JPH05142078A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
- Publication number
- JPH05142078A JPH05142078A JP30778391A JP30778391A JPH05142078A JP H05142078 A JPH05142078 A JP H05142078A JP 30778391 A JP30778391 A JP 30778391A JP 30778391 A JP30778391 A JP 30778391A JP H05142078 A JPH05142078 A JP H05142078A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- housing
- pressure
- chamber
- pressure side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 低圧側からの瞬間的な過大圧に対してセンサ
本体部分を保護出来、かつ測定レンジの広く入出力特性
の向上された差圧測定装置を提供するにある。 【構成】 内部に封入液が満たされたハウジングと、該
ハウジングの両側に設けられた一対の隔液ダイアフラム
と、該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側に変位
しないように設けられた移動阻止手段と、前記ハウジン
グ内に設けられた圧力―電気変換素子を有するシリコン
ダイアフラムと、前記ハウジングに該シリコンダイアフ
ラムと共に高圧側室と低圧側室とに２分するように設け
られたセンタダイアフラムと、前記低圧側室内に設けら
れ前記低圧側室を第１室と第２室とに２分するように設
けられた板ばねとを具備すると共に、平時の測定範囲下
において、前記センタダイアフラムと前記板ばねとが接
している事を特徴とする差圧測定装置である。
本体部分を保護出来、かつ測定レンジの広く入出力特性
の向上された差圧測定装置を提供するにある。 【構成】 内部に封入液が満たされたハウジングと、該
ハウジングの両側に設けられた一対の隔液ダイアフラム
と、該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側に変位
しないように設けられた移動阻止手段と、前記ハウジン
グ内に設けられた圧力―電気変換素子を有するシリコン
ダイアフラムと、前記ハウジングに該シリコンダイアフ
ラムと共に高圧側室と低圧側室とに２分するように設け
られたセンタダイアフラムと、前記低圧側室内に設けら
れ前記低圧側室を第１室と第２室とに２分するように設
けられた板ばねとを具備すると共に、平時の測定範囲下
において、前記センタダイアフラムと前記板ばねとが接
している事を特徴とする差圧測定装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高圧側及び低圧側から
の瞬間的な過大圧に対してセンサ本体部分を保護出来か
つ測定レンジの広く入出力特性が向上された差圧測定装
置に関するものである。
の瞬間的な過大圧に対してセンサ本体部分を保護出来か
つ測定レンジの広く入出力特性が向上された差圧測定装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来より一般に使用されている従
来例の構成説明図で、例えば、特開昭５５―１２２１２
６号に示されている。図において、ハウジング１の両側
に高圧側フランジ２、低圧側フランジ３が溶接等によっ
て固定されており、両フランジ２，３には測定せんとす
る圧力ＰHの高圧流体の導入口４、圧力ＰLの低圧流体の
導入口５が設けられている。
来例の構成説明図で、例えば、特開昭５５―１２２１２
６号に示されている。図において、ハウジング１の両側
に高圧側フランジ２、低圧側フランジ３が溶接等によっ
て固定されており、両フランジ２，３には測定せんとす
る圧力ＰHの高圧流体の導入口４、圧力ＰLの低圧流体の
導入口５が設けられている。
【０００３】ハウジング１内に圧力測定室６が形成され
ており、この圧力測定室６内に受圧ダイアフラム７とシ
リコンダイアフラム８が設けられている。受圧ダイアフ
ラム７とシリコンダイアフラム８はそれぞれ別個に圧力
測定室６の壁に固定されており、受圧ダイアフラム７と
