒸着テープを生産できる磁気記録媒体の製造方
法を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a magnetic recording medium capable of producing a vapor deposition tape having improved productivity and stable quality. And
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、原料供給ユニット内の金属磁性材料ペ
レットを供給管を通じて真空蒸着装置内のルツボに供給
し、加熱により蒸発させて非磁性支持体上に蒸着するに
際し、供給管，供給管の中途部に設けられた中間予熱室
あるいは原料供給ユニットの加熱により、前記金属磁性
材料ペレットを予め予熱しておくことを特徴とするもの
である。In order to achieve the above object, the present invention provides a method of supplying metal magnetic material pellets in a raw material supply unit to a crucible in a vacuum vapor deposition apparatus through a supply pipe and evaporating by heating. When vapor-depositing on a non-magnetic support, the metal magnetic material pellets are preheated in advance by heating a supply pipe, an intermediate preheating chamber provided in the middle of the supply pipe, or a raw material supply unit. Is.
【０００９】[0009]
【作用】金属磁性材料ペレットを原料供給ユニットより
供給管を通じて真空蒸着装置内のルツボに供給する際、
ルツボ内の温度が大幅に低下する。本発明においては、
原料供給系（原料供給ユニット，供給管）を加熱するこ
とにより、金属磁性材料ペレットが予め予熱してあるの
で、該金属磁性材料ペレットがルツボに供給されてもル
ツボの温度が低下することはない。[Operation] When the metal magnetic material pellets are supplied from the raw material supply unit to the crucible in the vacuum vapor deposition device through the supply pipe,
The temperature inside the crucible drops significantly. In the present invention,
Since the metal magnetic material pellets are preheated by heating the raw material supply system (raw material supply unit, supply pipe), the temperature of the crucible does not decrease even if the metal magnetic material pellets are supplied to the crucible. ..
【００１０】[0010]
【実施例】以下、本発明を適用した磁気記録媒体の製造
方法の実施例を図面を参照しながら具体的に説明する。Embodiments of the method for manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied will be specifically described below with reference to the drawings.
【００１１】実施例 １ 先ず、本発明を適用した装置の一例について説明する。
この蒸着装置は、図１に示すように、内部が低圧状態と
なされた真空室１内の上部左右に送り出しロール３，巻
取りロール４を配設するとともに、真空室１内中央部に
は冷却キャン５を配してなるものである。また、送り出
しロール３と冷却キャン５の間にはガイドロール６、冷
却キャン５と巻取りロールの間にはガイドロール７が配
設されている。 Embodiment 1 First, an example of an apparatus to which the present invention is applied will be described.
As shown in FIG. 1, this vapor deposition apparatus is provided with delivery rolls 3 and take-up rolls 4 on the upper and left sides of the upper portion of a vacuum chamber 1 whose inside is in a low pressure state, and a cooling chamber is provided at the center of the vacuum chamber 1. The can 5 is arranged. A guide roll 6 is disposed between the delivery roll 3 and the cooling can 5, and a guide roll 7 is disposed between the cooling can 5 and the winding roll.
【００１２】上記冷却キャン５は、送り出しロール３に
巻装されたベースフィルム２を図中下方に引き出すよう
に設けられ、上記各ロール３，４の径よりも大径となさ
れている。なお、送り出しロール３、巻取りロール４及
び冷却キャン５は、それぞれベースフィルム２の幅とほ
ぼ同じ幅を有する円筒状をなすものであり、また冷却キ
ャン５には、内部に図示しない冷却装置が設けられ、上
記ベースフィルム２の温度上昇による変形等を抑制し得
るような構成とされている。The cooling can 5 is provided so that the base film 2 wound around the delivery roll 3 is pulled out downward in the figure, and has a diameter larger than the diameter of the rolls 3 and 4. The delivery roll 3, the winding roll 4, and the cooling can 5 each have a cylindrical shape having a width substantially the same as the width of the base film 2, and the cooling can 5 has a cooling device (not shown) inside. The base film 2 is provided so as to suppress deformation and the like due to the temperature rise of the base film 2.
【００１３】なお、ガイドロール６，７は、送り出しロ
ール３から冷却キャン５及び冷却キャン５から巻取りロ
ール４に亘って走行するベースフィルム２に所定のテン
ションをかけ、該ベースフィルム２が確実に冷却キャン
５の周面上を走行するようになされている。The guide rolls 6 and 7 apply a predetermined tension to the base film 2 which runs from the delivery roll 3 to the cooling can 5 and from the cooling can 5 to the winding roll 4 to ensure that the base film 2 is secured. It runs on the peripheral surface of the cooling can 5.
