JPH05196406A - 位置検出プローブの検出回路 - Google Patents
位置検出プローブの検出回路Info
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- JPH05196406A JPH05196406A JP4199963A JP19996392A JPH05196406A JP H05196406 A JPH05196406 A JP H05196406A JP 4199963 A JP4199963 A JP 4199963A JP 19996392 A JP19996392 A JP 19996392A JP H05196406 A JPH05196406 A JP H05196406A
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 検出回路での電力消費を軽減させる。
【構成】 マシンツールまたは座標測定装置の接触トリ
ガプローブは、プローブのスタイラスの撓みに応動する
３つのストレンゲージＳＧ１〜ＳＧ３を有し、トリガ信
号を信号処理回路ＳＰで発生させる。電力消費を軽減す
るため、従って、プローブの熱に起因して寸法が増大す
ることを軽減するため、ストレンゲージに定電流源ＣＳ
１〜ＣＳ３により定電流を供給する。定電流源ＣＳ１〜
ＣＳ３は、基準抵抗Ｒref および定電流源ＣＳ４により
構成される回路からの信号に基づき増幅器Ａ４によりサ
ーボ制御される。
ガプローブは、プローブのスタイラスの撓みに応動する
３つのストレンゲージＳＧ１〜ＳＧ３を有し、トリガ信
号を信号処理回路ＳＰで発生させる。電力消費を軽減す
るため、従って、プローブの熱に起因して寸法が増大す
ることを軽減するため、ストレンゲージに定電流源ＣＳ
１〜ＣＳ３により定電流を供給する。定電流源ＣＳ１〜
ＣＳ３は、基準抵抗Ｒref および定電流源ＣＳ４により
構成される回路からの信号に基づき増幅器Ａ４によりサ
ーボ制御される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プローブ、例えば、ト
リガープローブに関し、座標測定装置（ＣＭＳ）、マシ
ンツールおよび他の位置決め装置上で用いられ、ワーク
ピースの寸法を測定するプローブに関する。特に、この
ようなプローブで用いられる検出回路に関する。
リガープローブに関し、座標測定装置（ＣＭＳ）、マシ
ンツールおよび他の位置決め装置上で用いられ、ワーク
ピースの寸法を測定するプローブに関する。特に、この
ようなプローブで用いられる検出回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】ストレンゲージまたはピエゾセンサのよ
うな歪みまたは応力応動素子をこのようなプローブで用
いることは益々普通になってきている。これら歪みまた
は応力応動素子は、プローブの可撓性のあるスタイラス
がワークピースに接触したときや、プローブがワークピ
ースに対して動く間に生じる微小な力や応力に対して応
動する。このような力や歪みが検出されると、プローブ
はトリガ信号を発生する。このトリガ信号はプローブを
取り付けたマシーンにより用いられ、マシーンのワーキ
ングボリューム（ｗｏｒｋｉｎｇ ｖｏｌｕｍｅ）内で
のプローブの瞬間位置座標ｘ，ｙ，ｚを読み取る。
うな歪みまたは応力応動素子をこのようなプローブで用
いることは益々普通になってきている。これら歪みまた
は応力応動素子は、プローブの可撓性のあるスタイラス
がワークピースに接触したときや、プローブがワークピ
ースに対して動く間に生じる微小な力や応力に対して応
動する。このような力や歪みが検出されると、プローブ
はトリガ信号を発生する。このトリガ信号はプローブを
取り付けたマシーンにより用いられ、マシーンのワーキ
ングボリューム（ｗｏｒｋｉｎｇ ｖｏｌｕｍｅ）内で
のプローブの瞬間位置座標ｘ，ｙ，ｚを読み取る。
【０００３】米国特許３，８１７，３６２号には、この
ようなプローブが記載してあり、プローブには３つのス
トレンゲージがプローブの軸の回りに等間隔に配置して