シリコンダイアフラム８の両者でもって圧力測定室６を
２分している。
ており、この圧力測定室６内に受圧ダイアフラム７とシ
リコンダイアフラム８が設けられている。受圧ダイアフ
ラム７とシリコンダイアフラム８はそれぞれ別個に圧力
測定室６の壁に固定されており、受圧ダイアフラム７と
シリコンダイアフラム８の両者でもって圧力測定室６を
２分している。
【０００４】受圧ダイアフラム７は、ダイアフラム７Ａ
と孔７０を有するダイアフラム７Ｂの２枚から構成され
ている。勿論ダイアフラムの数は３枚以上でもよく、ま
た、穴の計は小さい方が好ましく、その数には制限は無
い。孔７０は平坦な面に形成した方が加工上有利であ
る。ダイアフラム７Ａと７Ｂの間隙は出来るだけ小さく
なるようにし、差圧ΔＰ（＝圧力ＰH―圧力ＰL）がダイ
アフラム７Ａ側から作用した時、即座に２枚のダイアフ
ラム７Ａ，７Ｂで受けるようにする。
と孔７０を有するダイアフラム７Ｂの２枚から構成され
ている。勿論ダイアフラムの数は３枚以上でもよく、ま
た、穴の計は小さい方が好ましく、その数には制限は無
い。孔７０は平坦な面に形成した方が加工上有利であ
る。ダイアフラム７Ａと７Ｂの間隙は出来るだけ小さく
なるようにし、差圧ΔＰ（＝圧力ＰH―圧力ＰL）がダイ
アフラム７Ａ側から作用した時、即座に２枚のダイアフ
ラム７Ａ，７Ｂで受けるようにする。
【０００５】また、ダイアフラム７Ａと７Ｂは類似の形
状に形成し、両ダイアフラム間で形成する空間を少なく
するようにする。ダイアフラム７Ａ，７Ｂと対向する圧
力測定室６の壁６Ａ，６Ｂには、ダイアフラム７Ａ，７
Ｂと類似の形状のバックプレ―トが形成されている。こ
のバックプレ―ト６Ａ，６Ｂは、圧力測定室６の容積を
減少させるのに有効である。
状に形成し、両ダイアフラム間で形成する空間を少なく
するようにする。ダイアフラム７Ａ，７Ｂと対向する圧
力測定室６の壁６Ａ，６Ｂには、ダイアフラム７Ａ，７
Ｂと類似の形状のバックプレ―トが形成されている。こ
のバックプレ―ト６Ａ，６Ｂは、圧力測定室６の容積を
減少させるのに有効である。
【０００６】シリコンダイアフラム８は全体が単結晶の
シリコン基板から形成されている。シリコン基板の一方
の面にボロン等の不純物を選択拡散して４っのストレン
ゲ―ジ８０を形成し、他方の面を機械加工、エッチング
し、全体が凹形のダイアフラムを形成する。４っのスト
レインゲ―ジ８０は、シリコンダイアフラム８が差圧Δ
Ｐを受けてたわむ時、２つが引張り、２つが圧縮を受け
るようになっており、これらがホイ―トストン・ブリッ
ジ回路に接続され、抵抗変化が差圧ΔＰの変化として検
出される。
シリコン基板から形成されている。シリコン基板の一方
の面にボロン等の不純物を選択拡散して４っのストレン
ゲ―ジ８０を形成し、他方の面を機械加工、エッチング
し、全体が凹形のダイアフラムを形成する。４っのスト
レインゲ―ジ８０は、シリコンダイアフラム８が差圧Δ
Ｐを受けてたわむ時、２つが引張り、２つが圧縮を受け
るようになっており、これらがホイ―トストン・ブリッ
ジ回路に接続され、抵抗変化が差圧ΔＰの変化として検
出される。
【０００７】ハウジング１は一般にステンレス鋼で作ら
れており、シリコンダイアフラム８とではかなりの熱膨
脹係数の違いがある。このためハウジング１とシリコン
ダイアフラム８との間に、シリコンと大体同じ熱膨脹係
数を有する中空の支持体９を設け、シリコンダイアフラ
ム８を圧力測定室６内に突出させるようにする。支持体
９に硼圭ガラス等の耐熱ガラスを使えば、シリコンダイ
アフラム８、支持体９、ハウジング１の３陽極結合法で
接合出来、各部材間の接着面の滑りのない強固な接着が
出来る。
れており、シリコンダイアフラム８とではかなりの熱膨
脹係数の違いがある。このためハウジング１とシリコン
ダイアフラム８との間に、シリコンと大体同じ熱膨脹係
数を有する中空の支持体９を設け、シリコンダイアフラ
ム８を圧力測定室６内に突出させるようにする。支持体
９に硼圭ガラス等の耐熱ガラスを使えば、シリコンダイ
アフラム８、支持体９、ハウジング１の３陽極結合法で
接合出来、各部材間の接着面の滑りのない強固な接着が
出来る。
【０００８】ハウジング１と高圧側フランジ２、および
低圧側フランジ３との間に、圧力導入室１０，１１が形
成されている。この圧力導入室１０，１１内に隔液ダイ
アフラム１２，１３を設け、この隔液ダイアフラム１
