JPH0515156B2 - - Google Patents
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- JPH0515156B2 JPH0515156B2 JP59032220A JP3222084A JPH0515156B2 JP H0515156 B2 JPH0515156 B2 JP H0515156B2 JP 59032220 A JP59032220 A JP 59032220A JP 3222084 A JP3222084 A JP 3222084A JP H0515156 B2 JPH0515156 B2 JP H0515156B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- osc
- bat2
- bat1
- voltage
- transformers
- Prior art date
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
本発明は進行性振動波により移動体を摩擦駆動
する振動波モータの駆動回路に関するものであ
る。 最近実用化されつつある、進行性振動波によつ
て駆動する振動波モータの実施例の概略図が第１
図に示してある。同図で、１は電気−機械エネル
ギー変換素子としての電歪素子で例えばPZT（チ
タン酸ジルコン鉛）で、２は振動体で弾性物質か
らなり、電歪素子１を接着してある。振動体２は
電歪素子１と共にステータ（不図示）側に保持さ
れている。３は移動体で振動体２に対し押圧接触
されていてロータを形成する。電歪素子１は複数
個接着されており、そのうちの一群の電歪素子に
対し、もう一群の電歪素子は振動波の波長λの1/
４波長分だけずれたピツチで配置される。各群内
での各電歪素子１は1/2波長のピツチで、相隣り
合うものの極性が逆になるように配置されてい
る。また各電歪素子１の表裏には図示を省略した
が、夫々電極膜が設けられて、各電歪素子１に電
圧が印加できるようになつている。 このような構成の振動波モータで一群の電歪素
子にV0Sinωtの交流電圧を印加し、もう一方群の
電歪素子にV0Cosωtの交流電圧を印加する。従
つて各電歪素子は相隣り合うものどうし極性が逆
向きで二つの群どうし90°位相のずれた交流電圧
が印加されて伸縮振動をする。この振動が伝えら
れて振動体２は電歪素子１の配置ピツチに従つて
曲げ振動をする。振動体２が一つおきの電歪素子
の位置で出つ張ると、他の一つおきの電歪素子の
位置が引つ込む。一方、前記の如く一群の電歪素
子は他の群の電歪素子に対し、1/4波長ずれた位
置にあるため曲げ振動が進行する。交流電圧が印
加されている間、次々と振動が励起されて、進行
性曲げ振動波となつて振動体２を伝わつてゆく。 このときの波の進行状態が第２図ａ，ｂ，ｃ，
ｄに示してある。いま、進行性曲げ振動波が矢示
X1方向に進むとする。０を静止状態に於ける振
動体の中心面とすると振動状態では鎖線示の状態
となり、この中立面６は曲げによる応力が拮抗し
ている。中立面６と直交する断面７1についてみ
ると、これら二面の交線５1では応力がかからず
上下振動しているだけである。同時に断面７1は
交線５1を中心として左右の振り子振動している。
断面７2又は７3についても同じように交線５2又
は５3を中心として左右の振り子振動する。 同図ａに示す状態では断面７1と振動体２の移
動体３側の表面との交線上の点P1は左右振動の
右死点となつており上方向運動だけしている。こ
の振り子振動は交線５1，５2又は５3が波の正側
では（中心面０の上側にあるとき）左方向（波の
進行方向X1と逆方向）の応力が加わり、波の負
側（同じく下側にあるとき）右方向の応力が加わ
る。即ち同図ａに於て、交線５2と断面７2が前者
のときの状態で、点P2は矢示方向の応力が加わ
る。交線５3と断面７3が後者のときの状態で、点
