JPH05172145A - 超電導磁気軸受装置 - Google Patents
超電導磁気軸受装置Info
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- JPH05172145A JPH05172145A JP34530391A JP34530391A JPH05172145A JP H05172145 A JPH05172145 A JP H05172145A JP 34530391 A JP34530391 A JP 34530391A JP 34530391 A JP34530391 A JP 34530391A JP H05172145 A JPH05172145 A JP H05172145A
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 71
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 9
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0436—Passive magnetic bearings with a conductor on one part movable with respect to a magnetic field, e.g. a body of copper on one part and a permanent magnet on the other part
- F16C32/0438—Passive magnetic bearings with a conductor on one part movable with respect to a magnetic field, e.g. a body of copper on one part and a permanent magnet on the other part with a superconducting body, e.g. a body made of high temperature superconducting material such as YBaCuO
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は1個の永久磁石で回転軸のラジア
ル方向およびスラスト方向を支持できるような超電導磁
気軸受装置を提供することを主要な特徴とする。 【構成】 ハウジング11内の上下に、その内周面がテ
ーパ状となるように形成された超電導材12,13を配
置し、回転軸14には超電導材12,13のテーパ面と
対向するように、その外周面がテーパ状に形成された永
久磁石15,16を配置し、回転軸14の下端面に対向
して下部芯出し治具71を設ける。
ル方向およびスラスト方向を支持できるような超電導磁
気軸受装置を提供することを主要な特徴とする。 【構成】 ハウジング11内の上下に、その内周面がテ
ーパ状となるように形成された超電導材12,13を配
置し、回転軸14には超電導材12,13のテーパ面と
対向するように、その外周面がテーパ状に形成された永
久磁石15,16を配置し、回転軸14の下端面に対向
して下部芯出し治具71を設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は超電導磁気軸受装置に
関し、特に、超電導材と永久磁石とを対向させて回転軸
を軸支するような超電導磁気軸受装置に関する。
関し、特に、超電導材と永久磁石とを対向させて回転軸
を軸支するような超電導磁気軸受装置に関する。
【0002】
【従来の技術】最近では、超電導材と永久磁石とを対向
させて磁気浮上させる磁気浮上機構を用いた超電導磁気
軸受装置が開発されつつある。超電導材はマイスナー効
果とピン止め効果を有している。マイスナー効果は超電
導材が示す完全反磁性のことを称し、超電導材は外部磁
界の侵入を妨げる性質があるため、N,S極を問わず磁
界が反発する。ピン止め効果は超電導材内に侵入してき
た磁束を動かないように固定する力をいう。
させて磁気浮上させる磁気浮上機構を用いた超電導磁気
軸受装置が開発されつつある。超電導材はマイスナー効
果とピン止め効果を有している。マイスナー効果は超電
導材が示す完全反磁性のことを称し、超電導材は外部磁
界の侵入を妨げる性質があるため、N,S極を問わず磁
界が反発する。ピン止め効果は超電導材内に侵入してき
た磁束を動かないように固定する力をいう。
【0003】図4はマイスナー効果およびピン止め効果
により構成される従来の超電導磁気軸受装置の断面図で
ある。図4を参照して、ハウジング1には上部超電導材
2と下部超電導材3とが配置され、回転軸4の外周部に
はラジアル方向を支承するために、軸方向に直交するよ
うに上部超電導材2に対向して上部ラジアル永久磁石5
と、下部超電導材3に対向するように下部ラジアル永久
磁石6とが設けられる。さらに、回転軸1のフランジ面
には回転軸1のスラスト方向を支承するために、上部超
電導材2に対して軸方向に対向するように上部スラスト
永久磁石7が設けられ、下部超電導材3に対して軸方向
