JPH05174994A - プラズマア−ク装置およびパイロットア−ク発生方法 - Google Patents
プラズマア−ク装置およびパイロットア−ク発生方法Info
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- JPH05174994A JPH05174994A JP3356363A JP35636391A JPH05174994A JP H05174994 A JPH05174994 A JP H05174994A JP 3356363 A JP3356363 A JP 3356363A JP 35636391 A JP35636391 A JP 35636391A JP H05174994 A JPH05174994 A JP H05174994A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】２重構造のト−チを有するプラズマア−ク装置
におけるパイロットア−クの発生の際にスイッチの切り
換え操作を不要とすることにより，起動操作を簡単にし
その時間も短縮するとともに，プラズマア−ク装置の簡
略化を図ること。 【構成】，陰極棒と，この外側に配置される第１のノズ
ルと，その外側に配置される第２のノズルとからなるプ
ラズマア−クト−チを備えたプラズマア−ク装置におい
て，第２のノズルを正とすると共に前記陰極棒を負とす
る直流電圧を与えるパイロットア−クのための起動用電
源と高周波発生器とを直列接続して陰極棒と第２のノズ
ルとの間に接続すると共に，加工時に比べて起動時に第
１のノズルと第２のノズル間の第２のガス通路にガスを
多く流せる構成としたものである。また，パイロットア
−ク発生時には陰極棒と第１のノズル間の第１のガス通
路に比べて不活性ガスを第２のガス通路に同等以上に流
した状態で陰極棒と第２のノズルとの間に直接パイロッ
トア−クを発生させるパイロットア−ク発生方法であ
る。
におけるパイロットア−クの発生の際にスイッチの切り
換え操作を不要とすることにより，起動操作を簡単にし
その時間も短縮するとともに，プラズマア−ク装置の簡
略化を図ること。 【構成】，陰極棒と，この外側に配置される第１のノズ
ルと，その外側に配置される第２のノズルとからなるプ
ラズマア−クト−チを備えたプラズマア−ク装置におい
て，第２のノズルを正とすると共に前記陰極棒を負とす
る直流電圧を与えるパイロットア−クのための起動用電
源と高周波発生器とを直列接続して陰極棒と第２のノズ
ルとの間に接続すると共に，加工時に比べて起動時に第
１のノズルと第２のノズル間の第２のガス通路にガスを
多く流せる構成としたものである。また，パイロットア
−ク発生時には陰極棒と第１のノズル間の第１のガス通
路に比べて不活性ガスを第２のガス通路に同等以上に流
した状態で陰極棒と第２のノズルとの間に直接パイロッ
トア−クを発生させるパイロットア−ク発生方法であ
る。
Description
【産業上の利用分野】本発明は，陰極棒とこれを２重に
取り囲む２つのノズルとを有するプラズマア−クト−チ
を備えたプラズマア−ク装置，およびそのプラズマア−
クト−チにパイロットア−クを発生させる方法に関す
る。
取り囲む２つのノズルとを有するプラズマア−クト−チ
を備えたプラズマア−ク装置，およびそのプラズマア−
クト−チにパイロットア−クを発生させる方法に関す
る。
【従来の技術】プラズマア−クの熱を利用して被加工物
を溶接，或いは切断などを行うプラズマア−ク装置は，
種々の分野で用いられており，プラズマア−クト−チの
構造も用途に合わせて種々のものがある。それらの構造
の内，陰極棒の損耗が小さくその寿命を大幅に長くする
ものとして，使用時に陰極棒の近傍を無気流状態にする
２重構造のト−チがある。従来の２重構造のト−チを有
するプラズマア−ク装置について図３および図４により
説明すると，プラズマト−チ１はその中心に位置する陰
極棒２，その周囲の第１のガス通路３，この第１のガス
