JPH0516223Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は分子線エピタキシヤル装置の原料分
子線蒸発源から発生する分子線を遮蔽する分子線
シヤツタを駆動する装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来の分子線エピタキシヤル装置の分
子線シヤツタ駆動装置を示す概略図、第３図は第
２図に示した分子線シヤツタ駆動装置の回転導入
機を示す平面図、第４図は同じく正断面図であ
る。図において、１は筒体、２は筒体１に設けら
れたφ34IFCミニフランジで、筒体１はミニフラ
ンジ２により真空チヤンバ（図示せず）に取り付
けられている。３はベアリング４を介して筒体１
に回転可能に支持された回転シヤフトで、回転シ
ヤフト３の後端は曲がつている。５はベアリング
６を介して筒体１に回転可能に支持された回転外
筒、７は回転外筒５に設けられた穴内に挿入され
たキヤツプで、キヤツプ７はベアリング８を介し
て回転外筒５に回転可能に支持されており、かつ
ベアリング９を介して回転シヤフト３の後端を回
転可能に支持している。１０は筒体１とキヤツプ
７との間に設けられたベローズ、１１は回転外筒
５に設けられた回転軸で、筒体１、回転シヤフト
３、回転外筒５、キヤツプ７等により回転導入機
１２を構成している。１３は空気圧モータ、１４
は空気圧モータ１３の回転軸、１５は回転軸１４
と回転軸１１とを連結するジヨイント部品で、ジ
ヨイント部品１５の両端には回転軸１１、回転軸
１４がネジ２４，２５により取り付けられてい
る。１６は真空チヤンバ内に設けられた原料分子
線蒸発源、１７は原料分子線蒸発源１６から発生
する分子線を遮蔽する分子線シヤツタで、分子線
シヤツタ１７は回転シヤフト３に取り付けられて
いる。

この分子線エピタキシヤル装置の分子線シヤツ
タ駆動装置においては、空気圧モータ１３に圧縮
空気を供給すると、回転軸１４が回転し、回転外
筒５が回転するから、回転シヤフト３が回転し、
分子線シヤツタ１７が開閉される。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかし、このような分子線エピタキシヤル装置
の分子線シヤツタ駆動装置においては、回転軸１
４の中心線と回転軸１１の中心線とが一致してい
ないと、ベアリング８，９およびベアリング４に
無理な力が作用する。また、回転軸１４の中心線
と回転軸１１の中心線とを一致させたとしても、
回転シヤフト３の回転に伴い、ベローズ１０が伸
縮するため、回転シヤフト３が軸方向にわずかに
変位するから、ベアリング８，９に無理な力が作
用する。このため、ベアリング８，９およびベア
リング４に片減りが生じ、分子線シヤツタ１７の
開閉動作を数万回行なうと、分子線シヤツタ１７
の開閉動作を行なうことができなくなつてしま
う。

この考案は上述の問題点を解決するためになさ
れたもので、回転導入機のベアリングに片減りが
ほとんど生ずることがない分子線エピタキシヤル
装置の分子線シヤツタ駆動装置を提供することを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この目的を達成するため、この考案において
は、駆動装置と、上記駆動装置とジヨイント部品
を介して連結されかつ後端が曲がつた回転シヤフ
トおよび上記回転シヤフトの後端部を囲んで設け
られたベローズを有する回転導入機とを具備し、
分子線エピタキシヤル装置の原料分子線蒸発源か
ら発生する分子線を遮蔽する分子線シヤツタを駆
動する装置において、上記ジヨンイント部品の両
端部に自在結合子を設け、上記駆動装置の回転軸
と上記ジヨイント部品との連結部分、上記回転導
入機の回転軸と上記ジヨイント部品との連結部分
の少なくとも一方を、回転が伝わりかつ上記回転
軸の軸方向に空隙を有するはめあい構造にする。

〔作用〕 この分子線エピタキシヤル装置の分子線シヤツ
タ駆動装置においては、ジヨイント部品の両端部
に自在結合子が設けられているから、駆動装置の
回転軸の中心線と回転導入機の回転軸の中心線と
が一致しなくとも、回転導入機のベアリングに無
理な力が作用することがない。また、駆動装置の
回転軸とジヨイント部品との連結部分、回転導入
機の回転軸とジヨイント部品との連結部分の少な
くとも一方を、回転が伝わりかつ上記回転軸の軸
方向に空隙を有するはめあい構造にしているか
ら、回転シヤフトが軸方向に変位したとしても、
回転導入機のベアリングに無理な力が作用するこ
とがない。

