JPH05167030A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- JPH05167030A JPH05167030A JP3328552A JP32855291A JPH05167030A JP H05167030 A JPH05167030 A JP H05167030A JP 3328552 A JP3328552 A JP 3328552A JP 32855291 A JP32855291 A JP 32855291A JP H05167030 A JPH05167030 A JP H05167030A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ライトパービットモードを有しかつ多ビット
構成とされるダイナミック型RAM等の誤動作を防止
し、その信頼性を高める。 【構成】 同時に接続状態とされる相補共通データ線I
O00*及びIO10*等の間に接続状態とされない他
の相補共通データ線IO01*及びIO11*等又はそ
の他の信号線を配置し、あるいは同時に接続状態とされ
る相補共通データ線を互いのカップリングノイズが無視
できる程度に距離をおいて配置し、もしくは同時に接続
状態とされる相補共通データ線の非反転及び反転信号線
をカップリングノイズが相殺されるべく互いに交差して
配置する。これにより、ライトパービットモードにおい
て、書き込み動作が行われる相補共通データ線から読み
出し動作が行われる相補共通データ線に対して誘起され
るカップリングノイズを抑制し、読み出し信号の誤反転
を防止する。
構成とされるダイナミック型RAM等の誤動作を防止
し、その信頼性を高める。 【構成】 同時に接続状態とされる相補共通データ線I
O00*及びIO10*等の間に接続状態とされない他
の相補共通データ線IO01*及びIO11*等又はそ
の他の信号線を配置し、あるいは同時に接続状態とされ
る相補共通データ線を互いのカップリングノイズが無視
できる程度に距離をおいて配置し、もしくは同時に接続
状態とされる相補共通データ線の非反転及び反転信号線
をカップリングノイズが相殺されるべく互いに交差して
配置する。これにより、ライトパービットモードにおい
て、書き込み動作が行われる相補共通データ線から読み
出し動作が行われる相補共通データ線に対して誘起され
るカップリングノイズを抑制し、読み出し信号の誤反転
を防止する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体記憶装置に関
し、例えば、ライトパービットモードを有する多ビット
構成のダイナミック型RAM(ランダムアクセスメモ
リ)等に利用して特に有効な技術に関するものである。
し、例えば、ライトパービットモードを有する多ビット
構成のダイナミック型RAM(ランダムアクセスメモ
リ)等に利用して特に有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】複数ビットの記憶データを同時に入力又
は出力するいわゆる多ビット構成のダイナミック型RA
Mがある。また、このようなダイナミック型RAMにお
いて、同時に選択状態とされる複数個のメモリセルに対
して記憶データの書き込み動作をマスカラブルに実行す
るいわゆるライトパービットモードがある。
は出力するいわゆる多ビット構成のダイナミック型RA
Mがある。また、このようなダイナミック型RAMにお
いて、同時に選択状態とされる複数個のメモリセルに対
して記憶データの書き込み動作をマスカラブルに実行す
るいわゆるライトパービットモードがある。
【0003】ライトパービットモードを有するダイナミ
ック型RAMについては、例えば、1991年、株式会
社日立製作所発行の『日立ICメモリデータブック』第
391頁〜第415頁に記載されている。
ック型RAMについては、例えば、1991年、株式会
社日立製作所発行の『日立ICメモリデータブック』第
391頁〜第415頁に記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】図5には、この発明に
先立って本願発明者等が開発したダイナミック型RAM
の部分的な回路ブロック図が示されている。このダイナ
ミック型RAMは、ライトパービットモードを有し、4
ビットの記憶データを同時に入力又は出力するいわゆる
×4ビット構成とされる。ダイナミック型RAMは、メ
モリアレイARY0又はARY1ならびにメモリアレイ
ARY2又はARY3の指定される4組の相補ビット線
が選択的に接続される合計8組の相補共通データ線IO
00*〜IO31*(ここで、例えば非反転共通データ
線IO00と反転共通データ線IO00Bをあわせて相
補共通データ線IO00*のように*を付して表す。ま
た、それが有効とされるとき選択的にロウレベルとされ
るいわゆる反転信号又は反転信号線については、その名
称の末尾にBを付して表す。以下同様)を備える。これ
らの相補共通データ線は、対応するメインアンプMA0
0〜MA31の入力端子に結合されるとともに、そのゲ
ートに書き込み制御信号DIC00〜DIC31を受け
る書き込み用のスイッチMOSFETを介して対応する
データ入力バッファDIB0〜DIB3の出力端子に結
合される。
先立って本願発明者等が開発したダイナミック型RAM
の部分的な回路ブロック図が示されている。このダイナ
ミック型RAMは、ライトパービットモードを有し、4
ビットの記憶データを同時に入力又は出力するいわゆる
×4ビット構成とされる。ダイナミック型RAMは、メ
モリアレイARY0又はARY1ならびにメモリアレイ
ARY2又はARY3の指定される4組の相補ビット線
が選択的に接続される合計8組の相補共通データ線IO
00*〜IO31*(ここで、例えば非反転共通データ
線IO00と反転共通データ線IO00Bをあわせて相
補共通データ線IO00*のように*を付して表す。ま
た、それが有効とされるとき選択的にロウレベルとされ
るいわゆる反転信号又は反転信号線については、その名
称の末尾にBを付して表す。以下同様)を備える。これ
らの相補共通データ線は、対応するメインアンプMA0
0〜MA31の入力端子に結合されるとともに、そのゲ
ートに書き込み制御信号DIC00〜DIC31を受け
る書き込み用のスイッチMOSFETを介して対応する
データ入力バッファDIB0〜DIB3の出力端子に結
合される。
【0005】ダイナミック型RAMが通常の読み出しモ
ードとされるとき、メインアンプMA00〜MA31
は、図5に例示されるように、メインアンプ選択信号M
S0〜MS1に従って4個ずつ選択的に活性化される。
また、ダイナミック型RAMが通常の書き込みモードと
