JPH05198110A - ヘッド位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 使用者により良好な操作性を与える新たなヘ
ッド位置決めを提供する。 【構成】 ヘッド３３を回動させるアーム３２に取りつ
けられたミラー２４と、アーム回転中心に対して、ディ
スク本体部分と相対回動可能にされているオートコリメ
ータ２３とを設け、オートコリメータ２３の検出を基
に、オートコリメータ２３とミラー２４の相対位置関係
を一定に保ちながらディスク本体部分を相対回動させる
事により、ヘッドの位置制御を行う。これにより高精度
位置決めを達成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】（発明の属する技術分野）本発明は、例え
ば記録媒体としての磁気ディスクにサーボ情報を書き込
むサーボトラックライタに応用できるヘッド位置決め装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近のコンピュータの大容量化、小型化
に伴って、そのメモリとして利用される磁気ディスク
も、高密度化が要求されている。磁気ディスクは、予め
サーボ情報信号を書き込んでおく必要がある。書き込ま
れたサーボ情報信号が存在するところは、磁気ディスク
上でサーボトラックと言う。磁気ディスクの高密度化に
伴い、サーボトラックを書き込む製造装置も高精度化が
要求されている。

【０００３】図１は、従来のこの種の装置の概略構成図
である。同図において、１ａは高精度周波数安定化レー
ザ光源、２は折り返しミラー、３はビームスプリッタ、
４は磁気ディスクのヘッドアーム、５ａ，５ｂはコーナ
ーキューブ、６は磁気ヘッド、７は磁気ディスク、８は
受光器、９は制御回路、１０はヘッドアーム４の駆動用
モータ、１１は磁気ディスクの本体ケースである。

【０００４】ここでレーザ光源１ａ、ビームスプリッタ
３、コーナーキューブ５ａ，５ｂ、受光器８でレーザ干
渉測長器を構成しており、ヘッドアーム４上に載置した
コーナーキューブ５の移動量を受光器８で読み取り、制
御回路９によって、ヘッドアーム駆動回路用モータ１０
の回転角を所定角となるように制御し、磁気ヘッド６の
書き込み位置（磁気ディスク７の径方向位置）をコント
ロールしている。なお、磁気ディスク７はその中心のま
わりに不図示の専用モータによって回転されており、磁
気ヘッド６によって同心円の複数のサーボトラックが形
成される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述従来例に
鑑み、製品として使用者により良好な操作性（例えば高
い検出精度や装置の小型化など）を与える様な新たなヘ
ッド位置決め装置を提供する事を第１の目的とする。

【０００６】本発明は、上述従来例の様にヘッドを記録
媒体の略径方向に相対的に移動させるのに、アームを回
動させる様な形態をとる装置においても、高精度なヘッ
ド位置決めを行えるヘッド位置決め装置を提供する事を
第２の目的とする。

【０００７】本発明は上述従来例の様にディスク状の記
録媒体の径方向にヘッドを相対的に移動させ、媒体面に
記録等を行う装置において、装置を大型化する事無くヘ
ッドの位置検出が可能な配置をとれるヘッド位置決め装
置を提供する事を第３の目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述第１、第２の目的を
達成する為、本発明は、まず、第１の軸を中心に記録媒
体に対し相対的に回転可能且つ前記第１と平行な第２の
軸を中心にして該相対的回転の方向に交差する方向にも
相対回動可能な情報記録または再生用ヘッドを、前記記
録媒体に対して相対位置決めする装置で、前記第２軸中
心回動の方向に略沿った前記ヘッドとの相対位置関係を
計測するためのオートコリメータと、前記記録媒体及び
前記ヘッドよりなる組み合わせと前記オートコリメータ
とのうちの一方を載置して前記第２軸を略中心とした回
動方向に回動駆動するための回転テーブルと、前記ヘッ
ドの前記記録媒体に対する位置決め位置に対応して前記
回転テーブルを回転させ、且つ前記オートコリメータの
計測結果に基づき前記回転テーブルの回転中の前記オー
トコリメータとヘッドとの相対位置関係を一定に保つ様
に相対位置制御するコントロールユニットを有する様に
している。

