JPH05142076A - 差圧センサ及びそのダイヤフラム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 差圧センサにおいて、検出特性の線形性及び
検出精度を高め、動作信頼性を実用性のあるものとし、
更に小型化する。加えて、そのダイヤフラムに関し、構
造的に圧力検出精度を高くし、製作工程における各部の
位置合せを正確に且つ簡単に行うことを可能とする。 【構成】 ２つの異なる圧力に感応し、２つの圧力の差
を計測する差圧センサであり、少なくとも２つの起歪部
２を有する圧力検出部材１を設け、２つの起歪部２の各
受圧面の反対側面に、同時に製作される圧力検出用成膜
部１Ｂを設ける。圧力検出部材１は１つの部材で形成さ
れるか、又は少なくとも２つの孔５２，５３を有する支
持部材５１と２つの孔が開口する支持部材の端面に各孔
の開口部を塞ぐように接合された板状部材５４とから構
成される。またダイヤフラム１Ａは、単一の板状部材で
形成され、少なくとも２つの薄肉部を形成することによ
り少なくとも２つの起歪部２を有し、これらの起歪部の
成膜面が単一面である。更に成膜面の周囲に段差５を形
成し、この段差５を利用して所定位置関係にある２つの
位置合せ部を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は差圧センサ及びそのダイ
ヤフラムに係り、特に、土木機械や建設機械等に組み込
まれる油圧システムの油圧回路各部の差圧の検出に好適
な差圧センサ及びそのダイヤフラムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の差圧センサの例は、次の通りであ
る。まず代表的な第１の構成としては、単一圧力を検出
する圧力センサを２つ用意し、これらの圧力センサのそ
れぞれで異なる圧力を検出し、それらの差を計算して差
圧を求めるように構成される例である。この圧力センサ
は、圧力を導く部分と、圧力に受けて変形する起歪部
と、起歪部の変形状態に基づき印加圧力を検出する圧力
検出用成膜部を備える。この圧力検出用成膜部は、半導
体により所定のパターンの歪み検出部を備える。第２の
構成としては、１つの板状のダイヤフラムの表裏の両面
に異なる２つの圧力を印加するように構成し、２つの圧
力の差圧に応じてダイヤフラムが変形するとき、その変
形状態を、一方の面に形成した前記圧力検出用成膜部に
基づいて検出するように構成される例である。上記の圧
力検出用成膜部では、複数の歪みゲージを利用して、圧
力又は差圧を検出している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】２つの圧力センサを利
用して差圧を計測する構成例では、それぞれの圧力セン
サは別々に製作されるため、完全に同一に作ることがで
きず、それぞれの圧力検出特性が同じにならない。従っ
て、同一の検出特性に基づいて検出された２つの圧力の
差ではないので、算出された差圧の精度が低下し、また
実際の圧力差に対する検出信号の線形性も良くない。そ
こで、各圧力センサの検出特性を一致させるための調整
回路が必要となるが、これが製品のコストアップを招
く。更に、２つの圧力センサを組み込む構成を採用しな
ければならないため、装置を小型化することができない
という不具合が生じる。

【０００４】単一のダイヤフラムの両面を受圧面として
構成された差圧センサでは、圧力検出用成膜部が形成さ
れたダイヤフラム面の側に直接的に一方の圧油等が印加
されるため、圧力検出用成膜部の保護を十分に行う必要
が生じる。しかし、実際上の問題として、圧力検出用成
膜部を完全に保護することができず、その結果、圧力検
出用成膜部の検出機能の信頼性が低下し、センサ自体の
信頼性が低下するおそれがある。更に、圧力検出用成膜
部に接続された検出信号を取り出すための信号取出しワ
イヤは、圧油の中に配線されることになるため、圧油の
影響を受け、切断されるおそれがあり、信頼性の点で問
題を有する。

【０００５】以上の観点から、実用性の高い差圧センサ
を製作するにあたり、２つの圧力検出部を含む場合に、
それらの圧力検出部の圧力検出特性が、製作後に特別に
調整回路を付加しなくても構造として基本的に検出特性
が一致していること、且つその後の長期にわたる継続的
使用において、安定して良好な検出特性で差圧を検出
し、構造的に破損せず、動作信頼性が高いものであるこ
とが望まれる。