通路３を介して陰極棒２を囲む第１のノズル４，その外
側に形成された第２のガス通路５，第２のガス通路５を
介して第１のノズル４を囲む第２のノズル６，陰極棒２
を把持するコレット７，陰極棒２を冷却するための冷却
リンク８，冷却リンク８とコレット７を通して陰極棒２
に電気的に結合される環状のカソ−ド電極９，第１のノ
ズル４に電気的，機械的に結合されるカソ−ドスリ−ブ
１０，第２のノズル６に電気的，機械的に結合されるプ
ラズマスリ−ブ１１，これらカソ−ド電極９，カソ−ド
スリ−ブ１０，プラズマスリ−ブ１１の間を電気絶縁す
る環状の電気絶縁体１２Ａ，１２Ｂなどを備える。ま
た，１３はプラズマト−チ１の発生するプラズマア−ク
により加工される被加工物，１４はアルゴンのような不
活性ガスを供給し得るガス供給源，１５はガス供給源１
４からプラズマト−チ１の第１のガス通路３に至る第１
のガス供給路Ｇ１に設けられた電磁弁のようなセンタガ
ス調整弁，１６はガス供給源１４からプラズマト−チ１
の第２のガス通路５に至る第２のガス供給路Ｇ２に設け
られた電磁弁のようなプラズマガス調整弁，１７は陰極
棒２と被加工物１３間にプラズマア−ク発生用の電力を
供給する主電源，１８はカソ−ド電極９に負の端子が接
続され，パイロットア−クを発生するための起動用電
源，１９は一端がプラズマスリ−ブ１１に接続されて起
動用電源１８の直流電圧に高周波交流電圧を重畳する高
周波発生器，および２０は接点ａ，ｂを有する切換えス
イッチである。なお，プラズマト−チ１における２１は
シ−ルドガスを流すためのシ−ルドキャップである。次
にこの装置の動作説明を行う。先ず，センタガス調整弁
１５とプラズマガス調整弁１６とを開き，プラズマト−
チ１の第１のガス通路３にセンタガスを３〜５リットル
／分，第２のガス通路５にプラズマガスを０．５〜１リ
ットル／分程度流すと共に，切換えスイッチ２０を接点
ａ側に接続し，起動用電源１８と高周波発生器１９とを
動作させる。カソ−ド電極９とカソ−ドスリ−ブ１０間
は電気絶縁体１２Ａで電気絶縁されているので，それら
の合成電圧は陰極棒２と第１のノズル４間に印加され，
これにより電界集中の起こり易い陰極棒２の先端と第１
のノズル４の先端部との間にア−クが発生する。しかる
後切換えスイッチ２０を接点ｂ側に切り換えると，第２
のノズル６は電気絶縁体１２Ｂにより第１のノズル４か
ら電気絶縁されており，陰極棒２からも電気絶縁されて
いるので，起動用電源１８の電圧が陰極棒２と第２のノ
ズル６との間に印加され，したがって陰極棒２と第１の
ノズル４との間のア−クは陰極棒２と第２のノズル６と
の間に移りパイロットア−クを生ずる。しかる後，主電
源１７を動作させることにより，プラズマト−チ１と被
加工物１３間にメインア−クが形成される。
を溶接，或いは切断などを行うプラズマア−ク装置は，
種々の分野で用いられており，プラズマア−クト−チの
構造も用途に合わせて種々のものがある。それらの構造
の内，陰極棒の損耗が小さくその寿命を大幅に長くする
ものとして，使用時に陰極棒の近傍を無気流状態にする
２重構造のト−チがある。従来の２重構造のト−チを有
するプラズマア−ク装置について図３および図４により
説明すると，プラズマト−チ１はその中心に位置する陰
極棒２，その周囲の第１のガス通路３，この第１のガス
通路３を介して陰極棒２を囲む第１のノズル４，その外
側に形成された第２のガス通路５，第２のガス通路５を
介して第１のノズル４を囲む第２のノズル６，陰極棒２
を把持するコレット７，陰極棒２を冷却するための冷却
リンク８，冷却リンク８とコレット７を通して陰極棒２
に電気的に結合される環状のカソ−ド電極９，第１のノ
ズル４に電気的，機械的に結合されるカソ−ドスリ−ブ
１０，第２のノズル６に電気的，機械的に結合されるプ
ラズマスリ−ブ１１，これらカソ−ド電極９，カソ−ド
スリ−ブ１０，プラズマスリ−ブ１１の間を電気絶縁す
る環状の電気絶縁体１２Ａ，１２Ｂなどを備える。ま
