JPH0513433Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0513433Y2 JPH0513433Y2 JP1985122643U JP12264385U JPH0513433Y2 JP H0513433 Y2 JPH0513433 Y2 JP H0513433Y2 JP 1985122643 U JP1985122643 U JP 1985122643U JP 12264385 U JP12264385 U JP 12264385U JP H0513433 Y2 JPH0513433 Y2 JP H0513433Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- diaphragm
- plate
- vibration
- synthetic resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、超音波洗浄機等に用いられる合成樹
脂超音波振動板に関するものである。
脂超音波振動板に関するものである。
半導体はじめ各種物品の洗浄に超音波洗浄機が
広く用いられている。
広く用いられている。
従来の超音波洗浄機は、ステンレス等の金属製
板体の表面に超音波振動子を固定した超音波振動
板を洗浄機の機体に取り付けるか、或いは投込式
の密閉箱に入れて洗浄機内に投入するかしたもの
で、超音波振動子の発生した超音波振動を洗浄液
に伝達して強烈な振動を発生させ、半導体はじめ
各種の物品を有効に洗浄することができる。
板体の表面に超音波振動子を固定した超音波振動
板を洗浄機の機体に取り付けるか、或いは投込式
の密閉箱に入れて洗浄機内に投入するかしたもの
で、超音波振動子の発生した超音波振動を洗浄液
に伝達して強烈な振動を発生させ、半導体はじめ
各種の物品を有効に洗浄することができる。
上記のような超音波振動板は、洗浄液が酸性や
アルカリ性の場合、洗浄液に直接接触するステン
レス等の金属は洗浄液に侵されたり、超音波の照
射に基づき振動板に対して発生する洗浄液の侵蝕
現象であるいわゆるエロージヨンを受けるため実
用に供し得ない場合が多く、最近では、それらの
侵蝕性液に対する耐性に優れた塩化ビニール等の
合成樹脂製振動板の使用が考慮されるようになつ
てきた。
アルカリ性の場合、洗浄液に直接接触するステン
レス等の金属は洗浄液に侵されたり、超音波の照
射に基づき振動板に対して発生する洗浄液の侵蝕
現象であるいわゆるエロージヨンを受けるため実
用に供し得ない場合が多く、最近では、それらの
侵蝕性液に対する耐性に優れた塩化ビニール等の
合成樹脂製振動板の使用が考慮されるようになつ
てきた。
しかしながら、一般的に合成樹脂は金属に比べ
て振動に対する機械的強度が弱く、また耐熱性も
劣つているため、合成樹脂製板体を超音波振動子
に用いた場合、種々の不具合が生ずる。
て振動に対する機械的強度が弱く、また耐熱性も
劣つているため、合成樹脂製板体を超音波振動子
に用いた場合、種々の不具合が生ずる。
従来の、この種の超音波振動板は、例えば、第
６図ないし第７図に示すように、振動板１１は、
板体１２の表面に超音波振動子１３を適宜の手段
によつて固定したもので、振動板１１は例えば超
音波洗浄機１４の底板１５の孔１６を塞ぐように
取り付けられる。超音波振動子１３に高周波電流
を通ずることにより、板体１２に対して厚さ方向
の振動が発生する。第６図に示すように、その振
幅は超音波振動子１３を取り付けた振動板１１中
央部付近がもつとも大きく、振動子１３から遠ざ
かるにつれて一旦振幅は減少し、節１７となる。
節１７を過ぎれば振動の位相は反転し、振動は再
び増加して超音波振動子１３取り付け部の振幅に
近い腹１８となり、さらに遠ざかると振幅は節１
９を通過したのち位相を再度反転して再び増大す
る。
６図ないし第７図に示すように、振動板１１は、
板体１２の表面に超音波振動子１３を適宜の手段
によつて固定したもので、振動板１１は例えば超
音波洗浄機１４の底板１５の孔１６を塞ぐように
取り付けられる。超音波振動子１３に高周波電流
を通ずることにより、板体１２に対して厚さ方向
の振動が発生する。第６図に示すように、その振
幅は超音波振動子１３を取り付けた振動板１１中
央部付近がもつとも大きく、振動子１３から遠ざ
かるにつれて一旦振幅は減少し、節１７となる。
節１７を過ぎれば振動の位相は反転し、振動は再
び増加して超音波振動子１３取り付け部の振幅に
近い腹１８となり、さらに遠ざかると振幅は節１
９を通過したのち位相を再度反転して再び増大す
る。
このような従来の振動板１１においては、最初
の節１７の外側の腹１８の近傍において発熱量が
多い。振動板本体に化学的に安定である合成樹脂
板を用いた場合、その合成樹脂が耐熱性が劣り、
また熱放散が悪い場合には、腹１８の付近で発生
した熱が周囲に放散せず、そのため板体１２は熱
変形を起こし、最悪の場合にはピンホールが発生
し、使用不可能となることさえ起こる。また、振
動の腹の部分でなくともかなり高温となり損傷を
起こす。
