JPH0519009A - Ｅｓｄテスト装置 - Google Patents
Ｅｓｄテスト装置Info
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- JPH0519009A JPH0519009A JP3198820A JP19882091A JPH0519009A JP H0519009 A JPH0519009 A JP H0519009A JP 3198820 A JP3198820 A JP 3198820A JP 19882091 A JP19882091 A JP 19882091A JP H0519009 A JPH0519009 A JP H0519009A
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- voltage
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高電圧の電源を使用する必要がないと共に、
量産に適したＥＳＤテスト装置を提供する。 【構成】 リレーＲＬ1 乃至ＲＬm は抵抗Ｒ1 を介して
容量Ｃ1 乃至ＣS を入力端子１と接地端子２との間に並
列に接続する。入力端子１と接地端子２との間に電圧を
印加し、この電圧を容量Ｃ1 乃至ＣS に充電する。リレ
ーＲＬ1 乃至ＲＬm を切り替えて容量Ｃ1 乃至ＣS を接
地端子２と出力端子３との間に直列に接続する。これに
より、容量Ｃ1 乃至ＣS に充電された電圧を加算した電
圧が出力端子３に放電される。 【効果】 入力端子１に低電圧を印加しても、出力端子
３に高電圧を放電することができる。従って、高電圧の
電源を使用する必要はないので、装置の軽量化が可能で
ある。また、容量Ｃ1 乃至ＣS の数を選択することによ
り、出力端子３に種々異なる電圧を出力することができ
るので、汎用性を有し、量産に適している。
量産に適したＥＳＤテスト装置を提供する。 【構成】 リレーＲＬ1 乃至ＲＬm は抵抗Ｒ1 を介して
容量Ｃ1 乃至ＣS を入力端子１と接地端子２との間に並
列に接続する。入力端子１と接地端子２との間に電圧を
印加し、この電圧を容量Ｃ1 乃至ＣS に充電する。リレ
ーＲＬ1 乃至ＲＬm を切り替えて容量Ｃ1 乃至ＣS を接
地端子２と出力端子３との間に直列に接続する。これに
より、容量Ｃ1 乃至ＣS に充電された電圧を加算した電
圧が出力端子３に放電される。 【効果】 入力端子１に低電圧を印加しても、出力端子
３に高電圧を放電することができる。従って、高電圧の
電源を使用する必要はないので、装置の軽量化が可能で
ある。また、容量Ｃ1 乃至ＣS の数を選択することによ
り、出力端子３に種々異なる電圧を出力することができ
るので、汎用性を有し、量産に適している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高電圧源を使用しないで
構成されるＥＳＤ（electro-static discharge）テスト
装置に関する。
構成されるＥＳＤ（electro-static discharge）テスト
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のＥＳＤテスト装置を示す回
路図である。充電時電流制限用の抵抗Ｒ1 はその一端が
入力端子１に接続されている。リレーＲＬ0 はその接点
ａが抵抗Ｒ1 の他端に接続され、その接点ｂが出力端子
３に接続されている。容量Ｃ0はその一方の電極がリレ
ーＲＬ0 の極側ｃに接続され、その他方の電極が接地端
子２に接続されている。出力端子３はリレーＲＬm+1 乃
至ＲＬn （ｍ，ｎ；任意の正整数）を切り替えることに
より出力端子４乃至ｎに選択的に接続されるようになっ
ている。なお、入力端子１と接地端子２との間には高電
圧の電源Ｅ0 が接続されている。
路図である。充電時電流制限用の抵抗Ｒ1 はその一端が
入力端子１に接続されている。リレーＲＬ0 はその接点
ａが抵抗Ｒ1 の他端に接続され、その接点ｂが出力端子
３に接続されている。容量Ｃ0はその一方の電極がリレ
ーＲＬ0 の極側ｃに接続され、その他方の電極が接地端
子２に接続されている。出力端子３はリレーＲＬm+1 乃
至ＲＬn （ｍ，ｎ；任意の正整数）を切り替えることに
より出力端子４乃至ｎに選択的に接続されるようになっ
ている。なお、入力端子１と接地端子２との間には高電