されるとき、書き込み用のスイッチMOSFETは、書
き込み制御信号DIC00〜DIC31に従って4組ず
つ選択的にオン状態とされる。これにより、隣接する合
計4組の相補共通データ線IO00*及びIO10*な
らびにIO20*及びIO30*あるいはIO01*及
びIO11*ならびにIO21*及びIO31*が、入
力回路となるデータ入力バッファDIB0及びDIB1
あるいは出力回路となるデータ出力バッファDOB0〜
DOB3に選択的に接続状態とされ、選択された4個の
メモリセルに対する4ビットの記憶データの入力又は出
力動作が実現される。
ードとされるとき、メインアンプMA00〜MA31
は、図5に例示されるように、メインアンプ選択信号M
S0〜MS1に従って4個ずつ選択的に活性化される。
また、ダイナミック型RAMが通常の書き込みモードと
されるとき、書き込み用のスイッチMOSFETは、書
き込み制御信号DIC00〜DIC31に従って4組ず
つ選択的にオン状態とされる。これにより、隣接する合
計4組の相補共通データ線IO00*及びIO10*な
らびにIO20*及びIO30*あるいはIO01*及
びIO11*ならびにIO21*及びIO31*が、入
力回路となるデータ入力バッファDIB0及びDIB1
あるいは出力回路となるデータ出力バッファDOB0〜
DOB3に選択的に接続状態とされ、選択された4個の
メモリセルに対する4ビットの記憶データの入力又は出
力動作が実現される。
【0006】次に、ダイナミック型RAMがライトパー
ビットモードとされるとき、書き込み制御信号DIC0
0〜DIC31は、所定のマクスデータに従って選択的
に形成され、これによって対応する書き込み用のスイッ
チMOSFETが選択的にオン状態とされる。その結
果、選択された4個のメモリセルに対する記憶データの
書き込み動作が、ビットごとに選択的に実行される。こ
のとき、書き込み動作が行われないメモリセルに対して
は通常の読み出し動作が実行され、その読み出しデータ
が対応するデータ入出力端子DQ0〜DQ3を介して出
力される。
ビットモードとされるとき、書き込み制御信号DIC0
0〜DIC31は、所定のマクスデータに従って選択的
に形成され、これによって対応する書き込み用のスイッ
チMOSFETが選択的にオン状態とされる。その結
果、選択された4個のメモリセルに対する記憶データの
書き込み動作が、ビットごとに選択的に実行される。こ
のとき、書き込み動作が行われないメモリセルに対して
は通常の読み出し動作が実行され、その読み出しデータ
が対応するデータ入出力端子DQ0〜DQ3を介して出
力される。
【0007】ところが、図5のダイナミック型RAMに
は次のような問題点があることが、本願発明者等によっ
て明らかとなった。すなわち、ライトパービットモード
による選択的な書き込み動作が行われるとき、対応する
相補共通データ線の非反転及び反転信号線は、その一方
が回路の電源電圧のようなハイレベルにまたその他方が
回路の接地電位のようなロウレベルに、それぞれフルス
ィングされる。このとき、書き込み動作が実行されない
他の相補共通データ線では、前述のように、通常の読み
出し動作が行われ、その非反転及び反転信号線のレベル
は、選択された相補ビット線の寄生容量と相補共通デー
タ線の寄生容量とのチャージシェアによって設定される
所定の中間レベルとなる。しかも、この読み出し動作が
行われる相補共通データ線は、前述のように、書き込み
動作が行われる相補共通データ線に隣接して配置された
相補共通データ線である。これらの結果、書き込み動作
が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行われ
る相補共通データ線に対して比較的大きなカップリング
ノイズが誘起され、このカップリングノイズによって誤
った読み出しデータが出力されるものである。
は次のような問題点があることが、本願発明者等によっ
て明らかとなった。すなわち、ライトパービットモード
による選択的な書き込み動作が行われるとき、対応する
相補共通データ線の非反転及び反転信号線は、その一方
が回路の電源電圧のようなハイレベルにまたその他方が
回路の接地電位のようなロウレベルに、それぞれフルス
ィングされる。このとき、書き込み動作が実行されない
他の相補共通データ線では、前述のように、通常の読み
出し動作が行われ、その非反転及び反転信号線のレベル
は、選択された相補ビット線の寄生容量と相補共通デー
タ線の寄生容量とのチャージシェアによって設定される
所定の中間レベルとなる。しかも、この読み出し動作が
行われる相補共通データ線は、前述のように、書き込み
動作が行われる相補共通データ線に隣接して配置された
相補共通データ線である。これらの結果、書き込み動作
が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行われ
る相補共通データ線に対して比較的大きなカップリング
ノイズが誘起され、このカップリングノイズによって誤
った読み出しデータが出力されるものである。
【0008】この発明の目的は、ライトパービットモー
ドにおける相補共通データ線間のカップリングノイズを
抑制し、読み出し信号の誤反転を防止することにある。
この発明の他の目的は、ライトパービットモードを有し
かつ多ビット構成とされるダイナミック型RAM等の誤
動作を防止し、その信頼性を高めることにある。
ドにおける相補共通データ線間のカップリングノイズを
抑制し、読み出し信号の誤反転を防止することにある。
この発明の他の目的は、ライトパービットモードを有し
かつ多ビット構成とされるダイナミック型RAM等の誤
動作を防止し、その信頼性を高めることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、ライトパービットモードを有
しかつ多ビット構成とされるダイナミック型RAM等に
おいて、同時に接続状態とされる相補共通データ線の間
に接続状態とされない他の相補共通データ線又はその他
の信号線を配置し、あるいは同時に接続状態とされる相
補共通データ線を互いのカップリングノイズが無視でき
る程度に距離をおいて配置し、もしくは同時に接続状態
とされる相補共通データ線の非反転及び反転信号線をそ
のカップリングノイズが相殺されるべく互いに交差して
配置するものである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、ライトパービットモードを有
しかつ多ビット構成とされるダイナミック型RAM等に
おいて、同時に接続状態とされる相補共通データ線の間
に接続状態とされない他の相補共通データ線又はその他
の信号線を配置し、あるいは同時に接続状態とされる相
補共通データ線を互いのカップリングノイズが無視でき
