JPH0515530A - Ultrasonic wave transmitting / receiving probe - Google Patents
Ultrasonic wave transmitting / receiving probeInfo
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- JPH0515530A JPH0515530A JP17225491A JP17225491A JPH0515530A JP H0515530 A JPH0515530 A JP H0515530A JP 17225491 A JP17225491 A JP 17225491A JP 17225491 A JP17225491 A JP 17225491A JP H0515530 A JPH0515530 A JP H0515530A
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- piezoelectric vibrating
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- ultrasonic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、低温で、かつ極めて短時間のうち
に、圧電振動素子を変形させることなく音響整合層を硬
化形成でき、生産性の大幅向上と、自動化を可能として
コストの低下を図れる超音波送受波プローブを提供す
る。
【構成】超音波吸収体１上に、この長手方向に沿い所定
間隔を存し互いに離間独立して並設され電気パルスを超
音波へ変換し、もしくは超音波を電気信号へ変換する複
数個の圧電振動素子２と、これら圧電振動素子の上面に
設けられ上記圧電振動素子と生体の音響インピーダンス
を整合するための音響整合層６とを具備した超音波送受
波プローブにおいて、上記音響整合層６は、光硬化樹脂
からなり、たとえば紫外線を照射することにより短時間
で硬化する。
(57) [Abstract] [Purpose] The present invention makes it possible to cure and form an acoustic matching layer at a low temperature in a very short time without deforming the piezoelectric vibrating element. An ultrasonic wave transmitting / receiving probe that can reduce the cost is provided. [Structure] A plurality of ultrasonic wave absorbers 1 are arranged along the longitudinal direction at predetermined intervals and are spaced apart from each other and arranged independently of each other to convert electric pulses into ultrasonic waves or convert ultrasonic waves into electric signals. In the ultrasonic wave transmission / reception probe provided with the piezoelectric vibrating element 2 and the acoustic matching layer 6 provided on the upper surfaces of these piezoelectric vibrating elements for matching the acoustic impedance of the living body with the piezoelectric vibrating element, the acoustic matching layer 6 is It is made of a photo-curing resin and is cured in a short time by irradiating with ultraviolet rays, for example.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、生体の診断に用いられ
る超音波診断装置に装備される超音波送受波プローブに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic wave transmitting / receiving probe equipped in an ultrasonic diagnostic apparatus used for diagnosing a living body.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近時、生体の診断に超音波診断装置が用
いられるようになってきた。この超音波診断装置は、超
音波送受波プローブを生体に当て、超音波を送受して短
い電気パルスの送受に換え、モニタに画像を形成するよ
うになっている。2. Description of the Related Art Recently, ultrasonic diagnostic equipment has come to be used for diagnosing a living body. This ultrasonic diagnostic apparatus applies an ultrasonic wave transmission / reception probe to a living body, transmits / receives ultrasonic waves to replace transmission / reception of short electric pulses, and forms an image on a monitor.
【０００３】上記超音波送受波プローブは、ゴム材にフ
ェライト粉末を混合したパッキン材としての超音波吸収
体と、この超音波吸収体上に、この長手方向に沿って所
定間隔を存し互いに離間独立して並設される複数個の圧
電振動素子と、これら圧電振動素子の上面に設けられる
音響整合層およびこの音響整合層の上面に積層固着され
る音響レンズとしてのシリコーンレンズとから構成され
る。The above-mentioned ultrasonic wave transmission / reception probe has an ultrasonic absorber as a packing material in which a ferrite powder is mixed with a rubber material, and a predetermined gap is provided on the ultrasonic absorber along the longitudinal direction and separated from each other. A plurality of piezoelectric vibrating elements arranged independently side by side, an acoustic matching layer provided on the upper surfaces of these piezoelectric vibrating elements, and a silicone lens as an acoustic lens laminated and fixed to the upper surface of the acoustic matching layer. .
