JPH05166819A - ウエハの熱処理装置 - Google Patents
ウエハの熱処理装置Info
- Publication number
- JPH05166819A JPH05166819A JP33648591A JP33648591A JPH05166819A JP H05166819 A JPH05166819 A JP H05166819A JP 33648591 A JP33648591 A JP 33648591A JP 33648591 A JP33648591 A JP 33648591A JP H05166819 A JPH05166819 A JP H05166819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- wafer
- gas
- tube
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 熱処理チューブの交換が温度下げることなく
行えることにより、ウエハの熱処理装置の稼動率の上昇
とダウンタイムの短縮をはかったウエハの熱処理装置を
得る。 【構成】 ウエハ１が装入され、ガスシステム７からコ
ントロールされたガスが導入されるガス処理ボックス１
０と、このガス処理ボックス１０が挿入口９ａから挿入
され、ウエハ１をヒータ６の加熱により温度コントロー
ルされた状態で熱処理を行う熱処理チューブ９とからな
る。
行えることにより、ウエハの熱処理装置の稼動率の上昇
とダウンタイムの短縮をはかったウエハの熱処理装置を
得る。 【構成】 ウエハ１が装入され、ガスシステム７からコ
ントロールされたガスが導入されるガス処理ボックス１
０と、このガス処理ボックス１０が挿入口９ａから挿入
され、ウエハ１をヒータ６の加熱により温度コントロー
ルされた状態で熱処理を行う熱処理チューブ９とからな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程におけ
るウエハの熱処理装置に関するものである。
るウエハの熱処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３はウエハの熱処理装置の従来例を示
す断面図である。この図において、１は熱処理されるウ
エハ、２は前記ウエハ１を乗せるボート、３は石英また
はＳｉＣなどで形成されたチューブ、３ａは前記チュー
ブ３の挿入口、４は前記チューブ３内にウエハ１のボー
ト２を挿入するためのフォーク、５は前記チューブ３を
封止するためのキャップ、６は温度コントロールするた
めのヒータで、抵抗加熱，高周波加熱等が用いられる。
７は前記チューブ３内に特定のガスを導入してガス雰囲
気の中に保持するためのガスシステム、８は前記チュー
ブ３内のガスを排出する排気システムである。
す断面図である。この図において、１は熱処理されるウ
エハ、２は前記ウエハ１を乗せるボート、３は石英また
はＳｉＣなどで形成されたチューブ、３ａは前記チュー
ブ３の挿入口、４は前記チューブ３内にウエハ１のボー
ト２を挿入するためのフォーク、５は前記チューブ３を
封止するためのキャップ、６は温度コントロールするた
めのヒータで、抵抗加熱，高周波加熱等が用いられる。
７は前記チューブ３内に特定のガスを導入してガス雰囲
気の中に保持するためのガスシステム、８は前記チュー
ブ３内のガスを排出する排気システムである。
【０００３】次に、動作について説明する。ウエハ１を
ボート２に乗せてからフォーク４で挿入口３ａからチュ
ーブ３内へ挿入する。この時、キャップ５はチューブ３
に対して自動的にふたをするようになっている。また、
チューブ３内へはガスシステム７から必要なガスが自動
的に導入され、ウエハ１の熱処理を行っている。熱処理
完了後は、フォーク４でウエハ１の乗ったボート２を引
き出す。この時、キャップ５は自動的に取り外されるよ
うになっている。また、チューブ３は熱処理装置の構造
上ヒータ６に固定されているので、チューブ６の定期洗
浄，寿命がきたときの交換，または品種変更による用途
変更するときなどはヒータ６の温度を下げてから行って
いた。
ボート２に乗せてからフォーク４で挿入口３ａからチュ
ーブ３内へ挿入する。この時、キャップ５はチューブ３
に対して自動的にふたをするようになっている。また、
チューブ３内へはガスシステム７から必要なガスが自動
的に導入され、ウエハ１の熱処理を行っている。熱処理
完了後は、フォーク４でウエハ１の乗ったボート２を引
き出す。この時、キャップ５は自動的に取り外されるよ
うになっている。また、チューブ３は熱処理装置の構造
上ヒータ６に固定されているので、チューブ６の定期洗
浄，寿命がきたときの交換，または品種変更による用途
変更するときなどはヒータ６の温度を下げてから行って
いた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のウエハの熱処理
装置は、上記のように構成されているので、チューブ３
を交換するときは、チューブ３の温度を下げてから行う
ため、交換に長時間必要であり、その間使用できないと
いう問題点があった。また、ウエハの熱処理装置の使用
用途変更も簡単にできないという問題点があった。
装置は、上記のように構成されているので、チューブ３
を交換するときは、チューブ３の温度を下げてから行う
ため、交換に長時間必要であり、その間使用できないと
