JPH0518910A - 積層板の検査方法 - Google Patents
積層板の検査方法Info
- Publication number
- JPH0518910A JPH0518910A JP3172434A JP17243491A JPH0518910A JP H0518910 A JPH0518910 A JP H0518910A JP 3172434 A JP3172434 A JP 3172434A JP 17243491 A JP17243491 A JP 17243491A JP H0518910 A JPH0518910 A JP H0518910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microcracks
- laminated
- fluorescence agent
- rays
- fluorescent agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 abstract 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000005260 alpha ray Effects 0.000 description 1
- 230000005250 beta ray Effects 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000000695 excitation spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 マイクロクラックを感度よく検出でき、マイ
クロクラックの広がりを面として観察することのできる
検出方法を得る。 【構成】 加工された積層板に発生したクラック内に蛍
光剤を浸透させた後、この蛍光剤に紫外線、可視光線、
Ｘ線、α線、β線などを当て、蛍光剤を励起して得られ
る蛍光を観察する積層板の検査方法。蛍光剤を浸透させ
る方法としては、積層板を蛍光剤の溶液に浸漬し、減
圧してマイクロクラック内を脱泡する、加圧する、
超音波振動する方法または、プリント配線板を加熱し
た後、蛍光剤の溶液に浸漬する方法の内から少なくとも
２つ以上を組み合わせて使用するのが好ましい。
クロクラックの広がりを面として観察することのできる
検出方法を得る。 【構成】 加工された積層板に発生したクラック内に蛍
光剤を浸透させた後、この蛍光剤に紫外線、可視光線、
Ｘ線、α線、β線などを当て、蛍光剤を励起して得られ
る蛍光を観察する積層板の検査方法。蛍光剤を浸透させ
る方法としては、積層板を蛍光剤の溶液に浸漬し、減
圧してマイクロクラック内を脱泡する、加圧する、
超音波振動する方法または、プリント配線板を加熱し
た後、蛍光剤の溶液に浸漬する方法の内から少なくとも
２つ以上を組み合わせて使用するのが好ましい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板などに
用いられる積層板に発生したクラックの検査方法に関す
るものである。特に、マイクロクラックの検査方法に関
するものである。
用いられる積層板に発生したクラックの検査方法に関す
るものである。特に、マイクロクラックの検査方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】高密度実装、高機能化に対応したプリン
ト配線板には、微細な回路形成が要求され、小径穴の加
工が必要になっている。この小径穴の加工時の穴あけ条
件が悪いと穴の周囲にマイクロクラックが発生すること
がある。
ト配線板には、微細な回路形成が要求され、小径穴の加
工が必要になっている。この小径穴の加工時の穴あけ条
件が悪いと穴の周囲にマイクロクラックが発生すること
がある。
【０００３】この様なマイクロクラックが発生すると、
プリント配線板の導通信頼性が損なわれる問題を有して
いた。
プリント配線板の導通信頼性が損なわれる問題を有して
いた。
【０００４】従来は観察する穴に沿って切断して穴内壁
を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって観察していた。
また、電子部品のクラックの検出方法としては超音波顕
微鏡観察も行われている。
を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって観察していた。
また、電子部品のクラックの検出方法としては超音波顕
微鏡観察も行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＳＥＭの観察方法は、
マイクロクラックの有無はわかるもののその広がりを知
