JPH0519212B2 - - Google Patents
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- JPH0519212B2 JPH0519212B2 JP58138256A JP13825683A JPH0519212B2 JP H0519212 B2 JPH0519212 B2 JP H0519212B2 JP 58138256 A JP58138256 A JP 58138256A JP 13825683 A JP13825683 A JP 13825683A JP H0519212 B2 JPH0519212 B2 JP H0519212B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- track
- disk
- information
- recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/10—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using electron beam; Record carriers therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は、電子ビームを利用して情報の記録及
び再生をなす電子ビーム記録装置に関する。
び再生をなす電子ビーム記録装置に関する。
(2) 技術の背景
電気パルス信号等の形で与えられる情報を記録
再生する装置として、磁気デイスク装置、光デイ
スク装置、更には、レーザデイスク装置等が知ら
れている。
再生する装置として、磁気デイスク装置、光デイ
スク装置、更には、レーザデイスク装置等が知ら
れている。
これらの情報記録再生装置は、電気信号として
入力された情報を磁束信号、光信号、レーザ信号
等に変換して、これらの変換された信号をもつて
デイスク状の情報記録媒体に物理的化学的変化を
与えて情報の書き込みをなし、この物理的化学的
変化に起因する何らかの物理量の変化を検出して
情報の読み出しをなすことを基本原理とする。
入力された情報を磁束信号、光信号、レーザ信号
等に変換して、これらの変換された信号をもつて
デイスク状の情報記録媒体に物理的化学的変化を
与えて情報の書き込みをなし、この物理的化学的
変化に起因する何らかの物理量の変化を検出して
情報の読み出しをなすことを基本原理とする。
上記の情報書き込み・読み出し媒体をもつてし
ては情報記録媒体たる情報記録デイスクの単位面
積当り記録容量が満足すべきものでなかつた。
ては情報記録媒体たる情報記録デイスクの単位面
積当り記録容量が満足すべきものでなかつた。
この欠点は上記各種の信号媒体、すなわち、磁
束、光、レーザ等をもつて微細なビームを形成し
たときその断面積の下限に限界があることに起因
する点に着目して、より細いビームとなしうる電
子ビームを信号媒体となした電子ビーム記録再生
装置が提案されており、この電子ビーム記録再生
装置においては、１ビツトの所要面積を500Å×
500Å程度に減少しうることが確認されている。
この電子ビーム記録再生装置は、情報を化体した
微細な電子ビームをもつて情報記録デイスクに物
理的化学的変化例えば電子ビーム照射点の溶融に
もとづく微細開口の形成を実現して情報を書き込
み、一方、情報の書き込まれた領域から得られる
ある種の物理量と書き込まれていない領域から得
られる同種の物理量との差例えば二次電子放出
量、反射電子放出量、Ｘ線放出量、けい光量、リ
ン光量等の差を検出して情報の読み出しをなすも
のである。
束、光、レーザ等をもつて微細なビームを形成し
たときその断面積の下限に限界があることに起因
する点に着目して、より細いビームとなしうる電
子ビームを信号媒体となした電子ビーム記録再生
装置が提案されており、この電子ビーム記録再生
装置においては、１ビツトの所要面積を500Å×
500Å程度に減少しうることが確認されている。
この電子ビーム記録再生装置は、情報を化体した
微細な電子ビームをもつて情報記録デイスクに物
理的化学的変化例えば電子ビーム照射点の溶融に
もとづく微細開口の形成を実現して情報を書き込
み、一方、情報の書き込まれた領域から得られる
ある種の物理量と書き込まれていない領域から得
られる同種の物理量との差例えば二次電子放出
量、反射電子放出量、Ｘ線放出量、けい光量、リ
ン光量等の差を検出して情報の読み出しをなすも
のである。
３ 従来技術の問題点
ただ、従来技術における電子ビーム記録用デイ
スクは、その表面に凹凸のない平面状のデイスク
を使用していたので、電子ビームを微細な幅のト
