JPH05181000A - 粒子加速器における収束電磁石装置 - Google Patents
粒子加速器における収束電磁石装置Info
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- JPH05181000A JPH05181000A JP35890091A JP35890091A JPH05181000A JP H05181000 A JPH05181000 A JP H05181000A JP 35890091 A JP35890091 A JP 35890091A JP 35890091 A JP35890091 A JP 35890091A JP H05181000 A JPH05181000 A JP H05181000A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000007479 molecular analysis Methods 0.000 description 1
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- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 水平方向収束用および垂直方向収束用の一対
の電磁石本体２０Ａ，２０Ｂを荷電粒子の軌道２１の方
向に並べて配するとともに、それらの電磁石本体に対し
て共通の電源４０から同一電流を供給する。また、各電
磁石本体を個々に軌道方向に沿って移動させるための移
動機構３０を備える。 【効果】 各電磁石本体に共通の電源からそれらに供給
する電流値の調節することに加えて、各移動機構により
各電磁石本体の軌道方向における位置をそれぞれ前後に
調節することで、収束力の調整を行い得る。また、大規
模な電源の所要台数が半減するので設備費および省スペ
ースの点で有利であり、さらに、電源の異常により荷電
粒子ビームが周回不能となる確率も半減するから信頼性
を向上させることができる。
の電磁石本体２０Ａ，２０Ｂを荷電粒子の軌道２１の方
向に並べて配するとともに、それらの電磁石本体に対し
て共通の電源４０から同一電流を供給する。また、各電
磁石本体を個々に軌道方向に沿って移動させるための移
動機構３０を備える。 【効果】 各電磁石本体に共通の電源からそれらに供給
する電流値の調節することに加えて、各移動機構により
各電磁石本体の軌道方向における位置をそれぞれ前後に
調節することで、収束力の調整を行い得る。また、大規
模な電源の所要台数が半減するので設備費および省スペ
ースの点で有利であり、さらに、電源の異常により荷電
粒子ビームが周回不能となる確率も半減するから信頼性
を向上させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、荷電粒子を水平方向お
よび垂直方向にそれぞれ収束させるためにシンクロトロ
ン等の粒子加速器に備えられる収束電磁石装置に関する
ものである。
よび垂直方向にそれぞれ収束させるためにシンクロトロ
ン等の粒子加速器に備えられる収束電磁石装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、直径が１０ｍ以下の比較的小型の
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、たとえ
ば超ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診断、分子解
析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、たとえ
ば超ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診断、分子解
析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
【０００３】図３はシンクロトロンの概要を示すもので
あって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた荷電粒
子を直線加速器（ライナック）２で光速近くに加速し、
偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して蓄積
リングである真空ダクト５に入射する。真空ダクト５に
入射した荷電粒子は高周波加速空洞６によりエネルギを
与えられながら収束電磁石７で収束され、偏向電磁石８
で偏向されて真空ダクト５内を周回し続ける。そして、
偏向電磁石８で偏向される際にＳＯＲ光が発生し、それ
が光取り出しライン９を介してたとえば露光装置１０に
出射されて利用されるのである。
あって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた荷電粒
子を直線加速器（ライナック）２で光速近くに加速し、
偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して蓄積
リングである真空ダクト５に入射する。真空ダクト５に
入射した荷電粒子は高周波加速空洞６によりエネルギを
与えられながら収束電磁石７で収束され、偏向電磁石８
で偏向されて真空ダクト５内を周回し続ける。そして、
偏向電磁石８で偏向される際にＳＯＲ光が発生し、それ
が光取り出しライン９を介してたとえば露光装置１０に
出射されて利用されるのである。