圧の電源Ｅ0 が接続されている。
【０００３】次に、上述したＥＳＤテスト装置の動作に
ついて説明する。先ず、リレーＲＬ0 の極側ｃと接点ａ
とを接続しておき、入力端子１に電源Ｅ0 に基づく電圧
を印加することにより、容量Ｃ0 に電荷を蓄える。次
に、リレーＲＬ0 を切り替えてその極側ｃと接点ｂとを
接続する。これにより、容量Ｃ0 に蓄えられた電荷は出
力端子３に放電される。この場合、リレーＲＬm+1 乃至
ＲＬn を切り替えることにより、容量Ｃ0 に蓄えられた
電荷は出力端子４乃至ｎに選択的に放電される。
ついて説明する。先ず、リレーＲＬ0 の極側ｃと接点ａ
とを接続しておき、入力端子１に電源Ｅ0 に基づく電圧
を印加することにより、容量Ｃ0 に電荷を蓄える。次
に、リレーＲＬ0 を切り替えてその極側ｃと接点ｂとを
接続する。これにより、容量Ｃ0 に蓄えられた電荷は出
力端子３に放電される。この場合、リレーＲＬm+1 乃至
ＲＬn を切り替えることにより、容量Ｃ0 に蓄えられた
電荷は出力端子４乃至ｎに選択的に放電される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のＥＳＤテスト装置においては、入力電圧を高く
するため、高電圧の電源Ｅ0 を設けている。このため、
安全性を考慮して装置を高電圧から保護するための手段
が必要であり、これによりＥＳＤテスト装置の重量が重
くなるという問題点がある。また、従来のＥＳＤテスト
装置は所定の電圧に対して専用のものであるため、量産
に適しておらず、製造コストが高いという問題点があ
る。
た従来のＥＳＤテスト装置においては、入力電圧を高く
するため、高電圧の電源Ｅ0 を設けている。このため、
安全性を考慮して装置を高電圧から保護するための手段
が必要であり、これによりＥＳＤテスト装置の重量が重
くなるという問題点がある。また、従来のＥＳＤテスト
装置は所定の電圧に対して専用のものであるため、量産
に適しておらず、製造コストが高いという問題点があ
る。
【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、高電圧の電源を使用する必要がないと共
に、量産に適したＥＳＤテスト装置を提供することを目
的とする。
のであって、高電圧の電源を使用する必要がないと共
に、量産に適したＥＳＤテスト装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るＥＳＤテス
ト装置は、その一端が入力端子に接続された第１の抵抗
と、この第１の抵抗の他端と接地端子との間に並列に接
続される複数個の容量と、この複数個の容量の接続状態
を切り替えて前記複数個の容量のうちの少なくとも１個
の容量を前記接地端子と出力端子との間に直列に接続す
る切替手段とを有することを特徴とする。
ト装置は、その一端が入力端子に接続された第１の抵抗
と、この第１の抵抗の他端と接地端子との間に並列に接
続される複数個の容量と、この複数個の容量の接続状態
を切り替えて前記複数個の容量のうちの少なくとも１個
の容量を前記接地端子と出力端子との間に直列に接続す
る切替手段とを有することを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明においては、充電時の電流を制限する第
１の抵抗を設け、この第１の抵抗の他端と接地端子との
間に複数個の容量を並列に接続した状態で、入力端子に
電圧を印加することにより、前記複数個の容量に電荷を
蓄える。その後、切替手段が前記複数個の容量の接続状
態を切り替えることにより、前記複数個の容量のうちの
少なくとも１個を前記接地端子と出力端子との間に直列
に接続する。この場合、前記出力端子には直列接続され
た前記容量に充電された電荷が放電される。このため、
前記入力端子に低電圧を印加しても、出力端子に高電圧
を放電することができる。従って、本発明に係るＥＳＤ
テスト装置においては、高電圧の電源を使用する必要は
ないので、装置の軽量化が可能である。また、複数個の
容量に電荷を蓄えた後に、接地端子と出力端子との間に
接続する容量の数を選択することにより、出力端子に種
々異なる電圧を出力することができる。このため、本発
明に係るＥＳＤテスト装置は汎用性を有し、量産に適し
ているため、その製造コストが低い。
１の抵抗を設け、この第１の抵抗の他端と接地端子との
