JPH0518752A - Earth magnetism detecting device - Google Patents

Earth magnetism detecting device

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JPH0518752A
JPH0518752A JP16818391A JP16818391A JPH0518752A JP H0518752 A JPH0518752 A JP H0518752A JP 16818391 A JP16818391 A JP 16818391A JP 16818391 A JP16818391 A JP 16818391A JP H0518752 A JPH0518752 A JP H0518752A
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Kenji Nishikawa
賢司 西川
Toshio Hashimoto
利夫 橋本
Kazuhide Ota
和秀 太田
Motoo Katayama
素夫 片山
Moriyasu Fujita
守康 藤田
Masahisa Ito
昌久 伊藤
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Toyota Motor Corp
Hagiwara Electric Holdings Co Ltd
Nippon Automation Co Ltd
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Toyota Motor Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気レンズの磁気収束端からの地磁気を有効
に感磁素子に導いて検出感度の向上を図る。 【構成】 磁気収束端30aと感磁素子である磁気抵抗
パターン36が形成された基板38との間には導磁材3
4が介在配置されている。この導磁材は、磁気収束端3
0a側から基板38側にかけて断面が徐々に小さくなる
ように形成されている。従って、磁気収束端30aから
出た磁束は、広がることなくさらに収束されて、有効に
磁気抵抗素子パターン36に達することになり、検出感
度が高められる。
(57) [Abstract] [Purpose] To improve the detection sensitivity by effectively guiding the geomagnetism from the magnetic focusing end of the magnetic lens to the magnetic sensitive element. A magnetic conducting material 3 is provided between a magnetic flux converging end 30a and a substrate 38 on which a magnetoresistive pattern 36 which is a magnetic sensing element is formed.
4 are interposed. This magnetic material has a magnetic flux converging end 3
The cross section is gradually reduced from the 0a side to the substrate 38 side. Therefore, the magnetic flux emitted from the magnetic flux converging end 30a is further converged without spreading and effectively reaches the magnetoresistive element pattern 36, and the detection sensitivity is enhanced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、感磁素子を保護層で包
んでなる地磁気センサに磁気レンズが接合された地磁気
検出装置の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a geomagnetism detecting device in which a magnetic lens is joined to a geomagnetic sensor having a magnetic sensitive element covered with a protective layer.

【0002】[0002]

【従来の技術】地磁気は、周知のように、地表上でその
方向及び大きさがほぼ一定しており、従来から方位の基
準として利用されている。
2. Description of the Related Art As is well known, geomagnetism has a substantially constant direction and magnitude on the surface of the earth, and has been conventionally used as a reference for azimuth.

【0003】近年では、このような地磁気を利用して自
動車の進行方位などを得るナビゲーションシステムが開
発されており、かかるシステムの精度向上を図るため
に、より感度が高くかつ小型の地磁気検出装置が要望さ
れている。
In recent years, a navigation system for obtaining the traveling direction of an automobile by utilizing such geomagnetism has been developed, and in order to improve the accuracy of such a system, a geomagnetic detection device having a higher sensitivity and a smaller size has been developed. Is requested.

【0004】図4には、本出願人が先に特願平2−46
957号で提案した地磁気検出装置の概略的な構成が示
されている。この地磁気検出装置は、互いに主感度方向
を直交させる2つの検出部10,12で構成されてい
る。各検出部は、磁気レンズ14,16と、地磁気セン
サ18,20と、で構成され、検出回路等については図
示省略されている。
In FIG. 4, the present applicant has previously filed Japanese Patent Application No. 2-46.
The schematic configuration of the geomagnetic detection device proposed in No. 957 is shown. This geomagnetic detector is composed of two detectors 10 and 12 whose main sensitivity directions are orthogonal to each other. Each detection unit is composed of magnetic lenses 14 and 16 and geomagnetic sensors 18 and 20, and detection circuits and the like are omitted in the drawing.

【0005】ここにおいて、磁気レンズ14,16は、
一方側の端が広がり、他方側の端がテーパ状に形成され
ている。そして、そのテーパ状の端面には、上記の地磁
気センサ18,20が接合配置されている。従って、こ
のような地磁気検出装置によれば、地磁気を互いに直交
する2つの方位成分として求め、その結果から地磁気の
方位を判別できる。
Here, the magnetic lenses 14 and 16 are
One end is widened and the other end is tapered. The geomagnetic sensors 18 and 20 described above are joined and arranged on the tapered end surface. Therefore, according to such a geomagnetism detection device, the geomagnetism is obtained as two azimuth components orthogonal to each other, and the azimuth of the geomagnetism can be discriminated from the result.