【０００４】上記の収束電磁石７は、荷電粒子を水平方
向に収束させるためのものと垂直方向に収束させるため
のものとが一対とされ、それら一対の収束電磁石７，７
は荷電粒子の軌道方向に沿って並べられて設置されるよ
うになっている。
向に収束させるためのものと垂直方向に収束させるため
のものとが一対とされ、それら一対の収束電磁石７，７
は荷電粒子の軌道方向に沿って並べられて設置されるよ
うになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
シンクロトロンにおける一対の収束電磁石７，７は、そ
れぞれの磁場強度を調節するための大規模な電源を個々
に備えていて、荷電粒子を水平方向と垂直方向の双方に
対して収束させるためには、それら双方の電源の電流値
を個別に、かつ、相互に関連をもって調節しなければな
らないものであった。そして、そのような調節は必ずし
も容易に行えるものではないので、有効な改善策が要望
されていた。
シンクロトロンにおける一対の収束電磁石７，７は、そ
れぞれの磁場強度を調節するための大規模な電源を個々
に備えていて、荷電粒子を水平方向と垂直方向の双方に
対して収束させるためには、それら双方の電源の電流値
を個別に、かつ、相互に関連をもって調節しなければな
らないものであった。そして、そのような調節は必ずし
も容易に行えるものではないので、有効な改善策が要望
されていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記事情に鑑み
てなされたもので、水平方向収束用および垂直方向収束
用の一対の電磁石本体を荷電粒子の軌道方向に並べて配
するとともに、それらの電磁石本体に対して共通の電源
から同一電流を供給するようになし、かつ、各電磁石本
体を個々に軌道方向に沿って移動させるための移動機構
を備えたことを特徴とするものである。
てなされたもので、水平方向収束用および垂直方向収束
用の一対の電磁石本体を荷電粒子の軌道方向に並べて配
するとともに、それらの電磁石本体に対して共通の電源
から同一電流を供給するようになし、かつ、各電磁石本
体を個々に軌道方向に沿って移動させるための移動機構
を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】本発明の収束電磁石装置では、荷電粒子を水平
方向および垂直方向に収束させるための磁場強度の調節
を、一対の電磁石本体の双方に対して共通の電源から供
給する電流値を調節すること、および、各電磁石本体を
移動機構により軌道方向前後に移動させてその位置を調
節することによって行う。
方向および垂直方向に収束させるための磁場強度の調節
を、一対の電磁石本体の双方に対して共通の電源から供
給する電流値を調節すること、および、各電磁石本体を
移動機構により軌道方向前後に移動させてその位置を調
節することによって行う。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１および図２を参
照して説明する。図１は本実施例の収束電磁石装置の全
体概略構成を示す側面図、図２は正面図であって、符号
２０Ａ，２０Ｂはその中心部が荷電粒子の軌道２１とな
る一対の電磁石本体である。これら電磁石本体２０Ａ，
２０Ｂの一方は荷電粒子を水平方向に収束させるための
もの、他方は垂直方向に収束させるためのものである
が、いずれも、ヨーク２２、ポールピース２３、コイル
２４からなる４極電磁石を構成するものである。
照して説明する。図１は本実施例の収束電磁石装置の全
体概略構成を示す側面図、図２は正面図であって、符号
２０Ａ，２０Ｂはその中心部が荷電粒子の軌道２１とな
る一対の電磁石本体である。これら電磁石本体２０Ａ，
２０Ｂの一方は荷電粒子を水平方向に収束させるための
もの、他方は垂直方向に収束させるためのものである
が、いずれも、ヨーク２２、ポールピース２３、コイル
２４からなる４極電磁石を構成するものである。
【０００９】図３において説明した従来の収束電磁石７
は荷電粒子の軌道に対して固定的に設置されていたのに
対し、本実施例の装置における上記の電磁石本体２０
Ａ，２０Ｂは、いずれも、移動機構３０，３０によりレ
ール３１上を移動し得るベース３２上に設けられてい
て、それら移動機構３０，３０を作動させることにより
各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂは個々に軌道方向前後に移
動可能とされている。したがって、それら電磁石本体２
０Ａ，２０Ｂどうしの相互間隔Ｌや、任意の基準点から
各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂまでの距離Ｌ1、Ｌ2を任意
にかつ個別に調節できるようになっている。なお、移動
機構３０としては適宜のものが採用できるが、図示例の
ものはステッピングモータ３３およびボールネジ機構３
４から構成されたものが採用されている。
は荷電粒子の軌道に対して固定的に設置されていたのに
対し、本実施例の装置における上記の電磁石本体２０
Ａ，２０Ｂは、いずれも、移動機構３０，３０によりレ
ール３１上を移動し得るベース３２上に設けられてい
て、それら移動機構３０，３０を作動させることにより
各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂは個々に軌道方向前後に移
動可能とされている。したがって、それら電磁石本体２
０Ａ，２０Ｂどうしの相互間隔Ｌや、任意の基準点から