の節１７の外側の腹１８の近傍において発熱量が
多い。振動板本体に化学的に安定である合成樹脂
板を用いた場合、その合成樹脂が耐熱性が劣り、
また熱放散が悪い場合には、腹１８の付近で発生
した熱が周囲に放散せず、そのため板体１２は熱
変形を起こし、最悪の場合にはピンホールが発生
し、使用不可能となることさえ起こる。また、振
動の腹の部分でなくともかなり高温となり損傷を
起こす。
本考案は、上記のような板体の振動の激しい部
分の近傍に上記のような故障が起こることを未然
に防止することのできる合成樹脂振動板を備えた
超音波振動板を提供することを目的とするもので
ある。
分の近傍に上記のような故障が起こることを未然
に防止することのできる合成樹脂振動板を備えた
超音波振動板を提供することを目的とするもので
ある。
本考案者は、種々研究の結果、合成樹脂製板体
に、取り付けられた超音波振動子の振動の位相が
腹になる部分で凹部あるいは溝等の振動伝達抑制
部を振動子を囲繞して設けることにより、上記の
発熱を防ぐことができることを確認した。
に、取り付けられた超音波振動子の振動の位相が
腹になる部分で凹部あるいは溝等の振動伝達抑制
部を振動子を囲繞して設けることにより、上記の
発熱を防ぐことができることを確認した。
板厚の薄い凹部は、板体中央部の振動子を完全
に、或いは概ね囲繞するように設けるとよく、そ
の凹部の断面形状はＶ字型またはＵ字型の断続し
た溝或いは独立した多数のさぐり孔とすることが
できる。
に、或いは概ね囲繞するように設けるとよく、そ
の凹部の断面形状はＶ字型またはＵ字型の断続し
た溝或いは独立した多数のさぐり孔とすることが
できる。
本考案は、合成樹脂製板体の表面に超音波振動
子を取り付け該板体の裏面から超音波を発射する
超音波振動板において、前記板体に振動の位相が
腹となる部分で、前記振動子の取付部を連続的或
いは不連続的に囲繞した凹部を設け、該凹部の外
側に振動が伝達されるのを抑制するようにしたこ
とを特徴とする合成樹脂超音波振動板であり、こ
れを提供することにより、上記板厚の薄い凹部か
ら外側に振動が伝達されるのを遮断し、振動板の
外側部分の振幅を小さくして、振動板が振動によ
り発熱したり、損傷を受けたりすることを未然に
防止することができた。
子を取り付け該板体の裏面から超音波を発射する
超音波振動板において、前記板体に振動の位相が
腹となる部分で、前記振動子の取付部を連続的或
いは不連続的に囲繞した凹部を設け、該凹部の外
側に振動が伝達されるのを抑制するようにしたこ
とを特徴とする合成樹脂超音波振動板であり、こ
れを提供することにより、上記板厚の薄い凹部か
ら外側に振動が伝達されるのを遮断し、振動板の
外側部分の振幅を小さくして、振動板が振動によ
り発熱したり、損傷を受けたりすることを未然に
防止することができた。
第１図は本考案の一実施例を示すもので、振動
板１は、樹脂製板体２の表面ほぼ中央部に超音波
振動子３を取り付け、その周囲に超音波振動子３
からほぼ一定の距離に、かつ超音波振動子３を包
囲して、Ｖ字型溝４を形成しその部分の板厚を薄
くしたものである。
板１は、樹脂製板体２の表面ほぼ中央部に超音波
振動子３を取り付け、その周囲に超音波振動子３
からほぼ一定の距離に、かつ超音波振動子３を包
囲して、Ｖ字型溝４を形成しその部分の板厚を薄
くしたものである。
Ｖ字型溝４の位置は、第１図に示す振幅曲線か
ら分かるように、ほぼ腹６の位置とするのがよ
く、このようなＶ字型溝４を形成することによ
り、振動の腹６における振幅は著しく縮小され
る。さらに節７の外側における振幅も、ほとんど
増大することがなく、振幅は全体として、Ｖ字型
溝（凹部）４の内側に限定される。
ら分かるように、ほぼ腹６の位置とするのがよ
く、このようなＶ字型溝４を形成することによ
り、振動の腹６における振幅は著しく縮小され
る。さらに節７の外側における振幅も、ほとんど
増大することがなく、振幅は全体として、Ｖ字型
溝（凹部）４の内側に限定される。
そのため、腹６に対応する部分における合成樹
脂板には殆ど発熱がなく、従来の問題を解決する
ことができた。
脂板には殆ど発熱がなく、従来の問題を解決する
ことができた。
第２図は別の実施例を示し、第１図の実施例に
おけるＶ字型溝の代わりにＵ字型溝８を設けたも
のである。また、Ｕ字型溝８でなく第５図ａ，ｂ
の如くざぐり孔とすることもできる。
おけるＶ字型溝の代わりにＵ字型溝８を設けたも
のである。また、Ｕ字型溝８でなく第５図ａ，ｂ
の如くざぐり孔とすることもできる。
第３図は大型の洗浄機に使用する超音波振動板
を示し、板体２には多数の超音波振動子３1，３2
……３oが取り付けられ、Ｖ字型溝４はすべての
超音波振動子を囲繞するように設けられている。
を示し、板体２には多数の超音波振動子３1，３2
……３oが取り付けられ、Ｖ字型溝４はすべての
超音波振動子を囲繞するように設けられている。
第４図は第２図に対応する実施例の平面図で、
溝９は超音波振動子３を囲繞するように設けられ
ているが、その溝９は強度上の見地から連続して
なく、四隅で不連続となつている。
溝９は超音波振動子３を囲繞するように設けられ