【0006】図5には、図4に示した地磁気センサの具
体的な構造が示されている。なお、地磁気センサ18及
び20はいずれも同一構造を有するため、以下の説明に
おいては地磁気センサ18について説明する。
FIG. 5 shows a specific structure of the geomagnetic sensor shown in FIG. Since the geomagnetic sensors 18 and 20 have the same structure, the geomagnetic sensor 18 will be described below.

【0007】図5において、基板22の上面には、露光
技術によって磁気抵抗素子パターン24が形成され、一
方、基板22の下面にはバイアス磁界を発生するバイア
ス磁石26が接合されている。磁気抵抗素子パターン2
4の出力は、4つの電極28を介して4つのリード30
から取り出される。
In FIG. 5, a magnetoresistive element pattern 24 is formed on the upper surface of the substrate 22 by an exposure technique, while a bias magnet 26 for generating a bias magnetic field is bonded to the lower surface of the substrate 22. Magnetoresistive element pattern 2
The output of 4 is the four leads 30 via the four electrodes 28.
Taken from.

【0008】このような地磁気センサにおいては、例え
ばLSIチップと同様に、内部の感磁素子部を保護する
ため、及びリード30の確実な保持のため、保護層とし
て樹脂モールド100が施される。ちなみに、この保護
層100は、0.5〜1.0mmの厚みで形成される。
なお、地磁気を検出する感磁素子としては、上記の他
に、ホール素子や磁気ダイオード等が用いられる。
In such a geomagnetic sensor, like the LSI chip, for example, a resin mold 100 is applied as a protective layer in order to protect the magnetic sensing element inside and to securely hold the lead 30. Incidentally, this protective layer 100 is formed with a thickness of 0.5 to 1.0 mm.
In addition to the above, a Hall element, a magnetic diode, or the like is used as the magnetic sensing element for detecting the earth magnetism.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】以上述べた保護層10
0は、特に磁気抵抗素子パターン24の保護のために不
可欠なものである。すなわち、磁気抵抗パターン24を
大気中の水分や酸素から隔絶させるため、あるいは物理
的保護のために保護層100が必要である。
SUMMARY OF THE INVENTION The protective layer 10 described above.
0 is indispensable especially for protecting the magnetoresistive element pattern 24. That is, the protective layer 100 is necessary for isolating the magnetoresistive pattern 24 from moisture and oxygen in the atmosphere or for physical protection.

【0010】しかしながら、この保護層100の存在に
より、地磁気センサに接合される磁気レンズの磁気収束
端から磁気抵抗素子パターン24に至る磁気通過経路に
おいて、収束したはずの地磁気の発散や漏洩が生じ、こ
の結果、地磁気検出感度の低下を招くという問題があっ
た。図3には、磁気レンズの磁気収束端からの距離と磁
界の強さとの関係が参考として示されている。図示され
るように、収束端からの距離が不必要に長くなると、十
分に収束されたはずの磁束が広がり、この結果磁界が弱
められることが理解される。
However, the presence of the protective layer 100 causes divergence and leakage of the geomagnetism that should have converged in the magnetic passage path from the magnetic converging end of the magnetic lens joined to the geomagnetic sensor to the magnetoresistive element pattern 24. As a result, there is a problem that the sensitivity of geomagnetic detection is reduced. FIG. 3 shows the relationship between the distance from the magnetic focusing end of the magnetic lens and the strength of the magnetic field for reference. As can be seen, it is understood that if the distance from the converging end becomes unnecessarily long, the magnetic flux that should have been sufficiently converged will spread, and the magnetic field will be weakened as a result.

【0011】本発明は、上記従来の課題に鑑みなされた
ものであり、その目的は磁気レンズからの地磁気を漏れ
なく有効に感磁素子へ導き、地磁気検出装置の検出感度
を向上させることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to effectively guide the geomagnetism from the magnetic lens to the magnetic sensitive element without leakage and improve the detection sensitivity of the geomagnetic detection device. And

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、地磁気を検出する感磁素子を保護層で包
んでなる地磁気センサと、前記地磁気センサに磁気収束
端を接合させた少なくとも1つの磁気レンズと、を有す
る地磁気検出装置において、前記磁気収束端から前記感
磁素子に至る地磁気通過経路には、磁気収束端側から感
磁素子側にかけて断面が徐々に小さくなる導磁材が配置
されたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention has a geomagnetic sensor in which a magnetic sensitive element for detecting geomagnetism is wrapped with a protective layer, and a magnetic focusing end is joined to the geomagnetic sensor. In a geomagnetism detecting device having at least one magnetic lens, a magnetic material having a cross section gradually decreasing from a magnetic converging end side to a magnetic sensitive element side in a geomagnetism passing path from the magnetic converging end to the magnetic sensitive element. Is placed.