【００１４】また、冷却キャン５の下方にルツボ８が設
けられ、このルツボ８内に金属磁性材料９が充填されて
いる。上記冷却キャン５の側方には、加熱装置１０が設
けられている。さらに、上記冷却キャン５と上記金属磁
性材料９が収納されたルツボ８との間であって該冷却キ
ャン５の近傍には、冷却キャン５の周面と対向するよう
に湾曲形成されたシャッター１１が配設されている。A crucible 8 is provided below the cooling can 5, and the crucible 8 is filled with a metallic magnetic material 9. A heating device 10 is provided on the side of the cooling can 5. Further, between the cooling can 5 and the crucible 8 accommodating the metallic magnetic material 9 and in the vicinity of the cooling can 5, a shutter 11 curvedly formed so as to face the peripheral surface of the cooling can 5. Are arranged.
【００１５】一方、上記真空室１外部には原料供給ユニ
ット１３が配設され、その内部には供給皿１２が配設さ
れている。供給管１４は原料供給ユニット１３内の供給
皿１２の底部からルツボ８の上部に向けて設けられてお
り、供給管１４の周囲には電熱線１６が巻回されてい
る。On the other hand, a raw material supply unit 13 is arranged outside the vacuum chamber 1, and a supply tray 12 is arranged inside it. The supply pipe 14 is provided from the bottom of the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 toward the upper part of the crucible 8, and a heating wire 16 is wound around the supply pipe 14.
【００１６】以上のように構成される蒸着装置において
は、送り出しロール３に巻装された非磁性支持体である
ベースフィルム２は、反時計回り方向に定速回転する送
り出しロール３から時計回り方向に定速回転する冷却キ
ャン５へと供給され、この冷却キャン５の周面に沿って
走行した後、反時計回り方向に定速回転するようにされ
た巻取りロール４に巻き取られるようになされている。In the vapor deposition apparatus constructed as described above, the base film 2 which is a non-magnetic support wound around the delivery roll 3 is rotated clockwise from the delivery roll 3 which rotates at a constant speed in the counterclockwise direction. Is supplied to the cooling can 5 that rotates at a constant speed, travels along the circumferential surface of the cooling can 5, and then is wound by the winding roll 4 that is rotated at a constant speed in the counterclockwise direction. Has been done.
【００１７】そして、非磁性支持体である上記ベースフ
ィルム２は上記冷却キャン５の周面を通過する際に蒸着
加工される。The base film 2, which is a non-magnetic support, is vapor-deposited when passing through the peripheral surface of the cooling can 5.
【００１８】すなわち、図１の真空室１内には、上述の
ように冷却キャン５の下方に金属磁性材料９が充填され
たルツボ８が設けられており、このルツボ８は、上記冷
却キャン５の幅と同一の幅からなるものである。上記冷
却キャン５の側方には、電子ビーム銃等によって構成さ
れてなる加熱装置１０が設けられており、上記ルツボ８
内に充填された金属磁性材料９を加熱蒸発させるもので
ある。従って、この加熱装置１０によって蒸発した金属
磁性材料９は、上記冷却キャン５の周面を定速走行する
ベースフィルム２上に磁性層として被着形成されるよう
になされている。That is, in the vacuum chamber 1 of FIG. 1, the crucible 8 filled with the metal magnetic material 9 is provided below the cooling can 5 as described above, and the crucible 8 is provided with the cooling can 5. Of the same width. A heating device 10 composed of an electron beam gun or the like is provided on the side of the cooling can 5, and the crucible 8 is provided.
The metal magnetic material 9 filled in the inside is heated and evaporated. Therefore, the metallic magnetic material 9 evaporated by the heating device 10 is deposited and formed as a magnetic layer on the base film 2 traveling at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 5.
【００１９】そこで、前述のシャッター１１が冷却キャ
ン５の周面の所定領域を覆うように配設されているた
め、上記金属磁性材料９は、所定の角度範囲θで上記ベ
ースフィルム２上に蒸着されることになる。Therefore, since the above-mentioned shutter 11 is arranged so as to cover a predetermined area on the peripheral surface of the cooling can 5, the metal magnetic material 9 is vapor-deposited on the base film 2 within a predetermined angle range θ. Will be done.