２，１３と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａに
隔液ダイアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ
―トが形成されている。
低圧側フランジ３との間に、圧力導入室１０，１１が形
成されている。この圧力導入室１０，１１内に隔液ダイ
アフラム１２，１３を設け、この隔液ダイアフラム１
２，１３と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａに
隔液ダイアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ
―トが形成されている。
【０００９】隔液ダイアフラム１２，１３とバックプレ
―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される空間と、圧力測定室
６は、連通孔１４，１５を介して導通している。そし
て、隔液ダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル等
の封入液１０１，１０２が満たされ、この封入液が連通
口１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下面
にまで至っている、封入液１０１，１０２は受圧ダイア
フラム７とシリコンダイアフラム８とによって２分され
ているが、その量がほぼ均等になるように配慮されてい
る。
―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される空間と、圧力測定室
６は、連通孔１４，１５を介して導通している。そし
て、隔液ダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル等
の封入液１０１，１０２が満たされ、この封入液が連通
口１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下面
にまで至っている、封入液１０１，１０２は受圧ダイア
フラム７とシリコンダイアフラム８とによって２分され
ているが、その量がほぼ均等になるように配慮されてい
る。
【００１０】封入液１０１，１０２の量は、周囲の温度
変化の影響を出来るだけ少なくする上で少ない方が好ま
しいが、バックプレ―ト６Ａ，６Ｂ，１０Ａ，１１Ａが
封入液量を少なくするのに役立っている。
変化の影響を出来るだけ少なくする上で少ない方が好ま
しいが、バックプレ―ト６Ａ，６Ｂ，１０Ａ，１１Ａが
封入液量を少なくするのに役立っている。
【００１１】隔液ダイアフラム１２，１３のスチフネス
は、圧力に対する応答性、および封入液の熱膨脹を吸収
する上で小さい方が好ましい。受圧ダイアフラム７と隔
液ダイアフラム１２，１３との間には、隔液ダイアフラ
ム１２，１３がバックプレ―ト１０Ａ，１１Ａに当接す
る前に受圧ダイアフラム７がバックプレ―ト６Ａ，６Ｂ
に当接しないような関係にしておく。
は、圧力に対する応答性、および封入液の熱膨脹を吸収
する上で小さい方が好ましい。受圧ダイアフラム７と隔
液ダイアフラム１２，１３との間には、隔液ダイアフラ
ム１２，１３がバックプレ―ト１０Ａ，１１Ａに当接す
る前に受圧ダイアフラム７がバックプレ―ト６Ａ，６Ｂ
に当接しないような関係にしておく。
【００１２】かかる差圧変換器において、導入口４，５
から圧力ＰHの被測定流体、圧力ＰLの被測定流体がハウ
ジング１内に導入された場合、流体の圧力ＰH，ＰLはそ
れぞれ隔液ダイアフラム１２，１３を介して封入液１０
１，１０２に伝達され、シリコンダイアフラム８により
両流体の差圧ΔＰ＝｜ＰH−ＰL｜が検出される事にな
る。
から圧力ＰHの被測定流体、圧力ＰLの被測定流体がハウ
ジング１内に導入された場合、流体の圧力ＰH，ＰLはそ
れぞれ隔液ダイアフラム１２，１３を介して封入液１０
１，１０２に伝達され、シリコンダイアフラム８により
両流体の差圧ΔＰ＝｜ＰH−ＰL｜が検出される事にな
る。
【００１３】この時、ＰH＞ＰLとすると、隔液ダイアフ
ラム１２および受圧ダイアフラム７は図の右方に移動す
る。そして、圧力測定室６の左側半分の容積変化量をΔ
ＶH，ΔＰH＝ＰHーＰLとすると、ΔＰHとΔＶHの関係は
図５のイとなる。
