JPH05150232A - 液晶用遮光膜 - Google Patents
液晶用遮光膜Info
- Publication number
- JPH05150232A JPH05150232A JP35739591A JP35739591A JPH05150232A JP H05150232 A JPH05150232 A JP H05150232A JP 35739591 A JP35739591 A JP 35739591A JP 35739591 A JP35739591 A JP 35739591A JP H05150232 A JPH05150232 A JP H05150232A
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- liquid crystal
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- shielding film
- light shielding
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- Pending
Links
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光透過率が小さく、固有抵抗が高く、高温ア
ニールが可能で、かつ、液晶注入口の封止工程での熱の
影響のない新規な液晶ディスプレイ用遮光膜を提供する
ことを目的とする。 【構成】 従来、ＴＦＴ液晶ディスプレイの薄膜トラン
ジスタ部分を遮へいする遮光膜には黒色顔料を添加分散
した有機高分子材料を印刷した膜が用いられているが、
本発明ではｘＮｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３を用いる。ここでｘは
１〜２０モルの範囲内にあるものである。ｘＮｉＯ・Ｆ
ｅ２Ｏ３の着膜はスパッタ蒸着でもよく、該材料をペー
ストにして印刷着膜してもよく、また、その他の着膜法
であってもよい。
ニールが可能で、かつ、液晶注入口の封止工程での熱の
影響のない新規な液晶ディスプレイ用遮光膜を提供する
ことを目的とする。 【構成】 従来、ＴＦＴ液晶ディスプレイの薄膜トラン
ジスタ部分を遮へいする遮光膜には黒色顔料を添加分散
した有機高分子材料を印刷した膜が用いられているが、
本発明ではｘＮｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３を用いる。ここでｘは
１〜２０モルの範囲内にあるものである。ｘＮｉＯ・Ｆ
ｅ２Ｏ３の着膜はスパッタ蒸着でもよく、該材料をペー
ストにして印刷着膜してもよく、また、その他の着膜法
であってもよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイに使
用される遮光膜に関するものである。
用される遮光膜に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイの作動原理は次の通り
である。規則的な分子配向をもった液晶は光学的に一軸
性である。そこで透明電極をもったサンドウィッチセル
の中に、分子軸を一方向に揃えるように液晶を注入する
と光学的に一軸性のセルが得られる。
である。規則的な分子配向をもった液晶は光学的に一軸
性である。そこで透明電極をもったサンドウィッチセル
の中に、分子軸を一方向に揃えるように液晶を注入する
と光学的に一軸性のセルが得られる。
【０００３】このセルに外部から電場を加えると、液晶
の誘電率や電導度の異方性のために、分子軸を別の方向
に向けるような力を液晶分子が受ける。電場によるこの
トルクの大きさが液晶の弾性限界内にあれば、ある程度
の変位（分子軸の回転）が起こったところで弾性的な復
元力と釣合うことになる。したがって、この状態ではセ
ルの光学的主軸の向きは電場を加える以前とは異なって
いるはずである。
の誘電率や電導度の異方性のために、分子軸を別の方向
に向けるような力を液晶分子が受ける。電場によるこの
トルクの大きさが液晶の弾性限界内にあれば、ある程度
の変位（分子軸の回転）が起こったところで弾性的な復
元力と釣合うことになる。したがって、この状態ではセ
ルの光学的主軸の向きは電場を加える以前とは異なって
いるはずである。
【０００４】液晶を光学系の中の一つの変調器として見
ると、液晶に加えられた電気的入力が液晶の光学的性質
の変化をひき起こし、その結果、液晶層を通過した光は
ある変調を受けることになる。
ると、液晶に加えられた電気的入力が液晶の光学的性質
の変化をひき起こし、その結果、液晶層を通過した光は
ある変調を受けることになる。
【０００５】液晶ディスプレイの作動原理は以上の通り
であるので、液晶ディスプレイの基本構造は透明電極を
もったサンドウィッチセルの中に液晶が注入してあると
いう極めて単純な構造である。
であるので、液晶ディスプレイの基本構造は透明電極を
もったサンドウィッチセルの中に液晶が注入してあると
いう極めて単純な構造である。
【０００６】しかし、このような構造では、液晶ディス
プレイが大型化した場合、種々な問題点が発生する。す
なわち、サンドウィッチセルの平行度が保ちにくいため
画面に表示ムラが起こったり、応答速度が遅くなる等の
欠点がある。
プレイが大型化した場合、種々な問題点が発生する。す
なわち、サンドウィッチセルの平行度が保ちにくいため
画面に表示ムラが起こったり、応答速度が遅くなる等の
欠点がある。
【０００７】これらの欠点を克服するため、最近、ＴＦ
