JPH05159399A - 光情報記録媒体 - Google Patents
光情報記録媒体Info
- Publication number
- JPH05159399A JPH05159399A JP35030191A JP35030191A JPH05159399A JP H05159399 A JPH05159399 A JP H05159399A JP 35030191 A JP35030191 A JP 35030191A JP 35030191 A JP35030191 A JP 35030191A JP H05159399 A JPH05159399 A JP H05159399A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- optical information
- information recording
- reflective layer
- recording
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 基板と、該基板上に順次積層された記録層お
よび反射層とを備えた光情報記録媒体において、該反射
層が、3〜5E-6 Ω・cmの比抵抗を有する金属薄膜によ
り形成されている。
よび反射層とを備えた光情報記録媒体において、該反射
層が、3〜5E-6 Ω・cmの比抵抗を有する金属薄膜によ
り形成されている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光情報記録媒体に関す
る。より詳細には、本発明は、レーザー光の照射により
情報を書込み、レーザー光の反射により記録された情報
を読み出す方式の光情報記録媒体の新規な構成に関す
る。
る。より詳細には、本発明は、レーザー光の照射により
情報を書込み、レーザー光の反射により記録された情報
を読み出す方式の光情報記録媒体の新規な構成に関す
る。
【0002】
【従来の技術】大容量且つ高密度な情報記録媒体として
の用途が期待されている光情報記録媒体は、その記録方
式や形状等の違いにより極めて多種のものが開発されて
いる。なかでもレーザー光の照射による記録層の可逆的
な磁化の反転を利用して記録を行う所謂光磁気ディスク
は、従来の磁気記録媒体に代わって、種々の情報機器に
おける中心的なマスストレージデバイスとなるべく、依
然として種々の改良が提案されている。
の用途が期待されている光情報記録媒体は、その記録方
式や形状等の違いにより極めて多種のものが開発されて
いる。なかでもレーザー光の照射による記録層の可逆的
な磁化の反転を利用して記録を行う所謂光磁気ディスク
は、従来の磁気記録媒体に代わって、種々の情報機器に
おける中心的なマスストレージデバイスとなるべく、依
然として種々の改良が提案されている。
【0003】この種の光熱磁気記録方式の光情報記録媒
体においては、レーザ光のエネルギを効率良く記録層に
伝達するために、記録層に隣接して反射層を設けること
が一般化している。このような反射層の材料としては、
Alおよびその合金化合物が広く用いられている。
体においては、レーザ光のエネルギを効率良く記録層に
伝達するために、記録層に隣接して反射層を設けること
が一般化している。このような反射層の材料としては、
Alおよびその合金化合物が広く用いられている。
【0004】ところで、一連の光情報記録媒体において
常に課題となっていることのひとつに記録感度の改善が
ある。即ち、所定の信号レベルの情報を記録するために
必要なレーザパワーを如何に低くできるかということ
は、単に記録時の消費電力を低減できるということだけ
ではなく記録速度の改善にも大きく寄与する。
常に課題となっていることのひとつに記録感度の改善が
ある。即ち、所定の信号レベルの情報を記録するために
必要なレーザパワーを如何に低くできるかということ
は、単に記録時の消費電力を低減できるということだけ
ではなく記録速度の改善にも大きく寄与する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前述のような反射層を
備えた光情報記録媒体における記録感度の改善方法のひ
とつとして、特開昭62−137743号公報にAl反射層を非晶
質化する方法が開示されている。しかしながら、この方
法は、記録媒体の回転数が2400rpm 以下の範囲、即ち、
記録媒体とレーザ光との間の相対線速度が低い場合には
効果的な方法であるが、媒体の回転数が3600rpm 以上に
なり記録領域の線速度が高くなるとその効果が急速に低
下することが知られている。
備えた光情報記録媒体における記録感度の改善方法のひ
とつとして、特開昭62−137743号公報にAl反射層を非晶
質化する方法が開示されている。しかしながら、この方
法は、記録媒体の回転数が2400rpm 以下の範囲、即ち、
記録媒体とレーザ光との間の相対線速度が低い場合には
効果的な方法であるが、媒体の回転数が3600rpm 以上に
なり記録領域の線速度が高くなるとその効果が急速に低
下することが知られている。
【0006】また、特に、反射層の材料としてAlまたは
Al系合金を使用した場合、反射層の腐食に起因する光情
報記録媒体の劣化を効果的に防止することは非常に難し
かった。
Al系合金を使用した場合、反射層の腐食に起因する光情
報記録媒体の劣化を効果的に防止することは非常に難し
かった。
【0007】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解決し、高回転領域においても高い記録感度を維持す
ることができ、且つ、耐腐食性に優れた新規な光情報記
録媒体を提供することをその目的としている。
を解決し、高回転領域においても高い記録感度を維持す