【０００９】また上述第１、第３の目的を達成する為、
本発明は第１の軸を中心に記録媒体に対し相対的に回転
可能且つ前記第１と平行な第２の軸を中心にして該相対
的回転の方向に交差する方向にも相対回動可能な情報記
録または再生用ヘッドを、前記記録媒体に対して相対位
置決めする装置で、前記第２軸中心回動の方向に略沿っ
た前記ヘッドとの相対位置関係を計測するため、前記第
１軸または第２軸を中心とした回転方向を含む面に交差
する方向から前記ヘッドを支持する部材に設けられた位
置検出用指標を光電的に検出する光電検出系と、前記記
録媒体及び前記ヘッドよりなる組み合わせと前記光電検
出系とのうちの一方を載置して駆動するための駆動テー
ブルと、前記ヘッドの前記記録媒体に対する位置決め位
置に対応して前記駆動テーブルを駆動させ、且つ前記光
電検出系の計測結果に基づき前記回転テーブルの回転中
の前記光電検出系とヘッドとの相対位置関係を一定に保
つ様に相対位置制御するコントロールユニットとを有す
る様にしている。

【００１０】

【実施例】以下本発明を具体的な実施例により説明す
る。

【００１１】図２は、オートコリメータを用いた本発明
の第１実施例を示す。３１は固定磁気ディスク本体、３
２は揺動アーム、３３は書き込み用及び読み込み用の磁
気ヘッド、３４は揺動アームの駆動機構部である。２２
は回転テーブルで、テーブル上に前記３１の固定磁気デ
ィスク本体を取りつける。２３はオートコリメータで、
前記３２の揺動アームに取りつけられたミラー２４の回
転位置を検知するように配置されている。オートコリメ
ータの原理は良く知られているおり、ここでは詳細説明
を省略する。２５はオートコリメータ２３の検出ユニッ
トである。２７は制御装置ＩＩで、前記オートコリメー
タ検出ユニット２５から得られた信号出力に応じて、前
記固定磁気ディスク３１内の揺動アーム駆動機構３４を
制御して、揺動アーム３２を駆動する。２６は回転テー
ブル２２を位置決めするための制御装置Ｉである。２８
はサーボトラックライタ全体を制御するための主制御装
置である。なお、サーボトラックライタは、この他に不
図示のサーボトラック書き込みに必要な装置からも構成
される。アーム３２の支点３５と回転テーブル２２の回
転中心は略一致している。

【００１２】以下に、本実施例によりサーボトラックを
書き込む手順を説明する。

【００１３】一般に、固定磁気ディスクのサーボトラッ
クは磁気ディスク面に等間隔、例えば１０μｍごとに書
き込まれ、ヘッドの位置決めに必要なサーボ情報を記録
する。本実施例では、サーボトラックを書き込む固定磁
気ディスク本体を回転テーブル２２の上に設置し、一定
間隔とするべくヘッドが位置決めされる様に回転テーブ
ルをエンコーダやステッピングモータを用いて回転し、
角位置決め位置ごとに同心円の複数のサーボトラックの
書き込みを行う。その回転テーブルの位置決め角度間隔
θは、図３に示すように揺動アーム３２の支点３５とヘ
ッド３３との間隔をＬ、トラックピッチをＰとしたと
き、θ＝Ｐ／Ｌとなるようにする。

【００１４】本実施例においては、オートコリメータに
より揺動アームの回転角度を検知し、常にオートコリメ
ータの出力が一定になるように、すなわち非接触センサ
としてのオートコリメータに対し、ミラー２４を含むヘ
ッドの相対位置関係を変えないように固定磁気ディスク
内の駆動機構部を制御し、揺動アームを駆動する。この
様にする事で、ヘッドは回転テーブルの移動に伴って磁
気ディスク面の径方向に移動する事になる。そこで、回
転ステージを角度間隔θ＝Ｐ／Ｌで位置決めしていく事
により、ヘッドのディスク径方向位置決めが実行され
る。

