JPH05129874A - 水晶発振片 - Google Patents
水晶発振片Info
- Publication number
- JPH05129874A JPH05129874A JP29166091A JP29166091A JPH05129874A JP H05129874 A JPH05129874 A JP H05129874A JP 29166091 A JP29166091 A JP 29166091A JP 29166091 A JP29166091 A JP 29166091A JP H05129874 A JPH05129874 A JP H05129874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- crystal
- crystal oscillator
- piece
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】外部からのガスやゴミが水晶発振片の平面電極
に吸着することを防止し、精度・信頼性の向上を図る。 【構成】電極を形成する平面電極と側面電極のうち、少
なくとも平面電極上に絶縁膜を有する水晶発振片であ
る。
に吸着することを防止し、精度・信頼性の向上を図る。 【構成】電極を形成する平面電極と側面電極のうち、少
なくとも平面電極上に絶縁膜を有する水晶発振片であ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水晶発振片の電極構造
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の水晶発振片の一実施例を図６を用
いて説明する。図６は音叉型水晶発振片の振動部の断面
図であるが、水晶板平面上に設けられた金属膜から成る
平面電極２６と水晶板板厚方向に設けられた金属膜から
成る側面電極３６により水晶発振片１６を発振させる構
造を取っている。さらに、この水晶発振片１６を図７に
示したプラグ５７へ結合したのちケース６７をかぶせ、
水晶振動子７７となる。
いて説明する。図６は音叉型水晶発振片の振動部の断面
図であるが、水晶板平面上に設けられた金属膜から成る
平面電極２６と水晶板板厚方向に設けられた金属膜から
成る側面電極３６により水晶発振片１６を発振させる構
造を取っている。さらに、この水晶発振片１６を図７に
示したプラグ５７へ結合したのちケース６７をかぶせ、
水晶振動子７７となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術では、前記プラグ及びケースから放出されるガスが
平面電極上へ吸着し、その結果として発振周波数のシフ
トやクリスタルインピーダンス（以下ＣＩと略称す）の
増加等の特性劣化を招いてしまう。
技術では、前記プラグ及びケースから放出されるガスが
平面電極上へ吸着し、その結果として発振周波数のシフ
トやクリスタルインピーダンス（以下ＣＩと略称す）の
増加等の特性劣化を招いてしまう。
【０００４】さらに、前記プラグやケースから発せられ
るゴミ及び製造工程中に発せられるゴミが平面電極と側
面電極の間に付着し、その結果電極間が短絡して発振停
止を招くことになる。
るゴミ及び製造工程中に発せられるゴミが平面電極と側
面電極の間に付着し、その結果電極間が短絡して発振停
止を招くことになる。
【０００５】近年、水晶振動子はコンピュータ等の情報
機器やポケットベル等の通信機器のクロック源として使
用されており、高精度・高信頼性の要求がますます強く
なってきている。その中で、前述した発振周波数のシフ
トやＣＩの増加等の特性劣化及び発振停止は致命的欠陥
となっていた。特に発振停止は、水晶振動子を使用して
いる製品の機能までも全面的に停止してしまう重大欠陥
であり、その解決方法が待ち望まれていた。
機器やポケットベル等の通信機器のクロック源として使
用されており、高精度・高信頼性の要求がますます強く
なってきている。その中で、前述した発振周波数のシフ
トやＣＩの増加等の特性劣化及び発振停止は致命的欠陥
となっていた。特に発振停止は、水晶振動子を使用して
いる製品の機能までも全面的に停止してしまう重大欠陥
であり、その解決方法が待ち望まれていた。
【０００６】本発明は以上の課題を解決するものであ
り、その目的とするところは、水晶発振片電極の少なく
とも平面電極上に絶縁膜を堆積させることにより、外部
からガスが電極膜へ吸着するのを防止し、さらに、外部
からのゴミが電極間へ付着しても電極間の短絡を防止す
ることにより、高精度・高信頼性の水晶発振片を提供す
ることにある。
り、その目的とするところは、水晶発振片電極の少なく
とも平面電極上に絶縁膜を堆積させることにより、外部
からガスが電極膜へ吸着するのを防止し、さらに、外部
からのゴミが電極間へ付着しても電極間の短絡を防止す
ることにより、高精度・高信頼性の水晶発振片を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の水晶発振片は、
一枚の水晶板から作られる水晶発振片の水晶板平面上に
設けられた金属膜から成る平面電極と水晶板板厚方向に
設けられた金属膜から成る側面電極を持つ水晶発振片に
おいて、少なくとも前記平面電極上に絶縁膜を有するこ
とを特徴とする。
一枚の水晶板から作られる水晶発振片の水晶板平面上に
