JPH051894B2 - - Google Patents

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JPH051894B2
JPH051894B2 JP59159420A JP15942084A JPH051894B2 JP H051894 B2 JPH051894 B2 JP H051894B2 JP 59159420 A JP59159420 A JP 59159420A JP 15942084 A JP15942084 A JP 15942084A JP H051894 B2 JPH051894 B2 JP H051894B2
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pressure
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resistor
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Dopuraa Kurausu
Guryunuaruto Uerunaa
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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Publication date
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Publication of JPH051894B2 publication Critical patent/JPH051894B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L23/00Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
    • G01L23/08Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
    • G01L23/18Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by resistance strain gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0002Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in ohmic resistance
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02BINTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
    • F02B3/00Engines characterised by air compression and subsequent fuel addition
    • F02B3/06Engines characterised by air compression and subsequent fuel addition with compression ignition

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  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、壁11によつて仕切られた媒体の圧
力を、抵抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体
と作用結合している抵抗素子10の使用下で検出
し、その際抵抗素子10を壁11に固定するため
及び抵抗素子10に導かれる2つの供給線12,
13を取付けるために壁11を密封して貫通する
構成部材14が設けられており、この場合抵抗素
子10が膜抵抗体として形成され、少なくとも供
給線12,13の2つの圧力空間側端部の間に拡
がり、この場合さらに構成部材14が金属基体1
4a及びこの金属基体によつて取り囲まれた、2
つの供給線12,13を収容するために使用され
る絶縁材料からの塊からなり、この塊が基体14
aの圧力空間側端部にまで達するセンサー;壁1
1によつて仕切られた媒体の圧力を、抵抗値を圧
力効果のもとで変化する、媒体と作用結合してい
る抵抗素子10の使用下で検出し、その際抵抗素
子10を壁11に固定するため及び抵抗素子10