た，１３はプラズマト−チ１の発生するプラズマア−ク
により加工される被加工物，１４はアルゴンのような不
活性ガスを供給し得るガス供給源，１５はガス供給源１
４からプラズマト−チ１の第１のガス通路３に至る第１
のガス供給路Ｇ１に設けられた電磁弁のようなセンタガ
ス調整弁，１６はガス供給源１４からプラズマト−チ１
の第２のガス通路５に至る第２のガス供給路Ｇ２に設け
られた電磁弁のようなプラズマガス調整弁，１７は陰極
棒２と被加工物１３間にプラズマア−ク発生用の電力を
供給する主電源，１８はカソ−ド電極９に負の端子が接
続され，パイロットア−クを発生するための起動用電
源，１９は一端がプラズマスリ−ブ１１に接続されて起
動用電源１８の直流電圧に高周波交流電圧を重畳する高
周波発生器，および２０は接点ａ，ｂを有する切換えス
イッチである。なお，プラズマト−チ１における２１は
シ−ルドガスを流すためのシ−ルドキャップである。次
にこの装置の動作説明を行う。先ず，センタガス調整弁
１５とプラズマガス調整弁１６とを開き，プラズマト−
チ１の第１のガス通路３にセンタガスを３〜５リットル
／分，第２のガス通路５にプラズマガスを０．５〜１リ
ットル／分程度流すと共に，切換えスイッチ２０を接点
ａ側に接続し，起動用電源１８と高周波発生器１９とを
動作させる。カソ−ド電極９とカソ−ドスリ−ブ１０間
は電気絶縁体１２Ａで電気絶縁されているので，それら
の合成電圧は陰極棒２と第１のノズル４間に印加され，
これにより電界集中の起こり易い陰極棒２の先端と第１
のノズル４の先端部との間にア−クが発生する。しかる
後切換えスイッチ２０を接点ｂ側に切り換えると，第２
のノズル６は電気絶縁体１２Ｂにより第１のノズル４か
ら電気絶縁されており，陰極棒２からも電気絶縁されて
いるので，起動用電源１８の電圧が陰極棒２と第２のノ
ズル６との間に印加され，したがって陰極棒２と第１の
ノズル４との間のア−クは陰極棒２と第２のノズル６と
の間に移りパイロットア−クを生ずる。しかる後，主電
源１７を動作させることにより，プラズマト−チ１と被
加工物１３間にメインア−クが形成される。
【発明が解決しようとする課題】しかし，上記従来例に
おいては，一旦，陰極棒２と第１のノズル４との間にア
−クを形成した後，陰極棒２と第２のノズル６との間に
ア−クを移してパイロットア−クを形成していたので，
その操作が複雑で，かつ起動時間もかかるという問題点
があった。また，ソ−ド電極９，カソ−ドスリ−ブ１
０，プラズマスリ−ブ１１の間を電気絶縁する環状の電
気絶縁体１２Ａ，１２Ｂを備える構造であったので，ト
−チの構造が複雑になるきらいがあった。したがって，
本発明はこのような問題点を解決し，起動操作が簡単で
その時間も短縮できるプラズマア−ク装置を提供するこ
とを課題とする。
おいては，一旦，陰極棒２と第１のノズル４との間にア
−クを形成した後，陰極棒２と第２のノズル６との間に
ア−クを移してパイロットア−クを形成していたので，
その操作が複雑で，かつ起動時間もかかるという問題点
があった。また，ソ−ド電極９，カソ−ドスリ−ブ１
０，プラズマスリ−ブ１１の間を電気絶縁する環状の電
気絶縁体１２Ａ，１２Ｂを備える構造であったので，ト
−チの構造が複雑になるきらいがあった。したがって，
本発明はこのような問題点を解決し，起動操作が簡単で
その時間も短縮できるプラズマア−ク装置を提供するこ
とを課題とする。
【課題を解決するための手段】本発明は，陰極棒と，こ
の陰極棒との間に第１のガス通路が形成されるようその
陰極棒の外側に配置される第１のノズルと，その第１の
ノズルとの間に第２のガス通路が形成されるようその第
１のノズルの外側に配置される第２のノズルとからなる
プラズマア−クト−チと，加工用ズラズマア−クを発生
させるための主直流電源と，前記第１のガス通路に不活
性ガスを供給するための第１のガス供給路と，前記第２
のガス通路に不活性ガスを供給するための第２のガス供
給路とを備えたプラズマア−ク装置において，前記第２