設けられた金属膜から成る平面電極と水晶板板厚方向に
設けられた金属膜から成る側面電極を持つ水晶発振片に
おいて、少なくとも前記平面電極上に絶縁膜を有するこ
とを特徴とする。
【０００８】
【実施例】本発明の水晶発振片の一実施例を図１により
説明する。図１は音叉型水晶発振片の振動部の断面図で
あるが、その電極は水晶板平面上に設けられた金属膜か
ら成る平面電極２１と水晶板板厚方向に設けられた金属
膜から成る側面電極３１から構成されている。さらに、
絶縁膜４１をこの平面電極２１の上に堆積させ、外部か
らのガスやゴミの吸着を防止する構造になっている。
説明する。図１は音叉型水晶発振片の振動部の断面図で
あるが、その電極は水晶板平面上に設けられた金属膜か
ら成る平面電極２１と水晶板板厚方向に設けられた金属
膜から成る側面電極３１から構成されている。さらに、
絶縁膜４１をこの平面電極２１の上に堆積させ、外部か
らのガスやゴミの吸着を防止する構造になっている。
【０００９】ここに用いられる金属膜はＡｕ、Ａｇ、Ｃ
ｒ等であり、真空蒸着やスパッタリング、プラズマＣＶ
Ｄ等の乾式膜付け法や電界メッキ、無電界メッキ等の湿
式膜付け法により形成する。また、平面電極上に堆積さ
せる絶縁膜はＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 等の酸化膜やＳｉ3 Ｎ
4、ＴｉＮ等の窒化膜等であり、金属膜と同様に前述の
乾式あるいは湿式膜付け法により形成する。
ｒ等であり、真空蒸着やスパッタリング、プラズマＣＶ
Ｄ等の乾式膜付け法や電界メッキ、無電界メッキ等の湿
式膜付け法により形成する。また、平面電極上に堆積さ
せる絶縁膜はＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 等の酸化膜やＳｉ3 Ｎ
4、ＴｉＮ等の窒化膜等であり、金属膜と同様に前述の
乾式あるいは湿式膜付け法により形成する。
【００１０】図１に示した実施例では、平面電極上にの
み絶縁膜を堆積させているが、本発明はこれに限定され
るものではなく、図２に示したように水晶発振片の平面
全体に絶縁膜を堆積しても良いし、図３に示したように
平面電極及び側面電極の両方に絶縁膜を堆積させても同
様な効果を得ることができる。なお、側面電極の面積は
平面電極の面積より極めて小さいため少なくとも平面電
極上に絶縁膜が堆積していれば前述の効果を得ることが
できる。
み絶縁膜を堆積させているが、本発明はこれに限定され
るものではなく、図２に示したように水晶発振片の平面
全体に絶縁膜を堆積しても良いし、図３に示したように
平面電極及び側面電極の両方に絶縁膜を堆積させても同
様な効果を得ることができる。なお、側面電極の面積は
平面電極の面積より極めて小さいため少なくとも平面電
極上に絶縁膜が堆積していれば前述の効果を得ることが
できる。
【００１１】また、本発明は平面電極の形状に限定され
るものでもなく、例えば図１に示した電極形状と異なる
図４に示した様な電極形状であってもかまわない。
るものでもなく、例えば図１に示した電極形状と異なる
図４に示した様な電極形状であってもかまわない。
【００１２】水晶発振片を水晶振動子へ組み込む場合、
水晶発振片をプラグへ結合し、さらにそれへ真空中にお
いて、ケースをかぶせなければならない。水晶発振片と
プラグとの結合はハンダやＡｇ等の金属ペーストが用い
られ、プラグとケースとの結合にも同様な材料が用いら
れる。近年、表面実装用としてセラミックを用いたプラ
グやケースが用いられているが、水晶発振片との結合は
同じくハンダや金属ペースト等の接着剤が使用される。
このプラグやケース、接着剤から放出されるガスが水晶
発振片の電極膜へ吸着すると水晶発振片の重量が増加す
るため発振周波数がシフトしたり、ＣＩが増加してしま
う。従来の電極膜は金属膜から成っておりガスの吸着が
発生し易かったのであるが、本発明者は絶縁膜のガス吸
着量が金属膜のそれと比較して極めて低いことを見出し
た。表１に本発明の実施例（試料１〜３）と比較例（試
料４〜６）の比較試験結果を示す。試験は１００℃の温
度中において１０００時間放置した時の発振周波数の変
化量（△Ｔｏ）及びＣＩの変化量（△ＣＩ）を調査し
た。
水晶発振片をプラグへ結合し、さらにそれへ真空中にお
いて、ケースをかぶせなければならない。水晶発振片と
プラグとの結合はハンダやＡｇ等の金属ペーストが用い
られ、プラグとケースとの結合にも同様な材料が用いら
れる。近年、表面実装用としてセラミックを用いたプラ
グやケースが用いられているが、水晶発振片との結合は
同じくハンダや金属ペースト等の接着剤が使用される。
このプラグやケース、接着剤から放出されるガスが水晶
発振片の電極膜へ吸着すると水晶発振片の重量が増加す
るため発振周波数がシフトしたり、ＣＩが増加してしま
う。従来の電極膜は金属膜から成っておりガスの吸着が
発生し易かったのであるが、本発明者は絶縁膜のガス吸
着量が金属膜のそれと比較して極めて低いことを見出し
た。表１に本発明の実施例（試料１〜３）と比較例（試
料４〜６）の比較試験結果を示す。試験は１００℃の温
度中において１０００時間放置した時の発振周波数の変
化量（△Ｔｏ）及びＣＩの変化量（△ＣＩ）を調査し
た。
【表１】 表１から明らかな様に、本発明による水晶発振片（試料
１−３）は、発振周波数やＣＩの変化がほとんどなく比
