JPH05197951A - 磁気ディスクの製造方法およびバーニッシュ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低浮上用の磁気ディスクの優れた信頼性を確
保するための浮上高さ保証を生産性よく行うための磁気
ディスクの製造方法およびバーニッシュ装置を提供す
る。 【構成】 バーニッシュ用スライダーの ヨー（ｙａ
ｗ）角を可変できる機構を有する装置で、同スライダー
のヨー角を調整することにより磁気ディスクのバーニッ
シュを行う。 【効果】 極めて低い浮上高さを保証するバーニッシュ
が効率よく行え、極めて低い浮上高さに対しても優れた
信頼性を有する磁気ディスクを生産性良く提供できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リジッド磁気ディスク
の表面の平滑性に有効なヨー（ｙａｗ）角を調整するバ
ーニッシュ用スライダーを備えてバーニッシュする磁気
ディスクの製造方法およびバーニッシュ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】データ記録用の磁気ディスク装置では、
記録密度の高密度化やアクセスタイムの短縮化および転
送レートの高速化が年々進歩している。

【０００３】これに伴い磁気ディスクには、高保磁力お
よび高残留磁束密度が要求され酸化物の塗布媒体からス
パッタ法やメッキ法により作製される金属薄膜磁気ディ
スクに変わってきている。また、磁気ヘッドと磁気ディ
スクとの分離長を小さくするため磁気ヘッドの浮上量を
従来の３００ｎｍから２００ｎｍ、さらにはそれ以下へ
と浮上量の低下が進んで来ている。

【０００４】浮上量の低下にともない信頼性を確保する
ことは非常に困難となる。例えばスパッタリング法によ
り作製した磁気ディスクの場合、ディスク表面にはスパ
ッタ中の塵埃やディスク基板の表面加工時の微小な突起
や膜の異常成長に起因する微小な突起が多数存在する。

【０００５】しかしながら、浮上量が３００ｎｍあるい
は２００ｎｍと比較的に高い場合は、信頼性上それ程問
題とならなかった微小な突起でも浮上量が１００ｎｍ、
さらにはそれ以下へと下がると急速にこれらの微小な突
起がディスク装置の信頼性に影響を及ぼすようになる。
ここでディスク装置の信頼性とは微小な突起と磁気ヘッ
ドとの衝突によるヘッドクラッシュによるデータの破壊
や、微小な突起が磁気ヘッドに損傷を与えることによる
ヘッド出力の低下によるデータの読み出し不能等、記録
装置として致命的な事故に関するものをいう。

【０００６】優れた信頼性を得るための磁気ディスクの
製造工程の一つに前記の、信頼性に影響を及ぼす微小な
突起を除去する工程、すなわちバーニッシュ工程があ
り、この工程で微小な突起を除去し、磁気ディスクの信
頼性を確保している。

【０００７】図４に従来のバーニッシュ装置の構成を示
す。磁気ディスク１を回転させるためのスピンドル２、
磁気ディスク１上の微小な突起を除去するためのバーニ
ッシュ用スライダー３、このバーニッシュ用スライダー
３を任意の位置に移動させるためのキャリジ４、バーニ
ッシュ用スライダー３をローディング、アンローディグ
させるための支持棒５、磁気ディスク１の浮上高さ保証
の範囲で、磁気ディスク１上の微小な突起の有無と存在
位置を検出するためのピエゾ素子６をリーディング端に
張り付けたヘッド７、このヘッド７を任意の位置に移動
させるためのキャリジ８、ヘッド７をローディング、ア
ンローディングさせるための支持棒９、ヘッド７のリー
ディング端に張り付けたピエゾ素子６からの信号を検出
するためのアンプ、フィルタおよび上記の構成の動作を
制御するためのコンピュータよりなる。