ある。ストレンゲージは検出回路の一部を形成し、検出
回路は各ストレンゲージが分圧器の固定抵抗と直列に接
続されている。プローブのスタイラスがワークピースに
接触し、１つ以上のストレンゲージで歪みが生じると、
歪みに応じて分圧器の電圧が変化し、その電圧が増幅さ
れる。この増幅された信号が閾値を超えるとトリガ信号
が発生される。
ようなプローブが記載してあり、プローブには３つのス
トレンゲージがプローブの軸の回りに等間隔に配置して
ある。ストレンゲージは検出回路の一部を形成し、検出
回路は各ストレンゲージが分圧器の固定抵抗と直列に接
続されている。プローブのスタイラスがワークピースに
接触し、１つ以上のストレンゲージで歪みが生じると、
歪みに応じて分圧器の電圧が変化し、その電圧が増幅さ
れる。この増幅された信号が閾値を超えるとトリガ信号
が発生される。
【０００４】プローブの精度が増々上がったので、熱運
動によりプローブの寸法が大きくなった場合、測定誤差
が生じる虞のあることを考慮にいれるのが望ましいこと
が分かっている。このように熱により寸法が大きくなっ
た場合、ワークピースに接触しているスタイラスの先端
の静止位置は、マシーン上のプローブの取り付け位置に
対して変化することがある。このように変化した場合、
そのプローブを較正しないかぎり、その後の測定にも対
応する誤差が生じる。プローブ内に収容された検出回路
で電力が消費され、熱により寸法が大きくなることが分
かっている。
動によりプローブの寸法が大きくなった場合、測定誤差
が生じる虞のあることを考慮にいれるのが望ましいこと
が分かっている。このように熱により寸法が大きくなっ
た場合、ワークピースに接触しているスタイラスの先端
の静止位置は、マシーン上のプローブの取り付け位置に
対して変化することがある。このように変化した場合、
そのプローブを較正しないかぎり、その後の測定にも対
応する誤差が生じる。プローブ内に収容された検出回路
で電力が消費され、熱により寸法が大きくなることが分
かっている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、位置決め装置
上で用いられ、ワークピースと検出関係になったときに
信号を生成する位置検出プローブであって、前記検出関
係に達したときに抵抗値が変化する少なくとも１つのセ
ンサと、前記抵抗値の変化を検出する手段とを備え、前
記センサに定電流を供給する定電流源を備えたことを特
徴とする位置検出プローブを提供する。
上で用いられ、ワークピースと検出関係になったときに
信号を生成する位置検出プローブであって、前記検出関
係に達したときに抵抗値が変化する少なくとも１つのセ
ンサと、前記抵抗値の変化を検出する手段とを備え、前
記センサに定電流を供給する定電流源を備えたことを特
徴とする位置検出プローブを提供する。
【０００６】本発明の好ましい形態では、それぞれ定電
流源を有する２つ以上のセンサを有することができる。
基準抵抗を有することができ、抵抗値の変化を検出する
手段が差動増幅器であり、該差動増幅器の一方の入力端
子には前記センサ間の電圧の変化が入力され、他方の入
力端子には前記基準抵抗間の電圧が入力される。前記基
準抵抗はまた定電流源を有することができる。前記セン
サまたは各センサに対する１つの定電流源または複数の
定電流源を制御し、基準抵抗に対して定電流源の動作を
鏡像動作させるようにすることができる。ワークピース
に対する検出関係は通常ワークピースとの接触を含むこ
とになるが、ワークピースへの接触ではなく近接を検出
するセンサを除くわけではない。
流源を有する２つ以上のセンサを有することができる。
基準抵抗を有することができ、抵抗値の変化を検出する
手段が差動増幅器であり、該差動増幅器の一方の入力端
子には前記センサ間の電圧の変化が入力され、他方の入
力端子には前記基準抵抗間の電圧が入力される。前記基
準抵抗はまた定電流源を有することができる。前記セン
サまたは各センサに対する１つの定電流源または複数の
定電流源を制御し、基準抵抗に対して定電流源の動作を
鏡像動作させるようにすることができる。ワークピース