【００２０】このような真空蒸着を行う際、金属磁性材
料ペレット１５は原料供給ユニット１３内供給皿１２よ
り供給管１４を通じてルツボ８に一定時間おきに供給さ
れ、金属磁性材料９として加熱蒸発させられ、ベースフ
ィルム２上に磁性層として被着形成される。この時、供
給管１４の周囲に電熱線１６が巻回されているため、電
熱線１６に電気を通ずることによって、供給管１４内の
金属磁性材料ペレット１５は予熱される。When performing such vacuum deposition, the metal magnetic material pellets 15 are supplied from the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 through the supply pipe 14 to the crucible 8 at regular intervals, and are heated and evaporated as the metal magnetic material 9. , Is formed as a magnetic layer on the base film 2. At this time, since the heating wire 16 is wound around the supply pipe 14, the metal magnetic material pellets 15 in the supply pipe 14 are preheated by conducting electricity to the heating wire 16.
【００２１】なお、予熱は本例では電熱線１６により行
うようにしたが、カーボン棒にて供給管１４の管上を覆
い、電気を通ずることによって、供給管１４内の金属磁
性材料ペレット１５の加熱を行っても良い。Although the preheating is performed by the heating wire 16 in this example, by covering the pipe of the supply pipe 14 with a carbon rod and conducting electricity, the metal magnetic material pellets 15 in the supply pipe 14 are preheated. You may heat.
【００２２】上述のように金属磁性材料ペレット１５を
予熱しておくと、原料供給ユニット１３内の供給皿１２
から供給管１４を通じて金属磁性材料ペレット１５をル
ツボ８に供給した時に、ルツボ８内の温度が急激に低下
することはない。従って、金属磁性材料９の蒸発速度を
一定に保ち、均一な膜厚を有する磁性膜を形成し、品質
の安定した蒸着テープを生産することができる。When the metallic magnetic material pellets 15 are preheated as described above, the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 is
When the metal magnetic material pellets 15 are supplied to the crucible 8 from the above through the supply pipe 14, the temperature in the crucible 8 does not suddenly decrease. Therefore, the evaporation rate of the metal magnetic material 9 can be kept constant, a magnetic film having a uniform film thickness can be formed, and a vapor deposition tape with stable quality can be produced.
【００２３】そこで、以上の構成を有する蒸着装置を用
いて、以下のように磁気テープの試作を行った。本試作
では、金属磁性材料９としてＣｏ80−Ｎｉ20（数字は重
量パーセントを示す。）を使用した。Ｃｏ80−Ｎｉ
20（数字は重量パーセントを示す。）の金属磁性材料ペ
レット１５を加熱する際、供給系の効率を考慮して、ル
ツボ８供給時で金属磁性材料ペレット１５表面温度が５
００℃以上で金属磁性材料ペレット１５の溶解しない温
度となるように加熱した。実際には、外径４０ｍｍ，内
径３４ｍｍの供給管１４に、電熱線１６として直径５ｍ
ｍのニクロム線を巻回し、３ｋＷの電力を供給し、供給
管１４を加熱し、供給管１４内の金属磁性材料ペレット
１５の予熱を行った。この時の試作品をサンプル１とし
た。また、供給する金属磁性材料の予熱を行ない場合に
ついても試作を行い、試作品を比較サンプルとした。Therefore, a magnetic tape was trial-produced as follows using the vapor deposition apparatus having the above structure. In this prototype, Co 80 —Ni 20 (numbers indicate weight percent) was used as the metal magnetic material 9. Co 80 -Ni
When heating the metal magnetic material pellets 15 of 20 (numbers indicate weight percent), the surface temperature of the metal magnetic material pellets 15 is 5 when the crucible 8 is supplied, considering the efficiency of the supply system.
The heating was performed at a temperature of 00 ° C. or higher so that the temperature of the metal magnetic material pellets 15 did not melt. In practice, the heating pipe 16 has a diameter of 5 m in the supply pipe 14 having an outer diameter of 40 mm and an inner diameter of 34 mm.
m nichrome wire was wound, 3 kW of electric power was supplied, the supply pipe 14 was heated, and the metallic magnetic material pellets 15 in the supply pipe 14 were preheated. The prototype at this time was sample 1. In addition, we also made a prototype for the case where the metallic magnetic material to be supplied was preheated, and the prototype was used as a comparative sample.
