JPH0519587Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0519587Y2 JPH0519587Y2 JP1987029011U JP2901187U JPH0519587Y2 JP H0519587 Y2 JPH0519587 Y2 JP H0519587Y2 JP 1987029011 U JP1987029011 U JP 1987029011U JP 2901187 U JP2901187 U JP 2901187U JP H0519587 Y2 JPH0519587 Y2 JP H0519587Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopanel
- slit
- expansion cylinder
- expansion
- expansion cylinders
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の目的〕
（産業上の利用分野）
本考案は、クライオポンプに関するものであ
り、主として真空装置の排気ポンプとして用いら
れる。
り、主として真空装置の排気ポンプとして用いら
れる。
（従来の技術）
この種の従来技術として、例えば特開昭58−
131381号公報に開示されたクライオポンプは、２
台の冷凍機を備えており、単一のクライオパネル
の底部が、各冷凍機の膨張シリンダ上の冷却ステ
ーシヨンにて連結されている。
131381号公報に開示されたクライオポンプは、２
台の冷凍機を備えており、単一のクライオパネル
の底部が、各冷凍機の膨張シリンダ上の冷却ステ
ーシヨンにて連結されている。
（考案が解決しようとする問題点）
ところが、各冷凍機の膨張シリンダ上の冷却ス
テーシヨンの冷却に伴い、単一のクライオパネル
が熱収縮するので、各膨張シリンダが引つ張り力
を受けて、膨張シリンダに歪みが発生し、この歪
みの発生により冷凍出力が損なわれ、甚だしい場
合は、膨張シリンダが破壊されるおそれがあつ
た。
テーシヨンの冷却に伴い、単一のクライオパネル
が熱収縮するので、各膨張シリンダが引つ張り力
を受けて、膨張シリンダに歪みが発生し、この歪
みの発生により冷凍出力が損なわれ、甚だしい場
合は、膨張シリンダが破壊されるおそれがあつ
た。
それ故に本考案は、クライオパネルの収縮に伴
う引つ張り力が膨張シリンダに伝達されないよう
にすることを、その技術的課題とする。
う引つ張り力が膨張シリンダに伝達されないよう
にすることを、その技術的課題とする。
（問題点を解決する手段）
上記した技術的課題を解決するために講じた技
術的手段は、 複数の膨張シリンダを備えたスターリング式冷
凍機、前記各膨張シリンダの同一温度レベル間を
連結する平面部を備えたクライオパネル、前記各
膨張シリンダ間に位置すべく前記クライオパネル
の平面部に刻設されたスリツトおよび前記クライ
オパネルを包囲するケーシングを有するクライオ
ポンプを、構成したことである。
術的手段は、 複数の膨張シリンダを備えたスターリング式冷
凍機、前記各膨張シリンダの同一温度レベル間を
連結する平面部を備えたクライオパネル、前記各
膨張シリンダ間に位置すべく前記クライオパネル
の平面部に刻設されたスリツトおよび前記クライ
オパネルを包囲するケーシングを有するクライオ
ポンプを、構成したことである。
（作用）
スターリング式冷凍機の駆動に伴い各膨張シリ
ンダ上に低温が発生し、膨張シリンダと一体のク
ライオパネルが冷却される。このとき、クライオ
パネルの平面部が熱収縮しようとするが、この収
縮はスリツトにて吸収されてしまうので、膨張シ
リンダに引つ張り力が作用することはない。かく
して、従来の不具合は解消される。
ンダ上に低温が発生し、膨張シリンダと一体のク
ライオパネルが冷却される。このとき、クライオ
パネルの平面部が熱収縮しようとするが、この収
縮はスリツトにて吸収されてしまうので、膨張シ
リンダに引つ張り力が作用することはない。かく
して、従来の不具合は解消される。
（実施例）
以下、本考案の一実施例を添付図面に基づいて
説明する。第１図および第２図において、モータ
２により駆動されるスターリング式冷凍機１は、
２本の膨張シリンダ３，４を備えている。膨張シ
リンダ３，４は、70Kレベルに冷却される第１ス
テージ５，６と、20Kレベルに冷却される第２ス
テージ７，８とを備える。第１ステージ５と第１
ステージ６には、共通の第１クライオパネル９の
平面部９ａがボルト１０にて連結されており、ま
た、第２ステージ７と第２ステージ８には、共通
の第２クライオパネル１１の平面部１１ａがボル
ト１０にて連結されている。
説明する。第１図および第２図において、モータ
２により駆動されるスターリング式冷凍機１は、
２本の膨張シリンダ３，４を備えている。膨張シ
リンダ３，４は、70Kレベルに冷却される第１ス
テージ５，６と、20Kレベルに冷却される第２ス
テージ７，８とを備える。第１ステージ５と第１
ステージ６には、共通の第１クライオパネル９の
平面部９ａがボルト１０にて連結されており、ま
た、第２ステージ７と第２ステージ８には、共通
の第２クライオパネル１１の平面部１１ａがボル
ト１０にて連結されている。
特に第２図および第３図に詳細に示すように、
共通の第１クライオパネル９の平面部９ａには、
直径方向に直線状のスリツト９ｂが刻設されてい
る（但し、スリツト９ｂの両端部は円状となつて
いる。）。スリツト９ｂは、２本の膨張シリンダ
３，４の間に位置するようになつている。スター
リング式冷凍機１の駆動に伴う膨張シリンダ３，
４の第１ステージ５，６に於ける低温の発生によ
り、第１クライオパネル９の平面部９ａは収縮し