間に複数個の容量を並列に接続した状態で、入力端子に
電圧を印加することにより、前記複数個の容量に電荷を
蓄える。その後、切替手段が前記複数個の容量の接続状
態を切り替えることにより、前記複数個の容量のうちの
少なくとも１個を前記接地端子と出力端子との間に直列
に接続する。この場合、前記出力端子には直列接続され
た前記容量に充電された電荷が放電される。このため、
前記入力端子に低電圧を印加しても、出力端子に高電圧
を放電することができる。従って、本発明に係るＥＳＤ
テスト装置においては、高電圧の電源を使用する必要は
ないので、装置の軽量化が可能である。また、複数個の
容量に電荷を蓄えた後に、接地端子と出力端子との間に
接続する容量の数を選択することにより、出力端子に種
々異なる電圧を出力することができる。このため、本発
明に係るＥＳＤテスト装置は汎用性を有し、量産に適し
ているため、その製造コストが低い。
【０００８】なお、本発明においては、前記複数個の容
量と前記出力端子との間に第２の抵抗を接続することが
できる。この場合、前記第２の抵抗の抵抗値に基づいて
出力電圧を設定することができる。
量と前記出力端子との間に第２の抵抗を接続することが
できる。この場合、前記第２の抵抗の抵抗値に基づいて
出力電圧を設定することができる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明に実施例について添付の図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１０】図１は本発明の第１の実施例に係るＥＳＤ
テスト装置を示す回路図である。充電時電流制限用の抵
抗Ｒ1 はその一端が入力端子１に接続されている。リレ
ーＲＬ1 乃至ＲＬS はその接点ａが抵抗Ｒ1 の他端に接
続されている。容量Ｃ1 乃至ＣS は夫々その一方の電極
がリレーＲＬ1 乃至ＲＬS の極側ｃに接続されている。
容量Ｃ1 の他方の電極は接地端子２に接続され、容量Ｃ
2 乃至ＣS の他方の電極は夫々リレーＲＬS+1 乃至ＲＬ
m （ｍ＝２Ｓ−１）の極側ｃに接続されている。リレー
ＲＬS+1 乃至ＲＬm はその接点ａが接地端子２に接続さ
れている。また、リレーＲＬ1 乃至ＲＬS-1 の接点ｂは
夫々リレーＲＬS+1 乃至ＲＬm の接点ｂに接続されてい
る。リレーＲＬS の接点ｂは出力端子３に接続されてい
る。
テスト装置を示す回路図である。充電時電流制限用の抵
抗Ｒ1 はその一端が入力端子１に接続されている。リレ
ーＲＬ1 乃至ＲＬS はその接点ａが抵抗Ｒ1 の他端に接
続されている。容量Ｃ1 乃至ＣS は夫々その一方の電極
がリレーＲＬ1 乃至ＲＬS の極側ｃに接続されている。
容量Ｃ1 の他方の電極は接地端子２に接続され、容量Ｃ
2 乃至ＣS の他方の電極は夫々リレーＲＬS+1 乃至ＲＬ
m （ｍ＝２Ｓ−１）の極側ｃに接続されている。リレー
ＲＬS+1 乃至ＲＬm はその接点ａが接地端子２に接続さ
れている。また、リレーＲＬ1 乃至ＲＬS-1 の接点ｂは
夫々リレーＲＬS+1 乃至ＲＬm の接点ｂに接続されてい
る。リレーＲＬS の接点ｂは出力端子３に接続されてい
る。
【００１１】出力端子３はリレーＲＬm+1 乃至ＲＬn の
一端に接続され、このリレーＲＬm+ 1 乃至ＲＬn の他端
は出力端子４乃至ｎに接続されていて、リレーＲＬm+1
乃至ＲＬn を切り替えることにより出力端子３が出力端
子４乃至ｎに選択的に接続されるようになっている。
一端に接続され、このリレーＲＬm+ 1 乃至ＲＬn の他端
は出力端子４乃至ｎに接続されていて、リレーＲＬm+1
乃至ＲＬn を切り替えることにより出力端子３が出力端
子４乃至ｎに選択的に接続されるようになっている。
【００１２】次に、上述した本実施例に係るＥＳＤテス
ト回路の動作について説明する。先ず、リレーＲＬ1 乃
至ＲＬm の極側ｃと接点ａとを接続する。この場合、容
量Ｃ1 乃至ＣS は入力端子１と接地端子２との間に並列
に接続される。そして、入力端子１と接地端子２との間
に電圧を印加することにより、この電圧を容量Ｃ1 乃至
ＣS に充電する。次に、リレーＲＬ1 乃至ＲＬm を切り
替えてその極側ｃと接点ｂとを接続する。これにより、
容量Ｃ1 乃至ＣS は接地端子２と出力端子３との間に直
列に接続されるので、接地端子２と出力端子３との間に
は容量Ｃ1 乃至ＣS に充電された電圧を加算した電圧が