〔実施例〕

第１図はこの考案に係る分子線エピタキシヤル
装置の分子線シヤツタ駆動装置を示す概略図であ
る。図において、１８は空気圧モータ１３と回転
導入機１２とを連結するジヨイント部品、１９，
２０はジヨイント部品１８の両端部に設けられた
自在結合子、２１は空気圧モータ１３の回転軸１
４をジヨイント部品１８の一端に取り付けるネ
ジ、２２はジヨイント部品１８の他端に設けられ
た断面形状が正方形の連結穴、２３は回転外筒５
に設けられかつ断面形状が正方形の回転軸で、回
転軸２３は連結穴２２に挿入されており、連結穴
２２の底面と回転軸２３の先端面との間には間隙
δが設けられている。

この分子線エピタキシヤル装置の分子線シヤツ
タ駆動装置においては、ジヨイント部品１８の両
端部に自在結合子１９，２０が設けられているか
ら、回転軸１４の中心線と回転軸２３の中心線と
が一致しなくとも、回転導入機１２のベアリング
８，９およびベアリング４に無理な力が作用する
ことがない。また、断面形状が正方形の回転軸２
３を断面形状が正方形の連結穴２２に挿入し、連
結穴２２の底面と回転軸２３の先端面との間に間
隙δを設けているから、空気圧モータ１３の回転
を回転導入機１２に伝えることができるととも
に、回転シヤフト３が軸方向に変位したとして
も、ベアリング８，９に無理な力が作用すること
がない。したがつて、分子線シヤツタ１７の開閉
動作を繰り返したとしても、ベアリング８，９お
よびベアリング４に片減りが生ずることがほとん
どなく、寿命を従来の十倍の数十万回にすること
ができる。

なお、上述実施例においては、駆動装置として
空気圧モータ１３を用いたが、ステツピングモー
タ等を用いてもよい。また、上述実施例において
は、回転軸２３とジヨイント部品１８との連結部
分のみを、回転が伝わりかつ回転軸２３の軸方向
に空隙δを有するはめあい構造にしたが、空気圧
モータ１３の回転軸とジヨイント部品１８との連
結部分のみを、回転が伝わりかつ回転軸の軸方向
に空隙を有するはめあい構造にしてもよく、空気
圧モータ１３の回転軸とジヨイント部品１８との
連結部分および回転導入機１２の回転軸とジヨイ
ント部品１８との連結部分を、回転が伝わりかつ
回転軸の軸方向に空隙を有するはめあい構造にし
てもよい。さらに、上述実施例においては、連結
穴２２、回転軸２３の断面形状を正方形とした
が、連結穴、回転軸の断面形状を円形以外の形状
にすれば、回転を伝えることができる。

〔考案の効果〕

以上説明したように、この考案に係る分子線エ
ピタキシヤル装置の分子線シヤツタ駆動装置にお
いては、回転導入機のベアリングに無理な力が作
用することがないから、分子線シヤツタの開閉動
作を繰り返したとしても、回転導入機のベアリン
グに片減りが生ずることがほとんどなく、寿命を
著しく向上することができる。このように、この
考案の効果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案に係る分子線エピタキシヤル
装置の分子線シヤツタ駆動装置を示す概略図、第
２図は従来の分子線エピタキシヤル装置の分子線
シヤツタ駆動装置を示す概略図、第３図は第２図
に示した分子線シヤツタ駆動装置の回転導入機を
示す平面図、第４図は同じく正断面図である。 ３……回転シヤフト、１０……ベローズ、１２
……回転導入機、１３……空気圧モータ、１４…
…回転軸、１６……原料分子線蒸発源、１７……
分子線シヤツタ、１８……ジヨイント部品、１
９，２０……自在結合子、２２……連結穴、２３
……回転軸。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 駆動装置と、上記駆動装置とジヨイント部品を
   介して連結されかつ後端が曲がつた回転シヤフト
   および上記回転シヤフトの後端部を囲んで設けら
   れたベローズを有する回転導入機とを具備し、分
   子線エピタキシヤル装置の原料分子線蒸発源から
   発生する分子線を遮蔽する分子線シヤツタを駆動
   する装置において、上記ジヨイント部品の両端部
   に自在結合子を設け、上記駆動装置の回転軸と上
   記ジヨイント部品との連結部分、上記回転導入機
   の回転軸と上記ジヨイント部品との連結部分の少
   なくとも一方を、回転が伝わりかつ上記回転軸の
   軸方向に空隙を有するはめあい構造にしたことを
   特徴とする分子線エピタキシヤル装置の分子線シ
   ヤツタ駆動装置。