【０００４】上記超音波吸収体は、圧電振動素子を支持
するとともに、後方へ放射される超音波を吸収して短い
パルスの送受に寄与するためのものである。上記圧電振
動素子は、電気パルスを超音波パルスへ変換し、もしく
は超音波を電気信号へ変換するためのトランスジューサ
である。The ultrasonic absorber supports the piezoelectric vibrating element and absorbs the ultrasonic wave radiated backward to contribute to the transmission and reception of short pulses. The piezoelectric vibrating element is a transducer for converting an electric pulse into an ultrasonic pulse or converting an ultrasonic wave into an electric signal.
【０００５】上記音響整合層は、圧電振動素子と生体の
音響インピーダンスを整合するためのものであり、圧電
振動素子の音響インピーダンスを、被生体の音響インピ
ーダンス（生体の主成分は水であるから、水の音響イン
ピーダンスに近似）にまで順次低減させるようになって
いる。The acoustic matching layer is for matching the acoustic impedance of the piezoelectric vibrating element with the acoustic impedance of the living body, and the acoustic impedance of the piezoelectric vibrating element is the acoustic impedance of the living body (since the main component of the living body is water, It is designed to be gradually reduced to (approximate to the acoustic impedance of water).
【０００６】超音波送受波プローブとして、上記音響整
合層を構成する材料を選択し、適切な音響インピーダン
スを得ることが、超音波診断装置に要求される性能、す
なわち分解能の向上および感度の向上にとって、特に重
要である。For the ultrasonic transmission / reception probe, it is necessary to select the material forming the acoustic matching layer and obtain an appropriate acoustic impedance for the performance required for the ultrasonic diagnostic apparatus, that is, the improvement of the resolution and the sensitivity. , Especially important.
【０００７】従来、上記音響整合層は、主成分としてエ
ポキシ樹脂が選択されている。このエポキシ樹脂は、通
常用いられる室温硬化のものであり、音響インピーダン
スを調整するための充填材としてアルミナ粉末あるいは
石英粉末が添加される。Conventionally, an epoxy resin is selected as a main component of the acoustic matching layer. This epoxy resin is usually used at room temperature, and alumina powder or quartz powder is added as a filler for adjusting the acoustic impedance.
【０００８】超音波プローブとして製作するには、ガラ
ス板に板状の圧電振動素子を接着固定し、この圧電振動
素子に、エポキシ樹脂とアルミナ粉末あるいは石英粉末
の混合物を０．５〜１ｍｍの厚さにコーティングし、上
記圧電振動素子が反り等の変形をしないよう室温で１２
〜２４時間かけて硬化させ、硬化後に必要な厚さに研削
する。In order to manufacture an ultrasonic probe, a plate-shaped piezoelectric vibrating element is bonded and fixed to a glass plate, and a mixture of epoxy resin and alumina powder or quartz powder having a thickness of 0.5 to 1 mm is attached to the piezoelectric vibrating element. Coating at room temperature to prevent warping and other deformation of the piezoelectric vibration element at room temperature.
Harden for ~ 24 hours and grind to the required thickness after hardening.
【０００９】そして、これらを超音波吸収体に接着し、
所定の幅に切断すれば、超音波送受波プローブとしての
基本構造が得られる。上記圧電振動素子に固着したエポ
キシ樹脂は、音響整合層として形成されることになる。Then, these are adhered to the ultrasonic absorber,
If cut into a predetermined width, a basic structure as an ultrasonic wave transmitting / receiving probe can be obtained. The epoxy resin fixed to the piezoelectric vibrating element is formed as an acoustic matching layer.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記エポキ
シ樹脂は、完全に硬化するまでに時間がかかる。普通、
硬化収縮歪みが発生しないよう、４０℃以下の雰囲気中
に、１２〜２４時間も放置しなければならない。By the way, it takes a long time to completely cure the epoxy resin. usually,
It must be left for 12 to 24 hours in an atmosphere of 40 ° C. or lower so that curing shrinkage strain does not occur.