【０００８】次に動作説明を行う。所定の回転数で回転
している磁気ディスク１上の任意の位置にキャリジ４を
移動させ、バーニッシュ用スライダー３の支持棒５を動
作させることによりバーニッシュ用スライダー３を磁気
ディスク１上にローディングさせる。バーニッシュ用ス
ライダー３を磁気ディスク１の回転数を遅くした状態、
すなわち磁気ディスク１の浮上高さ保証の浮上高さより
低い浮上高さで磁気ディスク１全面に渡りシークさせる
ことで磁気ディスク１の表面上の微小な突起の除去、す
なわちバーニッシュを行う。バーニッシュ用スライダー
３の支持棒５を動作させ、バーニッシュ用スライダー３
をアンローディングさせる。次に、ピエゾ素子６を張り
付けたヘッド７のキャリジ８を任意の位置に移動させ、
支持棒９を動作させることにより、ピエゾ素子６を張り
付けたヘッド７をローディングさせる。ピエゾ素子６を
張り付けたヘッド７を磁気ディスク１の全面に渡りシー
クさせることで、磁気ディスク１の浮上高さ保証の範囲
で、磁気ディスク１上の微小な突起の有無と存在位置を
検出する。これにより、磁気ディスク１の浮上高さ保証
の範囲で、磁気ディスク１上の微小な突起の存在が確認
されれば、さらに前記のバーニッシュを行う。このよう
な工程を磁気ディスク１の浮上高さ保証の範囲で、磁気
ディスク１上の微小な突起が検出されなくなるまで行
い、突起が微小になると、バーニッシュ用スライダー３
のヨー角が一定なため、磁気ディスク１の周速を低下し
てバーニッシュ用スライダー３の浮上高さを低くしてい
た。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の方法
では、スライダー浮上量が２００ｎｍ〜３００ｎｍと高
い場合は、磁気ディスク上の微小な突起の存在はそれ程
問題とならないが、浮上量が１００ｎｍ、さらにはそれ
以下へと低下した場合、微小な突起の影響が急速に出て
きて、しかもそれらの突起は非常に除去し難いものであ
るために、バーニッシュ用スライダーの浮上高さが低く
なるように磁気ディスクの周速を遅くするので、従来の
バーニッシュ装置では相当の時間を要するとともに、結
局は微小な突起を充分除去できないためにバーニッシュ
工程での不良率が高い等の生産上の問題があった。

【００１０】本発明は、上記の課題を解決し、低浮上用
の磁気ディスクの、優れた信頼性を確保するための浮上
高さ保証を、生産性良く行うための磁気ディスクの製造
方法およびバーニッシュ装置を提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、バーニッシュ用スライダーのヨー角を可変
できる機構を有する装置で、バーニッシュ用スライダー
のヨー角を調整することによりバーニッシュを行うもの
である。

【００１２】

【作用】本発明は、上記装置と製造方法により、バーニ
ッシュ用スライダーの浮上量を調整すると、極めて低い
浮上高さでも保証できるバーニッシュを行うことができ
る。

【００１３】

【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。

【００１４】図１は本発明の一実施例におけるバーニッ
シュ装置の概略図である。磁気ディスク１を回転させる
ためのスピンドル２、磁気ディスク１上の微小な突起を
除去するためのバーニッシュ用スライダー３、バーニッ
シュ用スライダー３のヨー角を調整するためのボイスコ
イルモータ１０、バーニッシュ用スライダー３を任意の
位置に移動させるためのキャリジ４、バーニッシュ用ス
ライダー３をローディング、アンローディングさせるた
めの支持棒５、磁気ディスク１の浮上高さ保証の範囲
で、磁気ディスク１上の微小な突起の有無と存在位置を
検出するためのピエゾ素子６をリーディング端に張り付
けたヘッド７、このヘッド７を任意の位置に移動させる
ためのキャリジ８、ヘッド７をローディング、アンロー
ディングさせるための支持棒９、ヘッド７のリーディン
グ端に張り付けたピエゾ素子６からの信号を検出するた
めのアンプ、フィルタおよび上記の構成の動作を制御す
るためのコンピュータよりなる。なお、ボイスコイルモ
ータ１０は所定の信号に応じて回転し、バーニッシュ用
スライダー３にヨー角を生じさせるためのもので、その
様子を図２に示す。またこの時のヨー角と浮上量の関係
を図３に示す。この図からヨー角を調整することにより
磁気ディスク１の周速を落とすことなく、浮上量を下げ
ることができることが分かる。

【００１５】次に動作説明を行う。動作は、磁気ディス
ク１上の微小な突起を除去する動作と磁気ディスク１の
浮上高さ保証の範囲で磁気ディスク１上の微小な突起の
有無を検出する動作よりなる。

【００１６】所定の回転数で回転している磁気ディスク
１上の任意の位置にキャリジ４を移動させ、バーニッシ
ュ用スライダー３の支持棒５を動作させることによりバ
ーニッシュ用スライダー３を磁気ディスク１上にローデ
ィングさせる。バーニッシュ用スライダー３のヨー角を
調整するためのボイスコイルモータ１０に信号を送り、
バーニッシュ用スライダー３にヨー角を生じさせた状態
で、バーニッシュ用スライダー３を磁気ディスク全面に
渡りシークさせることで磁気ディスク１の表面上の微小
な突起の除去、すなわちバーニッシュを行う。バーニッ
シュ用スライダー３の支持棒５を動作させ、バーニッシ
ュ用スライダー３をアンローディングさせる。次に、ピ
エゾ素子６を張り付けたヘッド７のキャリジ８を任意の
位置に移動させ、支持棒９を動作させることにより、ピ
エゾ素子６を張り付けたヘッド７をローディングさせ
る。ピエゾ素子６を張り付けたヘッド７を磁気ディスク
１の全面に渡りシークさせることで、磁気ディスク１の
浮上高さ保証の範囲で、磁気ディスク１上の微小な突起
の有無と存在位置を検出する。これにより、磁気ディス
ク１の浮上高さ保証の範囲で、磁気ディスク１上の微小
な突起の存在が確認されれば、さらに前記のバーニッシ
ュを行う。このような工程を、磁気ディスクの浮上高さ
保証の範囲で、磁気ディスク１上の微小な突起が検出さ
れなくなるまで、すなわち浮上高さ保証を満足するまで
繰り返し行う。

