JPH0515229B2 - - Google Patents
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- Aerodynamic Tests, Hydrodynamic Tests, Wind Tunnels, And Water Tanks (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 発明の目的
[産業上の利用分野]
この発明は、管路を流れる液体の流速分布測定
装置に関するものである。液体流速分布測定装置
は、例えば、化学プラント、LNG輸送管路、伝
熱機器等において使用する管路内を流れる液体の
流動状態を測定する場合等に利用可能である。[Detailed Description of the Invention] (a) Object of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a device for measuring the flow velocity distribution of a liquid flowing through a pipe. A liquid flow velocity distribution measuring device can be used, for example, to measure the flow state of a liquid flowing in a pipe used in a chemical plant, an LNG transport pipe, a heat transfer device, or the like.
[従来の技術]
管内液体の流動状態を知るためには、その流速
の分布を測定する必要がある。[Prior Art] In order to know the flow state of a liquid in a pipe, it is necessary to measure the distribution of its flow velocity.
従来、管内液体の流速分布を計測するために、
レーザプローブ法や電気探針法等のプローブ法、
超音波計、電磁流量計等が開発されている。 Conventionally, in order to measure the flow velocity distribution of liquid in a pipe,
Probe methods such as laser probe method and electric probe method,
Ultrasonic meters, electromagnetic flow meters, etc. have been developed.
[発明が解決しようとする問題点]
レーザプローブ法は管路内を液体とともにプロ
ーブに向つて流れていく気泡により反射された光
をドツプラシフトを利用して流速を検出し流速分
布を計測するものであり、また電気探針法は二つ
のプローブを管路の流れの中に配置し、そのプロ
ーブ間を流れる気泡の時間差から流速を求めるも
のであるがそれぞれ多数のプローブを管路内に配
置する必要があり、装置が相当大掛かりになり、
しかもこれらのプローブ法はリアルタイムで分布
を測定することができない。また、超音波を利用
するもの及び電磁流量計を利用するものは管路内
の平均的流量を計ることはできるが流速分布は計
測することができない。[Problems to be solved by the invention] The laser probe method detects the flow velocity and measures the flow velocity distribution by using Doppler shift of the light reflected by the bubbles flowing along with the liquid towards the probe in the pipe. Also, in the electric probe method, two probes are placed in the flow of a pipe and the flow velocity is determined from the time difference of the bubbles flowing between the probes, but it is necessary to place a large number of probes in each pipe. , the equipment is quite large,
Moreover, these probe methods cannot measure distribution in real time. Further, those using ultrasonic waves and those using electromagnetic flowmeters can measure the average flow rate in the pipe, but cannot measure the flow velocity distribution.
この発明は上記の如き事情に鑑みてなされたも
のであつて、簡単に、かつ、リアルタイムで流速
分布の測定をすることができ、また、小規模な設
備で高速の測定を可能にする液体流速分布測定装
置を提供することを目的とするものである。 This invention was made in view of the above circumstances, and it is possible to measure the flow velocity distribution easily and in real time, and also enables high-speed measurement with small-scale equipment. The object is to provide a distribution measuring device.
(ロ) 発明の構成
[問題を解決するための手段]
この目的に対応して、この発明の液体流速分布
測定装置は、間隙を置いて対向して位置する一対
の電極素子からなる電極の複数をマトリツクス状
に備えているセンサを管路の軸に平行に被測定液
体の流れの内に配設し、かつ前記センサの上流側
に前記センサと同一面内に気泡を発生するノズル
を配設して備え、それぞれの電極の一方の電極素
子を励振する励振装置と、及び前記それぞれの電
極の他方の電極素子からの出力を処理する処理装
置とを備え、前記それぞれの電極の電極素子間の
被測定体の誘電率を検出するように構成したこと
を特徴としている。(B) Structure of the Invention [Means for Solving the Problem] In response to this objective, the liquid flow velocity distribution measuring device of the present invention includes a plurality of electrodes each consisting of a pair of electrode elements located opposite to each other with a gap between them. are arranged in a matrix in the flow of the liquid to be measured parallel to the axis of the pipe, and a nozzle for generating air bubbles is arranged upstream of the sensor in the same plane as the sensor. an excitation device that excites one electrode element of each of the electrodes, and a processing device that processes the output from the other electrode element of each of the electrodes; It is characterized by being configured to detect the dielectric constant of the object to be measured.