に対する検出関係は通常ワークピースとの接触を含むこ
とになるが、ワークピースへの接触ではなく近接を検出
するセンサを除くわけではない。
【０００７】少なくとも本発明の好ましい実施態様で
は、任意の感度に対して、検出回路での電力消費を軽減
させることができる。あるいはまた、電力の消費を軽減
することが特に問題にならない場合は、感度に応じて電
力消費を増加させずにその感度を上げることができる。
は、任意の感度に対して、検出回路での電力消費を軽減
させることができる。あるいはまた、電力の消費を軽減
することが特に問題にならない場合は、感度に応じて電
力消費を増加させずにその感度を上げることができる。
【０００８】
【実施例】本発明の実施態様を図面を参照して説明す
る。図１は接触トリガプローブのための検出回路の概略
を示す図である。
る。図１は接触トリガプローブのための検出回路の概略
を示す図である。
【０００９】接触トリガプローブは米国特許４，８１
７，３６２号に記載されたタイプと同様のタイプであ
り、詳細は当該特許を参照されたい。当該特許で説明し
たように、プローブは半導体ストレンゲージの形態の３
つのセンサＳＧ１，ＳＧ２，ＳＧ３を含み、３つのセン
サＳＧ１，ＳＧ２，ＳＧ３がプローブの軸の回りに等間
隔で配置されている。これらストレンゲージはプローブ
がワークピースに接触すると、プローブのスタイラスの
撓みに応動する。各ストレンゲージは電力供給線Ｖと０
Ｖアースリターン線の間に設けた各定電流源ＣＳ１，Ｃ
Ｓ２，ＣＳ３に直列に接続されている。これら定電流源
は、米国特許４，８１７，３６２号に記載された固定抵
抗であって、各ストレンゲージに直列に接続されている
固定抵抗に替えることができる。
７，３６２号に記載されたタイプと同様のタイプであ
り、詳細は当該特許を参照されたい。当該特許で説明し
たように、プローブは半導体ストレンゲージの形態の３
つのセンサＳＧ１，ＳＧ２，ＳＧ３を含み、３つのセン
サＳＧ１，ＳＧ２，ＳＧ３がプローブの軸の回りに等間
隔で配置されている。これらストレンゲージはプローブ
がワークピースに接触すると、プローブのスタイラスの
撓みに応動する。各ストレンゲージは電力供給線Ｖと０
Ｖアースリターン線の間に設けた各定電流源ＣＳ１，Ｃ
Ｓ２，ＣＳ３に直列に接続されている。これら定電流源
は、米国特許４，８１７，３６２号に記載された固定抵
抗であって、各ストレンゲージに直列に接続されている
固定抵抗に替えることができる。
【００１０】各ストレンゲージＳＧ１〜ＳＧ３間の電圧
はモニタされ、モニタされた電圧の変化は各増幅器Ａ
１，Ａ２，Ａ３により増幅される。これらの増幅器は差
動増幅器であり、各差動増幅器の他の入力端子は基準抵
抗Ｒref 間の電圧変化をモニタする。基準抵抗Ｒref は
各ストレンゲージの公称抵抗値、すなわち歪みがないと
きの抵抗値と同一の抵抗値を有する。基準抵抗はそれ自
体がさらに同様のストレンゲージであって、歪まないよ
うにプローブ内のある位置に取り付けたものであっても
良い。基準抵抗はプローブの一部分であって、ストレン
ゲージＳＧ１〜ＳＧ３を取り付けた部分に近接した部分
に取り付けられ、同様の熱慣性を有するのが望ましい。
これらストレンゲージＳＧ１〜ＳＧ３および基準抵抗Ｒ
ref により、ストレンゲージＳＧ１〜ＳＧ３の周囲温度
の変化に起因するドリフトが基準抵抗Ｒref により追跡
されることが確認できる。基準抵抗Ｒref は電力供給線
Ｖと０Ｖ線０Ｖの間の定電源ＣＳ４とさらに直列に接続
されている。差動増幅器Ａ１〜Ａ３は基準抵抗間の電圧
に対するストレンゲージ電圧の変化を増幅するだけであ
る。この目的のため、（別のストレンゲージではない
が、定電流源を有さない）基準抵抗を用いることは、米
国特許４，８１７，３６２号に記載されたプローブの商
品から知られる。
はモニタされ、モニタされた電圧の変化は各増幅器Ａ
１，Ａ２，Ａ３により増幅される。これらの増幅器は差
動増幅器であり、各差動増幅器の他の入力端子は基準抵
抗Ｒref 間の電圧変化をモニタする。基準抵抗Ｒref は