る程度に距離をおいて配置し、もしくは同時に接続状態
とされる相補共通データ線の非反転及び反転信号線をそ
のカップリングノイズが相殺されるべく互いに交差して
配置するものである。
【0010】
【作用】上記手段によれば、ライトパービットモードに
おいて、書き込み動作が行われる相補共通データ線から
読み出し動作が行われる相補共通データ線に誘起される
カップリングノイズを抑制できるため、読み出しデータ
の誤反転を防止できる。その結果、ライトパービットモ
ードを有しかつ多ビット構成とされるダイナミック型R
AM等の誤動作を防止し、その信頼性を高めることがで
きる。
おいて、書き込み動作が行われる相補共通データ線から
読み出し動作が行われる相補共通データ線に誘起される
カップリングノイズを抑制できるため、読み出しデータ
の誤反転を防止できる。その結果、ライトパービットモ
ードを有しかつ多ビット構成とされるダイナミック型R
AM等の誤動作を防止し、その信頼性を高めることがで
きる。
【0011】
【実施例】図1には、この発明が適用されたダイナミッ
ク型RAMの第1の実施例の部分的な回路ブロック図が
示されている。同図をもとに、この実施例のダイナミッ
ク型RAMの構成と動作の概要ならびにその特徴につい
て説明する。なお、図1の回路素子ならびに各ブロック
を構成する回路素子は、ダイナミック型RAMの図示さ
れない他の回路素子とともに、P型単結晶シリコンのよ
うな1個の半導体基板上に形成される。以下の回路ブロ
ック図において、図示されるMOSFET(金属酸化物
半導体型電界効果トランジスタ。この明細書では、MO
SFETをして絶縁ゲート型電界効果トランジスタの総
称とする)は、特に制限されないが、すべてNチャンネ
ルMOSFETである。
ク型RAMの第1の実施例の部分的な回路ブロック図が
示されている。同図をもとに、この実施例のダイナミッ
ク型RAMの構成と動作の概要ならびにその特徴につい
て説明する。なお、図1の回路素子ならびに各ブロック
を構成する回路素子は、ダイナミック型RAMの図示さ
れない他の回路素子とともに、P型単結晶シリコンのよ
うな1個の半導体基板上に形成される。以下の回路ブロ
ック図において、図示されるMOSFET(金属酸化物
半導体型電界効果トランジスタ。この明細書では、MO
SFETをして絶縁ゲート型電界効果トランジスタの総
称とする)は、特に制限されないが、すべてNチャンネ
ルMOSFETである。
【0012】図1において、ダイナミック型RAMは、
対応するセンスアンプSA0又はSA1をはさんで対称
的に配置される合計4個のメモリアレイARY0及びA
RY1ならびにARY2及びARY3を備える。各メモ
リアレイは、同図の垂直方向に平行して配置される図示
されない複数のワード線と、水平方向に平行して配置さ
れるn+1組の相補ビット線B0*〜Bn*とをそれぞ
れ含む。これらのワード線及び相補ビット線の交点に
は、図示されない複数のダイナミック型メモリセルが格
子状に配置される。この実施例において、メモリアレイ
ARY0〜ARY3を構成する相補ビット線B0*〜B
n*は4組ずつグループ分割され、合計p+1すなわち
(n+1)/4組の相補ビット線群を構成する。
対応するセンスアンプSA0又はSA1をはさんで対称
的に配置される合計4個のメモリアレイARY0及びA
RY1ならびにARY2及びARY3を備える。各メモ
リアレイは、同図の垂直方向に平行して配置される図示
されない複数のワード線と、水平方向に平行して配置さ
れるn+1組の相補ビット線B0*〜Bn*とをそれぞ
れ含む。これらのワード線及び相補ビット線の交点に
は、図示されない複数のダイナミック型メモリセルが格
子状に配置される。この実施例において、メモリアレイ
ARY0〜ARY3を構成する相補ビット線B0*〜B
n*は4組ずつグループ分割され、合計p+1すなわち
(n+1)/4組の相補ビット線群を構成する。
【0013】メモリアレイARY0及びARY1を構成
するn+1組の相補ビット線B0*〜Bn*は、図示さ
れないシェアドMOSFETを介して、センスアンプS
A0の対応するスイッチMOSFETの一方に結合され
る。各スイッチMOSFETの他方は、相補共通データ
線IO00*〜IO11*の非反転及び反転信号線に順
次共通結合される。また、これらのスイッチMOSFE
Tのゲートは、各相補ビット線群ごとに8個ずつ共通結
合され、図示されないYアドレスデコーダから対応する
ビット線選択信号YS0〜YSpが供給される。これに
より、センスアンプSA0を構成するスイッチMOSF
ETは、対応するビット線選択信号YS0〜YSpが択
一的にハイレベルとされることで8個ずつ選択的にオン
状態となり、メモリアレイARY0又はARY1の対応
する4組の相補ビット線と相補共通データ線IO00*
〜IO11*とを選択的に接続状態とする。
するn+1組の相補ビット線B0*〜Bn*は、図示さ
れないシェアドMOSFETを介して、センスアンプS
A0の対応するスイッチMOSFETの一方に結合され
る。各スイッチMOSFETの他方は、相補共通データ
線IO00*〜IO11*の非反転及び反転信号線に順
次共通結合される。また、これらのスイッチMOSFE
Tのゲートは、各相補ビット線群ごとに8個ずつ共通結
合され、図示されないYアドレスデコーダから対応する
ビット線選択信号YS0〜YSpが供給される。これに
より、センスアンプSA0を構成するスイッチMOSF
ETは、対応するビット線選択信号YS0〜YSpが択
一的にハイレベルとされることで8個ずつ選択的にオン
状態となり、メモリアレイARY0又はARY1の対応
する4組の相補ビット線と相補共通データ線IO00*
〜IO11*とを選択的に接続状態とする。
【0014】同様に、メモリアレイARY2及びARY
3を構成するn+1組の相補ビット線B0*〜Bn*
は、図示されないシェアドMOSFETを介して、セン
スアンプSA1の対応するスイッチMOSFETの一方
に結合される。各スイッチMOSFETの他方は、相補
共通データ線IO20*〜IO31*の非反転及び反転
信号線に順次共通結合される。また、これらのスイッチ
MOSFETのゲートは各相補ビット線群ごとに8個ず
つ共通結合され、Yアドレスデコーダから対応するビッ
ト線選択信号YS0〜YSpが供給される。これによ
り、センスアンプSA1を構成するスイッチMOSFE
Tは、対応するビット線選択信号YS0〜YSpが択一
的にハイレベルとされることで8個ずつ選択的にオン状
態となり、メモリアレイARY2又はARY3の対応す
る4組の相補ビット線と相補共通データ線IO20*〜
IO31*とを選択的に接続状態とする。
3を構成するn+1組の相補ビット線B0*〜Bn*
は、図示されないシェアドMOSFETを介して、セン