のノズルを正とすると共に前記陰極棒を負とする直流電
圧を与えるパイロットア−クのための起動用電源と高周
波発生器とを直列接続して前記陰極棒と前記第２のノズ
ルとの間に接続することにより，前記陰極棒と前記第２
のノズルとの間に直接パイロットア−クを発生させるプ
ラズマア−ク装置である。また，さらに第３のガス供給
路を前記第２のガス供給路と並列に設け，パイロットア
−ク発生時には前記第３のガス供給路を開いて不活性ガ
スを加工時より前記第２のガス通路に多く流すという要
件を備えたプラズマア−ク装置およびその発生方法であ
る。また，パイロットア−ク発生時には第１のガス通路
に比べて不活性ガスを前記第２のガス通路に同等以上に
流した状態で陰極棒と第２のノズルとの間に直接パイロ
ットア−クを発生させるパイロットア−ク発生方法であ
る。
の陰極棒との間に第１のガス通路が形成されるようその
陰極棒の外側に配置される第１のノズルと，その第１の
ノズルとの間に第２のガス通路が形成されるようその第
１のノズルの外側に配置される第２のノズルとからなる
プラズマア−クト−チと，加工用ズラズマア−クを発生
させるための主直流電源と，前記第１のガス通路に不活
性ガスを供給するための第１のガス供給路と，前記第２
のガス通路に不活性ガスを供給するための第２のガス供
給路とを備えたプラズマア−ク装置において，前記第２
のノズルを正とすると共に前記陰極棒を負とする直流電
圧を与えるパイロットア−クのための起動用電源と高周
波発生器とを直列接続して前記陰極棒と前記第２のノズ
ルとの間に接続することにより，前記陰極棒と前記第２
のノズルとの間に直接パイロットア−クを発生させるプ
ラズマア−ク装置である。また，さらに第３のガス供給
路を前記第２のガス供給路と並列に設け，パイロットア
−ク発生時には前記第３のガス供給路を開いて不活性ガ
スを加工時より前記第２のガス通路に多く流すという要
件を備えたプラズマア−ク装置およびその発生方法であ
る。また，パイロットア−ク発生時には第１のガス通路
に比べて不活性ガスを前記第２のガス通路に同等以上に
流した状態で陰極棒と第２のノズルとの間に直接パイロ
ットア−クを発生させるパイロットア−ク発生方法であ
る。
【実施例】次に図１および図２により本発明にかかるプ
ラズマア−ク装置およびパイロットア−ク発生方法の実
施例について説明を行う。図１および図２において，図
３および図４と同じ記号で示される部材については相当
する部材を示すものとし，１６Ａはガス供給源１４から
第２のガス通路５に至る第２のガス供給路Ｇ２の途中に
設けられた従来と同じプラズマガス調整弁であり，１６
Ｂはプラズマガス調整弁１６Ａと並列に配置された第３
のガス供給路Ｇ３に設けられたプラズマガス調整弁であ
る。また，本発明では従来必要とされた切換えスイッチ
は不要であり，直列接続された起動用電源１８と高周波
発生器１９は，陰極棒２に従来と同様電気的に結合され
たカソ−ド電極９と第２のノズル６に電気的に結合され
るプラズマスリ−ブ１１とに直接接続されており，これ
らカソ−ド電極９とプラズマスリ−ブ１１間は単一の電
気絶縁体１２で電気絶縁される。この電気絶縁体１２は
第１のスリ−ブ４に適合する内壁形状を有し，第１のス
リ−ブ４を表面に露出させずに一定の位置を保持させ
る。そして第１のノズル４は，電気絶縁体１２により電
位的には浮いた状態に保持され，したがって，第１のノ
ズル４は必ずしも金属材料で構成される必要はなく，セ
ラミックのような電気絶縁材料から構成されても良い。
次に動作説明を行う。先ず，センタガス調整弁１５，プ
ラズマガス調整弁１６Ａと１６Ｂとを開き，プラズマト
−チ１の第１のガス通路３にセンタガスを従来の３〜５
リットル／分よりも少ない０．５〜２．０リットル／分
程度流すと共に，第２のガス通路５にプラズマガスを従
来の０．５〜１．０リットル／分程度よりも多い３．０
〜５．０リットル／分供給する。この第２のガス通路５
に供給されるガス量は従来と違って，第１のガス通路３