ているが、その溝９は強度上の見地から連続して
なく、四隅で不連続となつている。
第５図ａおよびｂは第２図の説明中で言及した
ざぐり孔を設けた実施例で、ざぐり孔１０は超音
波振動子３の周囲に正方形状にかつ千鳥状に二列
に配置されて超音波振動子３の取付位置を囲繞し
ている。このようなざぐり孔１０によつても振動
の伝播を抑制して発熱を防ぐことができる。
ざぐり孔を設けた実施例で、ざぐり孔１０は超音
波振動子３の周囲に正方形状にかつ千鳥状に二列
に配置されて超音波振動子３の取付位置を囲繞し
ている。このようなざぐり孔１０によつても振動
の伝播を抑制して発熱を防ぐことができる。
溝或いはざぐり孔はどの位置でもよいが、振動
の腹に相当する位置に設けると特に効果がある。
の腹に相当する位置に設けると特に効果がある。
本考案は、振動板に振動の位相が腹となる位置
で振動子を囲繞するように振動伝達抑制部を設
け、振動の伝達を抑制し、振動板の発熱を防止す
るようにした。このため、機械的強度をほとんど
低下させることなく、従来困難視されていた合成
樹脂製振動板体の使用を可能とし、超音波振動板
の寿命をいちじるしく延長することができた。
で振動子を囲繞するように振動伝達抑制部を設
け、振動の伝達を抑制し、振動板の発熱を防止す
るようにした。このため、機械的強度をほとんど
低下させることなく、従来困難視されていた合成
樹脂製振動板体の使用を可能とし、超音波振動板
の寿命をいちじるしく延長することができた。
第１図は本考案の第１実施例の側面図及び振幅
曲線、第２図および第３図はそれぞれ別の実施例
の側面図、第４図および第５図ａはさらに別の実
施例の底面図、第５図ｂは第５図ａの−線断
面図、第６図は従来の超音波振動板の側面図及び
振幅曲線の図、第７図は第６図の超音波振動板を
取り付けた超音波洗浄機の縦断側面図である。 １……超音波振動板、２……板体、３……超音
波振動子、４……Ｖ字型溝、５……節、６……
腹、７……節、８……Ｕ字型溝、９……溝、１０
……ざぐり孔、１１……超音波振動板、１２……
板体、１３……超音波振動子、１４……超音波洗
浄機、１５……底板、１６……孔、１７……節、
１８……腹、１９……節。
曲線、第２図および第３図はそれぞれ別の実施例
の側面図、第４図および第５図ａはさらに別の実
施例の底面図、第５図ｂは第５図ａの−線断
面図、第６図は従来の超音波振動板の側面図及び
振幅曲線の図、第７図は第６図の超音波振動板を
取り付けた超音波洗浄機の縦断側面図である。 １……超音波振動板、２……板体、３……超音
波振動子、４……Ｖ字型溝、５……節、６……
腹、７……節、８……Ｕ字型溝、９……溝、１０
……ざぐり孔、１１……超音波振動板、１２……
板体、１３……超音波振動子、１４……超音波洗
浄機、１５……底板、１６……孔、１７……節、
１８……腹、１９……節。
Claims (1)
- 合成樹脂製板体の表面に形成された取付部に超
音波振動子を取り付け、該板体の裏面から超音波
を発射する超音波振動板において、前記板体に前
記振動子から伝播する振動の位相が腹となる位置
で、前記取付部を連続的あるいは不連続的に囲繞
した振動伝達抑制部を設けたことを特徴とする合
成樹脂超音波振動板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985122643U JPH0513433Y2 (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985122643U JPH0513433Y2 (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231979U JPS6231979U (ja) | 1987-02-25 |
| JPH0513433Y2 true JPH0513433Y2 (ja) | 1993-04-08 |
Family
ID=31013024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985122643U Expired - Lifetime JPH0513433Y2 (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0513433Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49268A (ja) * | 1972-03-10 | 1974-01-05 | ||
| JPS4998985A (ja) * | 1973-01-25 | 1974-09-19 |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP1985122643U patent/JPH0513433Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6231979U (ja) | 1987-02-25 |
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