スアンプSA1の対応するスイッチMOSFETの一方
に結合される。各スイッチMOSFETの他方は、相補
共通データ線IO20*〜IO31*の非反転及び反転
信号線に順次共通結合される。また、これらのスイッチ
MOSFETのゲートは各相補ビット線群ごとに8個ず
つ共通結合され、Yアドレスデコーダから対応するビッ
ト線選択信号YS0〜YSpが供給される。これによ
り、センスアンプSA1を構成するスイッチMOSFE
Tは、対応するビット線選択信号YS0〜YSpが択一
的にハイレベルとされることで8個ずつ選択的にオン状
態となり、メモリアレイARY2又はARY3の対応す
る4組の相補ビット線と相補共通データ線IO20*〜
IO31*とを選択的に接続状態とする。
【0015】相補共通データ線IO00*〜IO31*
は、対応するメインアンプMA00〜MA31の入力端
子に結合されるとともに、Nチャンネル型の書き込みM
OSFETを介して対応するデータ入力バッファDIB
0〜DIB3(入力回路)の出力端子に2組ずつそれぞ
れ共通結合される。上記書き込みMOSFETのゲート
は、2個ずつそれぞれ共通結合され、図示されないタイ
ミング発生回路TGから対応する書き込み制御信号DI
C00〜DIC31が供給される。一方、メインアンプ
MA00及びMA10ないしMA30及びMA31の出
力端子は、対応するデータ出力バッファDOB0〜DO
B3(出力回路)の入力端子に2個ずつそれぞれ共通結
合される。また、4個のメインアンプMA00〜MA3
0には、タイミング発生回路TGからメインアンプ選択
信号MS0が共通に供給され、残り4個のメインアンプ
MA01〜MA31には、メインアンプ選択信号MS1
が共通に供給される。データ入力バッファDIB0〜D
IB3の入力端子ならびにデータ出力バッファDOB0
〜DOB3の出力端子は、対応するデータ入出力端子D
Q0〜DQ3にそれぞれ共通結合される。
は、対応するメインアンプMA00〜MA31の入力端
子に結合されるとともに、Nチャンネル型の書き込みM
OSFETを介して対応するデータ入力バッファDIB
0〜DIB3(入力回路)の出力端子に2組ずつそれぞ
れ共通結合される。上記書き込みMOSFETのゲート
は、2個ずつそれぞれ共通結合され、図示されないタイ
ミング発生回路TGから対応する書き込み制御信号DI
C00〜DIC31が供給される。一方、メインアンプ
MA00及びMA10ないしMA30及びMA31の出
力端子は、対応するデータ出力バッファDOB0〜DO
B3(出力回路)の入力端子に2個ずつそれぞれ共通結
合される。また、4個のメインアンプMA00〜MA3
0には、タイミング発生回路TGからメインアンプ選択
信号MS0が共通に供給され、残り4個のメインアンプ
MA01〜MA31には、メインアンプ選択信号MS1
が共通に供給される。データ入力バッファDIB0〜D
IB3の入力端子ならびにデータ出力バッファDOB0
〜DOB3の出力端子は、対応するデータ入出力端子D
Q0〜DQ3にそれぞれ共通結合される。
【0016】ここで、書き込み制御信号DIC00〜D
IC31は、ダイナミック型RAMが通常の書き込みモ
ードとされるとき、対応する四つすなわち書き込み制御
信号DIC00〜DIC30あるいはDIC01〜DI
C31が選択的にかつ一斉にハイレベルとされる。その
結果、メモリアレイARY0〜ARY3の選択された合
計8個のメモリセルのうちの4個に対する書き込み動作
が一斉に実行される。一方、ダイナミック型RAMがラ
イトパービットモードとされるとき、書き込み制御信号
DIC00〜DIC31は、対応する書き込み制御信号
DIC00〜DIC30あるいはDIC01〜DIC3
1が所定のマスクデータに従って選択的にハイレベルと
される。その結果、選択された合計8個のメモリセルの
うちの4個に対する書き込み動作がさらにビット単位で
選択的に実行される。次に、メインアンプ選択信号MS
0及びMS1は、ダイナミック型RAMが通常の読み出
しモード又はライトパービットモードとされるとき、択
一的に形成される。その結果、4個のメインアンプMA
00〜MA30あるいはMA01〜MA31が選択的に
かつ一斉に動作状態とされ、選択された合計8個のメモ
リセルのうちの4個から出力された読み出し信号の増幅
動作が一斉に行われる。
IC31は、ダイナミック型RAMが通常の書き込みモ
ードとされるとき、対応する四つすなわち書き込み制御
信号DIC00〜DIC30あるいはDIC01〜DI
C31が選択的にかつ一斉にハイレベルとされる。その
結果、メモリアレイARY0〜ARY3の選択された合
計8個のメモリセルのうちの4個に対する書き込み動作
が一斉に実行される。一方、ダイナミック型RAMがラ
イトパービットモードとされるとき、書き込み制御信号
DIC00〜DIC31は、対応する書き込み制御信号
DIC00〜DIC30あるいはDIC01〜DIC3
1が所定のマスクデータに従って選択的にハイレベルと
される。その結果、選択された合計8個のメモリセルの
うちの4個に対する書き込み動作がさらにビット単位で
選択的に実行される。次に、メインアンプ選択信号MS
0及びMS1は、ダイナミック型RAMが通常の読み出
しモード又はライトパービットモードとされるとき、択
一的に形成される。その結果、4個のメインアンプMA
00〜MA30あるいはMA01〜MA31が選択的に
かつ一斉に動作状態とされ、選択された合計8個のメモ
リセルのうちの4個から出力された読み出し信号の増幅
動作が一斉に行われる。
【0017】つまり、この実施例のダイナミック型RA
Mでは、各センスアンプに対応して4組ずつ設けられる
相補共通データ線IO00*〜IO11*ならびにIO
20*〜IO31*は実質的に1組おきに接続状態とさ
れ、隣接する2組の相補共通データ線が同時に接続状態
となることはない。言い換えるならば、同時に接続状態
とされる2組の相補共通データ線の間には、接続状態と
されない他の相補共通データ線が配置され、これによっ
て同時に接続状態とされる2組の相補共通データ線が実
質的にシールドされる結果となる。
Mでは、各センスアンプに対応して4組ずつ設けられる
相補共通データ線IO00*〜IO11*ならびにIO
20*〜IO31*は実質的に1組おきに接続状態とさ
れ、隣接する2組の相補共通データ線が同時に接続状態
となることはない。言い換えるならば、同時に接続状態
とされる2組の相補共通データ線の間には、接続状態と
されない他の相補共通データ線が配置され、これによっ
て同時に接続状態とされる2組の相補共通データ線が実
質的にシールドされる結果となる。
【0018】周知のように、データ入力バッファDIB
0〜DIB3による記憶データの書き込み動作は、相補