【００２４】実施例 ２ 次に、本発明を適用した他の例について説明する。本実
施例においても、真空蒸着装置の概略は実施例１とほぼ
同様で、図２に示すような、内部が低圧状態となされた
真空室１内の上部左右に送り出しロール３，巻取りロー
ル４を配設するとともに、真空室１内中央部には冷却キ
ャン５を配し、また、送り出しロール３と冷却キャン５
の間にはガイドロール６、冷却キャン５と巻取りロール
の間にはガイドロール７が配設されてなるものである。 Embodiment 2 Next, another example to which the present invention is applied will be described. Also in this embodiment, the outline of the vacuum vapor deposition apparatus is almost the same as that of the first embodiment, and as shown in FIG. 2, the inside of the vacuum chamber 1 is in a low pressure state. , A cooling can 5 is arranged in the central portion of the vacuum chamber 1, and the delivery roll 3 and the cooling can 5 are arranged.
A guide roll 6 is provided between the two, and a guide roll 7 is provided between the cooling can 5 and the winding roll.
【００２５】また、冷却キャン５の下方にルツボ８が設
けられ、このルツボ８内に金属磁性材料９が充填されて
いる。上記冷却キャン５の側方には、加熱装置１０が設
けられている。さらに、上記冷却キャン５と上記金属磁
性材料９が収納されたルツボ８との間であって該冷却キ
ャン５の近傍には、冷却キャン５の周面と対向するよう
に湾曲形成されたシャッター１１が配設されている。一
方、上記真空室１外部には供給皿１２を内部に有する原
料供給ユニット１３が設けられている。それぞれの形状
と役割は実施例１と同様である。また、途中に中間予熱
室１７ａを有する供給管１７が、原料供給ユニット１３
内供給皿１２の底部と上記ルツボ８を繋ぐ状態で設けら
れている。供給管１７上には電熱線１８が巻回されてい
る。A crucible 8 is provided below the cooling can 5, and the crucible 8 is filled with a metallic magnetic material 9. A heating device 10 is provided on the side of the cooling can 5. Further, between the cooling can 5 and the crucible 8 accommodating the metallic magnetic material 9 and in the vicinity of the cooling can 5, a shutter 11 curvedly formed so as to face the peripheral surface of the cooling can 5. Are arranged. On the other hand, outside the vacuum chamber 1, a raw material supply unit 13 having a supply tray 12 inside is provided. The respective shapes and roles are the same as those in the first embodiment. Further, the supply pipe 17 having the intermediate preheating chamber 17a in the middle is connected to the raw material supply unit 13
The crucible 8 is connected to the bottom of the inner supply tray 12. A heating wire 18 is wound around the supply pipe 17.
【００２６】つまり、本実施例においても、非磁性支持
体であるベースフィルム２は送り出しロール３から冷却
キャン５へと供給され、さらに巻取りロール４に巻き取
られる。ベースフィルム２が冷却キャン５の周面を通過
する際、ルツボ８を加熱することにより蒸発発生した金
属磁性材料９が該ベースフィルム２上に所定の角度範囲
で磁性層として被着形成される。この時、金属磁性材料
ペレット１５が、一定時間おきに原料供給ユニット１３
内の供給皿１２から供給管１７を通じてルツボ８に供給
されており、該金属磁性材料ペレット１５は金属磁性材
料９として、加熱蒸発させられ、ベースフィルム２上に
磁性層として被着形成される。That is, also in this embodiment, the base film 2 which is a non-magnetic support is supplied from the delivery roll 3 to the cooling can 5 and further wound up by the winding roll 4. When the base film 2 passes through the peripheral surface of the cooling can 5, the metallic magnetic material 9 evaporated by heating the crucible 8 is deposited and formed on the base film 2 as a magnetic layer in a predetermined angle range. At this time, the metallic magnetic material pellets 15 are fed to the raw material supply unit 13 at regular intervals.
The metal magnetic material pellets 15 are supplied to the crucible 8 from the inner supply tray 12 through the supply pipe 17, and the metal magnetic material pellets 15 are heated and evaporated as the metal magnetic material 9 and deposited on the base film 2 as a magnetic layer.
【００２７】この際、供給管１７が途中に中間予熱室１
７ａを有する形状であり、中間予熱室１７ａ上には電熱
線１８が巻回されているため、これに電気を通ずること
によって、中間予熱室１７ａ内の金属磁性材料ペレット
１５は予熱される。さらに、中間予熱室１７ａは、管部
よりも傾斜が緩やかなため、金属磁性材料ペレット１５
の落下速度が緩やかになり、金属磁性材料ペレット１５
は十分に予熱される。At this time, the supply pipe 17 is placed in the middle of the intermediate preheating chamber 1
Since the heating wire 18 is wound on the intermediate preheating chamber 17a, the metal magnetic material pellets 15 in the intermediate preheating chamber 17a are preheated by passing electricity through the heating wire 18. Furthermore, since the intermediate preheating chamber 17a has a gentler inclination than the pipe portion, the metal magnetic material pellets 15
The falling speed of the metal magnetic material pellet 15
Is fully preheated.