P3は矢示方向の応力が加わる。波が進行し、ｂ
に示すように波の正側に交線５1がくると点P1は
左方向の運動をすると同時に上方向の運動をす
る。ｃで点P1は上下振動の上死点で左方向の運
動だけする。ｄで点P1は左方向の運動と下方向
運動をする。さらに波が進行し、右方向と下方向
の運動、右方向と上方向の運動を経てａの状態に
戻る。この一連の運動を合成すると点P1は回転
楕円運動をしている。一方、移動体３は振動体２
に加圧接触しており、同図ｃに示すように、振動
体２上の点P1の回転楕円運動が移動体３をX2方
向に摩擦駆動する。点P2，P3及びその他振動体
２上の全ての点が点P1と同じように移動体３を
摩擦駆動する。 このように従来の振動波モータではV0Sinωtな
る駆動電圧を印加するために交流電源を用意しな
ければならないという不便がある。またモータの
駆動速度を調整するには、交流電源の電圧を調整
しなければならない。 本発明は、上記の事実に鑑みなされたもので、
効率的に且つ安定に動作する振動波モータの駆動
方式を提供することを目的とするものである。 この目的を達成するため本発明は、制御回路
Bat１，Ｑ，Ｔ１，；Bat２，OSC，Ｑ３，Ｔ２，
を有する超音波モータ用駆動装置であつて、 超音波モータは、振動体２と、それを励振する
電気−機械エネルギー変換素子１とからなる振動
子２，１と、振動子２，１と相対移動する対象物
３とを有し、 制御回路Bat１，Ｑ，Ｔ１，；Bat２，OSC，Ｑ
３，Ｔ２，は、直流電圧源Bat１，Bat２と、パ
ルス発生回路OSCと、半導体スイツチング手段
Ｑ，Ｑ３と、トランスＴ１，Ｔ２とを有し、直流
電圧源Bat１，Bat２が、半導体スイツチング手
段Ｑ，Ｑ３を介してトランスＴ１，Ｔ２の１次巻
線に接続され、トランスＴ１，Ｔ２の２次巻線
が、電気−機械エネルギー変換素子１ に接続され、パルス発生回路OSCが半導体スイ
ツチング手段Ｑ，Ｑ３をオン・オフさせてトラン
スＴ１，Ｔ２の２次巻線に誘導起電力を発生さ
せ、２次巻線の誘導起電力が電気−機械エネルギ
ー変換素子１に与えられて振動体２を励振させ
る。 超音波モータ用駆動装置を提供するものであ
る。 以下本発明の実施例を詳細に説明する。 第３図は本発明を適用する回路の実施例であ
る。同図で、１は前記（第１図参照）の電歪素
子、Bat１は直流電圧源としてのは電源電池、Ｔ
１は一次側と二次側のインダクタンス成分を電歪
素子１に対して合せたトランス、Ｑは半導体スイ
ツチング手段としてのスイツチングトランジスタ
である。 このような回路で、トランジスタＱのベースに
発振器（図示省略）から、第４図ａに示されたよ
うなパルス信号を与えて、トランスＴ１の一次側
をスイツチングする。このときのパルス周波数
は、電歪素子１の共振周波数にする。すると同図
ｂに示された波形の電圧がトランスＴ１の二次側
に誘導起電して、電歪素子１に駆動電圧として印
加される。このとき、パルス巾を制御すれば、駆
動電力が制御され、駆動速度が制御できる。なお
電歪素子１の振動周波数を検知して、発振器にフ
イードバツクさせ、パルス周波数を電歪素子１の
共振周波数に同期させてもよい。 第５図・第６図は、別な実施例の回路を示すも
の、第７図はその信号波形図である。第５図・第
６図に於て、OSCは発振器、Ｆ／Ｖは周波数−
電圧変換器，CP１，CP２は比較増巾器、IN１〜
IN３はインバータ、AND１〜AND４はアンド
ゲート、ON１，ON２はシユミツト・トリガ回
路、FF１，FF２はフリツプフロツプ、Ｒ１〜Ｒ
８は固定抵抗、VR１〜VR３は可変抵抗、Ｃ１
〜Ｃ５はコンデンサ、Ｄ１〜Ｄ６はダイオード、
Ｑ１〜Ｑ７はトランジスタ、Ｔ２，Ｔ３はトラン
ス、Bat２は電池である。LEDは発光ダイオー
ド、PTはフオトトランジスタで、移動体３上の
マーク９を読取るフオトインタラプタ１０であ
る。Ｐ１〜Ｐ５は第５図の回路と第６図の回路を
連結する接続点で、その各点に於る信号波形が第