ることができない欠点があった。また、超音波顕微鏡に
よる観察は、クラックの広がりを見ることができる長所
はあるが、感度の点でプリント配線板のクラック特に、
クラックの開口部の幅（開口部の縦、横において狭い
方）が１０μｍ以下で深さが幅の５倍以上のマイクロク
ラックの検出には適用できない。
マイクロクラックの有無はわかるもののその広がりを知
ることができない欠点があった。また、超音波顕微鏡に
よる観察は、クラックの広がりを見ることができる長所
はあるが、感度の点でプリント配線板のクラック特に、
クラックの開口部の幅（開口部の縦、横において狭い
方）が１０μｍ以下で深さが幅の５倍以上のマイクロク
ラックの検出には適用できない。
【０００６】そこで本発明は、上記の問題を解決するも
のであり、その目的とするところは、マイクロクラック
を感度よく捉え、マイクロクラックの広がりを面として
観察することのできる検出方法を提供することにある。
のであり、その目的とするところは、マイクロクラック
を感度よく捉え、マイクロクラックの広がりを面として
観察することのできる検出方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前記の問題点に
鑑みなされたものであり、その特徴は、加工された積層
板に発生したクラック内に蛍光剤を浸透させた後、この
蛍光剤を発光させて観察する積層板の検査方法にある。
鑑みなされたものであり、その特徴は、加工された積層
板に発生したクラック内に蛍光剤を浸透させた後、この
蛍光剤を発光させて観察する積層板の検査方法にある。
【０００８】そして、前記クラック内に蛍光剤を浸透さ
せる方法としては、積層板を蛍光剤の溶液に浸漬し、
減圧してマイクロクラック内を脱泡して浸透させる、
加圧注入して浸透させる、超音波振動で浸透させる、
または、プリント配線板を加熱した後、蛍光剤の溶液
に浸漬する方法の内から少なくとも２つ以上を組み合わ
せて使用する。このような方法によって完全に蛍光剤を
マイクロクラックの中に浸透させることができ、蛍光剤
の入ったマイクロクラックに、紫外線、可視光線、Ｘ
線、α線、β線などを当て、蛍光剤を励起して得られる
蛍光を観察することによって容易にマイクロクラックを
感度よく検出でき、マイクロクラックを平面的な広がり
で観察可能とした。
せる方法としては、積層板を蛍光剤の溶液に浸漬し、
減圧してマイクロクラック内を脱泡して浸透させる、
加圧注入して浸透させる、超音波振動で浸透させる、
または、プリント配線板を加熱した後、蛍光剤の溶液
に浸漬する方法の内から少なくとも２つ以上を組み合わ
せて使用する。このような方法によって完全に蛍光剤を
マイクロクラックの中に浸透させることができ、蛍光剤
の入ったマイクロクラックに、紫外線、可視光線、Ｘ
線、α線、β線などを当て、蛍光剤を励起して得られる
蛍光を観察することによって容易にマイクロクラックを
感度よく検出でき、マイクロクラックを平面的な広がり
で観察可能とした。
【０００９】さらに、開口部周辺の樹脂など付着物を除
去するデスミア処理することが好ましく検査後の積層板
の信頼性が向上する。デスミア処理で蛍光剤溶液がマイ
クロクラックに浸透する入口が確保できるからである。
デスミア処理には、通常行われるプラズマ処理や過マン
ガン酸による方法などを用いることができる。これらの
効果としてドリル加工性にも優れたものになる。
去するデスミア処理することが好ましく検査後の積層板
の信頼性が向上する。デスミア処理で蛍光剤溶液がマイ
クロクラックに浸透する入口が確保できるからである。
デスミア処理には、通常行われるプラズマ処理や過マン
ガン酸による方法などを用いることができる。これらの
効果としてドリル加工性にも優れたものになる。
【００１０】
【作用】本発明のマイクロクラックの検出方法は、圧力
差、温度差、振動を利用して浸透性の向上を図り、マイ
クロクラック内に蛍光剤溶液を浸透させ、その後、光を
当て、ルミネセンスを応用し、励起スペクトルを得てそ
の強い発光を蛍光顕微鏡や蛍光光度計で観察、測定する
ので感度よく、平面的な広がりで検査できるものであ
る。
差、温度差、振動を利用して浸透性の向上を図り、マイ
クロクラック内に蛍光剤溶液を浸透させ、その後、光を
当て、ルミネセンスを応用し、励起スペクトルを得てそ
の強い発光を蛍光顕微鏡や蛍光光度計で観察、測定する
ので感度よく、平面的な広がりで検査できるものであ
る。
【００１１】
【実施例】以下、本発明を実施例によって具体的に説明
する。
する。
【００１２】実施例１
ガラス基材エポキシ樹脂系の４層板（松下電工社製の
内層材Ｒ-1766 、0.9mm厚、70mm銅箔使用とプリプレグ