各ストレンゲージの公称抵抗値、すなわち歪みがないと
きの抵抗値と同一の抵抗値を有する。基準抵抗はそれ自
体がさらに同様のストレンゲージであって、歪まないよ
うにプローブ内のある位置に取り付けたものであっても
良い。基準抵抗はプローブの一部分であって、ストレン
ゲージＳＧ１〜ＳＧ３を取り付けた部分に近接した部分
に取り付けられ、同様の熱慣性を有するのが望ましい。
これらストレンゲージＳＧ１〜ＳＧ３および基準抵抗Ｒ
ref により、ストレンゲージＳＧ１〜ＳＧ３の周囲温度
の変化に起因するドリフトが基準抵抗Ｒref により追跡
されることが確認できる。基準抵抗Ｒref は電力供給線
Ｖと０Ｖ線０Ｖの間の定電源ＣＳ４とさらに直列に接続
されている。差動増幅器Ａ１〜Ａ３は基準抵抗間の電圧
に対するストレンゲージ電圧の変化を増幅するだけであ
る。この目的のため、（別のストレンゲージではない
が、定電流源を有さない）基準抵抗を用いることは、米
国特許４，８１７，３６２号に記載されたプローブの商
品から知られる。
【００１１】各増幅器Ａ１〜Ａ３の出力は各自動零位調
整回路（ａｕｔｏ−ｚｅｒｏｉｎｇｃｉｒｃｕｉｔ）Ａ
Ｚ１，ＡＺ２，ＡＺ３に供給される。これにより、自動
零位調整回路が熱運動に起因するドリフトに不感である
ことが確認される。詳細は米国特許４，８１７，３６２
号に記載されている。自動零位調整回路の出力は、さら
に、信号処理回路ＳＰに供給される。信号処理回路ＳＰ
は米国特許４，８１７，３６２号に記載されている方法
か、あるいは特願平４−１７６６７２号（英国特許出願
番号９１１４３５３．７号および９１１４３７１．９号
に基づき優先権主張された）に記載されている方法と同
様の方法により所望のトリガ信号を生成する。望ましい
場合は、他の例の信号処理によりスタイラスの撓みの量
を表すアナログ出力を供給できる。
整回路（ａｕｔｏ−ｚｅｒｏｉｎｇｃｉｒｃｕｉｔ）Ａ
Ｚ１，ＡＺ２，ＡＺ３に供給される。これにより、自動
零位調整回路が熱運動に起因するドリフトに不感である
ことが確認される。詳細は米国特許４，８１７，３６２
号に記載されている。自動零位調整回路の出力は、さら
に、信号処理回路ＳＰに供給される。信号処理回路ＳＰ
は米国特許４，８１７，３６２号に記載されている方法
か、あるいは特願平４−１７６６７２号（英国特許出願
番号９１１４３５３．７号および９１１４３７１．９号
に基づき優先権主張された）に記載されている方法と同
様の方法により所望のトリガ信号を生成する。望ましい
場合は、他の例の信号処理によりスタイラスの撓みの量
を表すアナログ出力を供給できる。
【００１２】定電流源ＣＳ１〜ＣＳ４は従来のように構
成することができる。例えば、定電流源ＣＳ１〜ＣＳ４
はそれぞれトランジスタを備え、エミッタは０Ｖに接続
され、ベースとコレクタは対応するストレンゲージに接
続する。しかし、このような構成が簡単な定電流源より
はむしろ、制御可能な定電流源を用いる方がよい。各定
電流源ＣＳ１〜ＣＳ４から供給される定電流は、差動増
幅器Ａ４の出力により制御される。差動増幅器Ａ４の一
方の入力端子には、基準電圧Ｖ／２、すなわち、供給電
圧Ｖの１／２の電圧が入力されされている。他方の入力
端子は基準抵抗Ｒref とその定電流源ＣＳ４の間の節点
に接続され、増幅器Ａ１〜Ａ３に並列に接続した抵抗Ｒ
ref 間の電圧の変化をモニタする。従って、増幅器Ａ４
は基準抵抗Ｒref 間の電圧変化を修正する誤差増幅器と
して動作し、絶えず定電流源ＣＳ４から定電流を供給す
る。定電流源ＣＳ１〜ＣＳ３により供給される定電流は
定電流源ＣＳ４からの定電流と鏡像動作し、定電流源Ｃ
Ｓ４からの定電流と並列に制御される。
成することができる。例えば、定電流源ＣＳ１〜ＣＳ４
はそれぞれトランジスタを備え、エミッタは０Ｖに接続
され、ベースとコレクタは対応するストレンゲージに接
続する。しかし、このような構成が簡単な定電流源より
はむしろ、制御可能な定電流源を用いる方がよい。各定
電流源ＣＳ１〜ＣＳ４から供給される定電流は、差動増
幅器Ａ４の出力により制御される。差動増幅器Ａ４の一
方の入力端子には、基準電圧Ｖ／２、すなわち、供給電