共通データ線IO00*〜IO31*の非反転及び反転
信号線のレベルを選択的に回路の電源電圧のようなハイ
レベル又は回路の接地電位のようなロウレベルにフルス
ィングさせることによって実現される。また、選択され
たメモリセルから対応する相補ビット線B0*〜Bn*
に出力された読み出し信号は、センスアンプSA0又は
SA1の対応する単位増幅回路によって一旦ハイレベル
又はロウレベルにフルスィングされるが、相補ビット線
と相補共通データ線IO00*〜IO31*とが接続状
態とされた時点で、それぞれの寄生容量の比率に従って
チャージシェアされ、所定の中間レベルとなってメイン
アンプMA00〜MA31に伝達される。したがって、
相補共通データ線を介して伝達される読み出し信号は、
相補共通データ線上においてフルスィングされる書き込
み信号の影響を受けやすいものとなる。ところが、この
実施例では、同時に接続状態とされる相補共通データ線
が、接続状態とされない他の相補共通データ線をはさん
で配置される。このため、ライトパービットモードにお
いて記憶データの書き込み及び読み出し動作がビットご
とに選択的にかつ同時に行われる場合でも、書き込み動
作が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行わ
れる相補共通データ線に対して誘起されるカップリング
ノイズが抑制され、これによって読み出し動作が行われ
る相補共通データ線上の読み出し信号の誤反転を防止で
きる。その結果、ライトパービットモードを有しかつ多
ビット構成とされるダイナミック型RAMの誤動作を防
止し、その信頼性を高めることができる。
0〜DIB3による記憶データの書き込み動作は、相補
共通データ線IO00*〜IO31*の非反転及び反転
信号線のレベルを選択的に回路の電源電圧のようなハイ
レベル又は回路の接地電位のようなロウレベルにフルス
ィングさせることによって実現される。また、選択され
たメモリセルから対応する相補ビット線B0*〜Bn*
に出力された読み出し信号は、センスアンプSA0又は
SA1の対応する単位増幅回路によって一旦ハイレベル
又はロウレベルにフルスィングされるが、相補ビット線
と相補共通データ線IO00*〜IO31*とが接続状
態とされた時点で、それぞれの寄生容量の比率に従って
チャージシェアされ、所定の中間レベルとなってメイン
アンプMA00〜MA31に伝達される。したがって、
相補共通データ線を介して伝達される読み出し信号は、
相補共通データ線上においてフルスィングされる書き込
み信号の影響を受けやすいものとなる。ところが、この
実施例では、同時に接続状態とされる相補共通データ線
が、接続状態とされない他の相補共通データ線をはさん
で配置される。このため、ライトパービットモードにお
いて記憶データの書き込み及び読み出し動作がビットご
とに選択的にかつ同時に行われる場合でも、書き込み動
作が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行わ
れる相補共通データ線に対して誘起されるカップリング
ノイズが抑制され、これによって読み出し動作が行われ
る相補共通データ線上の読み出し信号の誤反転を防止で
きる。その結果、ライトパービットモードを有しかつ多
ビット構成とされるダイナミック型RAMの誤動作を防
止し、その信頼性を高めることができる。
【0019】図2には、この発明が適用されたダイナミ
ック型RAMの第2の実施例の部分的な回路ブロック図
が示されている。なお、以下の実施例は、前記図1の実
施例のダイナミック型RAMを基本的に踏襲するもので
あるため、これと異なる部分についてのみ説明を追加す
る。また、以下の回路ブロック図では、メモリアレイA
RY0及びARY1に対応する部分のみが部分的に示さ
れる。
ック型RAMの第2の実施例の部分的な回路ブロック図
が示されている。なお、以下の実施例は、前記図1の実
施例のダイナミック型RAMを基本的に踏襲するもので
あるため、これと異なる部分についてのみ説明を追加す
る。また、以下の回路ブロック図では、メモリアレイA
RY0及びARY1に対応する部分のみが部分的に示さ
れる。
【0020】図2において、メインアンプMA00〜M
A31は、例示されるように、隣接する2個のメインア
ンプMA00及びMA10ならびにMA01及びMA1
1等が同時に活性化され、これにともなって隣接する2
組の相補共通データ線IO00*及びIO10*ならび
にIO01*及びIO11*等が同時に接続状態とされ
る。したがって、この実施例のダイナミック型RAMで
は、各相補共通データ線の非反転と反転信号線ならびに
同時に接続状態とされることのない隣接相補共通データ
線が比較的短い距離d1をおいて配置されるが、同時に
活性化される2組の相補共通データ線IO00*及びI
O10*ならびにIO01*及びIO11*は、互いの
カップリングノイズが無視できる程度に小さくなるよう
な所定の距離d2をおいて配置される。このため、前記
図1の実施例と同様に、ライトパービットモードにおい
て記憶データの書き込み及び読み出し動作がビットごと
に選択的にかつ同時に行われる場合でも、書き込み動作
が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行われ
る相補共通データ線に対して誘起されるカップリングノ
イズが抑制され、これによって読み出し信号の誤反転を
防止できる。その結果、ライトパービットモードを有し
かつ多ビット構成とされるダイナミック型RAMの誤動
作を防止し、その信頼性を高めることができる。
A31は、例示されるように、隣接する2個のメインア
ンプMA00及びMA10ならびにMA01及びMA1
1等が同時に活性化され、これにともなって隣接する2
組の相補共通データ線IO00*及びIO10*ならび
にIO01*及びIO11*等が同時に接続状態とされ
る。したがって、この実施例のダイナミック型RAMで
は、各相補共通データ線の非反転と反転信号線ならびに
同時に接続状態とされることのない隣接相補共通データ
線が比較的短い距離d1をおいて配置されるが、同時に
活性化される2組の相補共通データ線IO00*及びI
O10*ならびにIO01*及びIO11*は、互いの
カップリングノイズが無視できる程度に小さくなるよう
な所定の距離d2をおいて配置される。このため、前記
図1の実施例と同様に、ライトパービットモードにおい
て記憶データの書き込み及び読み出し動作がビットごと
に選択的にかつ同時に行われる場合でも、書き込み動作
が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行われ
る相補共通データ線に対して誘起されるカップリングノ