Ｒ-1661、0.1 mmを３枚使用で製作したもの）に刃の一
部分が欠けたφ 0.4mmのドリルビットを用い、８万rpm
、送り速度1.6m/分で穴あけを行った。
内層材Ｒ-1766 、0.9mm厚、70mm銅箔使用とプリプレグ
Ｒ-1661、0.1 mmを３枚使用で製作したもの）に刃の一
部分が欠けたφ 0.4mmのドリルビットを用い、８万rpm
、送り速度1.6m/分で穴あけを行った。
【００１３】この積層板を蛍光浸透探傷剤（栄進化学
社製、商品名「ネオグロー」）の中に浸漬したまま1332
Paまで減圧し、10分間保持してマイクロクラック内の空
気を除去した後、次に１０ｋｇ／ｃｍ2 に加圧してネオ
グローをマイクロクラックの中に浸透させた。10分間加
圧した後、常圧に戻しネオグローの液から積層板を引き
上げて水洗し、表面などのネオグローを除去した。
社製、商品名「ネオグロー」）の中に浸漬したまま1332
Paまで減圧し、10分間保持してマイクロクラック内の空
気を除去した後、次に１０ｋｇ／ｃｍ2 に加圧してネオ
グローをマイクロクラックの中に浸透させた。10分間加
圧した後、常圧に戻しネオグローの液から積層板を引き
上げて水洗し、表面などのネオグローを除去した。
【００１４】次にこの積層板に紫外線を当てて穴の周
囲の蛍光を蛍光顕微鏡で観察した。その結果、穴の周囲
のマイクロクラックの部分が緑色に浮き上がって見え
た。
囲の蛍光を蛍光顕微鏡で観察した。その結果、穴の周囲
のマイクロクラックの部分が緑色に浮き上がって見え
た。
【００１５】実施例２
実施例１の項のネオグローの浸透方法を超音波振動を
行いながら減圧脱泡処理をし、加圧を除いた他は、実施
例１と同様にした。
行いながら減圧脱泡処理をし、加圧を除いた他は、実施
例１と同様にした。
【００１６】結果は実施例１と同様で穴の周囲のマイク
ロクラックが緑色に浮き上がって見えた。
ロクラックが緑色に浮き上がって見えた。
【００１７】実施例３
実施例１の項のネオグローの浸透方法を減圧に変えて
積層板を８０℃に加熱したものをネオグロー中に浸漬し
た以外は、実施例１と同様にした。
積層板を８０℃に加熱したものをネオグロー中に浸漬し
た以外は、実施例１と同様にした。
【００１８】結果は実施例１と同様で穴の周囲のマイク
ロクラックが緑色に浮き上がって見えた。
ロクラックが緑色に浮き上がって見えた。
【００１９】実施例４
実施例１の項の刃の一部分が欠けたφ 0.4mmのドリル
ビットに替えて摩耗したドリルビットを用いて穴あけし
た積層板を用い、シプレ（株）の過マンガン酸デスミア
処理を標準条件で行った後、実施例１の項をそのまま
実施した。その結果、実施例１と同様で穴の周囲のマイ
クロクラックが緑色に浮き上がって見えた。
ビットに替えて摩耗したドリルビットを用いて穴あけし
た積層板を用い、シプレ（株）の過マンガン酸デスミア
処理を標準条件で行った後、実施例１の項をそのまま
実施した。その結果、実施例１と同様で穴の周囲のマイ
クロクラックが緑色に浮き上がって見えた。
【００２０】実施例５
ネオグローを浸透する方法が実施例４の項すなわち、
実施例１の項を実施例２の項である超音波振動を行
いながら減圧脱泡処理する一連の処理に変えた以外は、
実施例１と同様にした。
実施例１の項を実施例２の項である超音波振動を行
いながら減圧脱泡処理する一連の処理に変えた以外は、
実施例１と同様にした。
【００２１】結果は実施例１と同様で穴の周囲のマイク
ロクラックが緑色に浮き上がって見えた。
ロクラックが緑色に浮き上がって見えた。
【００２２】比較例１
実施例１の項の減圧と加圧をやめ、ネオグロー中に積
層板を浸漬するだけにした。その結果、穴の周囲のマイ
クロクラックは観察されなかった。
層板を浸漬するだけにした。その結果、穴の周囲のマイ
クロクラックは観察されなかった。
【００２３】比較例２
実施例１の項の加圧をやめた他は実施例１と同様に処
理した。その結果、穴の周囲に蛍光が観察されたが実施
例１の約３／５程度しかなくマイクロクラックの全体を
観察することはできなかった。
理した。その結果、穴の周囲に蛍光が観察されたが実施
例１の約３／５程度しかなくマイクロクラックの全体を
観察することはできなかった。
【００２４】比較例３
実施例４の項のデスミア処理を除いた他はすべて実施
例４と同様に処理した。その結果、穴の周囲に蛍光が観
察されたが実施例４の約１／２程度しかなくマイクロク
ラックの全体を観察することはできなかった。
例４と同様に処理した。その結果、穴の周囲に蛍光が観
察されたが実施例４の約１／２程度しかなくマイクロク
ラックの全体を観察することはできなかった。
【００２５】比較例２
実施例１で得られた積層板を超音波顕微鏡で観察した
が、何の異常も見い出せなかった。
が、何の異常も見い出せなかった。