に導かれる供給線12として形成されている2つ
の金属導線を取付けるために壁11を密封して貫
通する構成部材14が設けられており、この場合
抵抗素子10が膜抵抗体として形成され、少なく
とも金属導線の2つの圧力空間側端部の間に拡が
り、この場合さらに構成部材14が金属基体14
a及びこの金属基体によつて取り囲まれた、供給
線12を収容するために使用される絶縁材料から
の塊14bからなり、この塊が基体14aの圧力
空間側端部にまで達するセンサー;壁11によつ
て仕切られた媒体の圧力を、抵抗値を圧力効果の
もとで変化する、媒体と作用結合している抵抗素
子10及び抵抗素子10に導かれる2つの供給線
12,13の使用下で検出し、その際抵抗素子1
0を壁11に固定するため及び供給線12,13
を取付けるために壁11を密封して貫通する構成
部材14が設けられており、この場合抵抗素子1
0が膜抵抗として形成され、少なくとも供給線1
2,13の2つの圧力空間側端部の間に拡がるセ
ンサー;壁11によつて仕切られた媒体の圧力
を、抵抗値を圧力効果のもとで変化する媒体と作
用結合している抵抗素子10及び抵抗素子10に
導かれる2つの供給線12,13の使用下で検出
するセンサー;金属壁11によつて仕切られた媒
体の圧力を、抵抗値を圧力効果のもとで変える、
媒体と作用結合している抵抗素子10及び抵抗素
子10に導かれる2つの金属導線の使用下で検出
するセンサー;ならびに絶縁材料からなる壁11
によつて仕切られた媒体の圧力を、抵抗値を圧力
効果のもとで変える、媒体と作用結合している抵
抗素子10及び抵抗素子10に導かれる2つの供
給線12,13の使用下で検出するセンサーに関
する。
従来技術 壁によつて仕切られた媒体の圧力を検出するセ
ンサーは、既に数多く公知であり、この場合この
センサーは、抵抗素子を使用し、この抵抗素子
は、媒体と作用結合し、その抵抗値は、圧力効果
のもとで変わる。更に、この抵抗素子が膜抵抗体
として形成されかつ特殊な支持体上に設けられて
いるようなこの種のセンサーは、公知である。従
つて、例えば西ドイツ国特許公開公報第3125640
号の記載から、膜抵抗体を設けた支持体が構成部
材の圧力空間側端部で配置されており、この端部
が絶縁材料からなる弾性注型物を収容し、この注
型物を供給線が膜抵抗体にまで貫通しているよう
な特許請求の範囲第1項記載の前記概念によるセ
ンサーは、公知である。しかし、この注型物は、
それ自体膜抵抗体に対する支持体として使用する
ことができるのに必要とされる機械的強度を有し
ない。
作 用 それとは異なり、塊がガラス、セラミツク又は
他の電気絶縁性密封材料からの溶封部14bとし
て形成されており、同時に抵抗素子10に対する
支持体として使用され、この場合2つの供給線1
2,13及び溶封部14bがそれらの圧力空間側
端部で一線で互いに終つている(第1図、第2
図)ことの特徴;他の金属導線が構成部材14の
金属基体14aによつて形成され、塊14bがガ
ラス、セラミツク又は他の電気絶縁性密封材料か
らの溶封部として形成されており、同時に抵抗素
子10に対する支持体として使用され、この場合
供給管12,溶封部14b及び構成部材14の金
属基体14aの抵抗素子10によつて被覆された
部分がそれらの圧力空間側端部で一線で互いに終
つている(第3図、第4図)ことの特徴;構成部
材14が非伝導性材料からなり、抵抗素子10に
対する支持体として使用され、この場合2つの供
給線12,13及び構成部材14がそれらの圧力
空間側端部で一線で互いに終つている(第5図、
第6図)ことの特徴;抵抗素子10が膜抵抗体と
して形成され、絶縁材料からの塊17上に設けら
れており、この塊が壁11中に挿入され、2つの
供給線12,13を収容するために使用され、膜
抵抗体10が少なくとも1つの供給線12の圧力
空間側端部から他の供給線13の圧力空間側端部
へ拡がる(第7図)ことの特徴;2つの金属導線
の1つが供給線12として形成されており、他の
金属導線が壁11によつて形成されており、抵抗
素子10が膜抵抗体として形成され、絶縁材料か
らの塊17上に設けられており、この塊が壁11
中に挿入され、供給線12を収容するために使用
され、膜抵抗体10が供給線12の圧力空間側端
部から壁11及び若干それを越えてまで拡がつて
いる(第8図)ことの特徴;供給線12,13が
密封されて壁11を貫通しており、抵抗素子10
が膜抵抗体として形成され、壁11の圧力空間側
表面上に直接に設けられ、少なくとも1つの供給
線12の圧力空間側端部から他の供給線13の圧
力空間側端部へ拡がつている(第9図)ことの特
徴;又は膜抵抗体10上に保護層18が設けられ