に対向するように下部スラスト永久磁石8が設けられ
る。さらに、回転軸1の上部には、上部芯出し機構9が
設けられ、下部には下部芯出し機構10が設けられてい
る。
により構成される従来の超電導磁気軸受装置の断面図で
ある。図4を参照して、ハウジング1には上部超電導材
2と下部超電導材3とが配置され、回転軸4の外周部に
はラジアル方向を支承するために、軸方向に直交するよ
うに上部超電導材2に対向して上部ラジアル永久磁石5
と、下部超電導材3に対向するように下部ラジアル永久
磁石6とが設けられる。さらに、回転軸1のフランジ面
には回転軸1のスラスト方向を支承するために、上部超
電導材2に対して軸方向に対向するように上部スラスト
永久磁石7が設けられ、下部超電導材3に対して軸方向
に対向するように下部スラスト永久磁石8が設けられ
る。さらに、回転軸1の上部には、上部芯出し機構9が
設けられ、下部には下部芯出し機構10が設けられてい
る。
【0004】上述の上部超電導材2と下部超電導材3の
ピン止め効果を利用するために、上部超電導材2と下部
超電導材3とを冷却する前に回転軸1を予めその回転中
心に保持しながら、下部芯出し機構10を上部に移動さ
せ、回転軸1に設けられている上部スラスト永久磁石7
を上部超電導材2に接近させた状態で、この上部超電導
材2を臨界温度以下にし、上部スラスト永久磁石7から
の磁束をピン止めする。その後、下部芯出し機構10を
再び下方に移動させ、下部超電導材3を臨界温度以下に
冷却することにより、回転軸4は上部超電導材2と下部
超電導材3のマイスナー効果およびピン止め効果により
非接触支持される。
ピン止め効果を利用するために、上部超電導材2と下部
超電導材3とを冷却する前に回転軸1を予めその回転中
心に保持しながら、下部芯出し機構10を上部に移動さ
せ、回転軸1に設けられている上部スラスト永久磁石7
を上部超電導材2に接近させた状態で、この上部超電導
材2を臨界温度以下にし、上部スラスト永久磁石7から
の磁束をピン止めする。その後、下部芯出し機構10を
再び下方に移動させ、下部超電導材3を臨界温度以下に
冷却することにより、回転軸4は上部超電導材2と下部
超電導材3のマイスナー効果およびピン止め効果により
非接触支持される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図4に示し
た従来の超電導磁気軸受装置では、ピン止め効果を期待
できるのは、上部スラスト永久磁石7と下部スラスト永
久磁石8からの磁束だけであり、上部ラジアル永久磁石
5と下部ラジアル永久磁石6からの磁束に対しては、積
極的なピン止めができず、上部超電導材2と下部超電導
材3のピン止め効果を有効に活用できないという欠点が
あった。
た従来の超電導磁気軸受装置では、ピン止め効果を期待
できるのは、上部スラスト永久磁石7と下部スラスト永
久磁石8からの磁束だけであり、上部ラジアル永久磁石
5と下部ラジアル永久磁石6からの磁束に対しては、積
極的なピン止めができず、上部超電導材2と下部超電導
材3のピン止め効果を有効に活用できないという欠点が
あった。
【0006】それゆえに、この発明の主たる目的は、1
個の永久磁石によって回転軸のラジアル方向およびスラ
スト方向を支持できるような超電導磁気軸受装置を提供
することである。
個の永久磁石によって回転軸のラジアル方向およびスラ
スト方向を支持できるような超電導磁気軸受装置を提供
することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
超電導材と永久磁石とを対向させて回転軸を軸支する超
電導磁気軸受装置であって、超電導材および永久磁石の
それぞれの対向面を同一テーパ角またはほぼ同一テーパ
角に近い角度を有する円錐形状に構成される。
超電導材と永久磁石とを対向させて回転軸を軸支する超
電導磁気軸受装置であって、超電導材および永久磁石の
それぞれの対向面を同一テーパ角またはほぼ同一テーパ
角に近い角度を有する円錐形状に構成される。
【0008】請求項2に係る発明は、さらに超電導材を
臨界温度以下に冷却する前に回転体を回転軸の軸方向に
移動させるための芯出し機構を設けて構成される。
臨界温度以下に冷却する前に回転体を回転軸の軸方向に
移動させるための芯出し機構を設けて構成される。
【0009】請求項3に係る発明は、さらに回転軸方向
に2分割され、それぞれに超電導材または永久磁石が取
付けられ、回転軸方向に移動できるようにしたハウジン
グ部材を含んで構成される。
に2分割され、それぞれに超電導材または永久磁石が取
付けられ、回転軸方向に移動できるようにしたハウジン
グ部材を含んで構成される。
【0010】請求項4に係る発明は、超電導材と永久磁
石とを対向させて回転軸を軸支する超電導磁気軸受装置
であって、超電導材および永久磁石の対向面のいずれか
一方が円錐形状に形成され、その他方が板材で角錐形状
に形成される。
石とを対向させて回転軸を軸支する超電導磁気軸受装置
であって、超電導材および永久磁石の対向面のいずれか
一方が円錐形状に形成され、その他方が板材で角錐形状
に形成される。
【0011】