イズが抑制され、これによって読み出し信号の誤反転を
防止できる。その結果、ライトパービットモードを有し
かつ多ビット構成とされるダイナミック型RAMの誤動
作を防止し、その信頼性を高めることができる。
【0021】図3には、この発明が適用されたダイナミ
ック型RAMの第3の実施例の部分的な回路ブロック図
が示されている。同図において、メインアンプMA00
〜MA31は、前記図2の実施例と同様に、隣接する2
個のメインアンプMA00及びMA10ならびにMA0
1及びMA11等が同時に活性化され、これにともなっ
て隣接する2組の相補共通データ線IO00*及びIO
10*ならびにIO01*及びIO11*等が同時に接
続状態とされる。したがって、この実施例のダイナミッ
ク型RAMでは、隣接する一方の相補共通データ線IO
00*及びIO01*等の非反転及び反転信号線が対応
するセンスアンプSA0の中間において互いに交差して
配置される。このため、ライトパービットモードにおい
て記憶データの書き込み及び読み出し動作がビットごと
に選択的にかつ同時に行われる場合でも、書き込み動作
が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行われ
る相補共通データ線に対して誘起されるカップリングノ
イズが互いに相殺され、これによって読み出し信号の誤
反転を防止することができる。その結果、ライトパービ
ットモードを有しかつ多ビット構成とされるダイナミッ
ク型RAMの誤動作を防止し、その信頼性を高めること
ができる。
ック型RAMの第3の実施例の部分的な回路ブロック図
が示されている。同図において、メインアンプMA00
〜MA31は、前記図2の実施例と同様に、隣接する2
個のメインアンプMA00及びMA10ならびにMA0
1及びMA11等が同時に活性化され、これにともなっ
て隣接する2組の相補共通データ線IO00*及びIO
10*ならびにIO01*及びIO11*等が同時に接
続状態とされる。したがって、この実施例のダイナミッ
ク型RAMでは、隣接する一方の相補共通データ線IO
00*及びIO01*等の非反転及び反転信号線が対応
するセンスアンプSA0の中間において互いに交差して
配置される。このため、ライトパービットモードにおい
て記憶データの書き込み及び読み出し動作がビットごと
に選択的にかつ同時に行われる場合でも、書き込み動作
が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行われ
る相補共通データ線に対して誘起されるカップリングノ
イズが互いに相殺され、これによって読み出し信号の誤
反転を防止することができる。その結果、ライトパービ
ットモードを有しかつ多ビット構成とされるダイナミッ
ク型RAMの誤動作を防止し、その信頼性を高めること
ができる。
【0022】図4には、この発明が適用されたダイナミ
ック型RAMの第4の実施例の部分的な回路ブロック図
が示されている。この実施例は、前記図3の実施例の変
形例であって、その非反転及び反転信号線が交差される
相補共通データ線IO10*及びIO11*は、他の相
補共通データ線IO00*及びIO10の非反転及び反
転信号線の中間に配置される。言い換えるならば、同時
に接続状態とされる2組の相補共通データ線の非反転及
び反転信号線は、実質的に同一の距離をおいて配置され
る。このため、ライトパービットモードにおいて、書き
込み動作が行われる相補共通データ線から読み出し動作
が行われる相補共通データ線に対して誘起されるカップ
リングノイズは、読み出し動作が行われる相補共通デー
タ線の非反転及び反転信号線において同量となり、その
相殺効果が一段と大きくなる。その結果、ライトパービ
ットモードを有しかつ多ビット構成とされるダイナミッ
ク型RAMの信頼性がさらに高められる。
ック型RAMの第4の実施例の部分的な回路ブロック図
が示されている。この実施例は、前記図3の実施例の変
形例であって、その非反転及び反転信号線が交差される
相補共通データ線IO10*及びIO11*は、他の相
補共通データ線IO00*及びIO10の非反転及び反
転信号線の中間に配置される。言い換えるならば、同時
に接続状態とされる2組の相補共通データ線の非反転及
び反転信号線は、実質的に同一の距離をおいて配置され
る。このため、ライトパービットモードにおいて、書き
込み動作が行われる相補共通データ線から読み出し動作
が行われる相補共通データ線に対して誘起されるカップ
リングノイズは、読み出し動作が行われる相補共通デー
タ線の非反転及び反転信号線において同量となり、その
相殺効果が一段と大きくなる。その結果、ライトパービ
ットモードを有しかつ多ビット構成とされるダイナミッ
ク型RAMの信頼性がさらに高められる。
【0023】以上の本実施例に示されるように、この発
明をライトパービットモードを有しかつ多ビット構成と
されるダイナミック型RAM等の半導体記憶装置に適用
することで、次のような作用効果が得られる。すなわ
ち、 (1)ライトパービットモードを有しかつ多ビット構成
とされるダイナミック型RAM等において、同時に接続
状態とされる相補共通データ線の間に接続状態とされな
い他の相補共通データ線を配置することで、ライトパー
ビットモードにおいて書き込み動作が行われる相補共通
データ線から読み出し動作が行われる相補共通データ線
に対して誘起されるカップリングノイズを抑制すること
ができるという効果が得られる。 (2)ライトパービットモードを有しかつ多ビット構成
とされるダイナミック型RAM等において、同時に接続
状態とされる相補共通データ線を互いのカップリングノ
イズが無視できる程度に距離をおいて配置することで、
ライトパービットモードにおいて書き込み動作が行われ
る相補共通データ線から読み出し動作が行われる相補共
通データ線に対して誘起されるカップリングノイズを抑
制することができるという効果が得られる。
明をライトパービットモードを有しかつ多ビット構成と
されるダイナミック型RAM等の半導体記憶装置に適用
することで、次のような作用効果が得られる。すなわ
ち、 (1)ライトパービットモードを有しかつ多ビット構成
とされるダイナミック型RAM等において、同時に接続
状態とされる相補共通データ線の間に接続状態とされな
い他の相補共通データ線を配置することで、ライトパー
ビットモードにおいて書き込み動作が行われる相補共通
データ線から読み出し動作が行われる相補共通データ線
に対して誘起されるカップリングノイズを抑制すること
ができるという効果が得られる。 (2)ライトパービットモードを有しかつ多ビット構成
とされるダイナミック型RAM等において、同時に接続
状態とされる相補共通データ線を互いのカップリングノ
イズが無視できる程度に距離をおいて配置することで、