ていることの特徴をそれぞれ有する本発明による
センサーは、抵抗素子を形成する膜抵抗体に対し
て特殊な支持体を全く必要としないという利点を
有する。それというのも、この支持体は、媒体を
仕切る壁それ自体によつて形成され及び/又は導
線を壁に貫通させるのにとにかく必要とされる部
材によつて形成されるからである。他の利点は、
特許請求の範囲第2項から第6項まで、第8項か
ら第12項まで、第14項から第18項まで、第
20項、第22項、第24項又は第26項のいず
れか1項の記載から明らかである。
実施例 本発明の実施例は、図面に図示され、次の記載
で詳説される。
本発明によるセンサーは、媒体中の圧力を抵抗
値を圧力効果のもとに変化する抵抗素子10の使
用下で検出するために提案され、この場合この媒
体は、抵抗素子と作用結合し、少なくとも1つの
壁11によつて仕切られている。この壁は、閉鎖
された容器もしくは開いた容器、管路又は溝の成
分であることができ、媒体は、流れるか又は停止
することができる。
このセンサーは、殊に例えば内燃機関の油圧系
又は噴射ポンプの場合に発生するような高い圧力
を測定するのに適当である。この噴射ポンプの場
合、制御系のセンサー部分は、種々の使用パラメ
ータで内燃機関を制御することに関係し、とくに
噴射量は、噴射ポンプ中の圧力により直接に測定
される。
本発明によるセンサーの第1図で図示された第
1の実施例の場合、抵抗素子10を壁11に固定
するため及び抵抗素子10に導かれかつ供給線と
して形成されている2つの導線12及び13を取
付けるために、構成部材14は設けられており、
この構成部材は、ねじとして形成され、壁11中
にねじ締めされ、こうして密封して壁11を貫通
している。ねじ14の代りに、押込部材を使用す
ることもできる。この場合、ねじ14は、金属基
体14a及びこの金属基体によつて取り囲まれた
ガラス溶封部14bからなり、このガラス溶封部
は、2つの供給線12及び13を収容しかつ基体
14aの圧力空間側の端部にまで達する。ガラス
溶封部14bの代りに、セラミツク又は他の電気
絶縁性の密封材料からの溶封部を使用することも
できる。ガラス溶封部14bは、抵抗素子10に
対する支持体として使用され、この抵抗素子は、
厚膜抵抗体として形成され、供給線12及び13
の2つの圧力空間側の端部間でそのつどなお若干
さらに拡がる。厚膜抵抗体10の代りに、抵抗素
子として薄膜抵抗体を使用することもできる。2
つの供給線12及び13とガラス溶封部14b
は、圧力空間側端部で一線で互いに閉鎖され、し
たがつて2つの供給線12及び13は、膜抵抗体
10によつて簡単にブリツジさせることができる
が、この場合には、普通の厚膜−又は薄膜技術を
凌駕する特殊な手段を必要としないであろう。従
つて、こうして形成されたセンサーは、特に簡単
に安価に得ることができる。
第2図は、本発明によるセンサーの第2の実施
例を示す。この実施例の場合、膜抵抗体10は、
ねじ14の1つの側面15上に設けられており、
この側面は、ねじ14をその軸線と平行にフライ
ス削りすることによつて製造されている。膜抵抗
体10は、こうしてそれが圧力空間の方に向くの
ではなく、ねじ14を壁11中に収容するために
設けられたねじ山の孔の方に向くように配置され
ている。この場合、ねじ14をフライス削りする
ことによつて形成された側面15は、ねじ山の孔
に対して、それによつて生じるスリツト状空所1
6が膜抵抗体10を収容するためにのみ十分なの
ではなく、媒体を収容するために十分な空間を圧
力を測定する際に提供するように遥かに引つ込ん
でいる。この実施例は、膜抵抗体10が損傷に対
して特に良好に保護されておりかつ測定の際に圧
力空間の容積が減少しないという利点を有し、こ
のことは、殊に自動車の分配形噴射ポンプの圧力
測定のためにセンサーを使用する場合に好まし
い。空所16の膜抵抗体10によつて応力を受け
ない部分が損なわれる場合には、この空隙は、耐
久弾性ではあるが耐圧縮性の材料を流し込むこと
によつて充填することができる。
第3図には、本発明によるセンサーの第3の実
施例が図示されている。この実施例は、第1図に
よる実施例と専ら、抵抗素子10に導かれる2つ
の金属導線の1つのみが供給線12として形成さ
れておりかつガラス溶封部14bによつて取り囲
まれていることによつて区別される。他の導線
は、ねじ14それ自体の金属基体14aによつて
形成される。ガラス溶封部14bによつて取り囲
まれた供給線12は、ねじ14の軸線中にあるの
が好ましい。
第4図による実施例の場合には、第3図による
実施例の場合と同様に1つの導線が供給線12と