【００１５】以上の動作により、揺動アームをサーボト
ラックのピッチで位置決めしながら、サーボトラックの
書き込みを行う。

【００１６】なお、前述の実施例では、固定磁気ディス
クを回転テーブル上に、オートコリメータを固定テーブ
ル上に配置した例を示したが、固定磁気ディスクを固定
テーブル上に、オートコリメータを回転テーブル上に配
置し、オートコリメータにより揺動アームの回転角度を
検知できるように構成した例も考えられる。その場合、
回転テーブルの回転中心と、固定磁気ディスクの揺動ア
ームの回転中心とを略一致させる。また、オートコリメ
ータの出力が常に一定になるように揺動アームの駆動機
構部を駆動し、制御することは前述の例と同様である。

【００１７】なお、回転テーブル２２は、高分解能のロ
ータリーエンコーダやレゾルバ等の角度検出器を用いて
制御したり、パルスモータを用いて位置決めを行う等の
方法が考えられる。

【００１８】図２では、オートコリメータ検出用のミラ
ーを、揺動アーム自体に取りつけた場合を示している
が、多くの場合固定磁気ディスクでは、揺動アームの駆
動にボイスコイルモータが用いられ、ボイスコイルの稼
働部分に設けてもよい。

【００１９】以下、本実施例の効果について説明する。
例えば図１に示す様な装置の場合、アーム４の回転に従
って、アーム４上のコーナーキューブ５と、レーザ干渉
測長器の相対位置関係が変化し、ヘッドアームの移動に
伴ってコーナーキューブに有効に光が入射しなくなり、
ヘッド位置決めができなくなるという欠点があった。

【００２０】本実施例では、（本来は回転テーブル２２
の回転に伴って変化するはずの）ミラー２４の傾きが一
定となる様にアーム３２を回動制御している。この時回
転テーブル２２の回軸中心とアーム３２の回動中心は略
一致している。この為、回転テーブル２２の回動により
アーム３２をディスク径方向のどの位置に位置決めして
も、オートコリメータ２３とミラー２４との配置関係は
実質的に不変であり、オートコリメータの光は有効に計
測に使用できる。また、この回転テーブル２２とアーム
３２の回転中心は厳密に一致していなくても良い。例え
ば、オートコリメータの代わりに（角度検出ではなく）
ミラー２４までの距離を測定するセンサを使用した場合
には、回転中心が不一致だとセンサー・ミラー間隔一定
制御を行いながら回転テーブルを回転した際にこの偏心
に起因するアーム全体の変位量がセンサーの検出間隔値
に誤差成分として混入してしまい、正確な位置決めが困
難となる。本実施例ではミラー角度検出方式なので、こ
の偏心に起因するアーム全体の変位は検出されず、従っ
て多少の偏心の有無ににかかわらず正確な位置決めが可
能になる。

【００２１】次に、図４以降に示す実施例はヘッドアー
ムに反射、非反射の境界を有する指標板を取り付け、更
に外部から集光光束を照射して、そこから得られる反射
光の空間的分布の変化を互いに空間的に位置をずらした
２つの受光素子で検出して、互いの差出力の変動を取り
出して、磁気ヘッドと非接触センサとの相対位置ずれ信
号を発生させるいわゆる「光学式原点位置検出手段」を
用い、その信号に基づいて相対位置ずれが元に戻るよう
に、すなわち非接触センサとの相対意位置関係が変わら
ないようにヘッドアームを制御するものである。

【００２２】図４は、磁気ディスク装置側を回転テーブ
ルに載せた例である。図中、１００は磁気ディスク装置
全体、１０１は磁気ディスク、１０２は磁気ディスク回
転駆動アクチュエーター（ＥＸ．モーター）、１０３は
磁気ディスク用記録ヘッド、１０４は磁気ディスク用記
録ヘッド支持用アーム、１０５はアーム駆動用アクチュ
エーター、１０６はアーム駆動用アクチュエーターコン
トローラー、２００は回転テーブル、２０１は回転テー
ブル駆動用アクチュエーター、２０２は回転テーブル位
置検出装置（ＥＸ．ロータリーエンコーダ）、２０３は
回転テーブル回転中心、２０４は回転テーブルアクチュ
エーターコントローラー、３００は磁気ディスク用記録
ヘッド位置またはアーム位置検出装置、４００は回転テ
ーブル位置命令用制御信号、５００は磁気ディスク用記
録ヘッド位置またはアーム位置ずれ検出信号、６００は
磁気ディスク用アームの位置制御信号、７００はサーボ
トラック書き込み信号である。１０７は回転テーブル２
００とアーム１０４で共通の回転中心軸である。

