JPH05149379A - アクテイブ除振装置 - Google Patents
アクテイブ除振装置Info
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- JPH05149379A JPH05149379A JP34202791A JP34202791A JPH05149379A JP H05149379 A JPH05149379 A JP H05149379A JP 34202791 A JP34202791 A JP 34202791A JP 34202791 A JP34202791 A JP 34202791A JP H05149379 A JPH05149379 A JP H05149379A
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- Japan
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- vibration
- piezo
- piezo actuator
- elastic body
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 組み付け時における位置ズレを吸収できなが
ら、微振動に対しても良好に制御できるアクティブ除振
装置を提供する。 【構成】 積層形ピエゾ素子１０の駆動方向の端面に、
金属板１３と肉厚の小さい薄肉弾性体１４とから成る剪
断力吸収部材１５を三層以上介装して構成したピエゾア
クチュエータ５Ｚを、下部架台と機器搭載台との間に三
次元方向それぞれに駆動可能に設け、三次元方向それぞ
れの振動を検出する振動センサを設けるとともに、その
振動センサで検出される振動に基づいて、その振動を打
ち消す駆動信号をピエゾアクチュエータ５Ｚに出力する
制御装置を設ける。
ら、微振動に対しても良好に制御できるアクティブ除振
装置を提供する。 【構成】 積層形ピエゾ素子１０の駆動方向の端面に、
金属板１３と肉厚の小さい薄肉弾性体１４とから成る剪
断力吸収部材１５を三層以上介装して構成したピエゾア
クチュエータ５Ｚを、下部架台と機器搭載台との間に三
次元方向それぞれに駆動可能に設け、三次元方向それぞ
れの振動を検出する振動センサを設けるとともに、その
振動センサで検出される振動に基づいて、その振動を打
ち消す駆動信号をピエゾアクチュエータ５Ｚに出力する
制御装置を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工場やレー
ザー応用製品製造工場などにおいて、地震や自動車の走
行、更には、作業者の歩行などに起因する水平二次元方
向や鉛直方向の微振動が機器搭載台に伝播することを打
ち消すために、下部架台に、三次元方向それぞれに駆動
可能なピエゾアクチュエータを介して機器搭載台を設
け、三次元方向それぞれの振動を検出する振動センサを
設けるとともに、その振動センサで検出される振動に基
づいて、その振動を打ち消す駆動信号をピエゾアクチュ
エータに出力する制御装置を設けたアクティブ除振装置
に関する。
ザー応用製品製造工場などにおいて、地震や自動車の走
行、更には、作業者の歩行などに起因する水平二次元方
向や鉛直方向の微振動が機器搭載台に伝播することを打
ち消すために、下部架台に、三次元方向それぞれに駆動
可能なピエゾアクチュエータを介して機器搭載台を設
け、三次元方向それぞれの振動を検出する振動センサを
設けるとともに、その振動センサで検出される振動に基
づいて、その振動を打ち消す駆動信号をピエゾアクチュ
エータに出力する制御装置を設けたアクティブ除振装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のアクティブ除振装置とし
ては、特開平２−２４６３８２号公報に示されているも
のがあった。
ては、特開平２−２４６３８２号公報に示されているも
のがあった。
【０００３】図８は上記従来例の縦断側面図、図９は図
８のＡ−Ａ線断面図であり、高さ調節ネジ０１によって
支持床０２などに水平姿勢で載置される下部架台０３
に、水平二次元方向の一方（Ｘ方向）に駆動可能な２個
の第１のピエゾアクチュエータ０４Ｘ，０４Ｘと、水平
二次元方向の他方（Ｙ方向）に駆動可能な２個の第２の
ピエゾアクチュエータ０４Ｙ，０４Ｙと、鉛直方向（Ｚ
方向）に駆動可能な４個の第３のピエゾアクチュエータ
０４Ｚ…を介して機器搭載台０５が設けられている。
８のＡ−Ａ線断面図であり、高さ調節ネジ０１によって
支持床０２などに水平姿勢で載置される下部架台０３
に、水平二次元方向の一方（Ｘ方向）に駆動可能な２個
の第１のピエゾアクチュエータ０４Ｘ，０４Ｘと、水平
二次元方向の他方（Ｙ方向）に駆動可能な２個の第２の
ピエゾアクチュエータ０４Ｙ，０４Ｙと、鉛直方向（Ｚ
方向）に駆動可能な４個の第３のピエゾアクチュエータ