ライトパービットモードにおいて書き込み動作が行われ
る相補共通データ線から読み出し動作が行われる相補共
通データ線に対して誘起されるカップリングノイズを抑
制することができるという効果が得られる。
【0024】(3)ライトパービットモードを有しかつ
多ビット構成とされるダイナミック型RAM等におい
て、同時に接続状態とされる相補共通データ線の非反転
及び反転信号線をそのカップリングノイズが相殺される
べく互いに交差して配置することで、ライトパービット
モードにおいて書き込み動作が行われる相補共通データ
線から読み出し動作が行われる相補共通データ線に対し
て誘起されるカップリングノイズを相殺し、抑制できる
という効果が得られる。 (4)上記(1)項〜(3)項により、ライトパービッ
トモードにおいて読み出し動作が行われる相補共通デー
タ線上の読み出し信号の誤反転を防止することができる
という効果が得られる。 (5)上記(1)項〜(4)項により、ライトパービッ
トモードを有しかつ多ビット構成とされるダイナミック
型RAM等の誤動作を防止し、その信頼性を高めること
ができるという効果が得られる。
多ビット構成とされるダイナミック型RAM等におい
て、同時に接続状態とされる相補共通データ線の非反転
及び反転信号線をそのカップリングノイズが相殺される
べく互いに交差して配置することで、ライトパービット
モードにおいて書き込み動作が行われる相補共通データ
線から読み出し動作が行われる相補共通データ線に対し
て誘起されるカップリングノイズを相殺し、抑制できる
という効果が得られる。 (4)上記(1)項〜(3)項により、ライトパービッ
トモードにおいて読み出し動作が行われる相補共通デー
タ線上の読み出し信号の誤反転を防止することができる
という効果が得られる。 (5)上記(1)項〜(4)項により、ライトパービッ
トモードを有しかつ多ビット構成とされるダイナミック
型RAM等の誤動作を防止し、その信頼性を高めること
ができるという効果が得られる。
【0025】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1では、隣接する相補共通データ線が同時に接続
状態とされることを禁止し、等価的に同時に接続状態と
される相補共通データ線の間に接続状態とされない他の
相補共通データ線を配置しているが、同時に接続状態と
される相補共通データ線の間に、例えば電源電圧供給線
や接地電位供給線を配置しても同様な効果が得られる。
また、図3及び図4において、相補共通データ線の非反
転及び反転信号線が交差される回数は複数であってもよ
いし、交差される位置もこの実施例による制約を受けな
い。さらに、図1ないし図4において、ダイナミック型
RAMを構成するメモリアレイの数や各センスアンプに
対応して設けられる相補共通データ線の数ならびにダイ
ナミック型RAMの具体的構成は、種々の実施形態を採
りうる。ダイナミック型RAMは、例えばニブルモード
やその他の動作モードにおいて、同様なライトパービッ
ト機能を有することもできる。
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1では、隣接する相補共通データ線が同時に接続
状態とされることを禁止し、等価的に同時に接続状態と
される相補共通データ線の間に接続状態とされない他の
相補共通データ線を配置しているが、同時に接続状態と
される相補共通データ線の間に、例えば電源電圧供給線
や接地電位供給線を配置しても同様な効果が得られる。
また、図3及び図4において、相補共通データ線の非反
転及び反転信号線が交差される回数は複数であってもよ
いし、交差される位置もこの実施例による制約を受けな
い。さらに、図1ないし図4において、ダイナミック型
RAMを構成するメモリアレイの数や各センスアンプに
対応して設けられる相補共通データ線の数ならびにダイ
ナミック型RAMの具体的構成は、種々の実施形態を採
りうる。ダイナミック型RAMは、例えばニブルモード
やその他の動作モードにおいて、同様なライトパービッ
ト機能を有することもできる。
【0026】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるダイ
ナミック型RAMに適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、例えば、同様に複数の
相補共通データ線を備えるスタティック型RAMやこれ
らのメモリを内蔵するゲートアレイ集積回路等にも適用
できる。この発明は、少なくともライトパービットモー
ドを有しかつ多ビット構成とされる半導体記憶装置なら
びにこのような半導体記憶装置を内蔵するディジタル集
積回路装置に広く適用できる。
てなされた発明をその背景となった利用分野であるダイ
ナミック型RAMに適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、例えば、同様に複数の
相補共通データ線を備えるスタティック型RAMやこれ
らのメモリを内蔵するゲートアレイ集積回路等にも適用
できる。この発明は、少なくともライトパービットモー
ドを有しかつ多ビット構成とされる半導体記憶装置なら
びにこのような半導体記憶装置を内蔵するディジタル集
積回路装置に広く適用できる。
【0027】
【発明の効果】ライトパービットモードを有しかつ多ビ
ット構成とされるダイナミック型RAM等において、同
時に接続状態とされる相補共通データ線の間に接続状態
とされない他の相補共通データ線又はその他の信号線を
配置し、あるいは同時に接続状態とされる相補共通デー
タ線を互いのカップリングノイズが無視できる程度に距
離をおいて配置し、もしくは同時に接続状態とされる相
補共通データ線の非反転及び反転信号線をそのカップリ
ングノイズが相殺されるべく互いに交差して配置するこ
とで、ライトパービットモードによる選択的な書き込み
動作が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行
われる相補共通データ線に誘起されるカップリングノイ
ズを抑制し、読み出し信号の誤反転を防止できる。その
結果、ライトパービットモードを有しかつ多ビット構成
とされるダイナミック型RAM等の誤動作を防止し、そ
の信頼性を高めることができる。
ット構成とされるダイナミック型RAM等において、同
時に接続状態とされる相補共通データ線の間に接続状態
とされない他の相補共通データ線又はその他の信号線を
配置し、あるいは同時に接続状態とされる相補共通デー
タ線を互いのカップリングノイズが無視できる程度に距
離をおいて配置し、もしくは同時に接続状態とされる相
補共通データ線の非反転及び反転信号線をそのカップリ