【００２８】なお、予熱は本例では電熱線１８により行
うようにしたが、中間予熱室１７ａ中にカーボン棒を配
し、これに電気を通ずることによって、金属磁性材料ペ
レット１５の加熱を行っても良い。Although the preheating is performed by the heating wire 18 in this example, a carbon rod is placed in the intermediate preheating chamber 17a, and electricity is passed through the carbon rod to heat the metal magnetic material pellets 15. Is also good.
【００２９】従って、このような蒸着装置において、金
属磁性材料ペレット１５は、原料供給ユニット１３内の
供給皿１２から供給管１７を通じて、ルツボ８に供給さ
れる。この時、電熱線１８が巻回されている中間予熱室
１７ａ中で金属磁性材料ペレット１５が加熱されること
によって、ルツボ８内の温度の低下を防止し、金属磁性
材料の蒸発速度を一定に保ち、均一な膜厚を有する磁性
膜を形成し、品質の安定した蒸着テープを生産すること
ができる。Therefore, in such a vapor deposition apparatus, the metal magnetic material pellets 15 are supplied from the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 to the crucible 8 through the supply pipe 17. At this time, the metal magnetic material pellets 15 are heated in the intermediate preheating chamber 17a in which the heating wire 18 is wound, so that the temperature inside the crucible 8 is prevented from decreasing and the evaporation rate of the metal magnetic material is kept constant. It is possible to form a magnetic film having a uniform thickness and keep the vapor deposition tape with stable quality.
【００３０】そこで、以上の構成を有する蒸着装置を用
いて、以下のように磁気テープの試作を行った。本試作
では、金属磁性材料９としてＣｏ80−Ｎｉ20（数字は重
量パーセントを示す。）を使用した。Ｃｏ80−Ｎｉ
20（数字は重量パーセントを示す。）の金属磁性材料ペ
レット１５を加熱する際、供給系の効率を考慮して、ル
ツボ８供給時の金属磁性材料ペレット１５表面温度が５
００℃以上で金属磁性材料ペレット１５が溶解しない温
度となるように加熱した。実際には、電熱線１８として
直径５ｍｍのニクロム線を中間予熱室１７ａ周囲に巻回
し、これに３ｋＷの電力を供給して中間予熱室１７ａを
加熱し、中間予熱室内１７ａ内の金属磁性材料ペレット
１５の予熱を行った。この時の試作品をサンプル２とし
た。なお、この時の金属磁性材料ペレット１５の表面温
度の経時変化を図５に示す。Therefore, a magnetic tape was trial-produced as follows using the vapor deposition device having the above structure. In this prototype, Co 80 —Ni 20 (numbers indicate weight percent) was used as the metal magnetic material 9. Co 80 -Ni
When heating the metal magnetic material pellets 15 of 20 (number indicates weight percent), the surface temperature of the metal magnetic material pellets 15 at the time of supplying the crucible 8 is 5 in consideration of the efficiency of the supply system.
It was heated to a temperature at which the metal magnetic material pellets 15 did not melt at a temperature of 00 ° C. or higher. In practice, as the heating wire 18, a nichrome wire having a diameter of 5 mm is wound around the intermediate preheating chamber 17a, and the intermediate preheating chamber 17a is heated by supplying electric power of 3 kW to the metallic magnetic material pellets in the intermediate preheating chamber 17a. 15 preheats were performed. The prototype at this time was sample 2. Note that FIG. 5 shows the time-dependent change in the surface temperature of the metal magnetic material pellets 15 at this time.
【００３１】実施例 ３ 本発明を適用した他の例について説明する。本実施例に
おいても、真空蒸着装置の概略は実施例１とほぼ同様
で、図１に示すような、内部が低圧状態となされた真空
室１内の上部左右に送り出しロール３，巻取りロール４
を配設するとともに、真空室１内中央部には冷却キャン
５を配し、また、送り出しロール３と冷却キャン５の間
にはガイドロール６、冷却キャン５と巻取りロールの間
にはガイドロール７が配設されてなるものである。 Example 3 Another example to which the present invention is applied will be described. Also in the present embodiment, the outline of the vacuum vapor deposition apparatus is almost the same as that of the first embodiment, and as shown in FIG.