【０００６】また差圧センサの製作において、金属体で
ある圧力検出部材に機械加工を施し、薄肉の起歪部を形
成すると共に、この起歪部の成膜面に半導体成膜技術を
適用して、圧力検出用成膜部を形成しなければならな
い。この製作工程において、高い位置合せ精度が要求さ
れる。

【０００７】本発明の目的は、検出特性の線形性が良好
で且つ検出精度が高く、動作信頼性が高い実用性のある
小型の差圧センサを提供することにある。

【０００８】本発明の他の目的は、構造的に圧力検出精
度が高く、且つ製作工程における各部の位置合せを正確
に且つ簡単に行うことができる構造を有したダイヤフラ
ムを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る差圧センサ
は、２つの異なる圧力に感応し、２つの圧力の差を計測
する差圧センサであり、少なくとも２つの起歪部を有す
る圧力検出部材を設け、２つの起歪部の各受圧面の反対
側面に、同時に製作される圧力検出用成膜部を設けてい
る。前記の構成において、好ましくは、圧力検出部材は
１つの部材で形成される。前記の構成において、好まし
くは、圧力検出部材は、少なくとも２つの孔を有する支
持部材と、２つの孔が開口する支持部材の端面に各孔の
開口部を塞ぐように接合された板状部材とから構成され
る。前記の構成において、好ましくは、２つの起歪部の
各受圧面の面積が同一である。前記の構成において、好
ましくは、２つの起歪部の前記各受圧面の面積が異な
る。前記構成において、好ましくは、起歪部の反対側面
は単一の平面を形成する。前記構成において、好ましく
は、２つの起歪部は近接した位置で形成される。本発明
に係るダイヤフラムは、単一の板状部材で形成され、少
なくとも２つの薄肉部を形成することにより少なくとも
２つの起歪部を有し、これらの起歪部の成膜面が単一面
である。前記の構成において、成膜面の周囲に段差を形
成し、この段差を利用して所定の位置関係にある２つの
位置合せ部を設けた。

【００１０】

【作用】本発明による差圧センサでは、同一の圧力検出
部材を用いて比較的に位置が接近した状態で、同一の製
作条件及び同一の製作バッチによる成膜に基づき２つの
圧力感応部を形成するものであり、その結果、圧力検出
特性が非常に類似した２つの圧力感応部を設けることが
できる。これによって、２つの圧力感応部の特性を調整
するための補正回路は設ける必要がない。本発明による
ダイヤフラムでは、上記の差圧センサに専用に用いられ
るダイヤフラムであり、上記差圧センサを実現するため
のものである。１つの圧力検出部材によって２つの起歪
部を形成するように構成したため、２つの起歪部の変形
特性を実質的に同じにすることができる。またダイヤフ
ラムの上面に作られる段差を利用して例えば直角の位置
関係にある２つの位置合せ部を形成するようにしたた
め、正確な位置合せを行うことによりダイヤフラム及び
差圧センサを製作することができる。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図１〜図３は本発明の第１実施例を示し、
図１は差圧センサを本体装置に組み付けた状態を示す断
面図、図２は差圧センサのみを拡大して示した平面図、
図３は差圧センサの縦断面図である。

【００１２】図１〜図３において、１は本発明に係る差
圧センサである。差圧センサ１は、ダイヤフラム１Ａ
と、ダイヤフラム１Ａの上面の所定箇所に形成された圧
力を検出するための成膜部１Ｂとから成る。ダイヤフラ
ム１Ａは、所要の強度及び厚みを有する板状の金属材料
を機械加工することにより形成され、少なくとも２つの
起歪部を有する圧力検出部材である。２が起歪部であ
り、図中下面で圧力を受けて変形する作用を有する。