【００２３】ここでサーボ情報を書き込む手順を示せば
以下の通りである。 ＣＰＵからの命令４００で回転テーブルの位置が特定
の位置に設定される。（アクチュエーター２０１、位置
検出装置２０２、及びアクチュエーターコントローラー
２０４、の組み合わせによる制御系が機能する。） 回転テーブルが回転すると、磁気ディスク記録ヘッド
１０３（またはアーム１０４）と、磁気ディスク記録ヘ
ッド検出装置３００とのと相対位置がずれて、位置ずれ
信号５００がＣＰＵに入力される（３００は固定）。 ＣＰＵからの命令６００でアクチュエーター１０５を
動かして、検出装置３００からの位置ずれ信号が、元の
値に戻るまで制御する。 が完了すると同時に、サーボトラック信号７００を
磁気ディスクヘッドに伝送し、サーボ情報を書き込む。 上記〜を繰り返す。

【００２４】ここで図５は、磁気ディスク用記録ヘッド
１０３または支持用アーム１０４の位置検出装置３００
の部分的機能説明図である。３０１は光源（平行光
束）、３０２は波面分割プリズム、３０３はシリンドリ
カルレンズ、３０５ａ，３０５ｂは段違い矩形パター
ン、３０８ａ，３０８ｂは受光素子、３５０は信号増幅
処理ボード、５００は位置ずれ信号である。なお、波面
分割プリズム３０２、シリンドリカルレンズ３０３は図
面ではｙ方向半分のみ示してある。

【００２５】光源３０１から射出した略平行光束を、波
面分割プリズム３０２で２方向（図ではＸ座標方向）に
２分割し、さらにシリンドリカルレンズ３０３にてそれ
ぞれ線状ビーム形状（図ではＹ座標方向に狭い）に集光
し、それぞれの反射、非反射（矩形）パターン上に照射
される。上記パターンの反射部で反射された２つの光束
は、再びビーム幅を元に戻しながら、シリンドリカルレ
ンズを透過し、更にそれぞれ波面分割プリズム３０２の
周辺部に入射し屈折されて、光源からの光束と平行な方
向に進行し、各々の受光素子３０８ａ，３０８ｂに入射
する。

【００２６】さてこの光学系において、図６のように指
標３０５が移動するとそれぞれ光束が照射されている領
域内の反射部の面積が相対的に変動する。そこで受光素
子３０８ａ，３０８ｂの出力差（アナログ）信号は指標
とビーム（すなわち、位置検出装置３００）との相対位
置ずれを表すことになり、分解能は指標部に照射される
線状ビームの線幅で決められる。シリンドリカルレンズ
３０３は分解能を上げる目的で使用される。また上記出
力差信号が＋へずれたか−へずれたかで指標のずれの方
位も判別できる。

【００２７】上記の差信号は、信号処理されて、位置ず
れ情報信号５００として任意のフォーマットで出力され
ＣＰＵに送られる。

【００２８】ところで図４の実施例では磁気ヘッド位置
検出装置３００と、磁気ディスク記録装置１０５とを、
相対移動させるのに、磁気ディスク記録装置１０５側を
回転テーブルに載せて、相対移動させたものが、もちろ
ん磁気ヘッド位置検出装置３００側を回転テーブルに載
せて回転させてもよいことは言うまでもない。

【００２９】図５の実施例は、光束を波面分割プリズム
で２つに分けて２つの矩形パターンにそれぞれ独立させ
て照射してそれぞれの受光素子にて受光しているが、図
７に示す例も考えられる。