ラツク上にガイドすることが容易でなく、結果と
して、その上に情報が記録される情報記録トラツ
クの幅を1μm程度以下に減少することが困難で、
電子ビーム自身がその径50Å程度まで減少するこ
とが可能であるにかかわらず、電子ビーム情報記
録デイスクの単位面積当り記録容量を十分向上す
ることができないという欠点があつた。
スクは、その表面に凹凸のない平面状のデイスク
を使用していたので、電子ビームを微細な幅のト
ラツク上にガイドすることが容易でなく、結果と
して、その上に情報が記録される情報記録トラツ
クの幅を1μm程度以下に減少することが困難で、
電子ビーム自身がその径50Å程度まで減少するこ
とが可能であるにかかわらず、電子ビーム情報記
録デイスクの単位面積当り記録容量を十分向上す
ることができないという欠点があつた。
(4) 発明の目的
本発明の目的はこの欠点を解消することにあ
り、電子ビームをトラツク上にガイドすることが
容易であり、単位面積当り記録容量が大きな電子
ビーム記録装置を提供することにある。
り、電子ビームをトラツク上にガイドすることが
容易であり、単位面積当り記録容量が大きな電子
ビーム記録装置を提供することにある。
(5) 発明の構成
上記の目的は、シリコンデイスク１上に、フオ
トリソグラフイー法によりパターニングされた、
テルル、セレン、または、アンチモンの薄膜より
なり、断面形状が台形でありこの台形の傾斜面が
正確な平面である帯状凸部または凹部の渦巻き状
または同心円状の情報記録トラツク２′が形成さ
れた電子ビーム記録用デイスクと、情報記録トラ
ツク２′に向かつて照射されるべき情報記録用ま
たは情報読み出し用の電子ビーム１２が前記の台
形の凸部または凹部よりなる情報記録トラツク
２′の傾斜面に照射されたときは、電子ビーム照
射にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ線、りん
光、または、けい光の強度が、前記の台形の左右
において不同一となることを検出する二つの電子
線、Ｘ線、または、光線を検出する手段Ｃ，
C′と、この検出手段Ｃ，C′の出力を比較し、出力
の小さい値に電子ビームを偏向させ、電子ビーム
がトラツク上に照射されるようにフイードバツク
制御する制御手段とを有する電子ビーム記録装置
によつて達成される。
トリソグラフイー法によりパターニングされた、
テルル、セレン、または、アンチモンの薄膜より
なり、断面形状が台形でありこの台形の傾斜面が
正確な平面である帯状凸部または凹部の渦巻き状
または同心円状の情報記録トラツク２′が形成さ
れた電子ビーム記録用デイスクと、情報記録トラ
ツク２′に向かつて照射されるべき情報記録用ま
たは情報読み出し用の電子ビーム１２が前記の台
形の凸部または凹部よりなる情報記録トラツク
２′の傾斜面に照射されたときは、電子ビーム照
射にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ線、りん
光、または、けい光の強度が、前記の台形の左右
において不同一となることを検出する二つの電子
線、Ｘ線、または、光線を検出する手段Ｃ，
C′と、この検出手段Ｃ，C′の出力を比較し、出力
の小さい値に電子ビームを偏向させ、電子ビーム
がトラツク上に照射されるようにフイードバツク
制御する制御手段とを有する電子ビーム記録装置
によつて達成される。
そして、その効果は、上記の情報記録トラツク
２′に向かつて照射されるべき情報記録用または
情報読み出し用の電子ビーム１２が前記の台形の
凸部または凹部よりなる情報記録トラツク２′の
傾斜面に照射されたとき、前記の電子ビーム照射
にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ線、りん光、
または、けい光の強度が、前記の台形の左右にお
いて不同一となつて、オフトラツクが検出される
ことである。
２′に向かつて照射されるべき情報記録用または
情報読み出し用の電子ビーム１２が前記の台形の
凸部または凹部よりなる情報記録トラツク２′の
傾斜面に照射されたとき、前記の電子ビーム照射
にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ線、りん光、
または、けい光の強度が、前記の台形の左右にお
いて不同一となつて、オフトラツクが検出される
ことである。
本発明に係る電子ビーム記録装置には、第１図
に示すように、デイスクの半径方向の断面形状が
台形である帯状凸部（または凹部）よりなり渦巻
状または同心円状のトラツクＡが形成されてお
り、一方、電子ビームＢが電子ビーム記録用デイ
スクに照射される位置の近傍に上記のトラツクＡ
を挟んで少なくとも２個の電子線、Ｘ線、また