【００１３】本実施例による差圧センサ１では、上記ダ
イヤフラム１Ａが１つの部材で形成される。差圧センサ
１は、図２に示す如く、円形の平面形状を有している。
図３に示す如く、差圧センサ１の上面部には、円形の中
央部３と環状の周辺部４の間に僅かに段差５が形成され
ている。中央部３に対応する表面部分は単一の面として
形成される。そして、中央部３に対応する位置で、下面
側から例えば円形の断面を有した２つの穴６，７が形成
されている。本実施例で、穴６，７は同一の径を有す
る。中央部３において、好ましくは、中心点３ａを通る
直線８に関して対称的な位置に穴６，７が形成される。
穴６，７を形成することによって、所要の厚みを有する
前記の起歪部２が形成される。２つの起歪部２は同一の
条件で形成される。また穴６，７は、圧油等による圧力
を起歪部２の受圧面に導く通路である。穴６，７の側か
らみれば、その穴底の面が、起歪部２における受圧面と
なっている。

【００１４】前記の成膜部１Ｂは、差圧センサ１の上
面、特に中央部３に対応させて形成される。成膜部１Ｂ
は、起歪部２が圧力を受けて変形した時、発生した歪み
に基づき印加された圧力を検出する。成膜部１Ｂは次の
ように作られる。まず、ダイヤフラム１Ａの上面に、例
えばプラズマＣＶＤを用いてＳｉＯ₂ の絶縁膜を形成す
る。この上に、更にポリシリコンによる半導体歪みゲー
ジを所定のパターンで複数形成する。歪みゲージのパタ
ーンは、リソグラフィ技術を適用することにより位置決
めされる。複数の歪みゲージは、電気的に接続される。
この電気的接続ではホイートストンブリッジ回路が形成
される。成膜部１Ｂにおける電気的接続には、配線とし
てＣｒ／Ａｕの膜が使用される。成膜部１Ｂで検出され
た信号を、外部に取り出すためには、通常、中間基板
（図示せず）を設け、この中間基板を介して外部に線を
引き出すように構成される。

【００１５】図２には、複数の歪みゲージ９の配置状態
を示す。歪みゲージ９は、４個づつで組を形成し、前記
穴６，７に対応する起歪部２の上面に配置される。この
面は起歪部２の受圧面の反対側の面となる。

【００１６】１０は、差圧センサ１が取り付けられる被
取付け部材である。この被取付け部材１０は、例えば油
圧装置を備えた機械の壁部である。この被取付け部材１
０には圧力センサ１を配置するための凹所１１が形成さ
れる。被取付け部材１０には、凹所１１の底部に開口さ
れた２つの圧力導入孔１２，１３が形成されている。圧
力導入孔１２は穴６に通じており、圧力導入孔１３は穴
７に通じている。圧力導入孔１２及び穴６を介して一方
の起歪部２に圧力Ａが印加される。また圧力導入孔１３
及び穴７を介して他方の起歪部２に圧力Ｂが印加され
る。こうして２つの起歪部２のそれぞれには異なる圧力
Ａ，Ｂが印加される。

【００１７】凹所１１の底部には各圧力導入孔１２，１
３の周囲にリング状の溝が形成され、これらの溝の中に
はそれぞれＯリング１４，１５が配置される。Ｏリング
１４，１５は、差圧センサ１の下面に当接し、シール作
用を発揮する。

【００１８】１６はキャップ形状の押え部材であり、被
取付け部材１０の凹所１１に配置した差圧センサ１を、
その上方から周辺部４を押えつけ、ボルト１７で固定し
ている。

【００１９】被取付け部材１０に装着された差圧センサ
１は、２つの圧力Ａ，Ｂをそれぞれの起歪部２で受けて
変形することによって、２つの圧力を検出し、その後２
つの圧力を電気信号として処理回路に伝送し、圧力Ａ，
Ｂの差圧を算出する。

【００２０】上記の第１実施例の差圧センサ１では、ダ
イヤフラム１Ａを１つの金属部材で形成し、このダイヤ
フラム１Ａに２つの起歪部２を同一の加工条件で同一感
圧平面を形成する如く形成することができる。例えば２
つのドリル及び穴６，７の深さが等しくなるように調整
されたエンドミルを用いて加工を行うことができる。更
に、同一の加工条件としては、２つの起歪部２を形成す
るための穴６、７の切削において、同じ温度条件で加工
することができ、これにより、２つの起歪部２の加工精
度を同じにすることができる。こうして、穴６，７の深
さを同一とし、これにより起歪部２の各厚みを等しく
し、各起歪部２の感度を等しくすることが可能となる。