各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂまでの距離Ｌ1、Ｌ2を任意
にかつ個別に調節できるようになっている。なお、移動
機構３０としては適宜のものが採用できるが、図示例の
ものはステッピングモータ３３およびボールネジ機構３
４から構成されたものが採用されている。
【００１０】また、従来においては、一対の収束電磁石
７，７のそれぞれに対し個々に電源が備えられていたの
に対し、本実施例の装置では、双方の電磁石本体２０
Ａ，２０Ｂに共通の電源４０が１台のみ設けられてい
て、その電源４０により各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂに
は常に同一電流Ｉが供給されるようになっている。
７，７のそれぞれに対し個々に電源が備えられていたの
に対し、本実施例の装置では、双方の電磁石本体２０
Ａ，２０Ｂに共通の電源４０が１台のみ設けられてい
て、その電源４０により各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂに
は常に同一電流Ｉが供給されるようになっている。
【００１１】上記構成の収束電磁石装置では、共通の電
源４０から各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂに対して供給す
る電流値Ｉを調節することに加えて、各移動機構３０，
３０を作動させて各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂの軌道方
向における位置を前後に調節することで、荷電粒子に対
する磁場強度の調整を容易にかつ正確に行い得るもので
あり、それによって荷電粒子を水平方向および垂直方向
にそれぞれ確実に収束させ得るものである。
源４０から各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂに対して供給す
る電流値Ｉを調節することに加えて、各移動機構３０，
３０を作動させて各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂの軌道方
向における位置を前後に調節することで、荷電粒子に対
する磁場強度の調整を容易にかつ正確に行い得るもので
あり、それによって荷電粒子を水平方向および垂直方向
にそれぞれ確実に収束させ得るものである。
【００１２】したがって、上記の収束電磁石装置によれ
ば、大規模な電源の所要台数が従来の場合に比して半減
するので設備費および省スペースの点で有利であること
は言うに及ばず、２台の電源をそれぞれ関連付けて調節
する必要のあった従来の場合に比して格段に容易に調節
を行い得るものである。
ば、大規模な電源の所要台数が従来の場合に比して半減
するので設備費および省スペースの点で有利であること
は言うに及ばず、２台の電源をそれぞれ関連付けて調節
する必要のあった従来の場合に比して格段に容易に調節
を行い得るものである。
【００１３】なお、上記実施例は４極電磁石に適用した
ものであるが、本発明は６極あるいは８極の電磁石に対
しても全く同様に適用可能である。
ものであるが、本発明は６極あるいは８極の電磁石に対
しても全く同様に適用可能である。
【００１４】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明の収束電
磁石装置は、水平方向収束用および垂直方向収束用の一
対の電磁石本体を荷電粒子の軌道方向に並べて配すると
ともに、それらの電磁石本体に対して共通の電源から同
一電流を供給するようになし、かつ、各電磁石本体を個
々に軌道方向に沿って移動させるための移動機構を有す
るものであるから、共通の電源から各電磁石本体に対し
て供給する電流値の調節することに加えて、各移動機構
により各電磁石本体の軌道方向における位置をそれぞれ
前後に調節することで、磁場強度の調整を従来の場合に
比して容易にかつ正確に行い得るものであり、しかも、
大規模な電源の台数が半減するので設備費および省スペ
ースの点でも有利である。
磁石装置は、水平方向収束用および垂直方向収束用の一
対の電磁石本体を荷電粒子の軌道方向に並べて配すると
ともに、それらの電磁石本体に対して共通の電源から同
一電流を供給するようになし、かつ、各電磁石本体を個
々に軌道方向に沿って移動させるための移動機構を有す
るものであるから、共通の電源から各電磁石本体に対し
て供給する電流値の調節することに加えて、各移動機構
により各電磁石本体の軌道方向における位置をそれぞれ
前後に調節することで、磁場強度の調整を従来の場合に
比して容易にかつ正確に行い得るものであり、しかも、
大規模な電源の台数が半減するので設備費および省スペ
ースの点でも有利である。
【図１】本発明の実施例である収束電磁石装置の全体概
略構成を示す側面図である。
略構成を示す側面図である。
【図２】同装置の正面図である。
【図３】シンクロトロンの概要を示す平面図である。
２０Ａ，２０Ｂ 電磁石本体 ２１ 軌道 ３０ 移動機構 ３３ ステッピングモータ ３４ ボールネジ機構 ４０ 電源
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年９月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
シンクロトロンにおける一対の収束電磁石７，７は、そ
れぞれの磁場強度を調節するための大規模な電源を個々