は、光線を検出する手段Ｃ，C′を設けておき、図
示するように電子ビームＢがトラツクＡ上に照射
されているときは２個の検出手段Ｃ，C′の出力の
差はないが、電子ビームＢがB′と図示するよう
に図において左にずれたときは検出手段Ｃの入力
が検出手段C′の入力より大きくなるので、常時、
検出手段Ｃ，C′の出力を比較しておき、その出力
の小さい側（図においては右側）に電子ビームを
偏向させて常時電子ビームＢがトラツクＡに照射
されるようにしたものである。電子ビームＢが
B″と図示するように図において右側にずれたと
きは上記の関係は全く逆となり電子ビームＢは図
において左側に引きもどされる。
に示すように、デイスクの半径方向の断面形状が
台形である帯状凸部（または凹部）よりなり渦巻
状または同心円状のトラツクＡが形成されてお
り、一方、電子ビームＢが電子ビーム記録用デイ
スクに照射される位置の近傍に上記のトラツクＡ
を挟んで少なくとも２個の電子線、Ｘ線、また
は、光線を検出する手段Ｃ，C′を設けておき、図
示するように電子ビームＢがトラツクＡ上に照射
されているときは２個の検出手段Ｃ，C′の出力の
差はないが、電子ビームＢがB′と図示するよう
に図において左にずれたときは検出手段Ｃの入力
が検出手段C′の入力より大きくなるので、常時、
検出手段Ｃ，C′の出力を比較しておき、その出力
の小さい側（図においては右側）に電子ビームを
偏向させて常時電子ビームＢがトラツクＡに照射
されるようにしたものである。電子ビームＢが
B″と図示するように図において右側にずれたと
きは上記の関係は全く逆となり電子ビームＢは図
において左側に引きもどされる。
電子ビームは直径が50Å程度まで集束しうるの
で、トラツク１の頂部の幅は0.1μm程度まで縮小
することができる。なお、トラツクとトラツクと
の間隔も0.1μm程度に縮小しうるから、単位面積
当りの記録容量は108ビツト／mm2程度まで拡大し
うるから、デイスク一枚当り記録容量は1011ビツ
ト程度となしうる。また、蛇足ながら、トラツク
は帯状凸部ではなく凹部をもつて構成することも
可能である。
で、トラツク１の頂部の幅は0.1μm程度まで縮小
することができる。なお、トラツクとトラツクと
の間隔も0.1μm程度に縮小しうるから、単位面積
当りの記録容量は108ビツト／mm2程度まで拡大し
うるから、デイスク一枚当り記録容量は1011ビツ
ト程度となしうる。また、蛇足ながら、トラツク
は帯状凸部ではなく凹部をもつて構成することも
可能である。
(6) 発明の実施例
以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施例に
係る電子ビーム記録装置に使用される電子ビーム
記録用デイスクについて更に説明する。
係る電子ビーム記録装置に使用される電子ビーム
記録用デイスクについて更に説明する。
第２図参照
厚さ2.0mmのシリコンよりなり、直径20cmの円
板１上にマグネトロンスパツタを使用して厚さ
500Åのテルル薄膜２を形成し、この円板上にレ
ジスト（PMMA）を溶剤（MEK）に溶解してス
ピンコートし、0.1μmの厚さのレジスト膜３を形
成する。
板１上にマグネトロンスパツタを使用して厚さ
500Åのテルル薄膜２を形成し、この円板上にレ
ジスト（PMMA）を溶剤（MEK）に溶解してス
ピンコートし、0.1μmの厚さのレジスト膜３を形
成する。
この円板を170℃程度の温度で30分程度プリベ
ークして、レジスト膜３とテルル薄膜２とを十分
接着する。
ークして、レジスト膜３とテルル薄膜２とを十分
接着する。
第３図、第４図参照
電子線リソグラフイー法を使用して、レジスト
膜３を、幅が0.1μmであり、間隔が0.1μmの同心
円状または渦巻き状に露光した後露光領域をイソ
プロピルアルコールとメチルイソプロピルアルコ
ールとの３：１混合液をもつて溶解除去してこの
形状のエツチングマスク3′を形成する。
膜３を、幅が0.1μmであり、間隔が0.1μmの同心
円状または渦巻き状に露光した後露光領域をイソ
プロピルアルコールとメチルイソプロピルアルコ
ールとの３：１混合液をもつて溶解除去してこの
形状のエツチングマスク3′を形成する。
第５図参照
130℃程度の温度で30分程度ポストベークをし
た後、プラズマエツチング法を実行してテルル薄
膜２をエツチングして、渦巻き状または同心円上
の帯状凸部よりなるテルル層２′を形成する。こ
のとき、テルル層２′の側面は図示するように斜
面になつていることが必須であるが、上記の手法
をもつてエツチングをなすときは特別の配慮する
ことなく、上記の要請は満足する。
た後、プラズマエツチング法を実行してテルル薄
膜２をエツチングして、渦巻き状または同心円上