ることができ、且つ、耐腐食性に優れた新規な光情報記
録媒体を提供することをその目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明に従うと、
基板と、該基板上に順次積層された記録層および反射層
とを備えた光情報記録媒体において、該反射層が、3〜
5E-6 Ω・cmの比抵抗を有する金属薄膜により形成され
ていることを特徴とする光情報記録媒体が提供される。
基板と、該基板上に順次積層された記録層および反射層
とを備えた光情報記録媒体において、該反射層が、3〜
5E-6 Ω・cmの比抵抗を有する金属薄膜により形成され
ていることを特徴とする光情報記録媒体が提供される。
【0009】
【作用】本発明に係る光情報記録媒体は、反射層の比抵
抗を適切に設定することにより情報記録に必要なレーザ
パワーの線速度に対する依存性を効果的に低減している
点にその主要な特徴がある。
抗を適切に設定することにより情報記録に必要なレーザ
パワーの線速度に対する依存性を効果的に低減している
点にその主要な特徴がある。
【0010】即ち、本発明に係る光情報記録媒体におい
ては、反射層の比抵抗が3〜5E-6Ω・cmの範囲に限定
されている。ここで、反射層を構成する金属薄膜の比抵
抗が上記範囲外の場合、記録媒体の線速度の上昇と共に
記録感度が劣化し、高回転領域での使用においては実質
的に記録感度が低下してしまう。
ては、反射層の比抵抗が3〜5E-6Ω・cmの範囲に限定
されている。ここで、反射層を構成する金属薄膜の比抵
抗が上記範囲外の場合、記録媒体の線速度の上昇と共に
記録感度が劣化し、高回転領域での使用においては実質
的に記録感度が低下してしまう。
【0011】また、具体的に後述するように、本発明に
係る光情報記録媒体においては、その反射層の耐腐食性
が高く、反射層の腐食に起因する記録特性の劣化も低減
されている。
係る光情報記録媒体においては、その反射層の耐腐食性
が高く、反射層の腐食に起因する記録特性の劣化も低減
されている。
【0012】上記本発明に係る光情報記録媒体における
反射層の具体的形成法としては、スパッタリング法、真
空蒸着法などの公知の成膜方法がいずれも適用できる。
尚、反射層の材料としては、Pt、Au等を例示することが
できる。
反射層の具体的形成法としては、スパッタリング法、真
空蒸着法などの公知の成膜方法がいずれも適用できる。
尚、反射層の材料としては、Pt、Au等を例示することが
できる。
【0013】以上のような特徴を有する本発明に係る光
情報記録媒体における記録層の材料としては、TbFeCo、
GdFeCoを例示することができる。
情報記録媒体における記録層の材料としては、TbFeCo、
GdFeCoを例示することができる。
【0014】更に、上記反射層および記録層を形成する
ための基板の材料としては、ポリカーボネート、ポリメ
チルメタアクリレート、アモルファスポリオレフィン等
の透明樹脂材料の他ガラスを使用することもできる。ま
た、その形状としては、最も普及しているディスク状の
他、カード状またはドラム状のものにも本発明は適用可
能である。
ための基板の材料としては、ポリカーボネート、ポリメ
チルメタアクリレート、アモルファスポリオレフィン等
の透明樹脂材料の他ガラスを使用することもできる。ま
た、その形状としては、最も普及しているディスク状の
他、カード状またはドラム状のものにも本発明は適用可
能である。
【0015】以下、実施例を挙げて本発明をより具体的
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
【0016】
〔実施例1〕直径 130mmのポリカーボネート樹脂製のス
パイラル溝付フォーマット基板上に記録膜を成膜した。
具体的にはインライン型スパッタリング装置を用い、Si
ターゲットとArおよびN2 の混合ガスとによる反応性ス
パッタリング法で、基板上に厚さ1200ÅのSiNX 層を形
成した。
パイラル溝付フォーマット基板上に記録膜を成膜した。
具体的にはインライン型スパッタリング装置を用い、Si
ターゲットとArおよびN2 の混合ガスとによる反応性ス
パッタリング法で、基板上に厚さ1200ÅのSiNX 層を形
成した。
【0017】次に、DCスパッタリングにより、厚さ 2
00ÅのTbFeCo層を形成した後、ArとN2 の混合ガスによ
る反応性スパッタリングにより厚さ 300ÅのSiN層を形
成した。更に、RFスパッタングにより、比抵抗3.4E-6
Ω・cm、厚さ 500ÅのAu薄膜を反射層として形成した。
00ÅのTbFeCo層を形成した後、ArとN2 の混合ガスによ
る反応性スパッタリングにより厚さ 300ÅのSiN層を形
成した。更に、RFスパッタングにより、比抵抗3.4E-6
Ω・cm、厚さ 500ÅのAu薄膜を反射層として形成した。
【0018】また、比較のために、反射層としてAlCr薄
膜を成膜した比較試料を作製した。比較試料における反
射膜であるAlCr薄膜は、1800rpm で回転する基板の回転
の中心から30mmの位置に波長 830nmの半導体レーザーに
より周波数 3.7MHz duty22%の反復信号を書き込む場
合にCNR値が10dB以上となるレーザーパワーが前記試
料と等しくなるように成膜した。
膜を成膜した比較試料を作製した。比較試料における反
射膜であるAlCr薄膜は、1800rpm で回転する基板の回転
の中心から30mmの位置に波長 830nmの半導体レーザーに
より周波数 3.7MHz duty22%の反復信号を書き込む場
合にCNR値が10dB以上となるレーザーパワーが前記試
料と等しくなるように成膜した。
【0019】以上のようにして作製した試料および比較