７図に示してある。 この回路に於て、発振器OSCの発振信号Ｐ１
（第７図ａ参照）で、トランジスタＱ３によりト
ランスＴ２の一次側がオン・オフされ、二次側に
第４図ｂのような起電力がでる。フオトインタラ
プタ１０の駆動速度情報を変換器Ｆ／Ｖでアナロ
グ電圧値に変換して、比較増巾器CP１，CP２に
出力する。可変抵抗VR１はこのときの電圧レベ
ルを調整するものである。比較増巾器CP２に入
力したアナログ電圧値は、可変抵抗VR３で外部
（例えば手動）から設定される速度に対応する電
圧値と、比較される。比較増巾器CP２でも同じ
ように比較される。発振信号Ｐ１の立上りでハイ
になるアンドゲートAND２の出力信号Ｐ３は、
比較増巾器CP２の出力が逆転するまで、維持さ
れる。即ち、可変抵抗VR３で速度設定すること
は、信号Ｐ３のパルス巾を調整することを意味す
る。信号Ｐ３のハイ出力で、トランジスタＱ６が
オンになり、実線矢示方向の電圧が電歪素子１に
印加される。出力信号Ｐ３の立下りから、発振信
号Ｐ１の立下りまで維持されるアンドゲート
AND４の出力信号Ｒ４のハイ出力で、トランジ
スタＱ４がオンになる。トランジスタＱ６は既に
オフになつており、電歪素子１に電荷がチヤージ
しているから、その電荷が放電し、トランスＴ３
の一次側に実線矢示方向の電流が流れる。一方、
アンドゲートAND１に入力するＰ１信号はイン
バータIN１で反転するから、発振信号Ｐ１の立
下りで動作し、電歪素子１に点線矢示方向の電圧
を印加するときの信号Ｐ２を出すことになる。ア
ンドゲートAND３の出力Ｐ５でトランスＴ３の
一次側に点線矢示方向の電流が流れる。 従つて、電歪素子１には第７図ｆの波形の電圧
が印加されることになる。そして電歪素子１の放
電電流がトランスＴ３流れて起電し、その電流
は、ダイオードＤ３〜Ｄ６のブリツジで整流さ
れ、電池Bat２を充電する。従つて、チヤージ電
荷が無駄に放電されることがない。 なお、スイツチングトランジスタの代りに、サ
イリスタ、トライアツクなどでもよい。 以上説明したように、本発明を適用した駆動回
路は、交流電源を必要としないため便利である。
パルス巾制御をすれば、駆動速度を制御できる。
パルス巾制御は電圧制御に比べて回路が簡単であ
るから、安価に生産することができる。
する振動波モータの駆動回路に関するものであ
る。 最近実用化されつつある、進行性振動波によつ
て駆動する振動波モータの実施例の概略図が第１
図に示してある。同図で、１は電気−機械エネル
ギー変換素子としての電歪素子で例えばPZT（チ
タン酸ジルコン鉛）で、２は振動体で弾性物質か
らなり、電歪素子１を接着してある。振動体２は
電歪素子１と共にステータ（不図示）側に保持さ
れている。３は移動体で振動体２に対し押圧接触
されていてロータを形成する。電歪素子１は複数
個接着されており、そのうちの一群の電歪素子に
対し、もう一群の電歪素子は振動波の波長λの1/
４波長分だけずれたピツチで配置される。各群内
での各電歪素子１は1/2波長のピツチで、相隣り
合うものの極性が逆になるように配置されてい
る。また各電歪素子１の表裏には図示を省略した
が、夫々電極膜が設けられて、各電歪素子１に電
圧が印加できるようになつている。 このような構成の振動波モータで一群の電歪素
子にV0Sinωtの交流電圧を印加し、もう一方群の
電歪素子にV0Cosωtの交流電圧を印加する。従
つて各電歪素子は相隣り合うものどうし極性が逆
向きで二つの群どうし90°位相のずれた交流電圧
が印加されて伸縮振動をする。この振動が伝えら
れて振動体２は電歪素子１の配置ピツチに従つて
曲げ振動をする。振動体２が一つおきの電歪素子
の位置で出つ張ると、他の一つおきの電歪素子の
位置が引つ込む。一方、前記の如く一群の電歪素
子は他の群の電歪素子に対し、1/4波長ずれた位
置にあるため曲げ振動が進行する。交流電圧が印
加されている間、次々と振動が励起されて、進行