【作用】この発明に係る超電導磁気軸受装置は、超電導
材および永久磁石のそれぞれの対向面が同一テーパ角ま
たはほぼ同一テーパ角に近い角度を有する円錐形状に形
成するかあるいはいずれか一方を円錐形状に形成し、他
方を角錐形状に形成することによって、1個の永久磁石
によって回転軸のラジアル方向およびスラスト方向を支
持できる。
材および永久磁石のそれぞれの対向面が同一テーパ角ま
たはほぼ同一テーパ角に近い角度を有する円錐形状に形
成するかあるいはいずれか一方を円錐形状に形成し、他
方を角錐形状に形成することによって、1個の永久磁石
によって回転軸のラジアル方向およびスラスト方向を支
持できる。
【0012】
【実施例】図1はこの発明の一実施例の断面図である。
図1を参照して、ハウジング11内の上下には、その内
周面がテーパ状となるように形成された超電導材12,
13が配置される。回転軸14には超電導材12,13
のテーパ面と対向するように、その外周面がテーパ状に
形成された永久磁石15,16が配置される。ハウジン
グ11の下部には、回転軸14の下端面に対向して下部
芯出し治具17が設けられている。
図1を参照して、ハウジング11内の上下には、その内
周面がテーパ状となるように形成された超電導材12,
13が配置される。回転軸14には超電導材12,13
のテーパ面と対向するように、その外周面がテーパ状に
形成された永久磁石15,16が配置される。ハウジン
グ11の下部には、回転軸14の下端面に対向して下部
芯出し治具17が設けられている。
【0013】図1に示した超電導磁気軸受装置におい
て、回転前の下部芯出し治具17によって回転軸14を
上部に押し上げることにより、同一のテーパ形状を有す
る超電導材12と永久磁石15とがその回転体の持つ回
転軸14を中心に保持されかつ接触する。この状態で超
電導材12を臨界温度以下に冷却することにより、超電
導材12に永久磁石15からの磁束をピン止めする。そ
の後、下部芯出し治具17を再び下方に移動させ、その
後超電導材13を臨界温度以下まで冷却することによ
り、回転軸14は完全に超電導材13のマイスナー効果
およびピン止め効果により非接触にて支持される。この
ように、超電導材12,13と、それぞれに対向する永
久磁石15,16を同一テーパ角を有する円錐形状とす
ることにより、使用する超電導材12全体に永久磁石1
5からの磁束をピン止めすることができ、超電導材1
2,13の持つピン止め効果を一層引出すことができる
とともに、回転軸14をその回転軸に予め固定するため
の構造も簡単化できる。
て、回転前の下部芯出し治具17によって回転軸14を
上部に押し上げることにより、同一のテーパ形状を有す
る超電導材12と永久磁石15とがその回転体の持つ回
転軸14を中心に保持されかつ接触する。この状態で超
電導材12を臨界温度以下に冷却することにより、超電
導材12に永久磁石15からの磁束をピン止めする。そ
の後、下部芯出し治具17を再び下方に移動させ、その
後超電導材13を臨界温度以下まで冷却することによ
り、回転軸14は完全に超電導材13のマイスナー効果
およびピン止め効果により非接触にて支持される。この
ように、超電導材12,13と、それぞれに対向する永
久磁石15,16を同一テーパ角を有する円錐形状とす
ることにより、使用する超電導材12全体に永久磁石1
5からの磁束をピン止めすることができ、超電導材1
2,13の持つピン止め効果を一層引出すことができる
とともに、回転軸14をその回転軸に予め固定するため
の構造も簡単化できる。
【0014】図2はこの発明の他の実施例の断面図であ
る。図2を参照して、ハウジングは上下に分割され、上
部ハウジング21と下部ハウジング22とを含み、これ
らの上部ハウジング21と下部ハウジング22は芯出し
用ガイド23によって連結されている。そして、下部ハ
ウジング22は上部ハウジング21と同軸を保ちながら
上下に移動でき、任意の位置でねじ24によって芯出し
用ガイド23に固定できる。上部ハウジング21には、
その内周面がテーパ状となるように形成された超電導材
25が固定され、下部ハウジング22には、その内周面
がテーパ状となるように形成された超電導材26が固定
される。回転軸27の上部には超電導材25に対向する
ように永久磁石28が設けられ、永久磁石28の外周面
は超電導材25と同一のテーパ形状を有するように形成
される。回転軸27の下部には永久磁石29が設けら
れ、この永久磁石29の外周面は超電導材26と同一の
テーパ形状を有するように形成される。
る。図2を参照して、ハウジングは上下に分割され、上
部ハウジング21と下部ハウジング22とを含み、これ
らの上部ハウジング21と下部ハウジング22は芯出し
用ガイド23によって連結されている。そして、下部ハ
ウジング22は上部ハウジング21と同軸を保ちながら
上下に移動でき、任意の位置でねじ24によって芯出し
用ガイド23に固定できる。上部ハウジング21には、
その内周面がテーパ状となるように形成された超電導材
25が固定され、下部ハウジング22には、その内周面
がテーパ状となるように形成された超電導材26が固定