の帯状凸部よりなるテルル層２′を形成する。こ
のとき、テルル層２′の側面は図示するように斜
面になつていることが必須であるが、上記の手法
をもつてエツチングをなすときは特別の配慮する
ことなく、上記の要請は満足する。
アセトンに約５分間浸漬してレジストマスク
３′を溶解除去する。
３′を溶解除去する。
上記のようにして製造した電子ビーム記録用デ
イスクを使用すれば、第６図に図示する、本発明
の１実施例に係る電子ビーム記録装置を構成する
ことができる。
イスクを使用すれば、第６図に図示する、本発明
の１実施例に係る電子ビーム記録装置を構成する
ことができる。
第６図参照
図において、１１はタングステンフイラメント
型電子銃であり、50KeV程度に加速された電子
ビーム１２を放出する。１３は電子ビーム集束装
置であり、電子ビーム１２の直径を500Å程度に
集束する。１４は偏向器であり、クロツク１５に
追従して情報記録トラツクを追跡または変更す
る。１６は情報記録デイスクであり、上述せると
おり、直径20cmのシリコンウエーハ上に厚さ500
Åにテルル膜を形成したものであり、渦巻き状ま
たは同心円状に情報記録デイスクが設けられてい
る。１７はデイスク回転用モータでありクロツク
１５に追従して回転する。１８は情報読み出し制
御装置であり電子線、Ｘ線、光等１２′を検出し
情報信号をクロツク１５と同期して出力する。
型電子銃であり、50KeV程度に加速された電子
ビーム１２を放出する。１３は電子ビーム集束装
置であり、電子ビーム１２の直径を500Å程度に
集束する。１４は偏向器であり、クロツク１５に
追従して情報記録トラツクを追跡または変更す
る。１６は情報記録デイスクであり、上述せると
おり、直径20cmのシリコンウエーハ上に厚さ500
Åにテルル膜を形成したものであり、渦巻き状ま
たは同心円状に情報記録デイスクが設けられてい
る。１７はデイスク回転用モータでありクロツク
１５に追従して回転する。１８は情報読み出し制
御装置であり電子線、Ｘ線、光等１２′を検出し
情報信号をクロツク１５と同期して出力する。
１９，１９′は電子線、Ｘ線、または、光線を
検出する手段であり、電子ビーム１２がデイスク
１６に照射される領域の近傍にトラツクを挟んで
設けられ、この出力は比較回路２０をもつて比較
され、その差にしたがつて変向器１４が制御され
て電子ビーム１２は常にトラツク上に保持され
る。
検出する手段であり、電子ビーム１２がデイスク
１６に照射される領域の近傍にトラツクを挟んで
設けられ、この出力は比較回路２０をもつて比較
され、その差にしたがつて変向器１４が制御され
て電子ビーム１２は常にトラツク上に保持され
る。
なお、この装置の内部圧力は10-3Pa程度の真
空状態に保たれる。そのため、真空ポンプ２２と
バルブ２２′が設けられている。
空状態に保たれる。そのため、真空ポンプ２２と
バルブ２２′が設けられている。
なお、情報の書き込みは、情報を化体した二進
情報をクロツク１５の信号に同期して電子銃１１
から、同じくクロツク１５の信号に同期して回転
しているデイスク１６に向つて電子ビーム１２を
照射してデイスク１６上に開口を形成することに
よりなす。一方、情報の読み出しはクロツク１５
の信号と同期して回転しているデイスク１６に向
つて電子銃１１から電子ビーム１２を照射し、こ
の電子ビーム１２にもとづいて発生する２次電
子、反射電子、Ｘ線、けい光、リン光等をやはり
クロツク１５と同期して動作している検出器１８
をもつて検出して出力する。いづれの動作におい
ても、検出器１９，１９′はデイスク１６の反射
信号を検出し、これらの差を求めて、偏光器１４
に向つて修正信号を印加し、電子ビーム１２′が
常にトラツク上に保持されるように機能する。
情報をクロツク１５の信号に同期して電子銃１１
から、同じくクロツク１５の信号に同期して回転
しているデイスク１６に向つて電子ビーム１２を
照射してデイスク１６上に開口を形成することに
よりなす。一方、情報の読み出しはクロツク１５
の信号と同期して回転しているデイスク１６に向
つて電子銃１１から電子ビーム１２を照射し、こ
の電子ビーム１２にもとづいて発生する２次電
子、反射電子、Ｘ線、けい光、リン光等をやはり
クロツク１５と同期して動作している検出器１８
をもつて検出して出力する。いづれの動作におい
ても、検出器１９，１９′はデイスク１６の反射
信号を検出し、これらの差を求めて、偏光器１４
に向つて修正信号を印加し、電子ビーム１２′が
常にトラツク上に保持されるように機能する。
(7) 発明の効果
以上説明せるとおり、本発明に係る電子ビーム
記録装置は、シリコンデイスク上に、フオトリソ
グラフイー法によりパターニングされた、テル
ル、セレン、または、アンチモンの薄膜よりな