に備えていて、荷電粒子を水平方向と垂直方向の双方に
対して収束させるためには、それら双方の電源の電流値
を個別に、かつ、相互に関連をもって調節するのである
が、それら双方の電源はいずれも高い安定度が要求され
るものであって、いずれか一方でも異常が生じて不安定
状態または停止状態におちいると荷電粒子ビームを収束
させることができなくなり、その結果、荷電粒子ビーム
がリング中を周回できなくなってしまうものであった。
したがって、２台の電源により一対の収束電磁石７，７
を個々に調節する従来の収束電磁石装置は信頼性の点で
必ずしも十分に満足できるものではなく、有効な改善策
が要望されていた。
シンクロトロンにおける一対の収束電磁石７，７は、そ
れぞれの磁場強度を調節するための大規模な電源を個々
に備えていて、荷電粒子を水平方向と垂直方向の双方に
対して収束させるためには、それら双方の電源の電流値
を個別に、かつ、相互に関連をもって調節するのである
が、それら双方の電源はいずれも高い安定度が要求され
るものであって、いずれか一方でも異常が生じて不安定
状態または停止状態におちいると荷電粒子ビームを収束
させることができなくなり、その結果、荷電粒子ビーム
がリング中を周回できなくなってしまうものであった。
したがって、２台の電源により一対の収束電磁石７，７
を個々に調節する従来の収束電磁石装置は信頼性の点で
必ずしも十分に満足できるものではなく、有効な改善策
が要望されていた。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【作用】収束電磁石による荷電粒子に対する収束力の調
節は、収束電磁石の電流値を調節することによって行え
るのみならず、軌道中における電磁石の位置を調節する
ことによっても行い得るものである。これは、光学系レ
ンズにおいては、レンズの強度を調節することのみなら
ず、レンズの位置を調節することによっても焦点を調節
することができることと等価である。また、荷電粒子を
２方向（水平方向と垂直方向）に収束させるために決定
するべき変数は２つで良い。そこで、本発明の収束電磁
石装置では、荷電粒子を水平方向および垂直方向に収束
させるための収束力の調節を、一対の電磁石本体の双方
に対して共通の電源から供給する電流値を調節するこ
と、および、各電磁石本体を移動機構により軌道方向前
後に移動させてその位置を調節することによって行う。
節は、収束電磁石の電流値を調節することによって行え
るのみならず、軌道中における電磁石の位置を調節する
ことによっても行い得るものである。これは、光学系レ
ンズにおいては、レンズの強度を調節することのみなら
ず、レンズの位置を調節することによっても焦点を調節
することができることと等価である。また、荷電粒子を
２方向（水平方向と垂直方向）に収束させるために決定
するべき変数は２つで良い。そこで、本発明の収束電磁
石装置では、荷電粒子を水平方向および垂直方向に収束
させるための収束力の調節を、一対の電磁石本体の双方
に対して共通の電源から供給する電流値を調節するこ
と、および、各電磁石本体を移動機構により軌道方向前
後に移動させてその位置を調節することによって行う。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１および図２を参
照して説明する。図１は本実施例の収束電磁石装置の全
体概略構成を示す側面図、図２は正面図であって、符号
２０Ａ，２０Ｂはその中心部が荷電粒子の軌道２１とな
る一対の電磁石本体である。これら電磁石本体２０Ａ，
２０Ｂは荷電粒子を水平方向と垂直方向の双方に同時に
収束させるためのものであるが、いずれも、ヨーク２
２、ポールピース２３、コイル２４からなる４極電磁石
を構成するものである。
照して説明する。図１は本実施例の収束電磁石装置の全
体概略構成を示す側面図、図２は正面図であって、符号
２０Ａ，２０Ｂはその中心部が荷電粒子の軌道２１とな
る一対の電磁石本体である。これら電磁石本体２０Ａ，
２０Ｂは荷電粒子を水平方向と垂直方向の双方に同時に
収束させるためのものであるが、いずれも、ヨーク２
２、ポールピース２３、コイル２４からなる４極電磁石
を構成するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】上記構成の収束電磁石装置では、共通の電
源４０から各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂに対して供給す
る電流値Ｉを調節することに加えて、各移動機構３０，
３０を作動させて各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂの軌道方
向における位置を前後に調節することで、荷電粒子に対
する収束力の調整を容易にかつ正確に行い得るものであ
り、それによって、光学レンズにおいて焦点を調節する
場合と同様に荷電粒子を水平方向および垂直方向にそれ
ぞれ確実に収束させ得るものである。
源４０から各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂに対して供給す
る電流値Ｉを調節することに加えて、各移動機構３０，
３０を作動させて各電磁石本体２０Ａ，２０Ｂの軌道方
向における位置を前後に調節することで、荷電粒子に対
する収束力の調整を容易にかつ正確に行い得るものであ
り、それによって、光学レンズにおいて焦点を調節する