, A cooling can 5 is arranged in the center of the vacuum chamber 1, a guide roll 6 is provided between the delivery roll 3 and the cooling can 5, and a guide roll 6 is provided between the cooling can 5 and the winding roll. The roll 7 is provided.
【００３２】また、冷却キャン５の下方にルツボ８が設
けられ、このルツボ８内に金属磁性材料９が充填されて
いる。上記冷却キャン５の側方には、加熱装置１０が設
けられている。さらに、上記冷却キャン５と上記金属磁
性材料９が収納されたルツボ８との間であって該冷却キ
ャン５の近傍には、冷却キャン５の周面と対向するよう
に湾曲形成されたシャッター１１が配設されている。そ
れぞれの形状と役割は実施例１と同様である。一方、上
記真空室１外部には供給皿１２を内部に有する原料供給
ユニット１３，原料供給ユニット１３内の供給皿１２底
部と上記ルツボ８を繋ぐ状態で供給管１４が設けられて
いる。A crucible 8 is provided below the cooling can 5, and the crucible 8 is filled with a metallic magnetic material 9. A heating device 10 is provided on the side of the cooling can 5. Further, between the cooling can 5 and the crucible 8 accommodating the metallic magnetic material 9 and in the vicinity of the cooling can 5, a shutter 11 curvedly formed so as to face the peripheral surface of the cooling can 5. Are arranged. The respective shapes and roles are the same as those in the first embodiment. On the other hand, outside the vacuum chamber 1, there is provided a raw material supply unit 13 having a supply tray 12 therein, and a supply pipe 14 connecting the bottom of the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 and the crucible 8.
【００３３】つまり、本実施例においても、非磁性支持
体であるベースフィルム２は送り出しロール３から冷却
キャン５へと供給され、さらに巻取りロール４に巻き取
られる。ベースフィルム２が冷却キャン５の周面を通過
する際、ルツボ８を加熱することにより蒸発発生した金
属磁性材料９が該ベースフィルム２上に磁性層として被
着形成される。この時、金属磁性材料ペレット１５が、
一定時間おきに原料供給ユニット１３内の供給皿１２か
ら供給管１４を通じてルツボ８に供給されており、該金
属磁性材料ペレット１５は金属磁性材料９として、加熱
蒸発させられ、ベースフィルム２上に磁性層として被着
形成される。That is, also in this embodiment, the base film 2 which is a non-magnetic support is supplied from the delivery roll 3 to the cooling can 5 and further wound up by the winding roll 4. When the base film 2 passes through the peripheral surface of the cooling can 5, the metallic magnetic material 9 vaporized by heating the crucible 8 is deposited and formed on the base film 2 as a magnetic layer. At this time, the metal magnetic material pellets 15 are
It is supplied to the crucible 8 from the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 through the supply pipe 14 at regular intervals. It is deposited as a layer.
【００３４】この際、供給管１４は加熱装置を有さず、
原料供給ユニット１３が加熱装置を有し、原料供給ユニ
ット１３内の金属磁性材料ペレット１５が加熱されるよ
うな構成となっている。この上記原料供給ユニット１３
の加熱方法であるが、原料供給ユニット１３周囲に電熱
線を巻回し、これに電気を通ずることによって金属磁性
材料ペレット１５の加熱を行う方法、上記原料供給ユニ
ット１３内の供給皿１２にカーボン棒を配し、これに電
気を通ずることによって金属磁性材料ペレット１５の加
熱を行う方法等何れの方法を用いても良い。また、電磁
波による加熱方法等でも良い。At this time, the supply pipe 14 has no heating device,
The raw material supply unit 13 has a heating device, and the metal magnetic material pellets 15 in the raw material supply unit 13 are heated. This raw material supply unit 13
The method for heating the metal magnetic material pellets 15 by winding a heating wire around the raw material supply unit 13 and passing electricity through the heating wire, and a carbon rod on the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 Any method may be used, such as a method of heating the metal magnetic material pellets 15 by arranging and heating the metal magnetic material pellets 15. Alternatively, a heating method using electromagnetic waves may be used.