圧Ｖの１／２の電圧が入力されされている。他方の入力
端子は基準抵抗Ｒref とその定電流源ＣＳ４の間の節点
に接続され、増幅器Ａ１〜Ａ３に並列に接続した抵抗Ｒ
ref 間の電圧の変化をモニタする。従って、増幅器Ａ４
は基準抵抗Ｒref 間の電圧変化を修正する誤差増幅器と
して動作し、絶えず定電流源ＣＳ４から定電流を供給す
る。定電流源ＣＳ１〜ＣＳ３により供給される定電流は
定電流源ＣＳ４からの定電流と鏡像動作し、定電流源Ｃ
Ｓ４からの定電流と並列に制御される。
【００１３】望ましくは、定電流源はそれぞれ同一の半
導体チップ上に設けられ、その結果、定電流源は温度変
化を等しく受ける。定電流源はそれぞれＣＡ３０４６の
ようなトランジスタアレイ集積回路のうちの１つのトラ
ンジスタを備えることができる。しかし、むしろ、４つ
の定電流源は、増幅器Ａ１〜Ａ４および自動零位調整回
路ＡＺ１〜ＡＺ３を含む他の回路素子とともに、受注生
産されるＡＳＩＣ（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｓｐｅｃ
ｉｆｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）上
に集積した方が良い。
導体チップ上に設けられ、その結果、定電流源は温度変
化を等しく受ける。定電流源はそれぞれＣＡ３０４６の
ようなトランジスタアレイ集積回路のうちの１つのトラ
ンジスタを備えることができる。しかし、むしろ、４つ
の定電流源は、増幅器Ａ１〜Ａ４および自動零位調整回
路ＡＺ１〜ＡＺ３を含む他の回路素子とともに、受注生
産されるＡＳＩＣ（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｓｐｅｃ
ｉｆｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）上
に集積した方が良い。
【００１４】次の比較例は、ストレンゲージおよび定電
流源のうちの１つ、例えば、ＳＧ１およびＣＳ１で消費
される電力と、米国特許４，８１７，３６２号に記載の
対応するストレンゲージおよび固定抵抗で消費される電
力とを比較する。この例では、それぞれの場合、ストレ
ンゲージは公称抵抗値、すなわち、歪みがない場合は、
１ｋΩを有し、しかも、米国特許４，８１７，３６２号
に記載された回路の固定抵抗も１ｋΩと仮定する。それ
ぞれの場合、感度（ストレンゲージ間の電圧変化）はス
トレンゲージの抵抗が１Ω増加するのに対して２．５ｍ
Ｖである装置に対して消費電力が計算される。
流源のうちの１つ、例えば、ＳＧ１およびＣＳ１で消費
される電力と、米国特許４，８１７，３６２号に記載の
対応するストレンゲージおよび固定抵抗で消費される電
力とを比較する。この例では、それぞれの場合、ストレ
ンゲージは公称抵抗値、すなわち、歪みがない場合は、
１ｋΩを有し、しかも、米国特許４，８１７，３６２号
に記載された回路の固定抵抗も１ｋΩと仮定する。それ
ぞれの場合、感度（ストレンゲージ間の電圧変化）はス
トレンゲージの抵抗が１Ω増加するのに対して２．５ｍ
Ｖである装置に対して消費電力が計算される。
【００１５】米国特許４，８１７，３６２号に記載の回
路では、上述した感度のレベルは供給電圧を１０Ｖにす
ることにより達成することができる。ストレンゲージの
抵抗と固定抵抗を結合した抵抗値は２ｋΩであり、その
結果、零入力電流は５ｍＡになる。ストレンゲージの抵
抗が歪みにより１ｋΩから１．００１ｋΩに変化した場
合、全抵抗が２．００１ｋΩになり、電流が４．９９７
５ｍＡになり、ストレンゲージ間の電圧は５Ｖから４．
９９７５×１．００１＝５．００２５Ｖに増加する。従
って、電圧が２．５ｍＶだけ増加する。消費電力は１０
Ｖ×５ｍＡ＝５０ｍＷになる。
路では、上述した感度のレベルは供給電圧を１０Ｖにす
ることにより達成することができる。ストレンゲージの
抵抗と固定抵抗を結合した抵抗値は２ｋΩであり、その
結果、零入力電流は５ｍＡになる。ストレンゲージの抵
抗が歪みにより１ｋΩから１．００１ｋΩに変化した場