【００２１】またダイヤフラム１Ａの上面における成膜
部１Ｂが形成される成膜面も、同一の研磨作業により研
磨されるので、圧力感応部である２つの起歪部２の上面
の面精度が同一となり、起歪部２の上面に同一の膜を形
成することが容易となる。

【００２２】加えて、２つの起歪部２のそれぞれの上面
に圧力検出用成膜部１Ｂを形成するにあたり、成膜、リ
ソグラフィ等の工程が、できる限り近接した位置に設定
された起歪部２の箇所に対し、同一の一連の成膜処理で
実施できるので、複数の歪みゲージで構成される成膜部
１Ｂの圧力検出特性は、極めて類似したものにすること
ができる。歪みゲージの検出精度への影響が大きい温度
特性を同一にできるので、２つの起歪部２の圧力検出特
性をほぼ同一のものにすることできる。このことから、
調整のための補正回路が不要となり、後段の信号処理回
路の構成が簡単となる。

【００２３】図４に示す実施例では、前述の第１実施例
の構成において、押え部材１６の内側天井部に中央押え
部１６ａを設けるようにした。中央押え部１６ａは、例
えばロッド形状を有する。中央押え部１６ａを備えた押
え部材１６によれば、本体装置１０に取り付けた差圧セ
ンサ１の上面中央箇所を中央押え部１６ａで上方から押
えることができ、このため差圧センサ１の周辺部４を押
える作用と相俟って、差圧センサ１の全体を均一に押さ
えることができる。これにより、差圧センサ１の２つの
起歪部２の圧力感度を更に高めることができる。

【００２４】前記の実施例では、ダイヤフラム１Ａに２
つの起歪部２を形成するための２つの穴６，７は径が同
一であった。これによって２つの起歪部２の圧力検出特
性を同一にすることができる。

【００２５】他方、他の実施例として、図５に示す如
く、穴６ａ，７ａの径を異ならせることにより、起歪部
２ａ，２ｂの領域面積を異ならせるように構成されたダ
イヤフラム１Ａを考えることができる。ここで平面形状
が円形である起歪部２ａ，２ｂの径がそれぞれＣ₁ ，Ｃ
₂ （Ｃ₁ ＞Ｃ₂ ）であるとする。これにより、図６の圧
力・出力特性において、径Ｃ₁ ，Ｃ₂ のそれぞれに対応
して２つの出力特性が決定される。この差圧センサは次
のように使用される。起歪部２ａ，２ｂに同一の圧力Ｐ
₁ が印加された場合、図６の出力特性で明らかなよう
に、起歪部２ａでは出力ｖ₁ が発生し、起歪部２ｂでは
出力ｖ₁ ′が発生する。出力ｖ₁ ′を起歪部２ａ側で換
算すると、圧力Ｐ₁ ′に相当する。上記の関係を利用す
れば、例えば図７に示すような片ロッドタイプのシリン
ダ等の負荷の検出に有効となる。すなわち、片ロッドタ
イプのシリンダは、ロッド側とボトム側とで各受圧面積
が異なるため、両側の負荷が釣り合っていても圧力は異
なる。そこで、上記の差圧センサを適用し、ボトム側を
径Ｃ₁ の起歪部２ａに接続し、ロッド側を径Ｃ₂ の起歪
部２ｂに接続すれば、Ｐ₁ ′／Ｐ₁ の比をシリンダの受
圧面積の比に合せておけば、差圧センサの出力値で直接
２つの印加圧力を比較することができる。上記差圧セン
サは、径の異なるバルブ用スプールにも応用することが
できる。

【００２６】次に、図２及び図３で示した差圧センサ１
の製作工程について説明する。製作工程に配慮して、差
圧センサ１の平面図を詳細に示すと、図８に示す如くな
る。図２で示した例と異なる構成上の点は、段差５を利
用して、２つの位置合せ部２１，２２を形成している点
である。これらの２つの位置合せ部２１，２２は好まし
くは直交する位置関係にて形成される。かかる位置合せ
部２１，２２を設けることにより、これらを基準にし
て、２つの起歪部２の位置が決定され、且つ歪みゲージ
９の位置が決定される。こうして、差圧センサ１のダイ
ヤフラム１Ａにおいて、圧力を導入する穴６，７と起歪
部２の変形を検出する複数の歪みゲージ９を、それぞれ
正確な位置合わせ状態で形成することができる。これに
より、圧力感応部である２つの起歪部２の感度を実質的
に等しくすることができる。