【0013】[0013]

【作用】上記構成によれば、磁気収束端と感磁素子との
間には、導磁材が配置されているため、磁気レンズにて
十分に収束された磁束は磁気収束端から導磁材を介して
広がることなく有効に感磁素子へ達することになる。す
なわち、従来においては、保護層の領域で広がっていた
磁束を更に収束させて、検出感度の向上を図ることが可
能となる。
According to the above construction, since the magnetic conducting material is arranged between the magnetic flux converging end and the magnetic sensitive element, the magnetic flux sufficiently converged by the magnetic lens is passed from the magnetic flux concentrating end to the magnetic conducting material. The magnetic field can be effectively reached without spreading through the magnetic field. That is, it is possible to improve the detection sensitivity by further converging the magnetic flux spread in the area of the protective layer in the past.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面に基づい
て説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0015】本実施例の地磁気検出装置は、図4に示し
た従来例と同様に、主感度方向を互いに直交させた2つ
の検出部で構成され、各検出部は、磁気レンズと地磁気
センサとで構成されている。
The geomagnetism detecting apparatus of this embodiment is composed of two detecting sections whose main sensitivity directions are orthogonal to each other, like the conventional example shown in FIG. 4, and each detecting section includes a magnetic lens and a geomagnetic sensor. It is composed of.

【0016】図1には、本実施例の地磁気検出装置の要
部拡大図が示されている。磁気レンズ30の磁気収束端
30aには、地磁気センサ32が接合配置されている。
この地磁気センサ32は、基本的に、図5に示した地磁
気センサと同一の構成を有し、以下に述べる導磁材34
を配置したことを特徴とする。
FIG. 1 shows an enlarged view of the main part of the geomagnetism detecting device of this embodiment. A geomagnetic sensor 32 is disposed on the magnetic converging end 30a of the magnetic lens 30 so as to be joined thereto.
This geomagnetic sensor 32 has basically the same configuration as the geomagnetic sensor shown in FIG.
Is arranged.

【0017】すなわち、地磁気センサ32は、上面に磁
気抵抗素子パターン36が形成された基板38と、この
基板の下面に接合されたバイアス磁界発生用のバイアス
磁石(図示せず)と、これらの基板38及びバイアス磁
石を樹脂モールドしてなる保護層40と、を有するもの
である。従って、基板38とバイアス磁石とにより感磁
素子が構成されている。
That is, the geomagnetic sensor 32 has a substrate 38 having a magnetoresistive element pattern 36 formed on the upper surface thereof, a bias magnet (not shown) for generating a bias magnetic field bonded to the lower surface of the substrate, and these substrates. 38 and a protective layer 40 formed by resin-molding a bias magnet. Therefore, the substrate 38 and the bias magnet constitute a magnetic sensing element.

【0018】そして、本実施例においては、磁気収束端
30aと基板38の一方側の側面38aとの間には、上
述した導磁材34が配置されている。この実施例では、
導磁材34の一方側の面は、磁気収束端30aに接合し
ており、他方側の面は基板38の側面38aに接合して
いる。
In the present embodiment, the above-mentioned magnetic conductor 34 is arranged between the magnetic flux converging end 30a and the one side surface 38a of the substrate 38. In this example,
The surface on one side of the magnetic conductor 34 is joined to the magnetic flux converging end 30a, and the surface on the other side is joined to the side surface 38a of the substrate 38.

【0019】ここにおいて、導磁材34は、図1に示さ
れるように、磁気収束端30aから徐々にその断面(磁
束と直交する磁束通過断面)が小さくなるように形成さ
れている。従って、磁気収束端30aから出た磁束は、
この導磁材34によってさらに収束されて磁気抵抗素子
パターン36に達することになる。
Here, as shown in FIG. 1, the magnetic conducting material 34 is formed such that its cross section (magnetic flux passing cross section orthogonal to the magnetic flux) gradually becomes smaller from the magnetic flux converging end 30a. Therefore, the magnetic flux emitted from the magnetic flux converging end 30a is
The magnetic conducting material 34 further converges and reaches the magnetoresistive element pattern 36.