合、全抵抗が２．００１ｋΩになり、電流が４．９９７
５ｍＡになり、ストレンゲージ間の電圧は５Ｖから４．
９９７５×１．００１＝５．００２５Ｖに増加する。従
って、電圧が２．５ｍＶだけ増加する。消費電力は１０
Ｖ×５ｍＡ＝５０ｍＷになる。
【００１６】以上説明した本発明の実施例に係る回路を
用いると、５Ｖの電圧を供給した場合、同様に２．５ｍ
Ｖの感度を達成することができる。定電流源により供給
される定電流は２．５ｍＡに設定される。ストレンゲー
ジＳＧ１間の電圧は２．５ｍＡ×１ｋΩ＝２．５Ｖにな
る。ストレンゲージの抵抗が１Ωだけ増加した場合、ス
トレンゲージ間の電圧が新たに２．５ｍＡ×１．００１
ｋΩ＝２．５０２５Ｖになる。従って、電圧の増加は
２．５ｍＶであり、すなわち、前と同じ感度である。し
かし、消費電力は５Ｖ×２．５ｍＡ＝１２．５ｍＷにな
る。この比較例では、そのため、同一の感度に対して消
費電力が４倍も減少する。消費電力は、他の２つのスト
レンゲージの回路および基準抵抗Ｒref の回路でも同様
に減少する。
用いると、５Ｖの電圧を供給した場合、同様に２．５ｍ
Ｖの感度を達成することができる。定電流源により供給
される定電流は２．５ｍＡに設定される。ストレンゲー
ジＳＧ１間の電圧は２．５ｍＡ×１ｋΩ＝２．５Ｖにな
る。ストレンゲージの抵抗が１Ωだけ増加した場合、ス
トレンゲージ間の電圧が新たに２．５ｍＡ×１．００１
ｋΩ＝２．５０２５Ｖになる。従って、電圧の増加は
２．５ｍＶであり、すなわち、前と同じ感度である。し
かし、消費電力は５Ｖ×２．５ｍＡ＝１２．５ｍＷにな
る。この比較例では、そのため、同一の感度に対して消
費電力が４倍も減少する。消費電力は、他の２つのスト
レンゲージの回路および基準抵抗Ｒref の回路でも同様
に減少する。
【００１７】望ましくは、回路は、例えば、供給電圧を
１０Ｖに増加させ、かつ、定電流を５ｍＡに増加させる
ことにより、感度は上げても消費電力を必ず増加させな
いように設計することができる。これらの値を用いる
と、消費電力は米国特許４，８１７，３６２号に記載の
固定抵抗の例と同一になるが、感度は２倍になる。
１０Ｖに増加させ、かつ、定電流を５ｍＡに増加させる
ことにより、感度は上げても消費電力を必ず増加させな
いように設計することができる。これらの値を用いる
と、消費電力は米国特許４，８１７，３６２号に記載の
固定抵抗の例と同一になるが、感度は２倍になる。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
ＳＧ１〜ＳＧ３ 抵抗 Ｒref 基準抵抗 ＣＳ１〜ＣＳ４ 定電流源 Ａ１〜Ａ４ 差動増幅器 ＡＺ１〜ＡＺ３ 自動零位調整回路 ＳＰ 信号処理回路
Claims (10)
- 【請求項１】 位置決め装置上で用いられ、ワークピー
スと検出関係になったときに信号を生成する位置検出プ
ローブであって、 前記検出関係に達したときにその抵抗が変化する少なく
とも１つのセンサと、 該センサの抵抗の変化を検出する手段と、 前記センサに定電流を供給する定電流源とを備えたこと
を特徴とする位置検出プローブ。 - 【請求項２】 請求項１において、前記検出関係に達し
たときに抵抗が変化する複数の前記センサと、 前記複数のセンサにそれぞれ定電流を供給する前記複数
の定電流源とを備えたことを特徴とする位置検出プロー
ブ。 - 【請求項３】 請求項１または２において、基準信号に
従って前記定電流源または複数の定電流源を制御する手
段を含むことを特徴とする位置検出プローブ。 - 【請求項４】 請求項３において、前記検出関係に達し
たときその抵抗値が変化しないように取り付けられた前
記センサと、 該センサからの前記基準信号が入力されるように接続さ
れた制御手段とをさらに含むことを特徴とする位置検出
プローブ。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかの項におい
て、 基準抵抗を備え、 前記抵抗変化を検出する手段は差動増幅器であって、そ
の一方の入力端子には前記センサ間の電圧変化が入力さ
れ、もう一方の入力端子には基準抵抗間の電圧変化が入