される。回転軸27の上部には超電導材25に対向する
ように永久磁石28が設けられ、永久磁石28の外周面
は超電導材25と同一のテーパ形状を有するように形成
される。回転軸27の下部には永久磁石29が設けら
れ、この永久磁石29の外周面は超電導材26と同一の
テーパ形状を有するように形成される。
【0015】図2に示すように、下部ハウジング22を
上部ハウジング21に対して上下方向に移動させること
ができることにより、超電導材25と永久磁石28およ
び超電導材26と永久磁石29のそれぞれの隙間を自由
に設定できる。そして、超電導材25,26を冷却する
前に、下部ハウジング22を上部ハウジング21に対し
て移動させ、上下各対となる超電導材25,26と永久
磁石28,29を近接もしくは接触させる。その後超電
導材25,26を臨界温度以下に冷却することにより、
超電導材25,26全体に、それぞれに対向する永久磁
石28,29からの磁束をピン止めする。磁束をピン止
めした後、再び上部ハウジング21と下部ハウジング2
2とを移動させ、超電導材25と永久磁石28および超
電導材26と永久磁石29のそれぞれを適切な隙間に設
定し、ねじ24によって下部ハウジング22を芯出し用
ガイド23に固定し、図示しないモータによって回転軸
27を安定して回転させることができる。この図2に示
した実施例では、超電導材25,26を一度の操作によ
り磁束のピン止めを実施でき、ピン止め効果により回転
軸27は安定した回転性能を得ることができる。
上部ハウジング21に対して上下方向に移動させること
ができることにより、超電導材25と永久磁石28およ
び超電導材26と永久磁石29のそれぞれの隙間を自由
に設定できる。そして、超電導材25,26を冷却する
前に、下部ハウジング22を上部ハウジング21に対し
て移動させ、上下各対となる超電導材25,26と永久
磁石28,29を近接もしくは接触させる。その後超電
導材25,26を臨界温度以下に冷却することにより、
超電導材25,26全体に、それぞれに対向する永久磁
石28,29からの磁束をピン止めする。磁束をピン止
めした後、再び上部ハウジング21と下部ハウジング2
2とを移動させ、超電導材25と永久磁石28および超
電導材26と永久磁石29のそれぞれを適切な隙間に設
定し、ねじ24によって下部ハウジング22を芯出し用
ガイド23に固定し、図示しないモータによって回転軸
27を安定して回転させることができる。この図2に示
した実施例では、超電導材25,26を一度の操作によ
り磁束のピン止めを実施でき、ピン止め効果により回転
軸27は安定した回転性能を得ることができる。
【0016】図3はこの発明のさらに他の実施例の要部
を示す図である。前述の図1に示した実施例では、ハウ
ジング11に設けた超電導材12,13の内周面と回転
軸14に設けた永久磁石15,16の外周面を、同一テ
ーパ角を有するように円錐形状としたが、図3に示した
実施例では、板状の超電導材18を使用し、この超電導
材18を永久磁石15のテーパ角に近接させ、角錐を形
取って配置したものである。
を示す図である。前述の図1に示した実施例では、ハウ
ジング11に設けた超電導材12,13の内周面と回転
軸14に設けた永久磁石15,16の外周面を、同一テ
ーパ角を有するように円錐形状としたが、図3に示した
実施例では、板状の超電導材18を使用し、この超電導
材18を永久磁石15のテーパ角に近接させ、角錐を形
取って配置したものである。
【0017】なお、図1〜図3に示した実施例では、ハ
ウジング側に超電導材を設け、回転軸側に永久磁石を設
けるようにしたが、逆にハウジング側に永久磁石を設
け、回転軸側に超電導材を設けるようにしてもよい。図
3に示した例の場合には、ハウジング11に設けられる
永久磁石として板状の永久磁石を用いればよい。
ウジング側に超電導材を設け、回転軸側に永久磁石を設
けるようにしたが、逆にハウジング側に永久磁石を設
け、回転軸側に超電導材を設けるようにしてもよい。図
3に示した例の場合には、ハウジング11に設けられる
永久磁石として板状の永久磁石を用いればよい。
【0018】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、超電
導材および永久磁石のそれぞれの対向面が同一テーパ角
またはほぼ同一テーパ角に近い角度を有する円錐形状あ
るいは超電導材および永久磁石の対向面のいずれか一方
を円錐形状に形成し、他方を板材で角錐形状に形成する
ようにしたので、1個の永久磁石によって回転軸のラジ
アル方向およびスラスト方向を支持することができる。
導材および永久磁石のそれぞれの対向面が同一テーパ角
またはほぼ同一テーパ角に近い角度を有する円錐形状あ
るいは超電導材および永久磁石の対向面のいずれか一方
を円錐形状に形成し、他方を板材で角錐形状に形成する
ようにしたので、1個の永久磁石によって回転軸のラジ
アル方向およびスラスト方向を支持することができる。
【図1】この発明の一実施例の断面図である。
【図2】この発明の他の実施例の断面図である。
【図3】この発明のさらに他の実施例の要部を示す図で
ある。
ある。
【図4】従来の超電導磁気軸受装置の断面図である。