ラム１２および受圧ダイアフラム７は図の右方に移動す
る。そして、圧力測定室６の左側半分の容積変化量をΔ
ＶH，ΔＰH＝ＰHーＰLとすると、ΔＰHとΔＶHの関係は
図５のイとなる。
【００１４】すなわち、ΔＰHの増加と共にΔＶHも増加
するが、ａ点（ΔＰ1，ΔＶ1）を境にΔＶHは増加しな
い。このａ点が隔液ダイアフラム１２がバックプレ―ト
１０ａに当接した時点であり、それ以上隔液ダイアフラ
ム１２が右方へ移動しないためΔＶHは増加せず、また
シリコンダイアフラム８にもΔＰ1以上の圧力は加わら
ないことになる。
するが、ａ点（ΔＰ1，ΔＶ1）を境にΔＶHは増加しな
い。このａ点が隔液ダイアフラム１２がバックプレ―ト
１０ａに当接した時点であり、それ以上隔液ダイアフラ
ム１２が右方へ移動しないためΔＶHは増加せず、また
シリコンダイアフラム８にもΔＰ1以上の圧力は加わら
ないことになる。
【００１５】同様に、ＰL＞ＰH、ΔＰL＝ＰL―ＰH、圧
力測定室６の右半分の容積変化量をΔＶLとすると、Δ
ＰLとΔＶLの関係は図５のロとなる。ｂ点（ΔＰ2，Δ
Ｖ2）は隔液ダイアフラム１３がバックプレ―ト１１Ａ
に当接した時点である。
力測定室６の右半分の容積変化量をΔＶLとすると、Δ
ＰLとΔＶLの関係は図５のロとなる。ｂ点（ΔＰ2，Δ
Ｖ2）は隔液ダイアフラム１３がバックプレ―ト１１Ａ
に当接した時点である。
【００１６】図５から理解出来るように、シリコンダイ
アフラムの強度が強い方に対しては大きい差圧ΔＰ1、
または弱い方に対しては小さい差圧ΔＰ2が加わるよう
にすることができ、ΔＰ1〜ΔＰ2の広く入出力特性の向
上された範囲の差圧を検出することができる。また、シ
リコンダイアフラムには、ΔＰ1あるいはΔＰ2以上の圧
力が加わらないため、測定流体の圧力に関係なく差圧測
定が可能となる。
アフラムの強度が強い方に対しては大きい差圧ΔＰ1、
または弱い方に対しては小さい差圧ΔＰ2が加わるよう
にすることができ、ΔＰ1〜ΔＰ2の広く入出力特性の向
上された範囲の差圧を検出することができる。また、シ
リコンダイアフラムには、ΔＰ1あるいはΔＰ2以上の圧
力が加わらないため、測定流体の圧力に関係なく差圧測
定が可能となる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、測定圧力範囲内でセンタダイアフラ
ムのかたさが変化する為、シ―ルダイアフラムの移動に
よる入力圧のドロップ量が変化し、入出力特性が悪くな
る。本発明は、この問題点を、解決するものである。本
発明の目的は、高圧側及び低圧側からの瞬間的な過大圧
に対してセンサ本体部分を保護出来かつ測定レンジの広
く入出力特性の向上された差圧測定装置を提供するにあ
る。
な装置においては、測定圧力範囲内でセンタダイアフラ
ムのかたさが変化する為、シ―ルダイアフラムの移動に
よる入力圧のドロップ量が変化し、入出力特性が悪くな
る。本発明は、この問題点を、解決するものである。本
発明の目的は、高圧側及び低圧側からの瞬間的な過大圧
に対してセンサ本体部分を保護出来かつ測定レンジの広
く入出力特性の向上された差圧測定装置を提供するにあ
る。
【００１８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、内部に封入液が満たされたハウジング
と、該ハウジングの両側に設けられた一対の隔液ダイア
フラムと、該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側
に変位しないように設けられた移動阻止手段と、前記ハ
ウジング内に設けられた圧力―電気変換素子を有するシ
リコンダイアフラムと、前記ハウジングに該シリコンダ
イアフラムと共に高圧側室と低圧側室とに２分するよう
に設けられたセンタダイアフラムと、前記低圧側室内に
設けられ前記低圧側室を第１室と第２室とに２分するよ
うに設けられた板ばねとを具備すると共に、平時の測定
範囲下において、前記センタダイアフラムと前記板ばね
とが接している事を特徴とする差圧測定装置を構成した
ものである。
に、本発明は、内部に封入液が満たされたハウジング
と、該ハウジングの両側に設けられた一対の隔液ダイア
フラムと、該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側
に変位しないように設けられた移動阻止手段と、前記ハ