【００１７】次に本発明の一実施例のバーニッシュ装置
を用いて実際にバーニッシュを行ってみた。ＡｌＭｇ合
金基板上にＮｉＰ合金膜を被覆した基板にＤＣマグネト
ロンスパッタ法によりＣｒ下地膜、ＣｏＮｉＣｒ磁性膜
およびＣ保護膜を形成して磁気ディスクを作製した。

【００１８】このようにして作製した磁気ディスクのバ
ーニッシュに要する時間を調べた。バーニッシュに要す
る時間は、磁気ディスク１０枚を浮上高さ保証を満足す
るまで磁気ディスク全面にわたりバーニッシュを行った
時に要する時間を測定して、磁気ディスク１枚当りに要
するバーニッシュ時間を算出した。なお、浮上高さ保証
は６０ｎｍに設定して調べた。

【００１９】（表１）に磁気ディスク１枚当りに要する
バーニッシュ時間を本実施例のバーニッシュ装置と比較
例としての従来のバーニッシュ装置とについて示す。

【００２０】

【表１】

【００２１】本実施例のバーニッシュ時間が従来例のバ
ーニッシュ時間と比べて極めて短いことが判る。これ
は、本実施例のバーニッシュ用スライダーは磁気ディス
クの周速を落とすことなくバーニッシュ時の浮上高さを
低くすることができるために、磁気ディスクの周速を落
とすことでバーニッシュ時の浮上高さを低くする従来例
と比べて、磁気ディスク上の微小な突起を極めて効率よ
く除去できるのである。なお、磁気ディスク上の微小な
突起を、バーニッシュ用スライダーのヨー角を可変して
除去しても、磁気ディスクのエラーの発生および信頼性
には何等問題がないことを確認している。

【００２２】また、従来の方法において研摩幅を狭くす
ることで周速を落とすことなくバーニッシュ時の浮上量
を低下させることも可能であるが、その時はスライダー
の減衰機能が低下し、バーニッシュ時にクラッシュの発
生が大きく余り良い結果は得られない。また、この方法
ではバーニッシュ時の浮上量を可変することができなく
汎用性がない。

【００２３】すなわち、本実施例は磁気ヘッドの浮上高
さが１００ｎｍ、あるいはそれ以下の磁気ヘッドの浮上
高さに対して、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触が全
くなく、したがってヘッドクラッシュや記録再生特性の
劣化等が全くない優れた信頼性を満足する磁気ディスク
を生産性良く製造することができる。

【００２４】また、本実施例では、バーニッシュ用スラ
イダーと磁気ディスク上の微小な突起等を検出するため
のヘッドとを用いたが、バーニッシュ用スライダーに磁
気ディスク上の微小な突起を除去するためのピエゾ素子
を張り付けて、磁気ディスク上の微小な突起を検出する
ようにすれば、バーニッシュ用スライダーだけで、磁気
ディスクのバーニッシュおよび磁気ディスクの浮上高さ
保証ができる。この場合、バーニッシュを行う時はバー
ニッシュ用スライダーのヨー角が大きくなるように、ま
た浮上高さ保証の浮上高さを測定するときは、バーニッ
シュ用スライダーのヨー角が適正な大きさとなるよう
に、各々についてボイスコイルモータに所定の信号を送
るだけでよい。

【００２５】

【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明
によれば、バーニッシュ用スライダーのヨー角を可変で
きる機構を有しそれを調整することによりバーニッシュ
を行うから、磁気ヘッドの浮上高さが１００ｎｍ、ある
いはそれ以下の磁気ヘッドの浮上高さに対して磁気ディ
スクと磁気ヘッドとの接触が全くない状態で微小突起を
除去できるためヘッドクラッシュや記録再生特性の劣化
等が全くない優れた信頼性を満足する磁気ディスクを生
産性良く製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のバーニッシュ装置の概略構
成図

【図２】同実施例において磁気ディスクとバーニッシュ
用スライダーとの関係を上から見た平面図

【図３】同実施例におけるバーニッシュ用スライダーの
ヨー角と浮上量の関係を示す図

【図４】従来のバーニッシュ装置の概略構成図

【符号の説明】

１ 磁気ディスク ３ バーニッシュ用スライダー

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バーニッシュ用スライダーのヨー角を調
   整することにより磁気ディスクの表面をバーニッシュす
   ることを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
2. 【請求項２】 磁気ディスクの表面をバーニッシュする
   バーニッシュ用スライダーのヨー角を調整する機構を備
   えた磁気ディスクのバーニッシュ装置。