０４Ｚ…を介して機器搭載台０５が設けられている。
【０００４】前記第１および第２のピエゾアクチュエー
タ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙそれぞれと対向する
位置において、下部架台０３と機器搭載台０５との間
に、第１および第２のコイルばね０６Ｘ，０６Ｘ、０６
Ｙ，０６Ｙが介装され、第１および第２のピエゾアクチ
ュエータ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙそれぞれに常
に予圧縮力を付与し、歪み発生により水平方向に駆動力
を良好に生じさせることができるように構成されてい
る。
タ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙそれぞれと対向する
位置において、下部架台０３と機器搭載台０５との間
に、第１および第２のコイルばね０６Ｘ，０６Ｘ、０６
Ｙ，０６Ｙが介装され、第１および第２のピエゾアクチ
ュエータ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙそれぞれに常
に予圧縮力を付与し、歪み発生により水平方向に駆動力
を良好に生じさせることができるように構成されてい
る。
【０００５】前記第１、第２および第３のピエゾアクチ
ュエータ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…そ
れぞれは、図１０の側面図に示すように、積層形ピエゾ
素子０７の駆動方向、すなわち、積層方向の端面に金属
板０８が取り付けられ、この金属板０８の他方の面とそ
れに対向する金属板０９との間に、薄膜状の弾性体０１
０が圧着状態で挟まれて構成されている。そして、弾性
体０１０の予圧縮力は、積層形ピエゾ素子０７が発生す
る力よりも大きくなるように設定され、弾性体０１０
が、積層形ピエゾ素子０７の駆動方向には剛性を有し、
一方、駆動方向と直交する方向には弾性（柔軟性）を有
し、第１、第２および第３のピエゾアクチュエータ０４
Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…それぞれに大き
な剪断力がかからないように構成されている。
ュエータ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…そ
れぞれは、図１０の側面図に示すように、積層形ピエゾ
素子０７の駆動方向、すなわち、積層方向の端面に金属
板０８が取り付けられ、この金属板０８の他方の面とそ
れに対向する金属板０９との間に、薄膜状の弾性体０１
０が圧着状態で挟まれて構成されている。そして、弾性
体０１０の予圧縮力は、積層形ピエゾ素子０７が発生す
る力よりも大きくなるように設定され、弾性体０１０
が、積層形ピエゾ素子０７の駆動方向には剛性を有し、
一方、駆動方向と直交する方向には弾性（柔軟性）を有
し、第１、第２および第３のピエゾアクチュエータ０４
Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…それぞれに大き
な剪断力がかからないように構成されている。
【０００６】機器搭載台０５に、三次元方向それぞれの
振動を検出する振動検出器０１１が設けられ、その振動
検出器０１１で検出された振動に基づく信号を制御装置
（図示せず）に出力し、制御装置において、振動検出器
０１１からの入力信号に基づいて機器搭載台０５を静止
させるに必要な第１、第２および第３のピエゾアクチュ
エータ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…それ
ぞれの伸び量、すなわち、それらに印加すべき電圧信号
を求め、その電圧信号を第１、第２および第３のピエゾ
アクチュエータ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４
Ｚ…それぞれに出力して機器搭載台０５の三次元的な振
動を制御するように構成されている。
振動を検出する振動検出器０１１が設けられ、その振動
検出器０１１で検出された振動に基づく信号を制御装置
（図示せず）に出力し、制御装置において、振動検出器
０１１からの入力信号に基づいて機器搭載台０５を静止
させるに必要な第１、第２および第３のピエゾアクチュ
エータ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…それ
ぞれの伸び量、すなわち、それらに印加すべき電圧信号
を求め、その電圧信号を第１、第２および第３のピエゾ
アクチュエータ０４Ｘ，０４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４
Ｚ…それぞれに出力して機器搭載台０５の三次元的な振