して形成されており、他の導線は、金属基体14
aによつて形成される。しかし、幾何学的配置に
おいて、第4図による実施例は、第2図による実
施例に相当する。
第5図及び第6図による実施例は、再び2つの
供給線12及び13が抵抗素子10に導かれてい
る場合において第1図及び第2図による実施例に
相当する。しかし、供給線12及び13を収容す
るために使用される、ねじとして形成された構成
部材14は、第1図及び第2図と相違して単一の
絶縁材料からなる。従つて、この場合には、ガラ
ス溶封部は省略される。第5図の膜抵抗体10の
幾何学的配置は、第1図のその幾何学的配置に相
当し、第6図の膜抵抗体10の幾何学的配置は、
第2図のその幾何学的配置に相当する。
第7図及び第8図には、2つの他の実施例が図
示されており、この場合絶縁は、溶封部17によ
り行なわれ、この溶封部は、直接に壁11中に導
入される。
第7図による実施例の場合、2つの供給線12
及び13は、溶封部17により壁11を絶縁して
貫通し、第1図と同様に圧力空間側で抵抗素子1
0によつてブリツジされている。
これに対して、第8図による実施例の場合に
は、1つの供給線12のみが溶封部17により壁
11を絶縁して貫通し、導電性材料からなる壁1
1は、第2の導体を形成する。
抵抗素子10は、圧力空間側で供給線12の端
部から壁11にまで導かれ、溶封部17を取り囲
む壁の縁部範囲を僅かに被覆し、したがつて壁と
の電気接触は保証されている。
第9図には、壁が絶縁材料からなる場合に使用
が可能である配置が図示されている。この場合、
2つの供給線12及び13は、直接に壁11の密
封して貫通し、圧力空間側で厚膜抵抗体10によ
つてブリツジされている。
第10図は、第8図による実施例の1つの変法
を示し、この場合厚膜抵抗体10上には、保護膜
18が設けられており、保護層18は、圧縮弾性
注型物19によつて取り囲まれている。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図、第3図、第4図、第5図、第
6図、第7図、第8図、第9図、第10図はそれ
ぞれ、本発明によるセンサーのそれぞれ異なる1
実施例を示す断面図である。 10……抵抗素子、11……壁、12,13…
…供給線、14……構成部材、14a……基体、
14b……溶封部、15……側面、16……空
所、17……塊、18……保護層、19……注型
物。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 壁11によつて仕切られた媒体の圧力を、抵
    抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用結
    合している抵抗素子10の使用下で検出し、その
    際抵抗素子10を壁11に固定するため及び抵抗
    素子10に導かれる2つの供給線12,13を取
    付けるために壁11を密封して貫通する構成部材
    14が設けられており、この場合抵抗素子10が
    膜抵抗体として形成され、少なくとも供給線1
    2,13の2つの圧力空間側端部の間に拡がり、
    この場合さらに構成部材14が金属基体14a及
    びこの金属基体によつて取り囲まれた、2つの供
    給線12,13を収容するために使用される絶縁
    材料からの塊からなり、この塊が基体14aの圧
    力空間側端部にまで達するセンサーにおいて、こ
    の塊がガラス、セラミツク又は他の電気絶縁性密
    封材料からの溶封部14bとして形成されてお
    り、同時に抵抗素子10に対する支持体として使
    用され、この場合2つの供給線12,13及び溶
    封部14bがそれらの圧力空間側端部で一線で互
    いに終つている(第1図、第2図)ことを特徴と
    する、壁によつて仕切られた媒体の圧力を検出す
    るセンサー。 2 膜抵抗体10が置かれている構成部材14の
    圧力空間側端部の部分が圧力空間に対向している
    (第1図)、特許請求の範囲第1項記載のセンサ
    ー。 3 膜抵抗体10が置かれている構成部材14の
    圧力空間側端部の部分がこの構成部材14の側面
    15によつて定められており、この側面が壁11
    中の構成部材14に対して設けられた開口の側
    面の方に向き、この側面に比して、構成部材1
    4の側面上に設けられた膜抵抗体10と壁11の
    側面との間で媒体を収容するためのスリツト状
    空所16が形成されるように引つ込んでいる(第