以下、この発明の詳細を一実施例を示す図面に
ついて説明する。 Hereinafter, details of the present invention will be explained with reference to the drawings showing one embodiment.
第1図において、1は液体流速分布測定装置で
あり、液体流速分布測定装置1は管路2内にノズ
ル3とセンサである電極格子4を備えている。 In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a liquid flow velocity distribution measuring device, and the liquid flow velocity distribution measuring device 1 is provided with a nozzle 3 and an electrode grid 4 serving as a sensor in a conduit 2.
ノズル3は長尺の管状体をなし、その長手方向
に複数の空気吹出し孔5を備えている。ノズル3
は管路2の直径方向に位置しており、これによつ
て複数の空気吹出し孔5が管路2の軸に垂直な面
内に開口している。それぞれの空気吹出し孔5か
らは気泡6を管路2内を流れる被測定体である液
体7中に吹出すことが出来る。このノズル3の作
動は後述する処理装置27によつて制御される。 The nozzle 3 is a long tubular body, and is provided with a plurality of air blowing holes 5 in the longitudinal direction. Nozzle 3
are located in the diametrical direction of the conduit 2, so that a plurality of air blowing holes 5 open in a plane perpendicular to the axis of the conduit 2. Air bubbles 6 can be blown out from each of the air blowing holes 5 into the liquid 7 that is the object to be measured and flowing inside the pipe 2 . The operation of this nozzle 3 is controlled by a processing device 27, which will be described later.
電極格子4はノズル3の下流に配置され、第2
図、第3図及び第4図に示すように、仮想の第1
の平面内において横方向に平行して配列している
複数の横のシールド線13aと、第2の平面内に
おいて縦方向に平行して配列している複数の縦の
シールド線13bとからなつている。複数の横の
シールド線13aと複数の縦のシールド線13b
はそれぞれ樹脂によつて平板状にモールドされて
電極板を構成する。こうして樹脂によつて平板状
にモールドすることによつて、電極格子4を管路
2内に配設したときに、液体7の流れを乱すこと
を減少させることができる。第1の平面と第2の
平面は間隔Sを保つて平行に位置している。横の
シールド線13aと縦のシールド線13bは、第
3図に符号Aで示すように、配設のピツチ毎に対
向方向視で複数の交差点を有していて、1個の交
差点の部分で1個の電極18を構成している。 The electrode grid 4 is arranged downstream of the nozzle 3 and
As shown in FIGS. 3 and 4, the virtual first
It consists of a plurality of horizontal shield wires 13a arranged in parallel in the horizontal direction in the second plane, and a plurality of vertical shield wires 13b arranged in parallel in the vertical direction in the second plane. There is. A plurality of horizontal shield wires 13a and a plurality of vertical shield wires 13b
are each molded into a flat plate shape with resin to constitute an electrode plate. By molding the resin into a flat plate shape, it is possible to reduce disturbance of the flow of the liquid 7 when the electrode grid 4 is disposed within the conduit 2. The first plane and the second plane are located parallel to each other with a distance S between them. The horizontal shield wire 13a and the vertical shield wire 13b have a plurality of intersections when viewed from opposite directions at each pitch of the arrangement, as shown by the symbol A in FIG. This constitutes one electrode 18.