【００１１】また、硬化時の温度を７０〜８０℃に上げ
て、硬化時間の短縮を図ることも考えられる。しかしな
がら、このときは、音響整合層が圧電振動素子から剥離
するような反り変形が生じる。It is also possible to raise the curing temperature to 70 to 80 ° C. to shorten the curing time. However, at this time, warp deformation occurs such that the acoustic matching layer is separated from the piezoelectric vibrating element.
【００１２】結局、現在のところ、圧電振動素子に音響
整合層を設ける工程を自動化することができず、いわゆ
るバッチ生産となっていて、極めて生産性が悪く、コス
ト高の一つの要因になっている。As a result, at present, the process of providing the acoustic matching layer on the piezoelectric vibrating element cannot be automated, which is so-called batch production, which is extremely poor in productivity and is one of the factors of high cost. There is.
【００１３】本発明は上記事情に着目してなされたもの
であり、その目的とするところは、さらに低温で、かつ
短時間のうちに、音響整合層を硬化形成でき、生産性の
向上と、自動化を可能としてコストの低下を図れる超音
波送受波プローブを提供するものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to enable the acoustic matching layer to be cured and formed at a lower temperature in a short time, thereby improving productivity. An ultrasonic transmission / reception probe that can be automated and can reduce costs.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は、超音波吸収体上に、この長手方向に
沿い所定間隔を存し互いに離間独立して並設され電気パ
ルスを超音波へ変換し、もしくは超音波を電気信号へ変
換する複数個の圧電振動素子と、これら圧電振動素子の
上面に設けられ上記圧電振動素子と生体の音響インピー
ダンスを整合する音響整合層とを具備した超音波送受波
プローブにおいて、上記音響整合層は、光硬化樹脂から
なることを特徴とする超音波送受波プローブである。In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is to provide an electric pulse on an ultrasonic absorber, which are arranged in parallel with each other at a predetermined interval along the longitudinal direction and are separated from each other. To a plurality of piezoelectric vibrating elements for converting ultrasonic waves into ultrasonic waves or converting an ultrasonic wave into an electric signal, and an acoustic matching layer that is provided on the upper surface of these piezoelectric vibrating elements and that matches the acoustic impedance of the living body with the piezoelectric vibrating elements In the provided ultrasonic wave transmitting / receiving probe, the acoustic matching layer is made of a photo-curable resin, which is an ultrasonic wave transmitting / receiving probe.
【００１５】また第２の発明は、上記音響整合層を構成
する光硬化樹脂は、紫外線透過ガラスを混合した光硬化
エポキシ樹脂であることを特徴とする超音波送受波プロ
ーブである。A second invention is an ultrasonic wave transmitting / receiving probe in which the photo-curing resin forming the acoustic matching layer is a photo-curing epoxy resin mixed with ultraviolet transmitting glass.
【００１６】[0016]
【作用】光を照射することで容易に硬化する樹脂から上
記音響整合層を構成する。極く短時間で、圧電振動素子
上に音響整合層が硬化形成する。また、上記光硬化樹脂
を、紫外線透過ガラスを混合した光硬化エポキシ樹脂を
採用した状態では、紫外線を照射すればよい。The acoustic matching layer is composed of a resin which is easily cured by irradiating light. The acoustic matching layer is cured and formed on the piezoelectric vibrating element in an extremely short time. Further, in the state in which the above-mentioned photo-curing resin is a photo-curing epoxy resin mixed with UV-transmitting glass, it may be irradiated with UV rays.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面にもとづいて
説明する。図１は、生体の診断等に用いられる超音波診
断装置を構成する超音波送受波プローブを示す。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an ultrasonic transmission / reception probe that constitutes an ultrasonic diagnostic apparatus used for diagnosing a living body or the like.
【００１８】図中１は、ゴム材にフェライト粉末を混合
したパッキン材としての超音波吸収体である。この超音
波吸収体１上に、この長手方向に沿い所定間隔を存して
互いに離間独立した複数個の圧電振動素子２…が並設さ
れる。Reference numeral 1 in the figure denotes an ultrasonic absorber as a packing material in which ferrite powder is mixed with a rubber material. On the ultrasonic absorber 1, a plurality of piezoelectric vibrating elements 2, ... Are arranged side by side along the longitudinal direction at predetermined intervals and are separated from each other.