較例（試料４〜６）と比較しても精度が大巾に向上して
いることがわかる。
１−３）は、発振周波数やＣＩの変化がほとんどなく比
較例（試料４〜６）と比較しても精度が大巾に向上して
いることがわかる。
【００１３】さらに、絶縁膜を平面電極上へ堆積させた
ので平面電極と側面電極間にゴミが付着しても、電極間
が短絡して発振停止を招くことが皆無となる。特に前述
したプラグやケース接着剤から発せられるゴミや製造工
程中に発せられるゴミをなくすことは極めて困難であっ
たが、絶縁膜を平面電極上に堆積することによりこの問
題を容易に解決することができた。
ので平面電極と側面電極間にゴミが付着しても、電極間
が短絡して発振停止を招くことが皆無となる。特に前述
したプラグやケース接着剤から発せられるゴミや製造工
程中に発せられるゴミをなくすことは極めて困難であっ
たが、絶縁膜を平面電極上に堆積することによりこの問
題を容易に解決することができた。
【００１４】表１に示した本実施例では、絶縁膜として
酸化膜を用いたが、酸化膜の他に前述した窒化膜やフッ
化膜等の絶縁膜についても表１に示した結果と同様な結
果が得られた。
酸化膜を用いたが、酸化膜の他に前述した窒化膜やフッ
化膜等の絶縁膜についても表１に示した結果と同様な結
果が得られた。
【００１５】なお、本発明は本実施例の水晶発振片の外
形形状に限定されるものではなく、あらゆる形状の水晶
発振片へ応用できる。例えば、図５に縦振動子の振動部
断面図を示すが、本発明の構成を取ることにより前述の
結果を得ることができる。
形形状に限定されるものではなく、あらゆる形状の水晶
発振片へ応用できる。例えば、図５に縦振動子の振動部
断面図を示すが、本発明の構成を取ることにより前述の
結果を得ることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように本発明の水晶発振片に
よれば、電極を構成する平面電極と側面電極の中で少な
くとも平面電極上に絶縁膜を有するので、水晶振動子を
形成するプラグやケース、接着剤から放出するガスが水
晶発振片の平面電極上へ吸着することを防止でき、その
結果として発振周波数の変化やＣＩの増加等の特性劣化
がなく高精度の水晶振動子を得ることができる。さら
に、平面電極と側面電極間のゴミの付着による短絡、す
なわち発振停止が皆無となり、高信頼性の水晶振動子を
得ることができる。
よれば、電極を構成する平面電極と側面電極の中で少な
くとも平面電極上に絶縁膜を有するので、水晶振動子を
形成するプラグやケース、接着剤から放出するガスが水
晶発振片の平面電極上へ吸着することを防止でき、その
結果として発振周波数の変化やＣＩの増加等の特性劣化
がなく高精度の水晶振動子を得ることができる。さら
に、平面電極と側面電極間のゴミの付着による短絡、す
なわち発振停止が皆無となり、高信頼性の水晶振動子を
得ることができる。
【図１】 本発明の水晶発振片の振動部を示す断面図。
【図２】 本発明の水晶発振片の振動部を示す断面図。
【図３】 本発明の水晶発振片の振動部を示す断面図。
【図４】 本発明の水晶発振片の振動部を示す断面図。
【図５】 本発明の水晶発振片の振動部を示す断面図。
【図６】 従来の水晶発振片の振動部を示す断面図。
【図７】 従来の水晶振動子を示す図。
１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７ 水晶発振
片 ２１、２２、２３、２４、２５、２６ 平面電極 ３１、３２、３３、３４、３５、３６ 側面電極 ４１、４２、４３、４４、４５ 絶縁膜 ５７ プラグ ６７ ケース ７７ 水晶振動子
片 ２１、２２、２３、２４、２５、２６ 平面電極 ３１、３２、３３、３４、３５、３６ 側面電極 ４１、４２、４３、４４、４５ 絶縁膜 ５７ プラグ ６７ ケース ７７ 水晶振動子
Claims (1)
- 【請求項１】一枚の水晶板から作られる水晶発振片の水
晶板平面上に設けられた金属膜から成る平面電極と水晶
板板厚方向に設けられた金属膜から成る側面電極を持つ
水晶発振片において、少なくとも前記平面電極上に絶縁
膜を有することを特徴とする水晶発振片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29166091A JPH05129874A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 水晶発振片 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29166091A JPH05129874A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 水晶発振片 |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000315093A Division JP2001160733A (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 水晶発振片 |
| JP2000315092A Division JP2001144582A (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 表面実装用水晶振動子 |