横のシールド線13a及び縦のシールド線13
bは共に、導線15を中心として、その外側に絶
縁層16、シールド層17を設けた同軸型のシー
ルド線で構成されているが、交差点においては、
両シールド線13a,13bの対向する側におい
て絶縁層16、シールド層17を剥離、除去して
導線15を露出させている。露出して対向する導
線15は電極素子として対向して電極18を構成
する。また、電極板20は第5図に示すように、
2枚の絶縁板10の上に電極層15a、絶縁層1
6a及びシールド層17aを重ね印刷して形成し
てもよい。 Horizontal shield wire 13a and vertical shield wire 13
Both lines b are composed of coaxial shielded wires with a conducting wire 15 at the center and an insulating layer 16 and a shielding layer 17 provided on the outside, but at the intersection,
The insulating layer 16 and the shield layer 17 are peeled off and removed on opposite sides of both the shield wires 13a and 13b to expose the conductive wire 15. The exposed conductive wires 15 facing each other constitute electrodes 18 facing each other as electrode elements. Further, as shown in FIG. 5, the electrode plate 20 is
An electrode layer 15a and an insulating layer 1 are disposed on two insulating plates 10.
6a and the shield layer 17a may be formed by overlapping printing.
このように構成された電極格子4は例えば管路
2内の液体の流れ内に管路2の軸平行に配置され
る。電極格子4の縦のシールド線13bはマルチ
プレクサ22に接続し、マルチプレクサ22はオ
シレータ23に接続する。 The electrode grid 4 configured in this way is arranged, for example, in the flow of liquid in the conduit 2 parallel to the axis of the conduit 2 . The vertical shield wires 13b of the electrode grid 4 are connected to a multiplexer 22, and the multiplexer 22 is connected to an oscillator 23.
一方、電極格子4の横のシールド線13aは、
それぞれ、検波器アレー24を構成する検波器2
5に接続する。検波器25の出力は多チヤンネル
高速ADコンバータ26を介して処理装置27に
入力される。処理装置27は外部記憶装置28及
びCRTデイスプレー31が付属している。 On the other hand, the shield wire 13a next to the electrode grid 4 is
Detectors 2 constituting the detector array 24, respectively.
Connect to 5. The output of the detector 25 is input to a processing device 27 via a multi-channel high-speed AD converter 26. The processing device 27 is attached with an external storage device 28 and a CRT display 31.
[作用]
このように構成された液体流速分布測定装置に
おいて、被測定体の流速分布を検出する場合の動
作は次の通りである。[Operation] In the liquid flow velocity distribution measuring device configured as described above, the operation when detecting the flow velocity distribution of the object to be measured is as follows.
処理装置27からのトリガー信号によつてノズ
ル3の空気吹出し孔5から気泡6を液体7内に放
出する。放出された多数の気泡6は管路2内の半
径方向の放出位置の違いにより、液体の流速分布
に応じて遅速を生じた状態で下流側の電極18に
達する。このとき、オシレータ23が例えば10M
Hz以上の周波数で励振する。これをマルチプレク
サ22で複数の縦のシールド線13bのうちの一
本を選択して励振する。マルチプレクサ22の切
替は処理装置27からの切替信号によつて制御さ
れる。選択された縦のシールド線13bが励振さ
れると縦のシールド線13bの交差した電極18
の部分で露出している導線15の近傍に交流電界
が形成され、対応する横のシールド線13aの露
出している導線15が受信する。この受信の電圧
は電極18の電極素子の間に介在する被測定体に
応じて変化する電極18の静電容量の情報を含ん
でいる。 Air bubbles 6 are discharged into the liquid 7 from the air blowing hole 5 of the nozzle 3 in response to a trigger signal from the processing device 27 . Due to the difference in the release position in the radial direction within the conduit 2, the many released bubbles 6 reach the electrode 18 on the downstream side with a slow velocity depending on the flow velocity distribution of the liquid. At this time, the oscillator 23 is set to 10M, for example.
Excite at frequencies higher than Hz. The multiplexer 22 selects one of the plurality of vertical shield wires 13b and excites it. Switching of multiplexer 22 is controlled by a switching signal from processing unit 27. When the selected vertical shield wire 13b is excited, the crossed electrodes 18 of the vertical shield wire 13b
An alternating current electric field is formed near the exposed conductor 15 at the portion , and is received by the exposed conductor 15 of the corresponding horizontal shield wire 13a. This received voltage includes information on the capacitance of the electrode 18, which changes depending on the object to be measured interposed between the electrode elements of the electrode 18.