発生し、この加算電圧が出力端子３に放電される。ま
た、リレーＲＬm+1 乃至ＲＬn を切り替えることによ
り、容量Ｃ1乃至ＣS に充電された加算電圧は出力端子
４乃至ｎに選択的に放電される。
ト回路の動作について説明する。先ず、リレーＲＬ1 乃
至ＲＬm の極側ｃと接点ａとを接続する。この場合、容
量Ｃ1 乃至ＣS は入力端子１と接地端子２との間に並列
に接続される。そして、入力端子１と接地端子２との間
に電圧を印加することにより、この電圧を容量Ｃ1 乃至
ＣS に充電する。次に、リレーＲＬ1 乃至ＲＬm を切り
替えてその極側ｃと接点ｂとを接続する。これにより、
容量Ｃ1 乃至ＣS は接地端子２と出力端子３との間に直
列に接続されるので、接地端子２と出力端子３との間に
は容量Ｃ1 乃至ＣS に充電された電圧を加算した電圧が
発生し、この加算電圧が出力端子３に放電される。ま
た、リレーＲＬm+1 乃至ＲＬn を切り替えることによ
り、容量Ｃ1乃至ＣS に充電された加算電圧は出力端子
４乃至ｎに選択的に放電される。
【００１３】本実施例によれば、入力端子１に低電圧を
印加しても、出力端子３に高電圧を放電することができ
る。従って、本実施例に係るＥＳＤテスト装置において
は、高電圧の電源を使用する必要はなく、高電圧から装
置を保護するための手段を設ける必要がないので、装置
の軽量化が可能である。また、リレーＲＬ1 乃至ＲＬm
が接地端子２と出力端子３との間に接続する容量Ｃ1 乃
至ＣS の数を選択することにより、出力端子３に種々異
なる電圧を出力することができる。このため、本実施例
に係るＥＳＤテスト装置は汎用性を有し、量産に適して
いる。
印加しても、出力端子３に高電圧を放電することができ
る。従って、本実施例に係るＥＳＤテスト装置において
は、高電圧の電源を使用する必要はなく、高電圧から装
置を保護するための手段を設ける必要がないので、装置
の軽量化が可能である。また、リレーＲＬ1 乃至ＲＬm
が接地端子２と出力端子３との間に接続する容量Ｃ1 乃
至ＣS の数を選択することにより、出力端子３に種々異
なる電圧を出力することができる。このため、本実施例
に係るＥＳＤテスト装置は汎用性を有し、量産に適して
いる。
【００１４】例えば、図３に示す従来のＥＩＡＪ方式の
ＥＳＤテスト装置において、Ｃ0 ＝２００ｐＦ、Ｅ0 ＝
２５０Ｖとした場合に得られる出力特性と同等の出力特
性を得ようとする場合、本実施例においては、例えばＳ
＝５とし、容量Ｃ1 乃至Ｃ5を夫々１０００ｐＦにす
る。この場合、入力端子１と接地端子２との間に印加す
る電圧を例えば約５０Ｖにすることにより従来と同等の
出力特性を得ることができる。
ＥＳＤテスト装置において、Ｃ0 ＝２００ｐＦ、Ｅ0 ＝
２５０Ｖとした場合に得られる出力特性と同等の出力特
性を得ようとする場合、本実施例においては、例えばＳ
＝５とし、容量Ｃ1 乃至Ｃ5を夫々１０００ｐＦにす
る。この場合、入力端子１と接地端子２との間に印加す
る電圧を例えば約５０Ｖにすることにより従来と同等の
出力特性を得ることができる。
【００１５】図２は本発明の第２の実施例に係るＥＳＤ
テスト装置を示す回路図である。なお、本実施例は第１
の実施例の出力部に抵抗Ｒ2 を挿入したものであるの
で、図２において図１と同一物には同一符号を付してそ
の部分の詳細な説明は省略する。
テスト装置を示す回路図である。なお、本実施例は第１
の実施例の出力部に抵抗Ｒ2 を挿入したものであるの
で、図２において図１と同一物には同一符号を付してそ
の部分の詳細な説明は省略する。
【００１６】即ち、本実施例においては、最終段の容量
ＣS の接続状態を切り替えるリレーＲＬS の接点ｂと出
力端子３との間に抵抗Ｒ2 が挿入されている。
ＣS の接続状態を切り替えるリレーＲＬS の接点ｂと出
力端子３との間に抵抗Ｒ2 が挿入されている。
【００１７】この場合、その動作は第１の実施例の動作
と同様であるが、更に抵抗Ｒ2 の抵抗値に基づいて出力
電圧を設定することができる。これにより、ＭＩＬ方式
のＥＳＤテスト装置を構成することができる。
と同様であるが、更に抵抗Ｒ2 の抵抗値に基づいて出力
電圧を設定することができる。これにより、ＭＩＬ方式
のＥＳＤテスト装置を構成することができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、入
力端子と接地端子との間に並列接続された複数個の容量