動を制御するように構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
のアクティブ除振装置では、弾性体０１０によって、第
１、第２および第３のピエゾアクチュエータ０４Ｘ，０
４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…それぞれに大きな剪断
力がかからないように構成しているが、現場において、
機器搭載台０５を下部架台０３に組み付けるに際し、第
１、第２および第３のピエゾアクチュエータ０４Ｘ，０
４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…それぞれのうちのいず
れかを取り付けるボルト穴の相対位置にわずかでも誤差
があるような場合に、その組み付け状態において、弾性
体０１０が、ピエゾアクチュエータそれぞれの駆動方向
に直交する方向に弾性変形した状態になり、その弾性変
形方向において、駆動方向と直交する方向における弾性
（柔軟性）がほとんど働かず、結果として、ピエゾアク
チュエータの駆動に伴う制御力の一部が、駆動方向と直
交する方向にも作用し、他のピエゾアクチュエータによ
る制御力と干渉し、制御による位置出しが困難で制御精
度が低下したり、また、急激に大きな荷重がかかったと
きには、ピエゾアクチュエータに剪断力がかかってしま
う不都合があった。
のアクティブ除振装置では、弾性体０１０によって、第
１、第２および第３のピエゾアクチュエータ０４Ｘ，０
４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…それぞれに大きな剪断
力がかからないように構成しているが、現場において、
機器搭載台０５を下部架台０３に組み付けるに際し、第
１、第２および第３のピエゾアクチュエータ０４Ｘ，０
４Ｘ、０４Ｙ，０４Ｙ、０４Ｚ…それぞれのうちのいず
れかを取り付けるボルト穴の相対位置にわずかでも誤差
があるような場合に、その組み付け状態において、弾性
体０１０が、ピエゾアクチュエータそれぞれの駆動方向
に直交する方向に弾性変形した状態になり、その弾性変
形方向において、駆動方向と直交する方向における弾性
（柔軟性）がほとんど働かず、結果として、ピエゾアク
チュエータの駆動に伴う制御力の一部が、駆動方向と直
交する方向にも作用し、他のピエゾアクチュエータによ
る制御力と干渉し、制御による位置出しが困難で制御精
度が低下したり、また、急激に大きな荷重がかかったと
きには、ピエゾアクチュエータに剪断力がかかってしま
う不都合があった。
【０００８】そこで、弾性体をピエゾアクチュエータの
駆動方向に厚くして駆動方向と直交する方向に弾性変形
しやすくすることが考えられるが、厚くなるに伴ってピ
エゾアクチュエータの駆動方向での剛性が損なわれ、微
振動に対して良好に制御できず、未だ改善の余地があっ
た。
駆動方向に厚くして駆動方向と直交する方向に弾性変形
しやすくすることが考えられるが、厚くなるに伴ってピ
エゾアクチュエータの駆動方向での剛性が損なわれ、微
振動に対して良好に制御できず、未だ改善の余地があっ
た。
【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、組み付け時における位置ズレを吸収で
きながら、微振動に対しても良好に制御できるアクティ
ブ除振装置を提供することを目的とする。
たものであって、組み付け時における位置ズレを吸収で
きながら、微振動に対しても良好に制御できるアクティ
ブ除振装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述のような
目的を達成するために、下部架台に、三次元方向それぞ
れに駆動可能なピエゾアクチュエータを介して機器搭載
台を設け、三次元方向それぞれの振動を検出する振動セ
ンサを設けるとともに、その振動センサで検出される振
動に基づいて、その振動を打ち消す駆動信号をピエゾア
クチュエータに出力する制御装置を設けたアクティブ除
振装置であって、ピエゾアクチュエータそれぞれを、積
層形ピエゾ素子の駆動方向の両端面の少なくとも一方
に、剛性の板材と肉厚の小さい薄肉弾性体とから成る剪
断力吸収部材を三層以上介装して構成する。
目的を達成するために、下部架台に、三次元方向それぞ
れに駆動可能なピエゾアクチュエータを介して機器搭載
台を設け、三次元方向それぞれの振動を検出する振動セ
ンサを設けるとともに、その振動センサで検出される振
動に基づいて、その振動を打ち消す駆動信号をピエゾア
クチュエータに出力する制御装置を設けたアクティブ除
振装置であって、ピエゾアクチュエータそれぞれを、積
層形ピエゾ素子の駆動方向の両端面の少なくとも一方
に、剛性の板材と肉厚の小さい薄肉弾性体とから成る剪
断力吸収部材を三層以上介装して構成する。
【００１１】
【作用】本発明のアクティブ除振装置の構成によれば、
組み付け時に、ピエゾアクチュエータの駆動方向に直交