複数の横のシールド線13aが受信した信号
は、同時に検波器25で検波され、かつ多チヤン
ネル高速ADコンバータ26に送られてAD変換
され、処理装置27に入力される。検波器25と
してはヘテロダイン検波器を使用し、ヘテロダイ
ン方式により中間周波数で濾波し、増幅検波を行
う。各検波器で検波信号を10〜数十サイクル積分
し、出力する。ただし検波器25としては位相検
波器を使用することもできる。 The signals received by the plurality of horizontal shielded wires 13 a are simultaneously detected by a wave detector 25 , sent to a multi-channel high-speed AD converter 26 for AD conversion, and input to a processing device 27 . A heterodyne detector is used as the detector 25, and amplification detection is performed by filtering at an intermediate frequency using a heterodyne method. Each detector integrates the detected signal for 10 to several tens of cycles and outputs it. However, a phase detector can also be used as the detector 25.
同様にして、マルチプレクサ22の切替によつ
て、順次、すべての縦のシールド線13bが励振
され、電極18における静電容量が測定される
と、それらの信号が処理装置27に入力され、演
算によつて、各電極18における静電容量から、
各電極18における被測定体の誘電率が算出さ
れ、その誘電率から、各電極18の電極素子間に
介在する気泡6が特定され、その分布から流速分
布が特定される。この流速分布はCRTデイスプ
レー31上に描画される。 Similarly, by switching the multiplexer 22, all the vertical shield wires 13b are sequentially excited, and when the capacitance at the electrode 18 is measured, these signals are input to the processing device 27 and used for calculation. Therefore, from the capacitance at each electrode 18,
The dielectric constant of the object to be measured in each electrode 18 is calculated, the bubbles 6 interposed between the electrode elements of each electrode 18 are specified from the dielectric constant, and the flow velocity distribution is specified from the distribution. This flow velocity distribution is drawn on the CRT display 31.
(ハ) 発明の効果
この発明の液体流速分布測定装置によれば、直
交する格子状電極の間を気液混相流が通過すると
き、相によつて異なる電極の静電容量の変化を精
度よく高速で検出することができるので、これに
もとずいて、相によつて異なる誘電率の分布か
ら、気泡の流速分布ひいては液体の流速分布を検
出することができる。微小空間の誘電率分布の変
化を精度良く高速で検出することは、極めて大き
なインピーダンスのため従来は困難であるとされ
て来たが、この発明では電極部分をなす格子点以
外はすべてシールドされているシールド線を使用
して電極格子を構成することにより、外部からの
静電誘導ノイズを抑え、局所的な誘電率の変化を
静電容量の変化として検出することが可能になつ
た。しかも取扱いは簡単でありプローブ法と同等
の手軽さでリアルタイムに流動分布を測定するこ
とができ、かつ、超音波を利用するもの或いは電
磁流量計を利用するものとくらべて、はるかに小
規模に計測システムを構築することがきる。(C) Effects of the Invention According to the liquid flow velocity distribution measuring device of the present invention, when a gas-liquid multiphase flow passes between orthogonal grid electrodes, changes in capacitance of the electrodes that differ depending on the phase can be accurately measured. Since detection can be performed at high speed, based on this, the flow velocity distribution of bubbles and, in turn, the flow velocity distribution of liquid can be detected from the distribution of permittivity that differs depending on the phase. Accurately and rapidly detecting changes in the dielectric constant distribution in minute spaces has traditionally been considered difficult due to the extremely large impedance, but with this invention, everything except the lattice points that form the electrodes are shielded. By constructing the electrode grid using shielded wires, it has become possible to suppress electrostatic induction noise from the outside and detect local changes in dielectric constant as changes in capacitance. Moreover, it is easy to handle and can measure flow distribution in real time with the same ease as the probe method, and on a much smaller scale compared to methods that use ultrasonic waves or electromagnetic flowmeters. A measurement system can be constructed.