【００３０】すなわち、図７で光源３０１から射出した
略平行光束をシリンドリカルレンズ３０３にて線状ビー
ムに集光し、反射、非反射部からなる矩形（シングル）
パターン上に照射されるビーム幅ｄが、矩形（シング
ル）パターンの移動方向の幅Ｄに対して、 Ｄ＜ｄ≦３Ｄ を満たすように照射されれば、矩形シングルスリットに
て反射される光束の空間的分布の変動が検出される。

【００３１】例えば、指標がビーム照射領域内の中央に
あれば、正反射方向へ最強ビームが進行するので、その
進路に対して対称に配置された２つの受光素子３０８
ａ，３０８ｂには等光量が入射する。このとき指標３０
５がどちらかに寄れば受光素子３０８ａ，３０８ｂへの
入射光量のバランスがくずれる。

【００３２】また、シリンドリカルレンズと波面分割プ
リズムの順番を入れ替えても良いし、シリンドリカルレ
ンズを省略しても良い。

【００３３】また、波面分割プリズムではなくて、ハー
フミラー等で振幅分割して２光束を得てから、指標にビ
ームを照射しても良い。

【００３４】また、指標である反射、非反射の境界を一
か所だけにして、１つの線状ビームを照射してそこから
反射される光束を１つの受光素子にて受光し、その出力
レベルが特定の値より上回ったか、下回ったかで指標の
位置ずれ信号を発生させる方法でも良い。

【００３５】また、指標として特別なものを貼付するか
わりに、磁気ディスクまたはアームの一部の形状で代用
しても良いし、直接指標を印刷しても良い。

【００３６】なお、上記実施例、変形例において、例え
ば構成要素を一部変更したり順番を変えたり追加省略を
しても同様の原理に基づく『原点位置検出光学装置』で
あればよいことは言うまでもない。

【００３７】上述の実施例の様に指標検出によってヘッ
ド位置検出を行う事により、検出系を空間的に余裕ある
ディスク面上側に配置でき、装置が小型化できる。

【００３８】次に、図８はヘッドアーム上に指標として
回折格子３０５を取り付け、ヘッドと非接触センサとの
相対位置ずれ信号を発生させるのに、いわゆる「格子干
渉方式のエンコーダ」を用い、その信号に基づいて相対
位置ずれが元に戻るように、すなわち非接触センサとの
相対位置関係が変わらないようにヘッドアーム位置を制
御する実施例を示す。図４に示した符号と同一の符号は
同一部材を示す。８００が位置検出装置、８０５が回折
格子板を示す。

【００３９】図９は、磁気ディスク用記録ヘッド１０３
または支持用アーム１０４の位置検出装置８００の部分
的機能説明図である。８００は位置検出装置のボディ
ー、８０１は単色光源（ＥＸ．レーザダイオード）、８
０２は（偏光）ビームスプリッタ、８０３ａ，８０３ｂ
はミラー、８０３ｃは反射光学素子、８０４ａ，８０４
ｂ，８０４ｃは１／４波長板（結晶光学素子）、８０５
は支持アーム１０４上に取りつけられた回折格子板、８
０６は（非偏光）ビームスプリッタ、８０７ａ，８０７
ｂは偏光板、８０８ａ，８０８ｂは受光素子、８５０は
信号増幅処理ボード、５００は位置ずれ信号である。

【００４０】ここで、光学的説明を光路に沿って行えば
以下の通りである。

【００４１】単色光源８０１から射出した光束を、ビ
ームスプリッタ８０２で偏光成分ごと２分割する。

【００４２】透過光（Ｐ偏光光束）は１／４波長板８
０４ａを透過後、ミラー８０３ａを経由して、回折格子
板８０５に入射する。そこで発生したｎ次回折光は、反
射光学素子８０３ｃ方向に射出するので、同反射光学素
子８０３ｃで元の光路に戻されて、回折格子板８０５に
再入射し、更にそこで発生したｎ次回折光はミラー８０
３ａ方向に射出するので、そのまま元の光路を戻され、
１／４波長板８０４ａを再透過する。１／４波長板８０
４ａを往復透過しているので、公知のように偏光面が９
０°回転変化されて、Ｓ偏光成分となっていてる。ビー
ムスプリッタ８０２ではＳ偏光成分は反射されるので、
１／４波長板８０４ｃを透過して、右回りの円偏光光束
となる。