【００３５】従って、このような蒸着装置において、金
属磁性材料ペレット１５は、原料供給ユニット１３内の
供給皿１２から供給管１４を通じて、ルツボ８に供給さ
れる。この時、原料供給ユニット１３内にて金属磁性材
料ペレット１５が加熱されることによって、ルツボ８内
の温度の低下を防止し、金属磁性材料の蒸発速度を一定
に保ち、均一な膜厚を有する磁性膜を形成し、品質の安
定した蒸着テープを生産することができる。Therefore, in such a vapor deposition apparatus, the metal magnetic material pellets 15 are supplied from the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 to the crucible 8 through the supply pipe 14. At this time, the metal magnetic material pellets 15 are heated in the raw material supply unit 13 to prevent the temperature in the crucible 8 from lowering, keep the evaporation rate of the metal magnetic material constant, and have a uniform film thickness. A magnetic film can be formed to produce a vapor deposition tape with stable quality.
【００３６】そこで、以上の構成を有する蒸着装置を用
いて、以下のように磁気テープの試作を行った。本試作
では、金属磁性材料９としてＣｏ80−Ｎｉ20（数字は重
量パーセントを示す。）を使用した。Ｃｏ80−Ｎｉ
20（数字は重量パーセントを示す。）の金属磁性材料ペ
レット１５を加熱する際、供給系の効率を考慮して、ル
ツボ８供給時の金属磁性材料ペレット１５表面温度が５
００℃以上で金属磁性材料ペレット１５の溶解しない温
度となるように加熱した。実際には、原料供給ユニット
１３内の供給皿１２にカーボン棒を配し、これに１０ｋ
Ｗの電力を供給して供給皿１２を加熱し、原料供給ユニ
ット１１ａ内の金属磁性材料ペレット１５の予熱を行っ
た。この時の試作品をサンプル３とした。そして、試作
時の加熱装置１０の出力と試作品の磁気特性（Ｈｃ，
Φ，Ｒｓ）と膜厚分布を測定した。結果を表１に示す。Therefore, a magnetic tape was trial-produced as follows using the vapor deposition apparatus having the above structure. In this prototype, Co 80 —Ni 20 (numbers indicate weight percent) was used as the metal magnetic material 9. Co 80 -Ni
When heating the metal magnetic material pellets 15 of 20 (numbers indicate weight percent), the surface temperature of the metal magnetic material pellets 15 at the time of supplying the crucible 8 is 5 in consideration of the efficiency of the supply system.
The heating was performed at a temperature of 00 ° C. or higher so that the temperature of the metal magnetic material pellets 15 did not melt. Actually, a carbon rod is arranged on the supply tray 12 in the raw material supply unit 13 and 10 k
The electric power of W was supplied to heat the supply tray 12 to preheat the metal magnetic material pellets 15 in the raw material supply unit 11a. The prototype at this time was sample 3. Then, the output of the heating device 10 during trial manufacture and the magnetic characteristics (Hc,
Φ, Rs) and the film thickness distribution were measured. The results are shown in Table 1.
【００３７】そして、比較サンプル，サンプル１，サン
プル２，サンプル３の試作時の加熱装置１０の出力と試
作品の磁気特性（Ｈｃ，Φ，Ｒｓ）と膜厚分布を測定し
た。結果を表１に示す。Then, the output of the heating device 10 during the trial production of the comparative sample, sample 1, sample 2 and sample 3, the magnetic characteristics (Hc, Φ, Rs) and the film thickness distribution of the prototype were measured. The results are shown in Table 1.
【００３８】[0038]
【表１】 [Table 1]
【００３９】表１を見てわかるように、金属磁性材料ペ
レット１５を予め予熱して試作を行ったサンプル１，
２，３は、金属磁性材料ペレット１５を予め予熱しなか
った比較サンプルと比較して、必要とされる加熱装置１
０の出力が低減でき、磁気特性は同様であり、磁性膜の
膜厚分布を抑えることができた。As can be seen from Table 1, Sample 1, which was prepared by preheating metal magnetic material pellets 15 in advance,
Nos. 2 and 3 are required heating devices 1 in comparison with a comparative sample in which the metal magnetic material pellets 15 are not preheated in advance.
The output of 0 can be reduced, the magnetic characteristics are the same, and the film thickness distribution of the magnetic film can be suppressed.
【００４０】以上のことから、金属磁性材料ペレット１
５を原料供給ユニット１３より供給管１４，１７を通じ
てルツボ８に供給する際、上述の実施例１，２，３のよ
うな手法で該金属磁性材料ペレット１５を予め予熱して
おくことによって、ルツボ８内温度を低下させることな
く金属磁性材料ペレット１５を供給でき、そのことによ
って、生産性が向上し、膜厚がさらに制御され、品質の
安定した蒸着テープを生産できる。From the above, the metal magnetic material pellet 1
When supplying 5 to the crucible 8 from the raw material supply unit 13 through the supply pipes 14 and 17, the metal magnetic material pellets 15 are preheated in the same manner as in the above-described first, second, and third, to thereby obtain the crucible. The metal magnetic material pellets 15 can be supplied without lowering the internal temperature, which improves productivity, further controls the film thickness, and produces a vapor deposition tape with stable quality.