    2図)、特許請求の範囲第1項記載のセンサー。 4 構成部材14がねじである(第1図、第2
    図)、特許請求の範囲第1項から第3項までのい
    ずれか1項に記載のセンサー。 5 自動車の分配形噴射ポンプのポンプケーシン
    グ中の圧力を測定するために、ねじ14が分配形
    噴射ポンプの排気ねじである、特許請求の範囲第
    4項記載のセンサー。 6 膜抵抗体10が厚膜抵抗体として形成されて
    いる、特許請求の範囲第1項から第5項までのい
    ずれか1項に記載のセンサー。 7 壁11によつて仕切られた媒体の圧力を、抵
    抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用結
    合している抵抗素子10の使用下で検出し、その
    際抵抗素子10を壁11に固定するため及び抵抗
    素子10に導かれる供給線12として形成されて
    いる2つの金属導線を取付けるために壁11を密
    封して貫通する構成部材14が設けられており、
    この場合抵抗素子10が膜抵抗体として形成さ
    れ、少なくとも金属導線の2つの圧力空間側端部
    の間に拡がり、この場合さらに構成部材14が金
    属基体14a及びこの金属基体によつて取り囲ま
    れた、供給線12を収容するために使用される絶
    縁材料からの塊14bからなり、この塊が基体1
    4aの圧力空間側端部にまで達するセンサーにお
    いて、他の金属導線が構成部材14の金属基体1
    4aによつて形成され、塊14bがガラス、セラ
    ミツク又は他の電気絶縁性密封材料からの溶封部
    として形成されており、同時に抵抗素子10に対
    する支持体として使用され、この場合供給管1
    2、溶封部14b及び構成部材14の金属基体1
    4aの抵抗素子10によつて被覆された部分がそ
    れらの圧力空間側端部で一線で互いに終つている
    (第3図、第4図)ことを特徴とする、壁によつ
    て仕切られた媒体の圧力を検出するセンサー。 8 膜抵抗体10が置かれている構成部材14の
    圧力空間側端部の部分が圧力空間に対向している
    (第3図)、特許請求の範囲第7項記載のセンサ
    ー。 9 膜抵抗体10が置かれている構成部材14の
    圧力空間側端部の部分がこの構成部材14の側面
    15によつて定められており、この側面が壁11
    中の構成部材14に対して設けられた開口の側
    面の方に向き、この側面に比して、構成部材1
    4の側面上に設けられた膜抵抗体10と壁11の
    側面との間で媒体を収容するためのスリツト状
    空所16が形成されるように引つ込んでいる(第
    4図)、特許請求の範囲第7項記載のセンサー。 10 構成部材14がねじである(第3図、第4
    図)、特許請求の範囲第7項から第9項までのい
    ずれか1項に記載のセンサー。 11 自動車の分配形噴射ポンプのポンプケーシ
    ング中の圧力を測定するために、ねじ14が分配
    形噴射ポンプの排気ねじである、特許請求の範囲
    第10項記載のセンサー。 12 膜抵抗体10が厚膜抵抗体として形成され
    ている、特許請求の範囲第7項から第11項まで
    のいずれか1項に記載のセンサー。 13 壁11によつて仕切られた媒体の圧力を、
    抵抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用
    結合している抵抗素子10及び抵抗素子10に導
    かれる2つの供給線12,13の使用下で検出
    し、その際抵抗素子10を壁11に固定するため
    及び供給線12,13を取付けるために壁11を
    密封して貫通する構成部材14が設けられてお
    り、この場合抵抗素子10が膜抵抗体として形成
    され、少なくとも供給線12,13の2つの圧力
    空間側端部の間に拡がるセンサーにおいて、構成
    部材14が非伝導性材料からなり、抵抗素子10
    に対する支持体として使用され、この場合2つの
    供給線12,13及び構成部材14がそれらの圧
    力空間側端部で一線で互いに終つている(第5
    図、第6図)ことを特徴とする、壁によつて仕切
    られた媒体の圧力を検出するセンサー。 14 膜抵抗体10が置かれている構成部材14
    の圧力空間側端部の部分が圧力空間に対向してい
    る(第5図)、特許請求の範囲第13項記載のセ
    ンサー。 15 膜抵抗体10が置かれている構成部材14