する方向において下部架台と機器搭載台との間に位置ズ
レがあった場合に、三層以上の各剪断力吸収部材の薄肉
弾性体それぞれが微小量づつ弾性変形しながら、全体と
して比較的大きな位置ズレを吸収することができる。
組み付け時に、ピエゾアクチュエータの駆動方向に直交
する方向において下部架台と機器搭載台との間に位置ズ
レがあった場合に、三層以上の各剪断力吸収部材の薄肉
弾性体それぞれが微小量づつ弾性変形しながら、全体と
して比較的大きな位置ズレを吸収することができる。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳述
する。
する。
【００１３】図１は、本発明の実施例に係るアクティブ
除振装置の一部切欠全体側面図、図２は全体平面図であ
り、高さ調節ネジ１を備えた支持脚２…を介して平面視
で正方形状の下部架台３が支持床４に水平姿勢で載置さ
れ、その下部架台３に、水平二次元方向の一方（Ｘ方
向）に駆動可能な２個の第１のピエゾアクチュエータ５
Ｘ，５Ｘと、水平二次元方向の他方（Ｙ方向）に駆動可
能な２個の第２のピエゾアクチュエータ５Ｙ，５Ｙと、
鉛直方向（Ｚ方向）に駆動可能な４個の第３のピエゾア
クチュエータ５Ｚ…を介して機器搭載台６が設けられて
いる。
除振装置の一部切欠全体側面図、図２は全体平面図であ
り、高さ調節ネジ１を備えた支持脚２…を介して平面視
で正方形状の下部架台３が支持床４に水平姿勢で載置さ
れ、その下部架台３に、水平二次元方向の一方（Ｘ方
向）に駆動可能な２個の第１のピエゾアクチュエータ５
Ｘ，５Ｘと、水平二次元方向の他方（Ｙ方向）に駆動可
能な２個の第２のピエゾアクチュエータ５Ｙ，５Ｙと、
鉛直方向（Ｚ方向）に駆動可能な４個の第３のピエゾア
クチュエータ５Ｚ…を介して機器搭載台６が設けられて
いる。
【００１４】図３の要部の一部切欠拡大側面図、およ
び、図４の要部の一部切欠拡大平面図それぞれに示すよ
うに、機器搭載台６の４隅のうちの３箇所の下面それぞ
れにセンサーボックス７が設けられ、そのセンサーボッ
クス７内に、水平方向の振動を検出する第１の振動セン
サ８と鉛直方向の振動を検出する第２の振動センサ９と
が収納されている。
び、図４の要部の一部切欠拡大平面図それぞれに示すよ
うに、機器搭載台６の４隅のうちの３箇所の下面それぞ
れにセンサーボックス７が設けられ、そのセンサーボッ
クス７内に、水平方向の振動を検出する第１の振動セン
サ８と鉛直方向の振動を検出する第２の振動センサ９と
が収納されている。
【００１５】前記第１、第２および第３のピエゾアクチ
ュエータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５Ｙ、５Ｚ…それぞれは、
図５の側面図に示すように、積層形ピエゾ素子１０の駆
動方向、すなわち、積層方向の一方の端面に、下部架台
３に組み付ける大径の取付フランジ１１が取り付けられ
るとともに、他方の端面に、機器搭載台６に組み付ける
小径の取付フランジ１２が取り付けられ、かつ、小径の
取付フランジ１２に、剛性の板材としての金属板１３と
肉厚の小さい薄肉弾性体１４とから成る剪断力吸収部材
１５が多層に積層して介装されて構成されている。図５
（後述する図７）においては、便宜上薄肉弾性体１４の
厚みを金属板１３よりも薄く、かつ、８層に積層したも
のを示しているが、例えば、金属板１３の厚みは 0.3〜
0.5mm 、薄肉弾性体１４の厚みは 0.5〜1.0mm で30層に
積層され、また、金属板１３および薄肉弾性体１４それ
ぞれの大きさとしては、直径３cmなどに構成されるが、
その積層段数や大きさは、装置の規模に応じて適宜変更
可能である。
ュエータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５Ｙ、５Ｚ…それぞれは、
図５の側面図に示すように、積層形ピエゾ素子１０の駆
動方向、すなわち、積層方向の一方の端面に、下部架台
３に組み付ける大径の取付フランジ１１が取り付けられ
るとともに、他方の端面に、機器搭載台６に組み付ける
小径の取付フランジ１２が取り付けられ、かつ、小径の
取付フランジ１２に、剛性の板材としての金属板１３と
肉厚の小さい薄肉弾性体１４とから成る剪断力吸収部材
１５が多層に積層して介装されて構成されている。図５
（後述する図７）においては、便宜上薄肉弾性体１４の
厚みを金属板１３よりも薄く、かつ、８層に積層したも
のを示しているが、例えば、金属板１３の厚みは 0.3〜
0.5mm 、薄肉弾性体１４の厚みは 0.5〜1.0mm で30層に
積層され、また、金属板１３および薄肉弾性体１４それ
ぞれの大きさとしては、直径３cmなどに構成されるが、
その積層段数や大きさは、装置の規模に応じて適宜変更
可能である。
【００１６】前記第１および第２の振動センサ８…，９
…それぞれが、図６のブロック図に示すように、ＣＰＵ
１６とＲＡＭ１７とＲＯＭ１８とから成る制御装置とし