【００２６】
【発明の効果】本発明によって、マイクロクラックを感
度よくの検出でき、マイクロクラックの広がりを面とし
て観察することができる。
度よくの検出でき、マイクロクラックの広がりを面とし
て観察することができる。
Claims (3)
- 【請求項１】 加工された積層板に発生したクラック内
に蛍光剤を浸透させた後、この蛍光剤を発光させて観察
することを特徴とする積層板の検査方法。 - 【請求項２】 請求項１のクラック内に蛍光剤を浸透さ
せる方法が、蛍光剤に積層板を浸漬し、減圧または、加
圧または、超音波振動または、加熱のいずれか２つ以上
を組み合わせて使用することを特徴とする請求項１記載
の積層板の検査方法。 - 【請求項３】 蛍光剤を浸透させる前に、加工された部
分をデスミア処理することを特徴とする請求項１また
は、請求項２記載の積層板の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172434A JPH0518910A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 積層板の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172434A JPH0518910A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 積層板の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518910A true JPH0518910A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=15941912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3172434A Pending JPH0518910A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 積層板の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518910A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE20301286U1 (de) | 2003-01-19 | 2003-07-31 | Massen, Robert, Prof. Dr.-Ing., 78337 Öhningen | Kontrollsystem zur automatischen optischen Kontrolle von farblich gemusterten Oberflächen |
| DE10301931A1 (de) * | 2003-01-19 | 2004-07-29 | Massen, Robert, Prof. Dr.-Ing. | Automatische optische Oberflächeninspektion von farbig gemusterten Oberflächen, welche mit einer transparenten Schutzschicht versehen sind |
| WO2014017027A1 (ja) * | 2012-07-25 | 2014-01-30 | 国立大学法人九州工業大学 | ユーロピウムジケトンキレート化合物及び無機材又は金属材の蛍光浸透探傷方法 |
| CN106827739A (zh) * | 2015-11-27 | 2017-06-13 | 惠和株式会社 | 裂纹检测用多层片及其制造方法、裂纹检测用多层片卷、壁面加工方法和混凝土结构体 |
| CN109142386A (zh) * | 2018-11-06 | 2019-01-04 | 卢乐 | 一种加速渗透剂渗透的装置及其操作方法 |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP3172434A patent/JPH0518910A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE20301286U1 (de) | 2003-01-19 | 2003-07-31 | Massen, Robert, Prof. Dr.-Ing., 78337 Öhningen | Kontrollsystem zur automatischen optischen Kontrolle von farblich gemusterten Oberflächen |