に供給されるセンタガスの流量よりも多い。この状態で
直列接続された起動用電源１８と高周波発生器１９を動
作させると，第２のガス通路５のプラズマガス流量が多
いのでそのガス量の多い雰囲気ではア−クが発生し易く
なっており，したがって，陰極棒２と第２のノズル６と
の間にパイロットア−クが形成されるものと考えられ
る。次に，センタガス調整弁１５とプラズマガス調整弁
１６Ｂの双方を閉じてこれら弁の存在するガス供給路か
らの不活性ガスの供給を停止する。これにより，不活性
ガスはプラズマガス調整弁１６Ａだけを通して０．５〜
１．０リットル／分程度第２のガス通路５に流れ，第１
のガス通路３は無気流状態に保持される。しかる後，主
電源１７を動作させることにより，プラズマト−チ１と
被加工物１３間にメインア−クが形成され，所望の加工
を開始することが可能になる。なお，前記実施例におい
て，それぞれのガスの流量は臨界値を示すものではな
く，相対的な値の一例を示している。
ラズマア−ク装置およびパイロットア−ク発生方法の実
施例について説明を行う。図１および図２において，図
３および図４と同じ記号で示される部材については相当
する部材を示すものとし，１６Ａはガス供給源１４から
第２のガス通路５に至る第２のガス供給路Ｇ２の途中に
設けられた従来と同じプラズマガス調整弁であり，１６
Ｂはプラズマガス調整弁１６Ａと並列に配置された第３
のガス供給路Ｇ３に設けられたプラズマガス調整弁であ
る。また，本発明では従来必要とされた切換えスイッチ
は不要であり，直列接続された起動用電源１８と高周波
発生器１９は，陰極棒２に従来と同様電気的に結合され
たカソ−ド電極９と第２のノズル６に電気的に結合され
るプラズマスリ−ブ１１とに直接接続されており，これ
らカソ−ド電極９とプラズマスリ−ブ１１間は単一の電
気絶縁体１２で電気絶縁される。この電気絶縁体１２は
第１のスリ−ブ４に適合する内壁形状を有し，第１のス
リ−ブ４を表面に露出させずに一定の位置を保持させ
る。そして第１のノズル４は，電気絶縁体１２により電
位的には浮いた状態に保持され，したがって，第１のノ
ズル４は必ずしも金属材料で構成される必要はなく，セ
ラミックのような電気絶縁材料から構成されても良い。
次に動作説明を行う。先ず，センタガス調整弁１５，プ
ラズマガス調整弁１６Ａと１６Ｂとを開き，プラズマト
−チ１の第１のガス通路３にセンタガスを従来の３〜５
リットル／分よりも少ない０．５〜２．０リットル／分
程度流すと共に，第２のガス通路５にプラズマガスを従
来の０．５〜１．０リットル／分程度よりも多い３．０
〜５．０リットル／分供給する。この第２のガス通路５
に供給されるガス量は従来と違って，第１のガス通路３
に供給されるセンタガスの流量よりも多い。この状態で
直列接続された起動用電源１８と高周波発生器１９を動
作させると，第２のガス通路５のプラズマガス流量が多
いのでそのガス量の多い雰囲気ではア−クが発生し易く
なっており，したがって，陰極棒２と第２のノズル６と
の間にパイロットア−クが形成されるものと考えられ
る。次に，センタガス調整弁１５とプラズマガス調整弁
１６Ｂの双方を閉じてこれら弁の存在するガス供給路か
らの不活性ガスの供給を停止する。これにより，不活性
ガスはプラズマガス調整弁１６Ａだけを通して０．５〜
１．０リットル／分程度第２のガス通路５に流れ，第１
のガス通路３は無気流状態に保持される。しかる後，主
電源１７を動作させることにより，プラズマト−チ１と
被加工物１３間にメインア−クが形成され，所望の加工
を開始することが可能になる。なお，前記実施例におい
て，それぞれのガスの流量は臨界値を示すものではな
く，相対的な値の一例を示している。
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば，次の
ような効果を奏する。 （１）パイロットア−クの発生時，切り換え動作を行う
ことなくパイロットア−クを形成できるので，そのシ−