| JP2000315091A Division JP2001102904A (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05129874A true JPH05129874A (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=17771808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29166091A Pending JPH05129874A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 水晶発振片 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05129874A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5918354A (en) * | 1996-04-02 | 1999-07-06 | Seiko Epson Corporation | Method of making a piezoelectric element |
| WO2000005812A1 (fr) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Seiko Epson Corporation | Oscillateur piezoelectrique et son procede de production |
| US7210332B2 (en) | 2003-03-21 | 2007-05-01 | Symyx Technologies, Inc. | Mechanical resonator |
| US7302830B2 (en) | 2001-06-06 | 2007-12-04 | Symyx Technologies, Inc. | Flow detectors having mechanical oscillators, and use thereof in flow characterization systems |
| US7334452B2 (en) | 1997-10-08 | 2008-02-26 | Visyx Technologies, Inc. | Method for characterizing materials by using a mechanical resonator |
| JP2010135973A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法 |
-
1991
- 1991-11-07 JP JP29166091A patent/JPH05129874A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5918354A (en) * | 1996-04-02 | 1999-07-06 | Seiko Epson Corporation | Method of making a piezoelectric element |
| US7334452B2 (en) | 1997-10-08 | 2008-02-26 | Visyx Technologies, Inc. | Method for characterizing materials by using a mechanical resonator |
| WO2000005812A1 (fr) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Seiko Epson Corporation | Oscillateur piezoelectrique et son procede de production |
| US6661162B1 (en) | 1998-07-24 | 2003-12-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator and method of producing the same |
| US6961981B2 (en) | 1998-07-24 | 2005-11-08 | Seiko Epson Corporation | Method of producing a piezoelectric resonator |
| US7302830B2 (en) | 2001-06-06 | 2007-12-04 | Symyx Technologies, Inc. | Flow detectors having mechanical oscillators, and use thereof in flow characterization systems |
| US7210332B2 (en) | 2003-03-21 | 2007-05-01 | Symyx Technologies, Inc. | Mechanical resonator |
| JP2010135973A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法 |
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