【００２７】図９〜図１５を参照し、位置合せ部２１，
２２を利用した差圧センサ１の製作工程を説明する。ま
ずダイヤフラムの素材となる板部材３１の上面に段差５
を作り、同時に位置合せ部２１，２２を形成する。２つ
の位置合せ部は、直交する位置関係にある（図９、図１
０）。次に位置合せ部２１，２２を基準にして、板部材
３１の下面側に、圧力を導入するための穴６，７を形成
する。穴６，７を形成することにより、薄肉部として２
箇所の起歪部２が形成される。こうして図１１に示され
る如くダイヤフラム１Ａが形成される。その後、ダイヤ
フラム１Ａの上面に絶縁膜３２と、その上に例えばポリ
（多結晶）シリコン膜３３を形成する。更に多結晶シリ
コン膜３３の上にレジスト膜３４を形成する。図１３の
３５は、圧力検出部である複数の歪みゲージを形成する
ためのガラスマスクである。３７，３８はガラスマスク
３５に形成された歪みゲージのパターンである。３９，
４０は合せマークである。ガラスマスク３５における合
せマーク３９，４０と歪みゲージパターン３７，３８
は、それぞれ、ダイヤフラム１Ａの位置合せ部２１，２
２とダイヤフラム１Ａに形成された圧力導入のための穴
６，７の各位置に合致するように形成されている。図１
４に示す如くダイヤフラム１Ａの位置合せ部２１，２２
とガラスマスク３５の合せマーク３９，４０を位置合せ
して、露光及び現像等を行い、レジストパターンを製作
する。次にポリシリコン膜３３のエッチングを行い、図
１５に示すように、歪みゲージ９を形成する。歪みゲー
ジ９によって形成される圧力検出用成膜部１Ｂは起歪部
２の上面に正確に形成される。その後、歪みゲージ９の
間を接続する電極配線が形成される。電極配線の形成方
法は、電極配線となる膜を形成し、その上にレジスト膜
を形成し、電極配線のパターンが形成されたガラスマス
クを用いて露光し、エッチングを行い、電極配線のパタ
ーンを形成する。最後には、成膜部分の上面全体にパッ
シベーション膜を形成する。

【００２８】本発明に係る差圧センサの第２実施例を、
図１６及び図１７を参照して説明する。この実施例の差
圧センサでは、２つの部材で形成される。１つの部材
は、圧力を導入するための孔５２，５３が形成されたセ
ンサ基体５１であり、他の１つの部材は起歪部となる部
分を含む板状の部材５４である。センサ基体５１は外観
的には円柱形の形状を有し、２つの孔５２，５３は軸線
に対して平行である。また板状部材５４は円盤形状を有
している。板状部材５４を、センサ基体５１の１つの端
面に接合する。センサ基体５１の２つの孔５２，５３の
各開口部に対応する板状部材５４の部分が起歪部とな
る。このようにして、この実施例による差圧センサは２
つの部材により形成される。材質的には第１の実施例の
場合と同じである。

【００２９】変形実施例は次の通りである。前記実施例
では、起歪部を２つとしたが、それ以上の数にすること
ができる。また２つの位置合せ部の位置関係は、直角以
外の角度に設定することもできる。

【００３０】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、次の効果を奏する。差圧センサにおいて、少なく
とも２つの起歪部を、同じ加工条件により単一面で且つ
近接して形成するようにし、且つ２つの起歪部の一方の
面に形成される圧力検出用の成膜部を同じ成膜条件で作
ることができるため、２つの圧力検出用感応部の圧力検
出特性が一致し、実用性の高い高精度の差圧センサを作
ることができ、且つその後の２つの圧力感応部を調整す
るための電気回路部が不要となる。１つの圧力検出用基
体部分に２つの圧力感応部を形成するため、差圧センサ
として全体的に小型に作ることができる。同じ製作バッ
チで、２つの圧力感応部と圧力検出用成膜部を製作する
ことができるので、製作工程が簡略化され、製作コスト
を低減することができる。１つの部材を用いて差圧セン
サを製作する場合に、ダイヤフラムの上面に形成される
中央部と周辺部の間に段差を利用して所定の位置関係に
ある２つの位置合せ部を形成し、これらの位置合せ部を
利用して圧力を導入するための穴と歪みゲージを含む圧
力検出用成膜部との位置合せを行うようにしたため、正
確に位置合せが行われた差圧センサを製作することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る差圧センサの第１実施例を示し、
取付け状態の縦断面図である。