    の圧力空間側端部の部分がこの構成部材14の側
    面15によつて定められており、この側面が壁1
    1中の構成部材14に対して設けられた開口の側
    面の方に向き、この側面に比して、構成部材
    14の側面上に設けられた膜抵抗体10と壁11
    の側面との間で媒体を収容するためのスリツト
    状空所16が形成されるように引つ込んでいる
    (第6図)、特許請求の範囲第13項記載のセンサ
    ー。 16 構成部材14がねじである(第5図、第6
    図)、特許請求の範囲第13項から第15項まで
    のいずれか1項に記載のセンサー。 17 自動車の分配形噴射ポンプのポンプケーシ
    ング中の圧力を測定するために、ねじ14が分配
    形噴射ポンプの排気ねじである、特許請求の範囲
    第16項記載のセンサー。 18 膜抵抗体10が厚膜抵抗体として形成され
    ている、特許請求の範囲第13項から第17項ま
    でのいずれか1項に記載のセンサー。 19 壁11によつて仕切られた媒体の圧力を、
    抵抗値を圧力効果のもとで変化する、媒体と作用
    結合している抵抗素子10及び抵抗素子10に導
    かれる2つの供給線12,13の使用下で検出す
    るセンサーにおいて、抵抗素子10が膜抵抗体と
    して形成され、絶縁材料からの塊17上に設けら
    れており、この塊が壁11中に挿入され、2つの
    供給線12,13を収容するために使用され、膜
    抵抗体10が少なくとも1つの供給線12の圧力
    空間側端部から他の供給線13の圧力空間側端部
    へ拡がる(第7図)ことを特徴とする、壁によつ
    て仕切られた媒体の圧力を検出するセンサー。 20 膜抵抗体10が厚膜抵抗体として形成され
    ている、特許請求の範囲第19項記載のセンサ
    ー。 21 金属壁11によつて仕切られた媒体の圧力
    を、抵抗値を圧力効果のもとで変える、媒体と作
    用結合している抵抗素子10及び抵抗素子10に
    導かれる2つの金属導線の使用下で検出するセン
    サーにおいて、2つの金属導線の1つが供給線1
    2として形成されており、他の金属導線が壁11
    によつて形成されており、抵抗素子10が膜抵抗
    体として形成され、絶縁材料からの塊17上に設
    けられており、この塊が壁11中に挿入され、供
    給線12を収容するために使用され、膜抵抗体1
    0が供給線12の圧力空間側端部から壁11及び
    若干それを越えてまで拡がつている(第8図)こ
    とを特徴とする、壁によつて仕切られた媒体の圧
    力を検出するセンサー。 22 膜抵抗体10が厚膜抵抗体として形成され
    ている、特許請求の範囲第21項記載のセンサ
    ー。 23 絶縁材料からなる壁11によつて仕切られ
    た媒体の圧力を、抵抗値を圧力効果のもとで変え
    る、媒体と作用結合している抵抗素子10及び抵
    抗素子10に導かれる2つの供給線12,13の
    使用下で検出するセンサーにおいて、供給線1
    2,13が密封されて壁11を貫通しており、抵
    抗素子10が膜抵抗体として形成され、壁11の
    圧力空間側表面上に直接に設けられ、少なくとも
    1つの供給線12の圧力空間側端部から他の供給
    線13の圧力空間側端部へ拡がつている(第9
    図)ことを特徴とする、壁によつて仕切られた媒
    体の圧力を検出するセンサー。 24 膜抵抗体10が厚膜抵抗体として形成され
    ている、特許請求の範囲第23項記載のセンサ
    ー。 25 金属壁11によつて仕切られた媒体の圧力
    を、抵抗値を圧力効果のもとで変える、媒体と作
    用結合している抵抗素子10及び抵抗素子10に
    導かれる2つの金属導線の使用下で検出するセン
    サーにおいて、膜抵抗体10上に保護層18が設
    けられている(第10図)ことを特徴とする、壁
    によつて仕切られた媒体の圧力を検出するセンサ
    ー。 26 膜抵抗体10又は保護層18が圧縮弾性注
    型材料19によつて取り囲まれている(第10
    図)、特許請求の範囲第25項記載のセンサー。
JP59159420A 1983-09-12 1984-07-31 壁によつて仕切られた媒体の圧力を検出するセンサ− Granted JPS6067830A (ja)

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