ウジング内に設けられた圧力―電気変換素子を有するシ
リコンダイアフラムと、前記ハウジングに該シリコンダ
イアフラムと共に高圧側室と低圧側室とに２分するよう
に設けられたセンタダイアフラムと、前記低圧側室内に
設けられ前記低圧側室を第１室と第２室とに２分するよ
うに設けられた板ばねとを具備すると共に、平時の測定
範囲下において、前記センタダイアフラムと前記板ばね
とが接している事を特徴とする差圧測定装置を構成した
ものである。
【００１９】
【作用】以上の構成において、平時の測定範囲下におい
ては、測定差圧に対して、センタダイアフラムと板ばね
が接して動作する。高圧側から過大圧が印加された場合
には、平時の測定範囲以上の所定圧力まではセンタダイ
アフラムと板ばねが接して動作し所定圧力で隔液ダイア
フラムがハウジングに着座し、それ以上の圧力がシリコ
ンダイアフラムに印加されるのを防止する。
ては、測定差圧に対して、センタダイアフラムと板ばね
が接して動作する。高圧側から過大圧が印加された場合
には、平時の測定範囲以上の所定圧力まではセンタダイ
アフラムと板ばねが接して動作し所定圧力で隔液ダイア
フラムがハウジングに着座し、それ以上の圧力がシリコ
ンダイアフラムに印加されるのを防止する。
【００２０】低圧側から過大圧が印加された場合には、
平時の測定範囲以上の所定圧力まではセンタダイアフラ
ムと板ばねが接して動作し、所定圧力でセンタダイアフ
ラムのみが移動し、所定圧力以上の一定圧力で隔液ダイ
アフラムがハウジングに着座し、それ以上の圧力がシリ
コンダイアフラムに印加されるのを防止する。以下、実
施例に基づき詳細に説明する。
平時の測定範囲以上の所定圧力まではセンタダイアフラ
ムと板ばねが接して動作し、所定圧力でセンタダイアフ
ラムのみが移動し、所定圧力以上の一定圧力で隔液ダイ
アフラムがハウジングに着座し、それ以上の圧力がシリ
コンダイアフラムに印加されるのを防止する。以下、実
施例に基づき詳細に説明する。
【００２１】
【実施例】図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で
ある。図において、図４と同一記号の構成は同一機能を
表わす。以下、図４と相違部分のみ説明する。２１は、
ハウジング１内にシリコンダイアフラム８と共に高圧側
室と低圧側室とに２分するように設けられたセンタダイ
アフラムである。
ある。図において、図４と同一記号の構成は同一機能を
表わす。以下、図４と相違部分のみ説明する。２１は、
ハウジング１内にシリコンダイアフラム８と共に高圧側
室と低圧側室とに２分するように設けられたセンタダイ
アフラムである。
【００２２】２２は、低圧側室内に設けられ低圧側室を
第１室２３と第２室２４とに２分するように設けられた
板ばねである。２５は、板ばね２２に設けられ、第１室
２３と第２室２４とを連通する連通孔である。なお、板
ばね２２の形状は、センタダイアフラム２１と同様な波
形でもよく、平板でもよい。また、直径は、センタダイ
アフラム２１と同じでもよい。
第１室２３と第２室２４とに２分するように設けられた
板ばねである。２５は、板ばね２２に設けられ、第１室
２３と第２室２４とを連通する連通孔である。なお、板
ばね２２の形状は、センタダイアフラム２１と同様な波
形でもよく、平板でもよい。また、直径は、センタダイ
アフラム２１と同じでもよい。
【００２３】以上の構成において、平時の測定範囲下に
おいては、測定差圧に対して、センタダイアフラム２１
と板ばね２２が接して動作する。高圧側から過大圧が印
加された場合には、平時の測定範囲以上の所定圧力まで
はセンタダイアフラム２１と板ばね２２とが接して動作
し、所定圧力で隔液ダイアフラム１２がハウジング１に
着座し、それ以上の圧力がシリコンダイアフラム８に印
加されるのを防止する。
おいては、測定差圧に対して、センタダイアフラム２１
と板ばね２２が接して動作する。高圧側から過大圧が印
加された場合には、平時の測定範囲以上の所定圧力まで
はセンタダイアフラム２１と板ばね２２とが接して動作
し、所定圧力で隔液ダイアフラム１２がハウジング１に
着座し、それ以上の圧力がシリコンダイアフラム８に印
加されるのを防止する。
【００２４】低圧側から過大圧が印加された場合には、
平時の測定範囲以上の所定圧力まではセンタダイアフラ
ム２１と板ばね２２が接して動作し、所定圧力でセンタ
ダイアフラム２１のみが移動し、所定圧力以上の一定圧