【００１９】各圧電振動素子２の上下面には電極３，３
が一体化されていて、それぞれの電極３からリード線４
が延出される。また、圧電振動素子２…相互間は絶縁部
５…が形成され、互いの電気的絶縁がなされる。Electrodes 3, 3 are provided on the upper and lower surfaces of each piezoelectric vibrating element 2.
Are integrated, and each electrode 3 to lead wire 4
Is extended. Further, the insulating portions 5 are formed between the piezoelectric vibrating elements 2 so that they are electrically insulated from each other.
【００２０】上記圧電振動素子２上面に電極３を介して
音響整合層６が、後述するようにして設けられる。この
音響整合層６の上面に、音響レンズとしてのシリコーン
レンズ７が積層固着される。An acoustic matching layer 6 is provided on the upper surface of the piezoelectric vibrating element 2 via an electrode 3 as described later. A silicone lens 7 as an acoustic lens is laminated and fixed on the upper surface of the acoustic matching layer 6.
【００２１】すなわち、超音波送受波プローブとしての
基本的な構成は、従来のものと全く同様である。相違点
は、音響整合層６の組成および圧電振動素子２に対する
硬化固着手段にある。はじめに、上記音響整合層６の組
成から説明すると、これは以下の材料を配合してなる。
光硬化エポキシ樹脂 １００部
シランカップリング剤 ０．３部
可撓性付与剤 １０部
紫外線透過ガラス粉末 ２５０部That is, the basic structure of the ultrasonic wave transmitting / receiving probe is exactly the same as the conventional one. The difference lies in the composition of the acoustic matching layer 6 and the hardening and fixing means for the piezoelectric vibration element 2. First, the composition of the acoustic matching layer 6 will be described. This is made by blending the following materials. Photocurable epoxy resin 100 parts Silane coupling agent 0.3 parts Flexibility imparting agent 10 parts Ultraviolet transmitting glass powder 250 parts
【００２２】上記光硬化エポキシ樹脂は、旭電化株式会
社製のアデカオプトマーＫＲ５００（ビスフェノールＡ
型エポキシ）を用いる。上記紫外線透過ガラスは、コー
ニングジャパン社製の９７４１を１００メッシュ以下に
微粉化して用いた。The above-mentioned photo-curable epoxy resin is an Adeka Optomer KR500 (bisphenol A) manufactured by Asahi Denka Co., Ltd.
Type epoxy) is used. As the above-mentioned ultraviolet-transparent glass, 9741 manufactured by Corning Japan Co., Ltd. was pulverized to 100 mesh or less and used.
【００２３】そして、上記圧電振動素子２を平滑なガラ
ス板にワックスで接着し、この上面に、スクリーン印刷
で前記の配合材料を約０．６ｍｍ+ の厚さにコーテイン
グし、紫外線を照射する。紫外線の照射条件は、約３０
０ｍＶ／ｃｍ2 で、３０秒間とする。Then, the piezoelectric vibrating element 2 is adhered to a smooth glass plate with wax, and the above-mentioned blended material is screen-printed on the upper surface thereof by about 0.6 mm +. It is coated to the thickness of and irradiated with ultraviolet rays. UV irradiation conditions are about 30
0 mV / cm 2 Then, it is set to 30 seconds.
【００２４】このような短時間の紫外線照射であって
も、確実に硬化する。そして、所定の厚さに研磨するこ
とにより、上記音響整合層６が形成される。温度がほと
んど上がらない、低温状態での硬化であるから、圧電振
動素子２の変形がなく、耐薬品性に優れている。短時間
で硬化するから、従来のバッチ生産から流し化による量
産が可能になった。上記音響整合層６の配合材料は、つ
ぎに述べるような特徴がある。Even with such a short period of irradiation with ultraviolet rays, it is reliably cured. Then, the acoustic matching layer 6 is formed by polishing to a predetermined thickness. Since the curing is performed in a low temperature state where the temperature hardly rises, the piezoelectric vibrating element 2 is not deformed and has excellent chemical resistance. Since it cures in a short time, it has become possible to mass-produce from conventional batch production by casting. The compounding material of the acoustic matching layer 6 has the following characteristics.