試料に対して、ピット長を0.76μm一定として線速度を
変化させながら記録感度を測定した。測定結果は、図1
上にPthとして示す。尚、ここでいう記録感度とは、記
録情報のCNR値が10dB以上になるように記録するため
に必要なレーザーパワーを意味する。
試料に対して、ピット長を0.76μm一定として線速度を
変化させながら記録感度を測定した。測定結果は、図1
上にPthとして示す。尚、ここでいう記録感度とは、記
録情報のCNR値が10dB以上になるように記録するため
に必要なレーザーパワーを意味する。
【0020】また、各試料について、同じ条件で、記録
情報のCNR値が45dB以上となるように記録するために
必要なレーザーパワーを測定した。測定結果は、図1中
に〔P>45dB〕として示す。また更に、各試料の最適記
録レーザーパワーも測定した。測定結果は、図1中にP
2nd dip.として示す。
情報のCNR値が45dB以上となるように記録するために
必要なレーザーパワーを測定した。測定結果は、図1中
に〔P>45dB〕として示す。また更に、各試料の最適記
録レーザーパワーも測定した。測定結果は、図1中にP
2nd dip.として示す。
【0021】図1(a) は、反射層の比抵抗が3.4E-6Ω・
cmであるAu反射層を使用した光情報記録媒体についての
測定結果を示している。また、図1(b) に測定結果を示
した比較試料における反射層の比抵抗は、2.1E-5Ω・cm
であった。これらの図に示すように、本発明に従って作
製された試料では、記録感度の線速度に対する依存性が
軽微である。
cmであるAu反射層を使用した光情報記録媒体についての
測定結果を示している。また、図1(b) に測定結果を示
した比較試料における反射層の比抵抗は、2.1E-5Ω・cm
であった。これらの図に示すように、本発明に従って作
製された試料では、記録感度の線速度に対する依存性が
軽微である。
【0022】更に、本実施例に係る試料および比較試料
の双方について、オーバーコート無しの状態で温度80
℃、湿度90%という条件の下で 250時間の加速劣化試験
を行った。図2は、加速劣化試験後の記録膜の腐食状態
を示す図である。図2(a) に示すように、本発明に従っ
て作製された試料では基板1上の反射層が形成された領
域2には腐食は全く発生していない。これに対して、比
較試料では、図2(b) に示すように、反射層の極めて広
い領域3が腐食して、記録層と共に透明化してしまって
いる。
の双方について、オーバーコート無しの状態で温度80
℃、湿度90%という条件の下で 250時間の加速劣化試験
を行った。図2は、加速劣化試験後の記録膜の腐食状態
を示す図である。図2(a) に示すように、本発明に従っ
て作製された試料では基板1上の反射層が形成された領
域2には腐食は全く発生していない。これに対して、比
較試料では、図2(b) に示すように、反射層の極めて広
い領域3が腐食して、記録層と共に透明化してしまって
いる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に従う光情
報記録媒体は、その特徴的な反射層の構成により、高線
速度領域を含めて記録再生特性の線速度への依存性が低
く、且つ、耐腐食性も高い。
報記録媒体は、その特徴的な反射層の構成により、高線
速度領域を含めて記録再生特性の線速度への依存性が低
く、且つ、耐腐食性も高い。
【図1】実施例における試料の記録感度、CNR値およ
び最適記録レーザーパワーの線速度依存性を示すグラフ
である。
び最適記録レーザーパワーの線速度依存性を示すグラフ
である。
【図2】実施例における試料の腐食状態を示す図であ
る。
る。
1 基板、 2 腐食していない領域、 3 腐食した領域
Claims (1)
- 【請求項1】基板と、該基板上に順次積層された記録層
および反射層とを備えた光情報記録媒体において、該反
射層が、3〜5E-6 Ω・cmの比抵抗を有する金属薄膜に
より形成されていることを特徴とする光情報記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35030191A JPH05159399A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 光情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35030191A JPH05159399A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 光情報記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05159399A true JPH05159399A (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=18409568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35030191A Pending JPH05159399A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 光情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05159399A (ja) |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP35030191A patent/JPH05159399A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990420 |