いう問題点があった。また、ウエハの熱処理装置の使用
用途変更も簡単にできないという問題点があった。
【０００５】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ヒータの温度を下げることなく
熱処理チューブの交換と洗浄ができるとともに、品種変
更による用途変更も簡単にできるウエハの熱処理装置を
得ることを目的とする。
ためになされたもので、ヒータの温度を下げることなく
熱処理チューブの交換と洗浄ができるとともに、品種変
更による用途変更も簡単にできるウエハの熱処理装置を
得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るウエハの熱
処理装置は、ウエハが装入され、ガスシステムでコント
ロールされたガスが導入されるガス処理ボックスと、こ
のガス処理ボックスを少なくとも一方向から挿入する挿
入口が形成され、かつヒータでコントロールされた温度
の中でウエハの熱処理を行う熱処理チューブとからなる
ものである。
処理装置は、ウエハが装入され、ガスシステムでコント
ロールされたガスが導入されるガス処理ボックスと、こ
のガス処理ボックスを少なくとも一方向から挿入する挿
入口が形成され、かつヒータでコントロールされた温度
の中でウエハの熱処理を行う熱処理チューブとからなる
ものである。
【０００７】
【作用】本発明におけるウエハの熱処理装置は、ガスが
導入されたガス処理ボックスの中にウエハを挿入したの
で、熱処理チューブの交換，洗浄，または品種変更によ
る用途変更の場合でも、ヒータの温度を下げることなく
簡単に行える。
導入されたガス処理ボックスの中にウエハを挿入したの
で、熱処理チューブの交換，洗浄，または品種変更によ
る用途変更の場合でも、ヒータの温度を下げることなく
簡単に行える。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す断面図であ
る。この図において、図３と同一符号は同一部分を示
し、９は前記ウエハ１の熱処理を行う熱処理チューブ
で、９ａは前記熱処理チューブ９の一方向に形成された
挿入口、１０は前記ウエハ１のガス処理が行われるガス
処理ボックスで、ウエハ１が装着されたボート２が出し
入れできるように構成されているが、その詳細の図示は
省略してある。１１は前記挿入口９ａを封止するキャッ
プ、１２は排気システムである。
る。この図において、図３と同一符号は同一部分を示
し、９は前記ウエハ１の熱処理を行う熱処理チューブ
で、９ａは前記熱処理チューブ９の一方向に形成された
挿入口、１０は前記ウエハ１のガス処理が行われるガス
処理ボックスで、ウエハ１が装着されたボート２が出し
入れできるように構成されているが、その詳細の図示は
省略してある。１１は前記挿入口９ａを封止するキャッ
プ、１２は排気システムである。
【０００９】次に、動作について説明する。ウエハ１を
乗せたボート２をガス処理ボックス１０内に挿入し、ガ
スシステム７からのガスを導入してガス雰囲気内に保持
してからフォーク４でガス処理ボックス１０をヒータ６
で加熱し、温度がコントロールされている熱処理チュー
ブ９の中へ挿入してウエハ１の熱処理を行う。また、温
度をより安定させるために、熱処理チューブ９の挿入口
９ａをキャップ１１で封止して熱処理を行う。なお、ガ
スシステム７からのガス処理ボックス１０への各ガスの
流量，排気システム１２によるガスの排気量のコントロ
ールと、ヒータ６による熱処理チューブ９の温度コント
ロールは、自動的にコントロールできるようになってい
る。次いで、熱処理完了後は、フォーク４でガス処理ボ
ックス１０を熱処理チューブ９から取り出す。この時キ
ャップ１１は自動的に開くようになっている。
乗せたボート２をガス処理ボックス１０内に挿入し、ガ
スシステム７からのガスを導入してガス雰囲気内に保持
してからフォーク４でガス処理ボックス１０をヒータ６
で加熱し、温度がコントロールされている熱処理チュー
ブ９の中へ挿入してウエハ１の熱処理を行う。また、温
度をより安定させるために、熱処理チューブ９の挿入口
９ａをキャップ１１で封止して熱処理を行う。なお、ガ
スシステム７からのガス処理ボックス１０への各ガスの
流量，排気システム１２によるガスの排気量のコントロ
ールと、ヒータ６による熱処理チューブ９の温度コント
ロールは、自動的にコントロールできるようになってい
る。次いで、熱処理完了後は、フォーク４でガス処理ボ
ックス１０を熱処理チューブ９から取り出す。この時キ
ャップ１１は自動的に開くようになっている。
【００１０】そして、本発明のウエハの熱処理装置は、
上記のように構成されているため、熱処理チューブ９の
交換，洗浄，または品種変更による用途変更の場合はガ
ス処理ボックス１０とボート２を交換するだけでよいの
で、ヒータ６の温度を下げる必要がない。
上記のように構成されているため、熱処理チューブ９の
交換，洗浄，または品種変更による用途変更の場合はガ
ス処理ボックス１０とボート２を交換するだけでよいの
で、ヒータ６の温度を下げる必要がない。
【００１１】なお、上記図１の第１の実施例では、ガス
処理ボックス１０を熱処理チューブ９へ出し入れするの
を一方向からのみ行っているが、図２の第２の実施例に
示すように、各ガス処理ボックス１０を熱処理チューブ
１３の両側に形成した挿入口１３ａ，１３ｂの両方向か
らそれぞれ別個に出し入れできる構造にしてもよい。こ