| DE10301931A1 (de) * | 2003-01-19 | 2004-07-29 | Massen, Robert, Prof. Dr.-Ing. | Automatische optische Oberflächeninspektion von farbig gemusterten Oberflächen, welche mit einer transparenten Schutzschicht versehen sind |
| WO2014017027A1 (ja) * | 2012-07-25 | 2014-01-30 | 国立大学法人九州工業大学 | ユーロピウムジケトンキレート化合物及び無機材又は金属材の蛍光浸透探傷方法 |
| CN106827739A (zh) * | 2015-11-27 | 2017-06-13 | 惠和株式会社 | 裂纹检测用多层片及其制造方法、裂纹检测用多层片卷、壁面加工方法和混凝土结构体 |
| CN106827739B (zh) * | 2015-11-27 | 2020-12-29 | 惠和株式会社 | 裂纹检测用多层片及其制造方法、裂纹检测用多层片卷、壁面加工方法和混凝土结构体 |
| CN109142386A (zh) * | 2018-11-06 | 2019-01-04 | 卢乐 | 一种加速渗透剂渗透的装置及其操作方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0071872B1 (en) | Method of detecting and analyzing flaws in a printed circuit board laminate | |
| KR102009255B1 (ko) | 배선 기판의 제조 방법, 배선 기판 및 배선 기판 제조 장치 | |
| JP2872453B2 (ja) | レーザによるプリント基板の穴明け加工方法 | |
| KR20020069138A (ko) | 수지 물질을 조직화하고 수지 물질을 데스메어링 및제거하기 위한 용매 팽창 | |
| JP2004101533A (ja) | 積層材料の凹設部検査装置及びレーザ加工装置 | |
| WO2017051495A1 (ja) | 配線基板の製造方法、配線基板及び配線基板製造装置 | |
| DE59100736D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von elektronischen Flachbaugruppen, insbesondere mit Bauelementen bestückten Leiterplatten. | |
| Menzel | Optimising the Drilling and Etch‐back Parameters in Flexible Multilayer Manufacture | |
| JP2687535B2 (ja) | エネルギービームによる加工穴の処理方法 | |
| JP2002324963A (ja) | プリント配線板の非貫通孔加工方法 | |
| JPS6168544A (ja) | セラミツク製品の螢光探傷法 | |
| JP3679594B2 (ja) | クラック検査方法 | |
| JPH10337699A (ja) | 配線基板の穴開け加工方法 | |
| JP2003188494A (ja) | プリント板のスルーホール部基材欠陥発生品の電食試験サンプル作製方法 | |
| TWI656818B (zh) | Method for manufacturing wiring board and wiring board manufacturing apparatus | |
| JP3716613B2 (ja) | プリント配線板及びその製造方法 | |
| JP2000068653A (ja) | 多層基板のスミア除去方法 | |
| JP6531556B2 (ja) | 配線基板の製造方法、および配線基板 | |
| JPH0354885A (ja) | プリント基板の孔加工方法 | |
| JPS6197995A (ja) | スル−ホ−ル型配線基板の製法 | |
| JPH07234193A (ja) | 積層板の評価方法 | |
| Lee et al. | Air mesh plasma for PCB de-smear process | |
| JP2021011410A (ja) | レーザ加工方法及レーザ加工装置 | |
| RU2280337C2 (ru) | Способ изготовления рельефных печатных плат | |
| JP2005294873A (ja) | プリント配線板の製造方法 |