Ｔ（シンフィルムトランジスタ）液晶ディスプレイが開
発された。これは液晶ディスプレイの中にトランジスタ
を組み込んだもので、このトランジスタによって液晶を
作動させるものである。
Ｔ（シンフィルムトランジスタ）液晶ディスプレイが開
発された。これは液晶ディスプレイの中にトランジスタ
を組み込んだもので、このトランジスタによって液晶を
作動させるものである。
【０００８】このＴＦＴ液晶ディスプレイの断面図を図
１に示す。このようなディスプレイを多数個並べて大画
面を構成する。このようなＴＦＴ液晶ディスプレイによ
れば、応答速度が速い、画面に表示ムラがなくコントラ
ストがよい等の利点がある。
１に示す。このようなディスプレイを多数個並べて大画
面を構成する。このようなＴＦＴ液晶ディスプレイによ
れば、応答速度が速い、画面に表示ムラがなくコントラ
ストがよい等の利点がある。
【０００９】元来、ハイビジョン用ディスプレイとは、
ワイドで臨場感に溢れた鮮明で質の高い画像を表示でき
るものをいう。大型パネルの全面に多数の薄膜トランジ
スタを形成するのは容易ではないという問題点はある
が、高画質のこのアクティブマトリックス方式はハイビ
ジョン用ディスプレイとして最も期待されている壁掛液
晶ディスプレイである。
ワイドで臨場感に溢れた鮮明で質の高い画像を表示でき
るものをいう。大型パネルの全面に多数の薄膜トランジ
スタを形成するのは容易ではないという問題点はある
が、高画質のこのアクティブマトリックス方式はハイビ
ジョン用ディスプレイとして最も期待されている壁掛液
晶ディスプレイである。
【００１０】図１に示す通り、ガラス基板１−１には遮
光膜（ブラック・マトリックス）２、カラー・フィルタ
３、透明電極膜４−１、配向膜５−１が付属している。
この遮光膜２は薄膜トランジスタ部分を遮へいする目的
で設置されており、遮光膜を除いたセルの視覚面はカラ
ー・フィルタで覆われている。
光膜（ブラック・マトリックス）２、カラー・フィルタ
３、透明電極膜４−１、配向膜５−１が付属している。
この遮光膜２は薄膜トランジスタ部分を遮へいする目的
で設置されており、遮光膜を除いたセルの視覚面はカラ
ー・フィルタで覆われている。
【００１１】従来、この遮光膜には黒色顔料を添加分散
した有機高分子材料を印刷した膜が用いられている。し
かし、この遮光膜は、光透過率が大きい、固有抵抗が低
い等の欠点がある。また、基板に蒸着した透明電極膜は
高温でアニールしないと電極膜の抵抗を低くできない
が、遮光膜に有機高分子材料を主成分として使用してい
るため、許されるアニール温度は２００℃以下であり、
高温アニールができない欠点がある。また、サンドウィ
ッチセルの中に液晶を注入したのち、注入口を封止する
工程で熱がかかるが、この熱によって遮光膜が劣化する
欠点がある。
した有機高分子材料を印刷した膜が用いられている。し
かし、この遮光膜は、光透過率が大きい、固有抵抗が低
い等の欠点がある。また、基板に蒸着した透明電極膜は
高温でアニールしないと電極膜の抵抗を低くできない
が、遮光膜に有機高分子材料を主成分として使用してい
るため、許されるアニール温度は２００℃以下であり、
高温アニールができない欠点がある。また、サンドウィ
ッチセルの中に液晶を注入したのち、注入口を封止する
工程で熱がかかるが、この熱によって遮光膜が劣化する
欠点がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明者等は、上記の
欠点を克服し、光透過率が小さく、固有抵抗が高く、高
温アニールが可能で、かつ、封止工程での熱の影響のな
い新規な液晶ディスプレイ用遮光膜として先に特許を出
願した（出願日平成３年９月１０日整理番号Ｐ９１０９
−０１５）。本発明は、この特許出願の改良に関するも
のである。
欠点を克服し、光透過率が小さく、固有抵抗が高く、高
温アニールが可能で、かつ、封止工程での熱の影響のな
い新規な液晶ディスプレイ用遮光膜として先に特許を出
願した（出願日平成３年９月１０日整理番号Ｐ９１０９
−０１５）。本発明は、この特許出願の改良に関するも
のである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、遮光膜の材料
にｘＮｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３を用いることによって目的を達
成することができる。ここでｘＮｉＯのｘは１〜２０モ
ルの範囲内にあるものである。
にｘＮｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３を用いることによって目的を達
成することができる。ここでｘＮｉＯのｘは１〜２０モ
ルの範囲内にあるものである。
【００１４】ｘＮｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３の着膜はスパッタ蒸
着でもよく、該材料をペーストにして印刷着膜してもよ
く、また、その他の着膜法であってもよい。また、ｘＮ
ｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３の中にＣｕＯ，Ｃ等を少量添加しても
よい。
着でもよく、該材料をペーストにして印刷着膜してもよ
く、また、その他の着膜法であってもよい。また、ｘＮ
ｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３の中にＣｕＯ，Ｃ等を少量添加しても
よい。
【００１５】本発明になる遮光膜は光透過率２％以下の