11 ハウジング 12,13,25,26 超電導材 14,27 回転軸 15,16,28,29 永久磁石 17 下部芯出し機構 21 上部ハウジング 22 下部ハウジング 23 芯出し用ガイド 24 ねじ
Claims (4)
- 【請求項1】 超電導材と永久磁石とを対向させて回転
軸を軸支する超電導磁気軸受装置において、 前記超電導体および前記永久磁石のそれぞれの対向面が
同一テーパ角またはほぼ同一テーパ角に近い角度を有す
る円錐形状に形成されることを特徴とする、超電導磁気
軸受装置。 - 【請求項2】 さらに、前記超電導材を臨界温度以下に
冷却する前に回転体を前記回転軸の軸方向に移動させる
ための芯出し機構を含む、請求項1の超電導軸受装置。 - 【請求項3】 さらに、前記回転軸方向に2分割され、
それぞれに超電導材または前記永久磁石が取付けられ、
前記回転軸方向に移動できるようにしたハウジング部材
を含む、請求項1の超電導磁気軸受装置。 - 【請求項4】 超電導材と永久磁石とを対向させて回転
軸を軸支する超電導磁気軸受装置において、 前記超電導材および前記永久磁石の対向面のいずれか一
方が円錐形状に形成され、その他方が板材で角錐形状に
形成されることを特徴とする、超電導磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34530391A JPH05172145A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 超電導磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34530391A JPH05172145A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 超電導磁気軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172145A true JPH05172145A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18375683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34530391A Withdrawn JPH05172145A (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 超電導磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172145A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5747426A (en) * | 1995-06-07 | 1998-05-05 | Commonwealth Research Corporation | High performance magnetic bearing systems using high temperature superconductors |
| CN101825140A (zh) * | 2010-05-21 | 2010-09-08 | 江苏大学 | 一种永磁悬浮轴承 |
| WO2018218446A1 (zh) * | 2017-05-27 | 2018-12-06 | 深圳智慧能源技术有限公司 | 永磁式磁悬浮轴承 |
| JP2023549227A (ja) * | 2020-12-01 | 2023-11-22 | イングアン セミコンダクター テクノロジー カンパニー,リミテッド | 磁気浮上式重力補償装置及び該装置を含む移動ステージ |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP34530391A patent/JPH05172145A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5747426A (en) * | 1995-06-07 | 1998-05-05 | Commonwealth Research Corporation | High performance magnetic bearing systems using high temperature superconductors |
| CN101825140A (zh) * | 2010-05-21 | 2010-09-08 | 江苏大学 | 一种永磁悬浮轴承 |
| WO2018218446A1 (zh) * | 2017-05-27 | 2018-12-06 | 深圳智慧能源技术有限公司 | 永磁式磁悬浮轴承 |
| JP2023549227A (ja) * | 2020-12-01 | 2023-11-22 | イングアン セミコンダクター テクノロジー カンパニー,リミテッド | 磁気浮上式重力補償装置及び該装置を含む移動ステージ |
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