力で隔液ダイアフラム１３がハウジング１に着座し、そ
れ以上の圧力がシリコンダイアフラム８に印加されるの
を防止する。
平時の測定範囲以上の所定圧力まではセンタダイアフラ
ム２１と板ばね２２が接して動作し、所定圧力でセンタ
ダイアフラム２１のみが移動し、所定圧力以上の一定圧
力で隔液ダイアフラム１３がハウジング１に着座し、そ
れ以上の圧力がシリコンダイアフラム８に印加されるの
を防止する。
【００２５】図２に、本実施例における圧力Ｐと容積変
化量ΔＶとの関係を示す。高圧側からの入力に対して
は、センタダイアフラム２１と板ばね２２が接触したま
ま移動し、ｆ点で隔液ダイアフラム１２がハウジング１
に着座し、それ以上の圧力がシリコンダイアフラム８に
印加されるのを防止する。
化量ΔＶとの関係を示す。高圧側からの入力に対して
は、センタダイアフラム２１と板ばね２２が接触したま
ま移動し、ｆ点で隔液ダイアフラム１２がハウジング１
に着座し、それ以上の圧力がシリコンダイアフラム８に
印加されるのを防止する。
【００２６】低圧側からの入力に対しては、センタダイ
アフラム２１と板ばね２２が接触したまま移動し、ｅ点
からはセンタダイアフラム２１のみが移動し、ｇ点で隔
液ダイアフラム１２がハウジング１に着座し、それ以上
の圧力がシリコンダイアフラム８に印加されるのを防止
する。測定範囲（ΔＰ1〜ΔＰ2）内では、センタダイア
フラム２１と板ばね２２が接触したまま移動するので、
センタダイアフラム２１と板ばね２２の堅さが一様、す
なわち、隔液ダイアフラム１２，１３の移動による圧力
ドロップも一様になる。
アフラム２１と板ばね２２が接触したまま移動し、ｅ点
からはセンタダイアフラム２１のみが移動し、ｇ点で隔
液ダイアフラム１２がハウジング１に着座し、それ以上
の圧力がシリコンダイアフラム８に印加されるのを防止
する。測定範囲（ΔＰ1〜ΔＰ2）内では、センタダイア
フラム２１と板ばね２２が接触したまま移動するので、
センタダイアフラム２１と板ばね２２の堅さが一様、す
なわち、隔液ダイアフラム１２，１３の移動による圧力
ドロップも一様になる。
【００２７】この結果、 （１）測定範囲内において、センタダイアフラム２１と
板ばね２２が接触したまま移動するように構成されたの
で、固さを一様に出来るため、入出力特性を向上させる
事が出来る。 （２）測定範囲内においては、Ｌ側入力に対しても、セ
ンタダイアフラム２１と板ばね２２が接触したまま移動
するように構成されたので、固さが固くなり、封入液１
０２の移動量が少なくなるため、その分の封入液１０２
の封入量が減らせるので、センタダイアフラム２１に発
生する応力を低減出来、耐久性を向上できる。
板ばね２２が接触したまま移動するように構成されたの
で、固さを一様に出来るため、入出力特性を向上させる
事が出来る。 （２）測定範囲内においては、Ｌ側入力に対しても、セ
ンタダイアフラム２１と板ばね２２が接触したまま移動
するように構成されたので、固さが固くなり、封入液１
０２の移動量が少なくなるため、その分の封入液１０２
の封入量が減らせるので、センタダイアフラム２１に発
生する応力を低減出来、耐久性を向上できる。
【００２８】また、封入液１０２の膨張、収縮による温
度誤差を小さく出来る。図３は本発明の他の実施例の要
部構成説明図である。本実施例において、第１室２３と
第２室２４とを連通する連通孔２６を、ハウジング１に
設けたものである。
度誤差を小さく出来る。図３は本発明の他の実施例の要
部構成説明図である。本実施例において、第１室２３と
第２室２４とを連通する連通孔２６を、ハウジング１に
設けたものである。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、内部に
封入液が満たされたハウジングと、該ハウジングの両側
に設けられた一対の隔液ダイアフラムと、該隔液ダイア
フラムが一定以上ハウジング側に変位しないように設け
られた移動阻止手段と、前記ハウジング内に設けられた
圧力―電気変換素子を有するシリコンダイアフラムと、
前記ハウジングに該シリコンダイアフラムと共に高圧側
室と低圧側室とに２分するように設けられたセンタダイ
アフラムと、前記低圧側室内に設けられ前記低圧側室を
第１室と第２室とに２分するように設けられた板ばねと
を具備すると共に、平時の測定範囲下において、前記セ