ケンスが簡単で起動時間を短縮できる。 （２）パイロトア−ク発生時における直流電流（例えば
５〜１０Ａ）を切り換えるスイッチが不要になり，コス
トの低減ばかりでなく，切り換え時の火花発生要素を削
除でき，装置の信頼性の向上に役立つ。 （３）ト−チの本体部分を従来の５分割から３分割にす
ることができたので，ト−チ構造が簡単になり，製作し
易くコスト低減に役立つ。 （４）３分割構造としたことでト−チ表面において，カ
ソ−ド電極とプラズマスリ−ブとの間の沿面距離（電気
絶縁体表面の幅）を十分確保でき，汚れなどによる絶縁
不良が起こり難い。 （５）ト−チケ−ブルの本数が少なくなり，製作し易く
なると共に，取扱い易くなる。
ような効果を奏する。 （１）パイロットア−クの発生時，切り換え動作を行う
ことなくパイロットア−クを形成できるので，そのシ−
ケンスが簡単で起動時間を短縮できる。 （２）パイロトア−ク発生時における直流電流（例えば
５〜１０Ａ）を切り換えるスイッチが不要になり，コス
トの低減ばかりでなく，切り換え時の火花発生要素を削
除でき，装置の信頼性の向上に役立つ。 （３）ト−チの本体部分を従来の５分割から３分割にす
ることができたので，ト−チ構造が簡単になり，製作し
易くコスト低減に役立つ。 （４）３分割構造としたことでト−チ表面において，カ
ソ−ド電極とプラズマスリ−ブとの間の沿面距離（電気
絶縁体表面の幅）を十分確保でき，汚れなどによる絶縁
不良が起こり難い。 （５）ト−チケ−ブルの本数が少なくなり，製作し易く
なると共に，取扱い易くなる。
【図１】本発明の一実施例を説明するための図である。
【図２】本発明の一実施例を説明するためのプラズマト
−チを示す図である。
−チを示す図である。
【図３】従来例を説明するための図である。
【図４】従来例を説明するためのプラズマト−チを示す
図である。
図である。
１・・・・プラズマト−チ ２・・・・陰極棒 ３・・・・第１のガス通路 ４・・・・第１のノズル ５・・・・第２のガス通路 ６・・・・第２のノズル ７・・・・コレット ８・・・・冷却リンク ９・・・・カソ−ド電極 １０・・・・カソ−ドスリ−ブ １１・・・・プラズマスリ−ブ １２・・・・電気絶縁体 １３・・・・被加工物 １４・・・・ガス供給源 １５・・・・センタガス調整弁 １６・・・・プラズマガス調整弁 １７・・・・プラズマア−ク発生用の主電源 １８・・・・パイロットア−ク発生用の起動用電源 １９・・・・高周波発生器
Claims (5)
- 【請求項１】 陰極棒と，該陰極棒との間に第１のガス
通路が形成されるようその陰極棒の外側に配置される第
１のノズルと，該第１のノズルとの間に第２のガス通路
が形成されるようその第１のノズルの外側に配置される
第２のノズルとからなるプラズマア−クト−チと，加工
用ズラズマア−クを発生させるための主直流電源と，前
記第１のガス通路に不活性ガスを供給するための第１の
ガス供給路と，前記第２のガス通路に不活性ガスを供給
するための第２のガス供給路とを備えたプラズマア−ク
装置において，前記第２のノズルを正とすると共に前記
陰極棒を負とする直流電圧を発生するパイロットア−ク
用直流電源と高周波交流発生電源とを直列接続して前記
陰極棒と前記第２のノズルとの間に接続することによ
り，前記陰極棒と前記第２のノズルとの間に直接パイロ
ットア−クを発生させることを特徴とするプラズマア−
ク装置。 - 【請求項２】 陰極棒と，該陰極棒との間に第１のガス
通路が形成されるようその陰極棒の外側に配置される第
１のノズルと，該第１のノズルとの間に第２のガス通路
が形成されるようその第１のノズルの外側に配置される
第２のノズルとからなるプラズマア−クト−チと，加工
用ズラズマア−クを発生させるための主直流電源と，前
記第１のガス通路に不活性ガスを供給するための第１の
ガス供給路と，前記第２のガス通路に不活性ガスを供給
するための第２のガス供給路とを備えたプラズマア−ク
装置において，第３のガス供給路を前記第２のガス供給
路と並列に設け，パイロットア−ク発生時には前記第３