てのマイクロコンピュータ１９に入力インターフェイス
２０を介して接続されるとともに、そのマイクロコンピ
ュータ１９に第１、第２および第３のピエゾアクチュエ
ータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５Ｙ、５Ｚ…それぞれが出力イ
ンターフェイス２１を介して接続され、第１および第２
の振動センサ８…，９…それぞれからの入力信号に基づ
いて機器搭載台６を静止させるに必要な第１、第２およ
び第３のピエゾアクチュエータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５
Ｙ、５Ｚ…それぞれの伸び量、すなわち、それらに印加
すべき電圧信号を求め、その電圧信号を第１、第２およ
び第３のピエゾアクチュエータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５
Ｙ、５Ｚ…それぞれに出力し、歪み発生により水平方向
および鉛直方向それぞれに駆動力を生じさせて機器搭載
台６の三次元的な振動を制御するように構成されてい
る。
…それぞれが、図６のブロック図に示すように、ＣＰＵ
１６とＲＡＭ１７とＲＯＭ１８とから成る制御装置とし
てのマイクロコンピュータ１９に入力インターフェイス
２０を介して接続されるとともに、そのマイクロコンピ
ュータ１９に第１、第２および第３のピエゾアクチュエ
ータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５Ｙ、５Ｚ…それぞれが出力イ
ンターフェイス２１を介して接続され、第１および第２
の振動センサ８…，９…それぞれからの入力信号に基づ
いて機器搭載台６を静止させるに必要な第１、第２およ
び第３のピエゾアクチュエータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５
Ｙ、５Ｚ…それぞれの伸び量、すなわち、それらに印加
すべき電圧信号を求め、その電圧信号を第１、第２およ
び第３のピエゾアクチュエータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５
Ｙ、５Ｚ…それぞれに出力し、歪み発生により水平方向
および鉛直方向それぞれに駆動力を生じさせて機器搭載
台６の三次元的な振動を制御するように構成されてい
る。
【００１７】機器搭載台６の４辺それぞれの中央箇所の
下部において、下部架台３に、突出量を調節可能に第１
のストッパー２２が設けられ、機器搭載台６が鉛直方向
に大きく変位することを当接によって阻止し、第３のピ
エゾアクチュエータ５Ｚ…それぞれに大きな荷重がかか
ることを防止できるように構成されている。
下部において、下部架台３に、突出量を調節可能に第１
のストッパー２２が設けられ、機器搭載台６が鉛直方向
に大きく変位することを当接によって阻止し、第３のピ
エゾアクチュエータ５Ｚ…それぞれに大きな荷重がかか
ることを防止できるように構成されている。
【００１８】また、機器搭載台６の４隅それぞれにおい
て、下部架台３に、突出量を調節可能に一対づつ第２の
ストッパー２３，２３が設けられ、機器搭載台６が水平
方向に大きく変位することを当接によって阻止し、第１
および第２ピエゾアクチュエータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５
Ｙそれぞれに大きな荷重がかかることを防止できるよう
に構成されている。図中、２４…は、運搬用の吊り金具
を示している。
て、下部架台３に、突出量を調節可能に一対づつ第２の
ストッパー２３，２３が設けられ、機器搭載台６が水平
方向に大きく変位することを当接によって阻止し、第１
および第２ピエゾアクチュエータ５Ｘ，５Ｘ、５Ｙ，５
Ｙそれぞれに大きな荷重がかかることを防止できるよう
に構成されている。図中、２４…は、運搬用の吊り金具
を示している。
【００１９】前記大径取付フランジ１１は、四本のボル
ト２５…によって下部架台３に取り付けられ、そして、
小径取付フランジ１２（最下部の金属板に兼用）と剪断
力吸収部材１５…の下端側の薄肉弾性体１４に連接され
た第１の取付用フランジ２６とが、一対のボルト２７，
２７によって一体連結され、更に、剪断力吸収部材１５
…の上端側の薄肉弾性体１４に第２の取付用フランジ２
８が連接され、この第２の取付用フランジ２８が一対の
ボルト２９，２９によって機器搭載台６に取り付けられ
ている。
ト２５…によって下部架台３に取り付けられ、そして、
小径取付フランジ１２（最下部の金属板に兼用）と剪断
力吸収部材１５…の下端側の薄肉弾性体１４に連接され
た第１の取付用フランジ２６とが、一対のボルト２７，
２７によって一体連結され、更に、剪断力吸収部材１５
…の上端側の薄肉弾性体１４に第２の取付用フランジ２
８が連接され、この第２の取付用フランジ２８が一対の