【0020】以上のように、保護層40における磁気通
過経路に導磁材34を配置したので、従来において生じ
ていた保護層40の領域での磁束の広がりや漏れを回避
して、磁気検出感度を高めることが可能である。
As described above, since the magnetic conductor 34 is arranged in the magnetic passage in the protective layer 40, the magnetic flux spreading and leakage in the area of the protective layer 40, which has conventionally occurred, can be avoided, and the magnetic detection sensitivity can be avoided. Can be increased.

【0021】なお、この導磁材34としては、磁気レン
ズ30と同様に、パーマロイなどの軟質強磁性体を用い
ることが好適である。ちなみに、本実施例では、従来例
との対比において、約30〜50%の磁束収束率の向上
が確認されている。
As with the magnetic lens 30, it is preferable to use a soft ferromagnetic material such as permalloy as the magnetic conductor 34. By the way, in this embodiment, it is confirmed that the magnetic flux convergence rate is improved by about 30 to 50% in comparison with the conventional example.

【0022】製造時における導磁材34の配置は、リー
ド42の固定と同様に樹脂モールド時に導磁材34を埋
め込むことにより行われる。このような製造工程によれ
ば、導磁材34の埋め込みだけで済むため特別な工程を
要せず、簡易な製造が実現できる。勿論、特に保護すべ
き磁気抵抗素子パターン36は、保護層40によって完
全に保護されているため、従来例との対比において耐久
性はほとんど変わらない。
The magnetic conducting material 34 is arranged at the time of manufacture by embedding the magnetic conducting material 34 at the time of resin molding as in the case of fixing the leads 42. According to such a manufacturing process, since it is only necessary to embed the magnetic conductive material 34, no special process is required and a simple manufacturing can be realized. Of course, since the magnetoresistive element pattern 36 to be particularly protected is completely protected by the protective layer 40, the durability is almost the same as that of the conventional example.

【0023】次に、図2には、導磁材の変形例が示され
ている。図2に示される導磁材44は、基板と対向する
面が図示されるように円弧状に切り取られていることを
特徴とする。すなわち、磁束は、一般に磁性体の面から
垂直方向に出る性質があるため、このように円弧状の曲
面とすることにより、より磁束の収束率を高めることが
可能となる。なお、この切り取られた円弧状の領域に
は、樹脂モールド時に樹脂が流し込まれることになり、
その領域は保護層40の一部となる。しかしながら、導
磁材44と基板38とは十分に近接することになるの
で、上述した収束率の向上と相まって、感度の低下を招
くことはなく、逆に若干の感度の向上を図ることができ
る。
Next, FIG. 2 shows a modification of the magnetic conducting material. The magnetic conductor 44 shown in FIG. 2 is characterized in that the surface facing the substrate is cut in an arc shape as shown. That is, since the magnetic flux generally has a property of coming out from the surface of the magnetic body in the vertical direction, it is possible to further increase the convergence rate of the magnetic flux by forming the curved surface in an arc shape. Note that the resin is poured into the cut-out arc-shaped region during resin molding,
That region becomes a part of the protective layer 40. However, since the magnetic conductor 44 and the substrate 38 are sufficiently close to each other, the sensitivity is not lowered in combination with the improvement of the convergence rate described above, and on the contrary, the sensitivity can be slightly improved. ..

【0024】以上のように、本実施例の地磁気検出装置
によれば、装置の形状を増大させずに、収束された磁束
を有効に磁気抵抗素子パターンに導くことができるの
で、検出感度の向上を図ることができる。従って、外乱
等に強い地磁気検出装置を構成でき、ナビゲーションシ
ステムなどにおいて好適な地磁気検出装置を提供でき
る。
As described above, according to the geomagnetism detecting apparatus of this embodiment, the converged magnetic flux can be effectively guided to the magnetoresistive element pattern without increasing the shape of the apparatus, so that the detection sensitivity is improved. Can be planned. Therefore, it is possible to configure a geomagnetism detection device that is resistant to disturbance and the like, and it is possible to provide a geomagnetism detection device suitable for a navigation system or the like.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のように、本発明に係る地磁気検出
装置によれば、磁気収束端から感磁素子に至る磁気通過
経路に導磁材が配置されているので、収束した磁束をそ
のまま有効に感磁素子に導いて検出感度の向上を図るこ
とができる。従って、地磁気検出感度を高めることがで
きる。
As described above, according to the geomagnetism detecting device of the present invention, since the magnetic conducting material is arranged in the magnetic passage path from the magnetic flux converging end to the magnetic sensitive element, the converged magnetic flux is effective as it is. Further, it is possible to improve the detection sensitivity by introducing the magnetic sensitive element. Therefore, the geomagnetic detection sensitivity can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る地磁気検出装置の要部拡大図であ
る。
FIG. 1 is an enlarged view of a main part of a geomagnetism detection device according to the present invention.