黒色の膜である。さらに、この膜は無機材料であるた
め、２００℃以上の高温でアニールが可能であり、ま
た、封止工程での熱の影響を受けることもない。
黒色の膜である。さらに、この膜は無機材料であるた
め、２００℃以上の高温でアニールが可能であり、ま
た、封止工程での熱の影響を受けることもない。
【００１６】
【実施例】６インチφ×６ｔの大きさの４ＮｉＯ・Ｆｅ
２Ｏ３のスパッタリングターゲットを作製した。このタ
ーゲットをＲＦスパッタ装置を用いて、出力５００Ｗ、
２０分間、スパッタレイト３３５オングストローム／分
でスパッタし、ガラス基板上に膜厚６７００オングスト
ロームの黒色薄膜を着膜した。
２Ｏ３のスパッタリングターゲットを作製した。このタ
ーゲットをＲＦスパッタ装置を用いて、出力５００Ｗ、
２０分間、スパッタレイト３３５オングストローム／分
でスパッタし、ガラス基板上に膜厚６７００オングスト
ロームの黒色薄膜を着膜した。
【００１７】この膜の光透過率を測定した結果、波長５
５０ｎｍで１．２％であった。また、この膜の固有抵抗
を測定した結果、１．４７×１０７Ωｃｍであり、前記
の特許出願に比較し充分高い固有抵抗が得られることが
わかった。さらに、この基板を５００℃、３０分間アニ
ールした結果、この遮光膜には何らの異常も認めること
ができなかった。
５０ｎｍで１．２％であった。また、この膜の固有抵抗
を測定した結果、１．４７×１０７Ωｃｍであり、前記
の特許出願に比較し充分高い固有抵抗が得られることが
わかった。さらに、この基板を５００℃、３０分間アニ
ールした結果、この遮光膜には何らの異常も認めること
ができなかった。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、遮光膜が無機物質であ
るため、高温アニールが可能であり、封止工程での熱の
影響を受けない特徴がある。また、光透過率２％以下の
低透過率の黒色遮光膜を得ることができる特徴がある。
さらに、固有抵抗が極めて高い遮光膜を得ることができ
る特徴がある。
るため、高温アニールが可能であり、封止工程での熱の
影響を受けない特徴がある。また、光透過率２％以下の
低透過率の黒色遮光膜を得ることができる特徴がある。
さらに、固有抵抗が極めて高い遮光膜を得ることができ
る特徴がある。
【図１】ＴＦＴ液晶ディスプレイの断面図である。
１−１、１−２ ガラス基板 ２ 遮光膜 ３ カラー・フィルタ ４−１、４−２ 透明電極膜 ５−１、５−２ 配向膜 ６ 液晶 ７ ゲート絶縁膜 ８ ゲート電極 ９ アモルファスＳｉ １０ ソース電極 １１ ドレイン電極 １２ 保護膜
Claims (2)
- 【請求項１】 液晶ディスプレイに使用される遮光膜に
ｘＮｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３を用いることを特徴とする液晶用
遮光膜。 - 【請求項２】 ｘＮｉＯ・Ｆｅ２Ｏ３のｘが１〜２０モ
ルの範囲内にあることを特徴とする請求項１の液晶用遮
光膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35739591A JPH05150232A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 液晶用遮光膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35739591A JPH05150232A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 液晶用遮光膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05150232A true JPH05150232A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18453910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35739591A Pending JPH05150232A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 液晶用遮光膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05150232A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5718992A (en) * | 1993-05-28 | 1998-02-17 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Substrate having light shielding layer |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP35739591A patent/JPH05150232A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5718992A (en) * | 1993-05-28 | 1998-02-17 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Substrate having light shielding layer |
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