性曲げ振動波となつて振動体２を伝わつてゆく。 このときの波の進行状態が第２図ａ，ｂ，ｃ，
ｄに示してある。いま、進行性曲げ振動波が矢示
X1方向に進むとする。０を静止状態に於ける振
動体の中心面とすると振動状態では鎖線示の状態
となり、この中立面６は曲げによる応力が拮抗し
ている。中立面６と直交する断面７1についてみ
ると、これら二面の交線５1では応力がかからず
上下振動しているだけである。同時に断面７1は
交線５1を中心として左右の振り子振動している。
断面７2又は７3についても同じように交線５2又
は５3を中心として左右の振り子振動する。 同図ａに示す状態では断面７1と振動体２の移
動体３側の表面との交線上の点P1は左右振動の
右死点となつており上方向運動だけしている。こ
の振り子振動は交線５1，５2又は５3が波の正側
では（中心面０の上側にあるとき）左方向（波の
進行方向X1と逆方向）の応力が加わり、波の負
側（同じく下側にあるとき）右方向の応力が加わ
る。即ち同図ａに於て、交線５2と断面７2が前者
のときの状態で、点P2は矢示方向の応力が加わ
る。交線５3と断面７3が後者のときの状態で、点
P3は矢示方向の応力が加わる。波が進行し、ｂ
に示すように波の正側に交線５1がくると点P1は
左方向の運動をすると同時に上方向の運動をす
る。ｃで点P1は上下振動の上死点で左方向の運
動だけする。ｄで点P1は左方向の運動と下方向
運動をする。さらに波が進行し、右方向と下方向
の運動、右方向と上方向の運動を経てａの状態に
戻る。この一連の運動を合成すると点P1は回転
楕円運動をしている。一方、移動体３は振動体２
に加圧接触しており、同図ｃに示すように、振動
体２上の点P1の回転楕円運動が移動体３をX2方
向に摩擦駆動する。点P2，P3及びその他振動体
２上の全ての点が点P1と同じように移動体３を
摩擦駆動する。 このように従来の振動波モータではV0Sinωtな
る駆動電圧を印加するために交流電源を用意しな
ければならないという不便がある。またモータの
駆動速度を調整するには、交流電源の電圧を調整
しなければならない。 本発明は、上記の事実に鑑みなされたもので、
効率的に且つ安定に動作する振動波モータの駆動
方式を提供することを目的とするものである。 この目的を達成するため本発明は、制御回路
Bat１，Ｑ，Ｔ１，；Bat２，OSC，Ｑ３，Ｔ２，
を有する超音波モータ用駆動装置であつて、 超音波モータは、振動体２と、それを励振する
電気−機械エネルギー変換素子１とからなる振動
子２，１と、振動子２，１と相対移動する対象物
３とを有し、 制御回路Bat１，Ｑ，Ｔ１，；Bat２，OSC，Ｑ
３，Ｔ２，は、直流電圧源Bat１，Bat２と、パ
ルス発生回路OSCと、半導体スイツチング手段
Ｑ，Ｑ３と、トランスＴ１，Ｔ２とを有し、直流
電圧源Bat１，Bat２が、半導体スイツチング手
段Ｑ，Ｑ３を介してトランスＴ１，Ｔ２の１次巻
線に接続され、トランスＴ１，Ｔ２の２次巻線
が、電気−機械エネルギー変換素子１ に接続され、パルス発生回路OSCが半導体スイ
ツチング手段Ｑ，Ｑ３をオン・オフさせてトラン
スＴ１，Ｔ２の２次巻線に誘導起電力を発生さ
せ、２次巻線の誘導起電力が電気−機械エネルギ
ー変換素子１に与えられて振動体２を励振させ
る。 超音波モータ用駆動装置を提供するものであ
る。 以下本発明の実施例を詳細に説明する。 第３図は本発明を適用する回路の実施例であ
る。同図で、１は前記（第１図参照）の電歪素
子、Bat１は直流電圧源としてのは電源電池、Ｔ
１は一次側と二次側のインダクタンス成分を電歪
素子１に対して合せたトランス、Ｑは半導体スイ
ツチング手段としてのスイツチングトランジスタ
である。 このような回路で、トランジスタＱのベースに
発振器（図示省略）から、第４図ａに示されたよ
うなパルス信号を与えて、トランスＴ１の一次側
をスイツチングする。このときのパルス周波数
は、電歪素子１の共振周波数にする。すると同図