ボルト２９，２９によって機器搭載台６に取り付けられ
ている。
【００２０】以上の構成により、例えば、第３ピエゾア
クチュエータ５Ｚを例にして説明すれば、図７の効果説
明に供する側面図に示すように、大径取付フランジ１１
と下部架台３との取り付け位置に対して、第２の取付用
フランジ２８と機器搭載台６との取り付け位置にズレが
有るような場合に、薄肉弾性体１４…それぞれが、第３
ピエゾアクチュエータ５Ｚの駆動方向に直交する方向に
微少量づつ弾性変形し、比較的大きな位置ズレをも吸収
できながら、更に、その弾性変形方向に弾性変形するに
足る弾性を備え、第３ピエゾアクチュエータ５Ｚに剪断
力がかかることを防止できるようになっている。
クチュエータ５Ｚを例にして説明すれば、図７の効果説
明に供する側面図に示すように、大径取付フランジ１１
と下部架台３との取り付け位置に対して、第２の取付用
フランジ２８と機器搭載台６との取り付け位置にズレが
有るような場合に、薄肉弾性体１４…それぞれが、第３
ピエゾアクチュエータ５Ｚの駆動方向に直交する方向に
微少量づつ弾性変形し、比較的大きな位置ズレをも吸収
できながら、更に、その弾性変形方向に弾性変形するに
足る弾性を備え、第３ピエゾアクチュエータ５Ｚに剪断
力がかかることを防止できるようになっている。
【００２１】上記実施例では、積層形ピエゾ素子１０の
駆動方向の一方側にのみ剪断力吸収部材１５を設けてい
るが、本発明としては、駆動方向の両側に設けるもので
も良い。また、剪断力吸収部材１５は８層に限らず、三
層以上備えるものであれば良い。
駆動方向の一方側にのみ剪断力吸収部材１５を設けてい
るが、本発明としては、駆動方向の両側に設けるもので
も良い。また、剪断力吸収部材１５は８層に限らず、三
層以上備えるものであれば良い。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のアクティブ除振装置によれば、三層以上の各剪断力吸
収部材の薄肉弾性体それぞれの微少量づつの弾性変形に
よって、組み付け時の下部架台と機器搭載台との間の位
置ズレをも吸収できるから、その位置ズレが比較的大き
なものであっても、組み付け後の各薄肉弾性体それぞれ
において、ピエゾアクチュエータの駆動方向に直交する
方向での弾性変形が可能な状態になり、ピエゾアクチュ
エータの駆動方向に直交する方向にかかる力をも薄肉弾
性体で吸収でき、ピエゾアクチュエータに剪断力が作用
することを回避して、微振動を良好に制御できるように
なった。
のアクティブ除振装置によれば、三層以上の各剪断力吸
収部材の薄肉弾性体それぞれの微少量づつの弾性変形に
よって、組み付け時の下部架台と機器搭載台との間の位
置ズレをも吸収できるから、その位置ズレが比較的大き
なものであっても、組み付け後の各薄肉弾性体それぞれ
において、ピエゾアクチュエータの駆動方向に直交する
方向での弾性変形が可能な状態になり、ピエゾアクチュ
エータの駆動方向に直交する方向にかかる力をも薄肉弾
性体で吸収でき、ピエゾアクチュエータに剪断力が作用
することを回避して、微振動を良好に制御できるように
なった。
【図１】本発明の実施例に係るアクティブ除振装置の一
部切欠全体側面図である。
部切欠全体側面図である。
【図２】全体平面図である。
【図３】要部の一部切欠拡大側面図である。
【図４】要部の一部切欠拡大平面図である。
【図５】側面図である。
【図６】ブロック図である。
【図７】効果説明に供する側面図である。
【図８】従来例の縦断側面図である。
【図９】図８のＡ−Ａ線断面図である。
【図１０】側面図である。
３…下部架台 ５Ｘ…第１のピエゾアクチュエータ ５Ｙ…第２のピエゾアクチュエータ ５Ｚ…第３のピエゾアクチュエータ ６…機器搭載台 ８…第１の振動センサ ９…第２の振動センサ １０…積層形ピエゾ素子 １３…剛性の板材としての金属板 １４…薄肉弾性体 １５…剪断力吸収部材 １９…制御装置としてのマイクロコンピュータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000224994 特許機器株式会社 兵庫県尼崎市南初島町10番地133 (72)発明者 村井 信義 東京都江東区南砂二丁目５番14号 株式会 社竹中工務店技術研究所内 (72)発明者 今沢 民雄 大阪府南河内郡美原町木材通３丁目１番８ 号 株式会社竹中工務店技術研究所大阪支 所内 (72)発明者 高橋 良典 大阪府南河内郡美原町木材通３丁目１番８ 号 株式会社竹中工務店技術研究所大阪支 所内 (72)発明者 吉岡 宏和 大阪府南河内郡美原町木材通３丁目１番８ 号 株式会社竹中工務店技術研究所大阪支 所内 (72)発明者 藤田 隆史 千葉県流山市中野久木575−28 (72)発明者 渋谷 貞雄 千葉県松戸市上本郷字船付537番地 日立 プラント建設株式会社松戸研究所内 (72)発明者 早津 昌樹 千葉県松戸市上本郷字船付537番地 日立 プラント建設株式会社松戸研究所内 (72)発明者 竹下 章治 東京都千代田区大手町弐丁目六番弐号 株 式会社日立建設設計内 (72)発明者 早川 太平 東京都千代田区大手町弐丁目六番弐号 株 式会社日立建設設計内 (72)発明者 安田 正志 兵庫県尼崎市南初島町10番地133 特許機 器株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 下部架台に、三次元方向それぞれに駆動