の時、用途の異なる複数のガス処理ボックス１０を組み
合わせて使用することができる。また、用途変更におい
て、ガスシステム７の変更と排気システム１２の変更、
例えば専用排気，排気に真空ポンプを取り付ける等によ
り、ＨＣｌ酸化，減圧酸化，デポジション，ＬＰＣＶＤ
等の変更も可能になる。また、熱処理チューブ９は温度
の安定性および熱の放出防止のため密閉状態にしている
が、オープン状態であってもよい。また、上記実施例で
は、ガス処理ボックス１０を水平方向に移動させるよう
にした横型の熱処理装置の場合を示しているが、垂直方
向に移動させる縦型の熱処理装置でもよい。
処理ボックス１０を熱処理チューブ９へ出し入れするの
を一方向からのみ行っているが、図２の第２の実施例に
示すように、各ガス処理ボックス１０を熱処理チューブ
１３の両側に形成した挿入口１３ａ，１３ｂの両方向か
らそれぞれ別個に出し入れできる構造にしてもよい。こ
の時、用途の異なる複数のガス処理ボックス１０を組み
合わせて使用することができる。また、用途変更におい
て、ガスシステム７の変更と排気システム１２の変更、
例えば専用排気，排気に真空ポンプを取り付ける等によ
り、ＨＣｌ酸化，減圧酸化，デポジション，ＬＰＣＶＤ
等の変更も可能になる。また、熱処理チューブ９は温度
の安定性および熱の放出防止のため密閉状態にしている
が、オープン状態であってもよい。また、上記実施例で
は、ガス処理ボックス１０を水平方向に移動させるよう
にした横型の熱処理装置の場合を示しているが、垂直方
向に移動させる縦型の熱処理装置でもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ウエハ
が装入され、ガスシステムでコントロールされたガスが
導入されたガス処理ボックスと、このガス処理ボックス
を少なくとも一方向から挿入する挿入口が形成され、か
つヒータでコントロールされた温度の中でウエハの熱処
理を行う熱処理チューブとからなるので、熱処理チュー
ブの定期洗浄や交換等のダウンタイムが短縮でき、かつ
使用用途の変更も簡単にできる効果がある。
が装入され、ガスシステムでコントロールされたガスが
導入されたガス処理ボックスと、このガス処理ボックス
を少なくとも一方向から挿入する挿入口が形成され、か
つヒータでコントロールされた温度の中でウエハの熱処
理を行う熱処理チューブとからなるので、熱処理チュー
ブの定期洗浄や交換等のダウンタイムが短縮でき、かつ
使用用途の変更も簡単にできる効果がある。
【００１３】また、ガス処理ボックスを熱処理チューブ
の両方向からの挿入と取り出しができるようにすれば、
用途の異なるガス処理ボックスの使用ができる利点があ
る。
の両方向からの挿入と取り出しができるようにすれば、
用途の異なるガス処理ボックスの使用ができる利点があ
る。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図３】ウエハの熱処理装置の従来例を示す断面図であ
る。
る。
１ ウエハ ２ ボート ６ ヒータ ７ ガスシステム ９ 熱処理チューブ ９ａ 挿入口 １０ ガス処理ボックス １１ キャップ １２ 排気システム １３ 熱処理チューブ １３ａ 挿入口 １３ｂ 挿入口
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハが装入され、ガスシステムでコン
トロールされたガスが導入されるガス処理ボックスと、
このガス処理ボックスを少なくとも一方向から挿入する
挿入口が形成され、かつヒータでコントロールされた温
度の中で前記ウエハの熱処理を行う熱処理チューブとか
らなることを特徴とするウエハの熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33648591A JPH05166819A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | ウエハの熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33648591A JPH05166819A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | ウエハの熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05166819A true JPH05166819A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18299622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33648591A Pending JPH05166819A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | ウエハの熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05166819A (ja) |
-
1991
- 1991-12-19 JP JP33648591A patent/JPH05166819A/ja active Pending
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