第1図は液体流速分布測定装置の斜視説明図、
第2図は液体流速分布測定装置の回路図、第3図
は電極を示す斜視説明図、第4図は第3図におけ
るA部分拡大側面図、及び第5図は電極板の他の
例を示す断面説明図である。
1……液体流速分布測定装置、2……管路、3
……ノズル、4……電極格子、13a……横シー
ルド線、13b……縦シールド線、15……導
線、16……絶縁層、17……シールド層、18
……電極、20……電極板、22……マルチプレ
クサ、23……オシレータ、24……検波器アレ
ー、25……検波器、26……多チヤンネル高速
ADコンバータ、27……処理装置、28……外
部記憶装置、31……CRTデイスプレー。
Fig. 1 is a perspective explanatory diagram of a liquid flow velocity distribution measuring device;
Fig. 2 is a circuit diagram of the liquid flow velocity distribution measuring device, Fig. 3 is a perspective explanatory view showing the electrode, Fig. 4 is an enlarged side view of part A in Fig. 3, and Fig. 5 shows another example of the electrode plate. FIG. 1...Liquid flow velocity distribution measuring device, 2...Pipe line, 3
... Nozzle, 4 ... Electrode grid, 13a ... Horizontal shield wire, 13b ... Vertical shield wire, 15 ... Conductor wire, 16 ... Insulating layer, 17 ... Shield layer, 18
... Electrode, 20 ... Electrode plate, 22 ... Multiplexer, 23 ... Oscillator, 24 ... Detector array, 25 ... Detector, 26 ... Multi-channel high speed
AD converter, 27...processing device, 28...external storage device, 31...CRT display.
Claims (1)
子からなる電極の複数をマトリツクス状に備えて
いる面内センサを管路の軸に平行に被測定液体の
流れの内に配設し、かつ前記面内センサの上流側
に前記管路の軸に交差する面内に気泡を発生する
ノズルを配設して備え、それぞれの電極の一方の
電極素子を励振する励振装置と、及び前記それぞ
れの電極の他方の電極素子からの出力を処理する
処理装置とを備え、前記それぞれの電極の電極素
子間の被測定体の誘電率を検出するように構成し
たことを特徴とする液体流速分布測定装置。1. An in-plane sensor comprising a plurality of electrodes arranged in a matrix, each consisting of a pair of electrode elements facing each other with a space between them, is disposed within the flow of the liquid to be measured parallel to the axis of the conduit, and an excitation device that is provided with a nozzle that generates bubbles in a plane that intersects the axis of the conduit on the upstream side of the in-plane sensor, and that excites one electrode element of each electrode; A processing device for processing the output from the other electrode element of the electrode, and configured to detect the dielectric constant of the object to be measured between the electrode elements of each of the electrodes. Device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7392086A JPS62231175A (en) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | Measuring instrument for fluid velocity distribution |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7392086A JPS62231175A (en) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | Measuring instrument for fluid velocity distribution |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62231175A JPS62231175A (en) | 1987-10-09 |
| JPH0515229B2 true JPH0515229B2 (en) | 1993-03-01 |
Family
ID=13532074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7392086A Granted JPS62231175A (en) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | Measuring instrument for fluid velocity distribution |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62231175A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015083749A1 (en) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | シャープ株式会社 | Sensor chip and biosensor system |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005019739B3 (en) * | 2005-04-28 | 2006-10-26 | Forschungszentrum Rossendorf E.V. | Grid sensor for measuring the electric conductivity of a medium flowing in a tube or pipe especially under high temperature and pressure |
| JP2010107487A (en) * | 2008-11-01 | 2010-05-13 | Tokyo Institute Of Technology | Device and method for measuring multiphase flow |
| JP5550511B2 (en) | 2010-09-29 | 2014-07-16 | 株式会社東芝 | Manufacturing method of semiconductor device |
| JPWO2024106473A1 (en) * | 2022-11-16 | 2024-05-23 |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP7392086A patent/JPS62231175A/en active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015083749A1 (en) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | シャープ株式会社 | Sensor chip and biosensor system |
Also Published As
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| JPS62231175A (en) | 1987-10-09 |
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|---|---|---|---|
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