ンタダイアフラムと前記板ばねとが接している事を特徴
とする差圧測定装置を構成した。
封入液が満たされたハウジングと、該ハウジングの両側
に設けられた一対の隔液ダイアフラムと、該隔液ダイア
フラムが一定以上ハウジング側に変位しないように設け
られた移動阻止手段と、前記ハウジング内に設けられた
圧力―電気変換素子を有するシリコンダイアフラムと、
前記ハウジングに該シリコンダイアフラムと共に高圧側
室と低圧側室とに２分するように設けられたセンタダイ
アフラムと、前記低圧側室内に設けられ前記低圧側室を
第１室と第２室とに２分するように設けられた板ばねと
を具備すると共に、平時の測定範囲下において、前記セ
ンタダイアフラムと前記板ばねとが接している事を特徴
とする差圧測定装置を構成した。
【００３０】この結果、 （１）測定範囲内において、センタダイアフラムと板ば
ねが接触したまま移動するように構成されたので、固さ
を一様に出来るため、入出力特性を向上させる事が出来
る。 （２）測定範囲内においては、Ｌ側入力に対しても、セ
ンタダイアフラムと板ばねが接触したまま移動するよう
に構成されたので、従来例に比べて、固さが固くなり、
封入液１０２の移動量が少なくなるため、その分の封入
液１０２の封入量が減らせるので、センタダイアフラム
２１に発生する応力を低減出来、耐久性を向上できる。
ねが接触したまま移動するように構成されたので、固さ
を一様に出来るため、入出力特性を向上させる事が出来
る。 （２）測定範囲内においては、Ｌ側入力に対しても、セ
ンタダイアフラムと板ばねが接触したまま移動するよう
に構成されたので、従来例に比べて、固さが固くなり、
封入液１０２の移動量が少なくなるため、その分の封入
液１０２の封入量が減らせるので、センタダイアフラム
２１に発生する応力を低減出来、耐久性を向上できる。
【００３１】また、封入液１０２の膨張、収縮による温
度誤差を小さく出来る。従って、本発明によれば、高圧
側及び低圧側からの瞬間的な過大圧に対してセンサ本体
部分を保護出来、かつ測定レンジの広く入出力特性の向
上された差圧測定装置を実現することが出来る。
度誤差を小さく出来る。従って、本発明によれば、高圧
側及び低圧側からの瞬間的な過大圧に対してセンサ本体
部分を保護出来、かつ測定レンジの広く入出力特性の向
上された差圧測定装置を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【図５】図４の動作説明図である。
１…ハウジング ２…高圧側フランジ ３…低圧側フランジ ４，５…導入口 ６…圧力測定室 ６Ａ，６Ｂ…バックプレ―ト ８…シリコンダイアフラム ９…支持体 １０，１１…圧力導入室 １０Ａ，１１Ａ…バックプレ―ト １２，１３…隔液ダイアフラム １４，１５，１６，１７…連通口 ２１…センタダイアフラム ２２…板ばね ２３…第１室 ２４…第２室 ２５、２６…連通孔。 ８０…ストレインゲ―ジ
Claims (1)
- 【請求項１】内部に封入液が満たされたハウジングと、 該ハウジングの両側に設けられた一対の隔液ダイアフラ
ムと、 該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側に変位しな
いように設けられた移動阻止手段と、 前記ハウジング内に設けられた圧力―電気変換素子を有
するシリコンダイアフラムと、 前記ハウジングに該シリコンダイアフラムと共に高圧側
室と低圧側室とに２分するように設けられたセンタダイ
アフラムと、 前記低圧側室内に設けられ前記低圧側室を第１室と第２
室とに２分するように設けられた板ばねとを具備すると
共に、平時の測定範囲下において、前記センタダイアフ
ラムと前記板ばねとが接している事を特徴とする差圧測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30778391A JPH05142078A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30778391A JPH05142078A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 差圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142078A true