ングノイズが相殺されるべく互いに交差して配置するこ
とで、ライトパービットモードによる選択的な書き込み
動作が行われる相補共通データ線から読み出し動作が行
われる相補共通データ線に誘起されるカップリングノイ
ズを抑制し、読み出し信号の誤反転を防止できる。その
結果、ライトパービットモードを有しかつ多ビット構成
とされるダイナミック型RAM等の誤動作を防止し、そ
の信頼性を高めることができる。
【図1】この発明が適用されたダイナミック型RAMの
第1の実施例を示す部分的な回路ブロック図である。
第1の実施例を示す部分的な回路ブロック図である。
【図2】この発明が適用されたダイナミック型RAMの
第2の実施例を示す部分的な回路ブロック図である。
第2の実施例を示す部分的な回路ブロック図である。
【図3】この発明が適用されたダイナミック型RAMの
第3の実施例を示す部分的な回路ブロック図である。
第3の実施例を示す部分的な回路ブロック図である。
【図4】この発明が適用されたダイナミック型RAMの
第4の実施例を示す部分的な回路ブロック図である。
第4の実施例を示す部分的な回路ブロック図である。
【図5】この発明に先立って本願発明者等が開発したダ
イナミック型RAMの一例を示す部分的な回路ブロック
図である。
イナミック型RAMの一例を示す部分的な回路ブロック
図である。
B0*〜Bn*・・・相補ビット線、ARY0〜ARY
3・・・メモリアレイ、SA0〜SA1・・・センスア
ンプ、IO00*〜IO31*・・・相補共通データ
線、DIB0〜DIB3・・・データ入力バッファ、M
A00〜MA31・・・メインアンプ、DOB0〜DO
B3・・・データ出力バッファ。
3・・・メモリアレイ、SA0〜SA1・・・センスア
ンプ、IO00*〜IO31*・・・相補共通データ
線、DIB0〜DIB3・・・データ入力バッファ、M
A00〜MA31・・・メインアンプ、DOB0〜DO
B3・・・データ出力バッファ。
Claims (3)
- 【請求項1】 1個のメモリアレイから少なくとも2組
の相補ビット線を同時に選択し入力回路及び出力回路に
接続する少なくとも4組の相補共通データ線を備え、か
つ同時に接続状態とされる相補共通データ線のいずれか
を介して記憶データの書き込み動作を行うとともに他の
いずれかを介して記憶データの読み出し動作を行う機能
を有するものであって、同時に接続状態とされる相補共
通データ線の間に接続状態とされない他の相補共通デー
タ線あるいはその他の信号線が配置されることを特徴と
する半導体記憶装置。 - 【請求項2】 1個のメモリアレイから少なくとも2組
の相補ビット線を同時に選択し入力回路及び出力回路に
接続する少なくとも4組の相補共通データ線を備え、か
つ同時に接続状態とされる相補共通データ線のいずれか
を介して記憶データの書き込み動作を行うとともに他の
いずれかを介して記憶データの読み出し動作を行う機能
を有するものであって、同時に接続状態とされる相補共
通データ線が互いのカップリングノイズを無視できる程
度に距離をおいて配置されることを特徴とする半導体記
憶装置。 - 【請求項3】 1個のメモリアレイから少なくとも2組
の相補ビット線を同時に選択し入力回路及び出力回路に
接続する少なくとも4組の相補共通データ線を備え、か
つ同時に接続状態とされる相補共通データ線のいずれか
を介して記憶データの書き込み動作を行うと同時に他の
いずれかを介して記憶データの読み出し動作を行う機能
を有するものであって、同時に接続状態とされる相補共
通データ線の非反転及び反転信号線がそのカップリング
ノイズを相殺すべく互いに交差して配置されることを特
徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3328552A JPH05167030A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3328552A JPH05167030A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 半導体記憶装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05167030A true JPH05167030A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18211556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3328552A Pending JPH05167030A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 半導体記憶装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05167030A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5973953A (en) * | 1997-09-18 | 1999-10-26 | Mitsubishi Electric System Lsi Design Corporation | Semiconductor memory device having improved bit line structure |
| US6157588A (en) * | 1998-07-29 | 2000-12-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device having hierarchical word line structure |
-
1991
- 1991-12-12 JP JP3328552A patent/JPH05167030A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5973953A (en) * | 1997-09-18 | 1999-10-26 | Mitsubishi Electric System Lsi Design Corporation | Semiconductor memory device having improved bit line structure |
| US6157588A (en) * | 1998-07-29 | 2000-12-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device having hierarchical word line structure |
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