ようとするが、この時に発生する力は、スリツト
９ｂの縁部が若干変形することに費やされる。つ
まり、収縮はスリツト９ｂにて吸収されるため
に、２本の膨張シリンダ３，４間に引つ張り力が
発生するようなことはない。
共通の第１クライオパネル９の平面部９ａには、
直径方向に直線状のスリツト９ｂが刻設されてい
る（但し、スリツト９ｂの両端部は円状となつて
いる。）。スリツト９ｂは、２本の膨張シリンダ
３，４の間に位置するようになつている。スター
リング式冷凍機１の駆動に伴う膨張シリンダ３，
４の第１ステージ５，６に於ける低温の発生によ
り、第１クライオパネル９の平面部９ａは収縮し
ようとするが、この時に発生する力は、スリツト
９ｂの縁部が若干変形することに費やされる。つ
まり、収縮はスリツト９ｂにて吸収されるため
に、２本の膨張シリンダ３，４間に引つ張り力が
発生するようなことはない。
尚、共通の第２クライオパネル１１の平面部１
１ａも同様にスリツト１１ｂが形成されている。
また、１２は第１クライオパネル９および冷凍機
１の上部を包囲するケーシングである。
１ａも同様にスリツト１１ｂが形成されている。
また、１２は第１クライオパネル９および冷凍機
１の上部を包囲するケーシングである。
以上述べたように、本考案においては、複数の
膨張シリンダを備えたスターリング式冷凍機、前
記各膨張シリンダの同一温度レベル間を連結する
平面部を備えたクライオパネル、前記各膨張シリ
ンダ間に位置すべく前記クライオパネルの平面部
に刻設されたスリツトおよび前記クライオパネル
を包囲するケーシングを有するクライオポンプを
構成したので、スターリング式冷凍機の駆動に伴
い各膨張シリンダ上に発生するによりクライオパ
ネルの平面部が収縮しようとしても、この収縮は
スリツトにて吸収されてしまうので、膨張シリン
ダに引つ張り力が作用して、膨張シリンダに歪み
が発生するようなことがなく、実用上多大な効果
を奏する。
膨張シリンダを備えたスターリング式冷凍機、前
記各膨張シリンダの同一温度レベル間を連結する
平面部を備えたクライオパネル、前記各膨張シリ
ンダ間に位置すべく前記クライオパネルの平面部
に刻設されたスリツトおよび前記クライオパネル
を包囲するケーシングを有するクライオポンプを
構成したので、スターリング式冷凍機の駆動に伴
い各膨張シリンダ上に発生するによりクライオパ
ネルの平面部が収縮しようとしても、この収縮は
スリツトにて吸収されてしまうので、膨張シリン
ダに引つ張り力が作用して、膨張シリンダに歪み
が発生するようなことがなく、実用上多大な効果
を奏する。
第１図は本考案に係るクライオポンプの側面図
（一部に断面を含む）、第２図は第１図示装置に於
けるクライオパネルの取り付け状態を示す図およ
び第３図はクライオパネルの平面図である。 １……スターリング式冷凍機、３，４……膨張
シリンダ、９，１１……クライオパネル、９ａ，
１１ａ……クライオパネルの平面部、９ｂ，１１
ｂ……スリツト、１２……ケーシング。
（一部に断面を含む）、第２図は第１図示装置に於
けるクライオパネルの取り付け状態を示す図およ
び第３図はクライオパネルの平面図である。 １……スターリング式冷凍機、３，４……膨張
シリンダ、９，１１……クライオパネル、９ａ，
１１ａ……クライオパネルの平面部、９ｂ，１１
ｂ……スリツト、１２……ケーシング。
Claims (1)
- 複数の膨張シリンダを備えたスターリング式冷
凍機、前記各膨張シリンダの同一温度レベル間を
連結する平面部を備えたクライオパネル、前記各
膨張シリンダ間に位置すべく前記クライオパネル
の平面部に刻設されたスリツトおよび前記クライ
オパネルを包囲するケーシングを有するクライオ
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987029011U JPH0519587Y2 (ja) | 1987-02-28 | 1987-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987029011U JPH0519587Y2 (ja) | 1987-02-28 | 1987-02-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63136273U JPS63136273U (ja) | 1988-09-07 |
| JPH0519587Y2 true JPH0519587Y2 (ja) | 1993-05-24 |
Family
ID=30832508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987029011U Expired - Lifetime JPH0519587Y2 (ja) | 1987-02-28 | 1987-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519587Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58131381A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | Anelva Corp | クライオポンプ及びクライオポンプ用冷凍機 |
-
1987
- 1987-02-28 JP JP1987029011U patent/JPH0519587Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63136273U (ja) | 1988-09-07 |
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