JPH05142078A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=17973207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30778391A Pending JPH05142078A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05142078A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3048434A3 (en) * | 2015-01-19 | 2016-11-09 | TGK CO., Ltd. | Pressure sensor module and method for manufacturing the same |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP30778391A patent/JPH05142078A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3048434A3 (en) * | 2015-01-19 | 2016-11-09 | TGK CO., Ltd. | Pressure sensor module and method for manufacturing the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2544435B2 (ja) | 多機能センサ | |
| JP2880798B2 (ja) | 多係数圧力センサ | |
| US8024976B2 (en) | Combined wet-wet differential and gage transducer employing a common housing | |
| US4574640A (en) | Integrated dual-range pressure transducer | |
| JPH01141328A (ja) | 差圧伝送器 | |
| EP0164413A1 (en) | PRESSURE TRANSDUCER. | |
| US4787249A (en) | Differential pressure transducer | |
| JPH05142078A (ja) | 差圧測定装置 | |
| US7188529B2 (en) | Differential pressure measuring apparatus | |
| JPS6239368B2 (ja) | ||
| JP3147972B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH081468Y2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH09218121A (ja) | 半導体差圧測定装置 | |
| JPH0798258A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH07113711A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH0783778A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH0653945U (ja) | 差圧測定装置 | |
| JP3080212B2 (ja) | 半導体差圧測定装置 | |
| JPH06102128A (ja) | 半導体複合機能センサ | |
| JP2988077B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JP2001124645A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JP3090175B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH05172676A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPH03277934A (ja) | 差圧伝送器 | |
| JP2578983Y2 (ja) | 絶対圧力計 |