り、断面形状が台形でありこの台形の傾斜面が正
確な平面である帯状凸部または凹部の渦巻き状ま
たは同心円状の情報記録トラツクが形成された電
子ビーム記録用デイスクと、情報記録トラツクに
向かつて照射されるべき情報記録用または情報読
み出し用の電子ビームが台形の凸部または凹部よ
りなる情報記録トラツクの傾斜面に照射されたと
きは、電子ビーム照射にもとづく二次電子、反射
電子、Ｘ線、りん光、または、けい光の強度が、
台形の左右において不同一となることを検出する
二つの電子線、Ｘ線、または、光線を検出する手
段と、この検出手段の出力を比較し、出力の小さ
い値に電子ビームを偏向させ、電子ビームがトラ
ツク上に照射されるようにフイードバツク制御す
る制御手段とを有するように構成されているの
で、この情報記録トラツクに向かつて照射される
べき情報記録用または情報読み出し用の電子ビー
ムが前記の台形の凸部または凹部よりなる情報記
録トラツクの傾斜面に照射されたとき、前記の電
子ビーム照射にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ
線、りん光、または、けい光の強度が、前記の台
形の左右において不同一となり、オフトラツクを
検出することができ、電子ビームをトラツク上に
ガイドすることが容易であり、単位面積当り記録
容量が大きくできる。
記録装置は、シリコンデイスク上に、フオトリソ
グラフイー法によりパターニングされた、テル
ル、セレン、または、アンチモンの薄膜よりな
り、断面形状が台形でありこの台形の傾斜面が正
確な平面である帯状凸部または凹部の渦巻き状ま
たは同心円状の情報記録トラツクが形成された電
子ビーム記録用デイスクと、情報記録トラツクに
向かつて照射されるべき情報記録用または情報読
み出し用の電子ビームが台形の凸部または凹部よ
りなる情報記録トラツクの傾斜面に照射されたと
きは、電子ビーム照射にもとづく二次電子、反射
電子、Ｘ線、りん光、または、けい光の強度が、
台形の左右において不同一となることを検出する
二つの電子線、Ｘ線、または、光線を検出する手
段と、この検出手段の出力を比較し、出力の小さ
い値に電子ビームを偏向させ、電子ビームがトラ
ツク上に照射されるようにフイードバツク制御す
る制御手段とを有するように構成されているの
で、この情報記録トラツクに向かつて照射される
べき情報記録用または情報読み出し用の電子ビー
ムが前記の台形の凸部または凹部よりなる情報記
録トラツクの傾斜面に照射されたとき、前記の電
子ビーム照射にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ
線、りん光、または、けい光の強度が、前記の台
形の左右において不同一となり、オフトラツクを
検出することができ、電子ビームをトラツク上に
ガイドすることが容易であり、単位面積当り記録
容量が大きくできる。
第１図は本発明の構成を説明するための説明図
である。第２，３，４，５図は本発明の実施例に
係る電子ビーム記録装置に使用される電子ビーム
記録用デイスクの主要製造工程完了後のそれぞれ
断面図、断面図、平面図、断面図である。第６図
は本発明の実施例に係る電子ビーム記録装置の概
念的構成図である。 Ａ……電子ビーム記録用デイスクのトラツク、
Ｂ……電子ビーム、Ｃ，C′……電子線、Ｘ線、光
線を検出する手段、１……シリコン基板、２……
テルル薄膜、２′……テルル層、３……レジスト
膜、３′……レジストマスク、１１……電子銃、
１２……電子ビーム、１３……電子ビーム集束装
置、１４……偏向器、１５……クロツク、１６…
…情報記録デイスク、１７……デイスク回転用モ
ータ、１８……情報読み出し制御装置、１９，１
９′……電子線、Ｘ線、光等を検出する検出器、
２２……真空ポンプ、２２′……バルブ。
である。第２，３，４，５図は本発明の実施例に
係る電子ビーム記録装置に使用される電子ビーム
記録用デイスクの主要製造工程完了後のそれぞれ
断面図、断面図、平面図、断面図である。第６図
は本発明の実施例に係る電子ビーム記録装置の概
念的構成図である。 Ａ……電子ビーム記録用デイスクのトラツク、
Ｂ……電子ビーム、Ｃ，C′……電子線、Ｘ線、光
線を検出する手段、１……シリコン基板、２……
テルル薄膜、２′……テルル層、３……レジスト
膜、３′……レジストマスク、１１……電子銃、
１２……電子ビーム、１３……電子ビーム集束装
置、１４……偏向器、１５……クロツク、１６…
…情報記録デイスク、１７……デイスク回転用モ
ータ、１８……情報読み出し制御装置、１９，１
９′……電子線、Ｘ線、光等を検出する検出器、