場合と同様に荷電粒子を水平方向および垂直方向にそれ
ぞれ確実に収束させ得るものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】したがって、上記の収束電磁石装置によれ
ば、大規模かつ高安定度が要求される電源の所要台数が
従来の場合に比して半減するので設備費および省スペー
スの点で有利である。また、電源の異常により荷電粒子
ビームが周回不能になる確率も半減することになり、し
たがって信頼性を向上させることができる。
ば、大規模かつ高安定度が要求される電源の所要台数が
従来の場合に比して半減するので設備費および省スペー
スの点で有利である。また、電源の異常により荷電粒子
ビームが周回不能になる確率も半減することになり、し
たがって信頼性を向上させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明の収束電
磁石装置は、水平方向収束用および垂直方向収束用の一
対の電磁石本体を荷電粒子の軌道方向に並べて配すると
ともに、それらの電磁石本体に対して共通の電源から同
一電流を供給するようになし、かつ、各電磁石本体を個
々に軌道方向に沿って移動させるための移動機構を有す
るものであるから、共通の電源から各電磁石本体に対し
て供給する電流値の調節することに加えて、各移動機構
により各電磁石本体の軌道方向における位置をそれぞれ
前後に調節することで、収束力の調整を行い得るもので
あり、しかも、大規模な電源の台数が半減するので設備
費および省スペースの点でも有利であり、さらに、電源
の異常により荷電粒子ビームが周回不能となる確率も半
減するから信頼性を向上させることができる。
磁石装置は、水平方向収束用および垂直方向収束用の一
対の電磁石本体を荷電粒子の軌道方向に並べて配すると
ともに、それらの電磁石本体に対して共通の電源から同
一電流を供給するようになし、かつ、各電磁石本体を個
々に軌道方向に沿って移動させるための移動機構を有す
るものであるから、共通の電源から各電磁石本体に対し
て供給する電流値の調節することに加えて、各移動機構
により各電磁石本体の軌道方向における位置をそれぞれ
前後に調節することで、収束力の調整を行い得るもので
あり、しかも、大規模な電源の台数が半減するので設備
費および省スペースの点でも有利であり、さらに、電源
の異常により荷電粒子ビームが周回不能となる確率も半
減するから信頼性を向上させることができる。
Claims (1)
- 【請求項１】 粒子加速器に備えられて荷電粒子を水平
方向におよび垂直方向に収束させるための収束電磁石装
置であって、水平方向収束用および垂直方向収束用の一
対の電磁石本体を荷電粒子の軌道方向に並べて配すると
ともに、それらの電磁石本体に対して共通の電源から同
一電流を供給するようになし、かつ、各電磁石本体を個
々に軌道方向に沿って移動させるための移動機構を有し
てなることを特徴とする粒子加速器における収束電磁石
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35890091A JPH05181000A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 粒子加速器における収束電磁石装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35890091A JPH05181000A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 粒子加速器における収束電磁石装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05181000A true JPH05181000A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18461689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35890091A Withdrawn JPH05181000A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 粒子加速器における収束電磁石装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05181000A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101648972B1 (ko) * | 2015-06-01 | 2016-08-19 | 한국원자력연구원 | 입자 가속기용 전자석 구동 장치 |
| EP3749065A4 (en) * | 2019-03-27 | 2021-09-01 | Huazhong University of Science and Technology | CROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATIONS |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP35890091A patent/JPH05181000A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
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