【図２】差圧センサの平面図である。

【図３】差圧センサのみの縦断面図である。

【図４】差圧センサの第１実施例の変形例を示す縦断面
図である。

【図５】圧力導入用の穴の径を異ならせたダイヤフラム
の他の実施例を示す縦断面図である。

【図６】受圧面積の異なる起歪部の各圧力検出特性を示
すグラフである。

【図７】異なる径の圧力導入穴を有する差圧センサの適
用装置の例を示す内部構造図である。

【図８】差圧センサの形状を詳細に示した平面図であ
る。

【図９】製造初期のダイヤフラム基材の平面図である。

【図１０】ダイヤフラム基材の縦断面図である。

【図１１】圧力を導入する穴を形成したダイヤフラムの
縦断面図である。

【図１２】ダイヤフラムの上面に各種膜を形成した状態
の縦断面図である。

【図１３】歪みゲージを作製するためのガラスマスクの
平面図である。

【図１４】ガラスマスクとダイヤフラムとを位置合せし
た平面図である。

【図１５】製造された差圧センサの平面図である。

【図１６】本発明の第２実施例の差圧センサの平面図で
ある。

【図１７】上記第２実施例の差圧センサの縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 差圧センサ １Ａ ダイヤフラム １Ｂ 成膜部 ２ 起歪部 ３ 中央部 ４ 周辺部 ５ 段差 ６，７ 穴 ９ 歪みゲージ １０ 被取付け部材 １２，１３ 圧力導入孔 １６ 押え部材 １６ａ 中央押え部 ２１，２２ 位置合せ部 ３５ ガラスマスク ３９，４０ 合せマーク ５１ センサ基体 ５２ 板状部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 幸男 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機株 式会社土浦工場内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの異なる圧力に感応し、前記２つの
   圧力の差を計測する差圧センサにおいて、少なくとも２
   つの起歪部を有する圧力検出部材を設け、前記２つの起
   歪部の各受圧面の反対側面に、同時に製作される圧力検
   出用成膜部を設けたことを特徴とする差圧センサ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の差圧センサにおいて、前
   記圧力検出部材は、１つの部材で形成されることを特徴
   とする差圧センサ。
3. 【請求項３】 請求項１記載の差圧センサにおいて、前
   記圧力検出部材は、少なくとも２つの孔を有する支持部
   材と、前記２つの孔が開口する前記支持部材の端面に前
   記各孔の開口部を塞ぐように接合された板状部材とから
   構成されることを特徴とする差圧センサ。
4. 【請求項４】 請求項１記載の差圧センサにおいて、前
   記２つの起歪部の前記各受圧面の面積が同一であること
   を特徴とする差圧センサ。
5. 【請求項５】 請求項１記載の差圧センサにおいて、前
   記２つの起歪部の前記各受圧面の面積が異なることを特
   徴とする差圧センサ。
6. 【請求項６】 請求項１記載の差圧センサにおいて、前
   記起歪部の前記反対側面は単一の平面を形成することを
   特徴とする差圧センサ。
7. 【請求項７】 請求項１記載の差圧センサにおいて、前
   記２つの起歪部は近接した位置で形成されることを特徴
   とする差圧センサ。
8. 【請求項８】 単一の板状部材で形成され、少なくとも
   ２つの薄肉部を形成することにより少なくとも２つの起
   歪部を有し、これらの起歪部の成膜面が単一面であるこ
   とを特徴とするダイヤフラム。
9. 【請求項９】 請求項８記載のダイヤフラムにおいて、
   前記成膜面の周囲に段差を形成し、この段差を利用して
   所定の位置関係にある２つの位置合せ部を設けたことを
   特徴とするダイヤフラム。