のガス供給路を開いて不活性ガスを前記第２のガス通路
に多く流し，また前記第２のノズルを正とすると共に前
記陰極棒を負とする直流電圧を発生するパイロットア−
ク用直流電源と高周波交流発生電源とを直列接続して前
記陰極棒と前記第２のノズルとの間に接続することによ
り，前記陰極棒と前記第２のノズルとの間に直接パイロ
ットア−クを発生させることを特徴とするプラズマア−
ク装置。 - 【請求項３】 陰極棒と，該陰極棒との間に第１のガス
通路が形成されるようその陰極棒の外側に配置される第
１のノズルと，該第１のノズルとの間に第２のガス通路
が形成されるようその第１のノズルの外側に配置される
第２のノズルとからなるプラズマア−クト−チと，加工
用ズラズマア−クを発生させるための主直流電源と，前
記第１のガス通路に不活性ガスを供給するための第１の
ガス供給路と，前記第２のガス通路に不活性ガスを供給
するための第２のガス供給路とを備えたプラズマア−ク
装置において，前記プラズマア−クト−チの前記陰極棒
に電気的に結合されるカソ−ド電極と前記第２のノズル
に電気的に結合されるプラズマスリ−ブとの間を，前記
第１のノズルを支持する電気絶縁体で電気絶縁すること
を特徴とするプラズマア−ク装置。 - 【請求項４】 負の直流電圧が印加される陰極棒と，該
陰極棒との間に第１のガス通路が形成されるようその陰
極棒の外側に配置される第１のノズルと，該第１のノズ
ルとの間に第２のガス通路が形成されるようその第１の
ノズルの外側に配置される第２のノズルとを備えたプラ
ズマア−クト−チにおいて，前記第１のガス通路に比べ
て前記第２のガス通路に不活性ガスを多く流した状態
で，前記陰極棒と前記第２のノズルとの間に，その第２
のノズルを正とすると共に前記陰極棒を負とする直流電
圧に高周波電圧を重畳してなる電圧を印加することによ
り，前記陰極棒と前記第２のノズルとの間に直接パイロ
ットア−クを発生させることを特徴とするプラズマア−
クト−チのパイロットア−ク発生方法。 - 【請求項５】 負の直流電圧が印加される陰極棒と，該
陰極棒との間に第１のガス通路が形成されるようその陰
極棒の外側に配置される第１のノズルと，該第１のノズ
ルとの間に第２のガス通路が形成されるようその第１の
ノズルの外側に配置される第２のノズルとを備えたプラ
ズマア−クト−チにおいて，加工時に比べて不活性ガス
を前記第２のガス通路に多く流した状態で，前記陰極棒
と第２のノズルとの間に，その第２のノズルを正とする
と共に前記陰極棒を負とする直流電圧に高周波電圧を重
畳してなる電圧を印加することにより，前記陰極棒と前
記第２のノズルとの間に直接パイロットア−クを発生さ
せることを特徴とするプラズマア−クト−チのパイロッ
トア−ク発生方法。
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|---|---|---|---|
| JP3356363A JP3066993B2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | プラズマア−ク装置およびパイロットア−ク発生方法 |
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|---|---|---|---|
| JP3356363A JP3066993B2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | プラズマア−ク装置およびパイロットア−ク発生方法 |
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- 1991-12-24 JP JP3356363A patent/JP3066993B2/ja not_active Expired - Fee Related
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