【００２５】すなわち、上記光硬化エポキシ樹脂は、耐
水性および耐薬品性に優れていて、超音波送受波プロー
ブの信頼性確保として要求される条件が満たされる。こ
の樹脂の厚膜硬化性をよくするために、上記紫外線透過
ガラスを用いた。この紫外線透過ガラスは、波長２５４
ｍｍでの紫外線透過率８０％が確保される。That is, the photocurable epoxy resin is excellent in water resistance and chemical resistance, and the conditions required for ensuring the reliability of the ultrasonic wave transmitting / receiving probe are satisfied. In order to improve the thick film curability of this resin, the above ultraviolet ray transmitting glass was used. This UV transparent glass has a wavelength of 254
A UV transmission of 80% in mm is ensured.
【００２６】さらに、圧電振動素子２に対する接着性を
向上させるため、シランカップリング剤を添加し、かつ
樹脂の硬化収縮歪みによる圧電振動素子２の変形（反
り）を防止するために、上記可撓性付与剤を添加した。
これら素材の配合割合は、超音波送受波プローブの諸特
性（音響インピーダンス等）と信頼性を満足するよう、
数度の実験によって求められた。Further, in order to improve the adhesiveness to the piezoelectric vibrating element 2, a silane coupling agent is added, and in order to prevent the piezoelectric vibrating element 2 from being deformed (warped) due to curing shrinkage strain of the resin, the above-mentioned flexible Gendering agent was added.
The mixing ratio of these materials should satisfy various characteristics (acoustic impedance, etc.) and reliability of the ultrasonic transmission / reception probe.
It was determined by several experiments.
【００２７】なお、上記実施例においては、音響整合層
６として単層のものを適用したが、これに限定されるも
のではなく、第２図に示すように、二層構造の音響整合
層としてもよい。Although a single layer is used as the acoustic matching layer 6 in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. Good.
【００２８】すなわち、上記圧電振動素子２の超音波送
受面よりも前面側に、圧電振動素子２に近い側から第１
の整合層６Ａと、第２の整合層６Ｂを順次形成してな
る。ここで、上記第１の整合層６Ａを、先に説明した光
硬化樹脂を主体として、その他の配合材料を混合し、か
つ硬化させる。上記第２の整合層６Ｂは、樹脂フィルム
から形成する。That is, from the side closer to the piezoelectric vibrating element 2 to the front side of the ultrasonic transmitting / receiving surface of the piezoelectric vibrating element 2,
The matching layer 6A and the second matching layer 6B are sequentially formed. Here, the first matching layer 6A is mainly composed of the photo-curable resin described above, and is mixed with other compounding materials and cured. The second matching layer 6B is formed of a resin film.
【００２９】このような構成によれば、最適な音響イン
ピーダンスを得るとともにプローブの通過帯域の特性に
リップルが少なくでき、しかも短いパルスを送受して、
高い分解能を高められる。According to such a configuration, the optimum acoustic impedance can be obtained, ripples in the characteristics of the pass band of the probe can be reduced, and short pulses can be transmitted and received.
High resolution can be improved.
【００３０】特に、第２の整合層６Ｂを樹脂フィルムか
ら形成したので、製造が容易で耐水性に優れていること
は勿論、厚みのばらつきがないからプローブの感度特性
を良好に保つことができる。In particular, since the second matching layer 6B is formed from a resin film, it is easy to manufacture and has excellent water resistance, and since there is no variation in thickness, the sensitivity characteristic of the probe can be kept good. .