ｂに示された波形の電圧がトランスＴ１の二次側
に誘導起電して、電歪素子１に駆動電圧として印
加される。このとき、パルス巾を制御すれば、駆
動電力が制御され、駆動速度が制御できる。なお
電歪素子１の振動周波数を検知して、発振器にフ
イードバツクさせ、パルス周波数を電歪素子１の
共振周波数に同期させてもよい。 第５図・第６図は、別な実施例の回路を示すも
の、第７図はその信号波形図である。第５図・第
６図に於て、OSCは発振器、Ｆ／Ｖは周波数−
電圧変換器，CP１，CP２は比較増巾器、IN１〜
IN３はインバータ、AND１〜AND４はアンド
ゲート、ON１，ON２はシユミツト・トリガ回
路、FF１，FF２はフリツプフロツプ、Ｒ１〜Ｒ
８は固定抵抗、VR１〜VR３は可変抵抗、Ｃ１
〜Ｃ５はコンデンサ、Ｄ１〜Ｄ６はダイオード、
Ｑ１〜Ｑ７はトランジスタ、Ｔ２，Ｔ３はトラン
ス、Bat２は電池である。LEDは発光ダイオー
ド、PTはフオトトランジスタで、移動体３上の
マーク９を読取るフオトインタラプタ１０であ
る。Ｐ１〜Ｐ５は第５図の回路と第６図の回路を
連結する接続点で、その各点に於る信号波形が第
７図に示してある。 この回路に於て、発振器OSCの発振信号Ｐ１
（第７図ａ参照）で、トランジスタＱ３によりト
ランスＴ２の一次側がオン・オフされ、二次側に
第４図ｂのような起電力がでる。フオトインタラ
プタ１０の駆動速度情報を変換器Ｆ／Ｖでアナロ
グ電圧値に変換して、比較増巾器CP１，CP２に
出力する。可変抵抗VR１はこのときの電圧レベ
ルを調整するものである。比較増巾器CP２に入
力したアナログ電圧値は、可変抵抗VR３で外部
（例えば手動）から設定される速度に対応する電
圧値と、比較される。比較増巾器CP２でも同じ
ように比較される。発振信号Ｐ１の立上りでハイ
になるアンドゲートAND２の出力信号Ｐ３は、
比較増巾器CP２の出力が逆転するまで、維持さ
れる。即ち、可変抵抗VR３で速度設定すること
は、信号Ｐ３のパルス巾を調整することを意味す
る。信号Ｐ３のハイ出力で、トランジスタＱ６が
オンになり、実線矢示方向の電圧が電歪素子１に
印加される。出力信号Ｐ３の立下りから、発振信
号Ｐ１の立下りまで維持されるアンドゲート
AND４の出力信号Ｒ４のハイ出力で、トランジ
スタＱ４がオンになる。トランジスタＱ６は既に
オフになつており、電歪素子１に電荷がチヤージ
しているから、その電荷が放電し、トランスＴ３
の一次側に実線矢示方向の電流が流れる。一方、
アンドゲートAND１に入力するＰ１信号はイン
バータIN１で反転するから、発振信号Ｐ１の立
下りで動作し、電歪素子１に点線矢示方向の電圧
を印加するときの信号Ｐ２を出すことになる。ア
ンドゲートAND３の出力Ｐ５でトランスＴ３の
一次側に点線矢示方向の電流が流れる。 従つて、電歪素子１には第７図ｆの波形の電圧
が印加されることになる。そして電歪素子１の放
電電流がトランスＴ３流れて起電し、その電流
は、ダイオードＤ３〜Ｄ６のブリツジで整流さ
れ、電池Bat２を充電する。従つて、チヤージ電
荷が無駄に放電されることがない。 なお、スイツチングトランジスタの代りに、サ
イリスタ、トライアツクなどでもよい。 以上説明したように、本発明を適用した駆動回
路は、交流電源を必要としないため便利である。
パルス巾制御をすれば、駆動速度を制御できる。
パルス巾制御は電圧制御に比べて回路が簡単であ
るから、安価に生産することができる。
第１図は振動波モータの主要部の概略図、第２
図は振動波モータの駆動原理を説明する図、第３
図は本発明を適用する駆動回路の一実施例を示す
図、第４図はその回路による波形図、第５図・第
６図は別の実施例の回路図、第７図はその波形図
である。 １……電気−機械エネルギー変換素子、２……
振動体、３……対象物（移動体）、Bat１，Bat２
……直流電圧源、OSC……パルス発生回路（発
振器）、Ｑ，Q3……半導体スイツチング手段、