【図2】導磁材の変形例を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a modified example of a magnetic conductor.

【図3】磁気収束端からの距離と磁界の強さとの関係を
示す特性図である。
FIG. 3 is a characteristic diagram showing the relationship between the distance from the magnetic flux converging end and the strength of the magnetic field.

【図4】従来の地磁気検出装置の全体構成を示す平面図
である。
FIG. 4 is a plan view showing the overall configuration of a conventional geomagnetism detection device.

【図5】従来の地磁気センサの構造を示す斜視図であ
る。
FIG. 5 is a perspective view showing the structure of a conventional geomagnetic sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

30 磁気レンズ 32 地磁気センサ 34 導磁材 36 磁気抵抗素子パターン(感磁素子) 38 基板(感磁素子) 40 保護層 30 Magnetic Lens 32 Geomagnetic Sensor 34 Magnetic Material 36 Magnetoresistive Element Pattern (Magnetic Sensing Element) 38 Substrate (Magnetic Sensing Element) 40 Protective Layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西川 賢司 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自動 車株式会社内 (72)発明者 橋本 利夫 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自動 車株式会社内 (72)発明者 太田 和秀 愛知県豊田市トヨタ町1番地 トヨタ自動 車株式会社内 (72)発明者 片山 素夫 愛知県愛知郡日進町浅田字下小深田7番地 萩原電気株式会社名古屋工場内 (72)発明者 藤田 守康 愛知県愛知郡日進町浅田字下小深田7番地 萩原電気株式会社名古屋工場内 (72)発明者 伊藤 昌久 静岡県浜北市内野2923番地 株式会社日本 オートメーシヨン内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Kenji Nishikawa, 1 Toyota Town, Toyota City, Aichi Prefecture, Toyota Motor Corporation (72) Inventor: Toshio Hashimoto, 1 Toyota Town, Aichi Prefecture, Toyota Motor Corporation ( 72) Inventor Kazuhide Ota 1 Toyota Town, Toyota City, Aichi Prefecture, Toyota Motor Co., Ltd. (72) Inventor, Motoo Katayama 7 Shimoogoda, Asada, Nisshin Town, Aichi District, Aichi Prefecture Hagiwara Electric Co., Ltd. Nagoya Plant (72 ) Inventor Moriyasu Fujita 7 Shimokofukada, Asada, Nisshin-cho, Aichi-gun, Aichi Prefecture Hagiwara Electric Co., Ltd. Nagoya factory (72) Inventor Masahisa Ito 2923, Hamakita city, Shizuoka prefecture Japan Automation Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 地磁気を検出する感磁素子を保護層で包
んでなる地磁気センサと、 前記地磁気センサに磁気収束端を接合させた少なくとも
1つの磁気レンズと、 を有する地磁気検出装置において、 前記磁気収束端から前記感磁素子に至る地磁気通過経路
には、磁気収束端側から感磁素子側にかけて断面が徐々
に小さくなる導磁材が配置されたことを特徴とする地磁
気検出装置。
Claim: What is claimed is: 1. A geomagnetism comprising: a geomagnetic sensor comprising a magnetic sensitive element for detecting geomagnetism wrapped in a protective layer; and at least one magnetic lens having a magnetic flux converging end joined to the geomagnetic sensor. In the detection device, a geomagnetic material having a cross section that gradually decreases in cross section from the magnetic converging end side to the magnetic sensitive element side is disposed in the geomagnetic passing path from the magnetic converging end to the magnetic sensitive element. Detection device.
JP16818391A 1991-07-09 1991-07-09 Geomagnetic detector Expired - Lifetime JP2971989B2 (en)

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JP16818391A JP2971989B2 (en) 1991-07-09 1991-07-09 Geomagnetic detector

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