【００４１】[0041]
【発明の効果】真空蒸着加工時において、生産性を向上
させるために、金属磁性材料ペレットをルツボに供給す
る方法が用いられている。その際、ルツボ内の金属磁性
材料と金属磁性材料ペレットの温度差が約２０００℃あ
るため、金属磁性材料をそのまま供給するとルツボ内温
度を低下させてしまい、蒸着膜の膜厚分布不良を引き起
こしやすい。本発明においては、金属磁性材料ペレット
を予め予熱することによってルツボ内温度を低下するこ
となく金属磁性材料を供給するため、膜厚分布が更に制
御され、品質の安定した蒸着テープを生産することがで
きる。In the vacuum vapor deposition process, a method of supplying metal magnetic material pellets to the crucible is used to improve the productivity. At this time, since the temperature difference between the metal magnetic material and the metal magnetic material pellets in the crucible is about 2000 ° C., if the metal magnetic material is supplied as it is, the temperature inside the crucible is lowered, and the film thickness distribution defect of the deposited film is likely to occur. .. In the present invention, since the metallic magnetic material is supplied without lowering the temperature inside the crucible by preheating the metallic magnetic material pellets, the film thickness distribution is further controlled, and a vapor deposition tape with stable quality can be produced. it can.
【図１】本発明を適用した真空蒸着装置の構成例を示す
模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of a vacuum vapor deposition device to which the present invention is applied.
【図２】本発明を適用した真空蒸着装置の構成例を示す
模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration example of a vacuum vapor deposition device to which the present invention is applied.
【図３】金属磁性材料ペレットの表面温度の経時変化を
示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a change over time in the surface temperature of a metal magnetic material pellet.
１・・・・・真空室 ２・・・・・非磁性支持体 ８・・・・・ルツボ ９・・・・・金属磁性体 １２・・・・供給皿 １３・・・・原料供給ユニット １４・・・・供給管 １５・・・・金属磁性材料ペレット １６・・・・電熱線 １７・・・・供給管 １７ａ・・・中間予熱室 １８・・・・電熱線 1 ... Vacuum chamber 2 ... Non-magnetic support 8 ... Crucible 9 ... Metal magnetic body 12 ... Supply plate 13 ... Raw material supply unit 14・ ・ ・ ・ Supply pipe 15 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Metal magnetic material pellets 16 ・ ・ ・ ・ Heating wire 17 ・ ・ ・ ・ Supply pipe 17a ・ ・ ・ Intermediate preheating chamber 18 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Heating wire
Claims (4)
ットを供給管を通じて真空蒸着装置内のルツボに供給
し、加熱により蒸発せしめて非磁性支持体上に蒸着する
に際し、前記金属磁性材料ペレットを予め予熱しておく
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。1. When the metal magnetic material pellets in the raw material supply unit are supplied to a crucible in a vacuum vapor deposition apparatus through a supply pipe and evaporated by heating to deposit on a non-magnetic support, the metal magnetic material pellets are previously prepared. A method of manufacturing a magnetic recording medium, which comprises preheating.
を予熱することを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒
体の製造方法。2. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the supply pipe is heated to preheat the metal magnetic material pellets.
中間予熱室内で金属磁性材料ペレットを予熱することを
特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。3. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein an intermediate preheating chamber is provided in the middle of the supply pipe, and the metal magnetic material pellets are preheated in the intermediate preheating chamber.
料ペレットを予熱することを特徴とする請求項１記載の
磁気記録媒体の製造方法。4. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the raw material supply unit is heated to preheat the metal magnetic material pellets.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31153691A JPH05128518A (en) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | Manufacture of magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31153691A JPH05128518A (en) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | Manufacture of magnetic recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05128518A true JPH05128518A (en) | 1993-05-25 |
Family
ID=18018424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31153691A Withdrawn JPH05128518A (en) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | Manufacture of magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05128518A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180048975A (en) | 2015-10-06 | 2018-05-10 | 가부시키가이샤 아루박 | Material supply apparatus and deposition apparatus |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP31153691A patent/JPH05128518A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180048975A (en) | 2015-10-06 | 2018-05-10 | 가부시키가이샤 아루박 | Material supply apparatus and deposition apparatus |
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