T1，T2……トランス。
図は振動波モータの駆動原理を説明する図、第３
図は本発明を適用する駆動回路の一実施例を示す
図、第４図はその回路による波形図、第５図・第
６図は別の実施例の回路図、第７図はその波形図
である。 １……電気−機械エネルギー変換素子、２……
振動体、３……対象物（移動体）、Bat１，Bat２
……直流電圧源、OSC……パルス発生回路（発
振器）、Ｑ，Q3……半導体スイツチング手段、
T1，T2……トランス。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 制御回路Bat１，Ｑ，Ｔ１，；Bat２，OSC，
Ｑ３，Ｔ２，を有する超音波モータ用駆動装置で
あつて、 超音波モータは、振動体２と、それを励振する
電気−機械エネルギー変換素子１とからなる振動
子２，１と、振動子２，１と相対移動する対象物
３とを有し、 制御回路Bat１，Ｑ，Ｔ１，；Bat２，OSC，Ｑ
３，Ｔ２，は、直流電圧源Bat１，Bat２と、パ
ルス発生回路OSCと、半導体スイツチング手段
Ｑ，Ｑ３と、トランスＴ１，Ｔ２とを有し、直流
電圧源Bat１，Bat２が、半導体スイツチング手
段Ｑ，Ｑ３を介してトランスＴ１，Ｔ２の１次巻
線に接続され、トランスＴ１，Ｔ２の２次巻線
が、電気−機械エネルギー変換素子１に接続さ
れ、パルス発生回路OSCが半導体スイツチング
手段Ｑ，Ｑ３をオン・オフさせてトランスＴ１，
Ｔ２の２次巻線に誘導起電力を発生させ、２次巻
線の誘導起電力が電気−機械エネルギー変換素子
１に与えられて振動体２を励振させる 超音波モータ用駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59032220A JPS60176471A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 超音波モータ用駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59032220A JPS60176471A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 超音波モータ用駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60176471A JPS60176471A (ja) | 1985-09-10 |
| JPH0515156B2 true JPH0515156B2 (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=12352854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59032220A Granted JPS60176471A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 超音波モータ用駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60176471A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE10025352B4 (de) * | 2000-05-23 | 2007-09-20 | Hilti Ag | Werkzeuggerät mit einem Ultraschalladapter |
-
1984
- 1984-02-21 JP JP59032220A patent/JPS60176471A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60176471A (ja) | 1985-09-10 |
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