可能なピエゾアクチュエータを介して機器搭載台を設
け、三次元方向それぞれの振動を検出する振動センサを
設けるとともに、その振動センサで検出される振動に基
づいて、その振動を打ち消す駆動信号を前記ピエゾアク
チュエータに出力する制御装置を設けたアクティブ除振
装置であって、 前記ピエゾアクチュエータそれぞれを、積層形ピエゾ素
子の駆動方向の両端面の少なくとも一方に、剛性の板材
と肉厚の小さい薄肉弾性体とから成る剪断力吸収部材を
三層以上介装したことを特徴とするアクティブ除振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34202791A JPH05149379A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | アクテイブ除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34202791A JPH05149379A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | アクテイブ除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05149379A true JPH05149379A (ja) | 1993-06-15 |
Family
ID=18350614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34202791A Pending JPH05149379A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | アクテイブ除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05149379A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07311623A (ja) * | 1994-05-18 | 1995-11-28 | Tokkyo Kiki Kk | 微振動制御アクチュエータ |
| US5660255A (en) * | 1994-04-04 | 1997-08-26 | Applied Power, Inc. | Stiff actuator active vibration isolation system |
| JPH11257419A (ja) * | 1998-03-12 | 1999-09-21 | Fujita Corp | アクティブ型除振装置 |
| US6193206B1 (en) | 1998-02-18 | 2001-02-27 | Tokkyokiki Corporation | Active vibration isolator |
| US6933736B2 (en) | 2002-01-30 | 2005-08-23 | Tokyo Electron Limited | Prober |
| JP2010101437A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-05-06 | Nabeya Co Ltd | アクティブ除振ユニット |
| TWI869920B (zh) * | 2023-07-10 | 2025-01-11 | 友達光電股份有限公司 | 抗振單元 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02246382A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-02 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | ピエゾアクチュエータ及びアクティブ振動絶縁装置 |
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-
1991
- 1991-11-29 JP JP34202791A patent/JPH05149379A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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