力される差動増幅器を備えたことを特徴とする位置検出
プローブ。 - 【請求項６】 請求項５において、前記基準抵抗は前記
検出関係に達した時にもその抵抗値が変化しないように
取り付けた前記センサをさらに備えたことを特徴とする
位置検出プローブ。 - 【請求項７】 請求項５または６において、前記基準抵
抗に定電流を供給する定電流源をさらに備えたことを特
徴とする位置検出プローブ。 - 【請求項８】 請求項７において、前記センサのための
定電流源を制御し、前記基準抵抗のための定電流源の動
作を鏡像動作させる手段を含むことを特徴とする位置検
出プローブ。 - 【請求項９】 位置決め装置上で用いられ、ワークピー
スと検出関係になったとき信号を生成する位置検出プロ
ーブにおいて、 その出力が前記検出関係に達したときに変化する少なく
とも１つのセンサと、 基準素子と、 前記センサ出力の変化を検出し、前記基準素子からの出
力とで差動的に動作する手段とを備え、 前記基準素子はその出力が前記検出関係に達したときに
も変化しないように取り付けたセンサをさらに備えたこ
とを特徴とする位置検出プローブ。 - 【請求項１０】 請求項１ないし９のいずれかの項にお
いて、前記センサまたは各センサはストレンゲージを備
えたことを特徴とする位置検出プローブ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB919116245A GB9116245D0 (en) | 1991-07-27 | 1991-07-27 | Sensing circuit for position-sensing probe |
| GB9116245.3 | 1991-07-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196406A true JPH05196406A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=10699088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4199963A Pending JPH05196406A (ja) | 1991-07-27 | 1992-07-27 | 位置検出プローブの検出回路 |
Country Status (4)
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|---|---|
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| EP (1) | EP0526998A1 (ja) |
| JP (1) | JPH05196406A (ja) |
| GB (1) | GB9116245D0 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011099845A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-05-19 | Robert Bosch Gmbh | ステアリング角度センサ |
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1992
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- 1992-07-20 US US07/915,138 patent/US5295307A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-07-27 JP JP4199963A patent/JPH05196406A/ja active Pending
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Also Published As
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