【００３１】なお、上記実施例においては、光硬化樹脂
として、光硬化エポキシ樹脂を適用したが、これに限定
されるものではなく、一般的に用いられるアクリル系の
光硬化樹脂であっても、略同様の効果を得られる。In the above embodiment, the photo-curable epoxy resin is applied as the photo-curable resin, but the photo-curable epoxy resin is not limited to this, and a commonly used acrylic photo-curable resin may be used. A substantially similar effect can be obtained.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、圧電振動
素子の上面に設けられ上記圧電振動素子と生体の音響イ
ンピーダンスを整合するための音響整合層を、光硬化樹
脂から構成したから、低温で、かつ極めて短時間のうち
に、圧電振動素子を変形させることなく硬化形成でき、
生産性の大幅向上と、自動化を可能としてコストの低下
を図れるなどの効果を奏する。As described above, according to the present invention, since the acoustic matching layer provided on the upper surface of the piezoelectric vibrating element for matching the acoustic impedance of the piezoelectric vibrating element and the living body is made of the photo-curing resin, And, in a very short time, it can be cured and formed without deforming the piezoelectric vibrating element,
This has the effect of significantly improving productivity and enabling automation to reduce costs.
【図１】（Ａ）は、本発明の一実施例を示す、超音波送
受波プローブの一部省略した縦断側面図。
（Ｂ）は、超音波送受波プローブの縦断正面図。FIG. 1A is a vertical cross-sectional side view showing an embodiment of the present invention with an ultrasonic wave transmitting / receiving probe partially omitted. (B) is a vertical sectional front view of the ultrasonic wave transmitting / receiving probe.
【図２】本発明の他の実施例を示す、超音波送受波プロ
ーブの縦断正面図。FIG. 2 is a vertical sectional front view of an ultrasonic wave transmitting / receiving probe showing another embodiment of the present invention.
１…超音波吸収体、２…圧電振動素子、６…音響整合
層、６Ａ…第１の整合層、６Ｂ…第２の整合層。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ultrasonic absorber, 2 ... Piezoelectric vibration element, 6 ... Acoustic matching layer, 6A ... 1st matching layer, 6B ... 2nd matching layer.
Claims (2)
定間隔を存し互いに離間独立して並設され電気パルスを
超音波へ変換し、もしくは超音波を電気信号へ変換する
複数個の圧電振動素子と、これら圧電振動素子の上面に
設けられ上記圧電振動素子と生体の音響インピーダンス
を整合する音響整合層とを具備した超音波送受波プロー
ブにおいて、上記音響整合層は、光硬化樹脂からなるこ
とを特徴とする超音波送受波プローブ。1. A plurality of ultrasonic absorbers arranged along the longitudinal direction at predetermined intervals so as to be spaced apart and independent from each other and convert electric pulses into ultrasonic waves or convert ultrasonic waves into electric signals. Of the piezoelectric vibrating element and an acoustic matching layer provided on the upper surface of the piezoelectric vibrating element for matching the acoustic impedance of the living body with the piezoelectric vibrating element, wherein the acoustic matching layer is a photo-curing resin. An ultrasonic transmission / reception probe characterized by comprising:
紫外線透過ガラスを混合した光硬化エポキシ樹脂である
ことを特徴とする請求項１記載の超音波送受波プロー
ブ。2. A photocurable resin that constitutes the acoustic matching layer,
The ultrasonic wave transmitting / receiving probe according to claim 1, wherein the ultrasonic wave transmitting / receiving probe is a photo-curing epoxy resin mixed with ultraviolet ray transmitting glass.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17225491A JPH0515530A (en) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | Ultrasonic wave transmitting / receiving probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17225491A JPH0515530A (en) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | Ultrasonic wave transmitting / receiving probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0515530A true JPH0515530A (en) | 1993-01-26 |
Family
ID=15938484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17225491A Pending JPH0515530A (en) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | Ultrasonic wave transmitting / receiving probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0515530A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6837856B2 (en) | 2001-09-19 | 2005-01-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic search unit and method for producing the same |
| US7572224B2 (en) | 2004-09-30 | 2009-08-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus |
| CN120651975A (en) * | 2025-06-19 | 2025-09-16 | 四川飞兔环宇科技有限公司 | Dual-piezoelectric acoustic emission sensor with self-checking function and system |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP17225491A patent/JPH0515530A/en active Pending
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