の接続状態を切り替えて前記複数個の容量のうち少なく
とも１個の容量を前記接地端子と出力端子との間に直列
接続するから、前記入力端子に低電圧を印加しても、出
力端子に高電圧を放電することができる。従って、高電
圧の電源を使用する必要はないので、ＥＳＤテスト装置
の軽量化が可能である。また、前記接地端子と前記出力
端子との間に接続する容量の数を選択することにより、
種々異なる出力電圧を得ることができる。このため、本
発明に係るＥＳＤテスト装置は汎用性を有し、量産に適
しているため、その製造コストが低い。
力端子と接地端子との間に並列接続された複数個の容量
の接続状態を切り替えて前記複数個の容量のうち少なく
とも１個の容量を前記接地端子と出力端子との間に直列
接続するから、前記入力端子に低電圧を印加しても、出
力端子に高電圧を放電することができる。従って、高電
圧の電源を使用する必要はないので、ＥＳＤテスト装置
の軽量化が可能である。また、前記接地端子と前記出力
端子との間に接続する容量の数を選択することにより、
種々異なる出力電圧を得ることができる。このため、本
発明に係るＥＳＤテスト装置は汎用性を有し、量産に適
しているため、その製造コストが低い。
【図１】本発明の第１の実施例に係るＥＳＤテスト装置
を示す回路図である。
を示す回路図である。
【図２】本発明の第２の実施例に係るＥＳＤテスト装置
を示す回路図である。
を示す回路図である。
【図３】従来のＥＳＤテスト装置を示す回路図である。
１乃至ｎ；端子
Ｃ0 乃至ＣS ；容量
Ｒ1 ，Ｒ2 ；抵抗
ＲＬ1 乃至ＲＬn ；リレー
ａ，ｂ；リレーの接点
ｃ；リレーの極側
Ｅ0 ；電源
Claims (2)
- 【請求項１】 その一端が入力端子に接続された第１の
抵抗と、この第１の抵抗の他端と接地端子との間に並列
に接続される複数個の容量と、この複数個の容量の接続
状態を切り替えて前記複数個の容量のうちの少なくとも
１個の容量を前記接地端子と出力端子との間に直列に接
続する切替手段とを有することを特徴とするＥＳＤテス
ト装置。 - 【請求項２】 前記複数個の容量と前記出力端子との間
に接続された第２の抵抗を有することを特徴とする請求
項１に記載のＥＳＤテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3198820A JPH0519009A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | Ｅｓｄテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3198820A JPH0519009A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | Ｅｓｄテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0519009A true JPH0519009A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=16397460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3198820A Pending JPH0519009A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | Ｅｓｄテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519009A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101322556B1 (ko) * | 2011-04-27 | 2013-10-28 | 샤프 가부시키가이샤 | 고전압 검사 장치 |
-
1991
- 1991-07-11 JP JP3198820A patent/JPH0519009A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101322556B1 (ko) * | 2011-04-27 | 2013-10-28 | 샤프 가부시키가이샤 | 고전압 검사 장치 |
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