２２……真空ポンプ、２２′……バルブ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ シリコンデイスク１上に、フオトリソグラフ
イー法によりパターニングされた、テルル、セレ
ン、または、アンチモンの薄膜よりなり、断面形
状が台形であり該台形の傾斜面が正確な平面であ
る帯状凸部または凹部の渦巻き状または同心円状
の情報記録トラツク２′が形成された電子ビーム
記録用デイスクと、 前記情報記録トラツク２′に向かつて照射され
るべき情報記録用または情報読み出し用の電子ビ
ーム１２が前記台形の凸部または凹部よりなる情
報記録トラツク２′の傾斜面に照射されたときは、
前記電子ビーム照射にもとづく二次電子、反射電
子、Ｘ線、りん光、または、けい光の強度が、前
記台形の左右において不同一となることを検出す
る二つの電子線、Ｘ線、または、光線を検出する
手段Ｃ，C′と、 該検出手段Ｃ，C′の出力を比較し、出力の小さ
い値に電子ビームを偏向させ、電子ビームがトラ
ツク上に照射されるようにフイードバツク制御す
る制御手段と を有することを特徴とする電子ビーム記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13825683A JPS6029952A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 電子ビーム記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13825683A JPS6029952A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 電子ビーム記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6029952A JPS6029952A (ja) | 1985-02-15 |
| JPH0519212B2 true JPH0519212B2 (ja) | 1993-03-16 |
Family
ID=15217694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13825683A Granted JPS6029952A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 電子ビーム記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029952A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2616763B2 (ja) * | 1985-12-13 | 1997-06-04 | 新技術事業団 | 情報記録再生方法 |
| JP2715069B2 (ja) * | 1986-08-26 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | 情報記録再生装置 |
| JP2715070B2 (ja) * | 1986-08-26 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | オートトラツキング機構 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5935356B2 (ja) * | 1976-03-15 | 1984-08-28 | 株式会社日立製作所 | 情報の記録用部材 |
| JPS5614914A (en) * | 1979-07-14 | 1981-02-13 | Sentorarunii Osrodek Badaukuzo | Liquid flowrate measuring apparatus |
| JPS57130240A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-12 | Olympus Optical Co Ltd | Optical information recording and reproducing device and information recording medium for it |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP13825683A patent/JPS6029952A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6029952A (ja) | 1985-02-15 |
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