【００４３】一方、光源８０１からの光束のうち、ビ
ームスプリッタ８０２で反射された光束（Ｓ偏光光束）
は１／４波長板８０４ｂを透過後、ミラー８０３ｂを経
由して回折格子板８０５に入射する。そこで発生したｍ
次回折光は反射光学素子８０３ｃ方向へ射出するので、
同反射光学素子８０３ｃの光路へ戻され、回折格子板８
０５に再入射し、更にそこで発生したｍ次回折光はミラ
ー８０３ｂ方向へ射出するので、そのままもとの光路へ
戻され、１／４波長板８０４ｂを再透過する。同様の理
由で、偏光面が９０°回転変換されて、Ｐ偏光成分とな
っている。ビームスプリッタ８０２ではＰ偏光成分は透
過するので、１／４波長板８０４ｃを透過して、左回り
の円偏光光束となる。

【００４４】，の光束をベクトル合成すると、単
一の『直線偏光光束』となることが知られている。

【００４５】更にｎ次回折光は回折格子板８０５の１
ピッチ分の相対移動により、波面の位相が２π×ｎずれ
ることが知られているから、ｎ次の再回折光の位相は２
π×ｎ×２＝４πｎずれていて、ｍ次の再回折の位相が
２π×ｍ×２＝４πｍずれている。

【００４６】ｎ＝＋１，ｍ＝−１とすると、回折格子が
１ピッチ分相対移動すると２つの回折光間の位相ずれが
８πになる。

【００４７】の直線偏光の偏光面の向きは２つの回
折光間の位置ずれに対応している。

【００４８】

【外１】 であるから、位相差がπずれていくと偏光面が９０°回
転していく。

【００４９】そこで、ビームスプリッタ８０６により
光束を２等分して、一方を例えば０°方向の偏光成分の
みを透過させる偏光板８０７ａを介して光束を観測する
と、周期的に明暗を繰り返すことになる。すなわち２つ
の回折光間の位相ずれが２π毎に１周期の明暗信号とな
り、受光素子８０８ａに入射される。

【００５０】もう一方の光束は、例えば４５°方向の偏
光成分のみを透過させる偏光板８０７ｂを介して観測す
ると、同様に明暗信号を得る事ができる。

【００５１】ただし、偏光板８０７ｂの偏光方位と信号
光束の偏光面が一致するタイミングと、偏光板８０７ａ
の偏光方位と信号光束の偏光面が一致するタイミングと
は互いにずれていて、ずれ量は明暗の周期の１／４にな
る。

【００５２】２つの受光素子８０８ａ，８０８ｂから
は互いにタイミングのずれた正弦波状周期信号が得られ
るので、２光束間の位相のずれた方向すなわち回折格子
８０５移動方向を知ることができる。

【００５３】上記２つの信号は、信号処理されて、位
置ずれ情報信号５００として任意のフォーマットで出力
されＣＰＵに送られる。

【００５４】なお、図８の実施例では磁気ヘッド位置検
出装置８００と、磁気ディスク記録装置１０５とを、相
対移動させるのに、磁気ディスク記録装置１０５側を回
転テーブルに載せて、相対移動させたが、もちろん磁気
ヘッド位置検出装置８００側を回転テーブルに載せて回
転させても良い事は言うまでもない。

【００５５】なお、図８の実施例は、ヘッド位置検出光
学系内のミラー、プリズムの配置、光線の引き回し法、
偏光光束の波長板による偏光面変換法、回折格子の位置
ずれによる回折光波面の位相ずれを干渉により検出する
方法、偏光と組み合わせた位相差周期信号発生方法を組
み合わせたいわゆる『格子干渉計方式のエンコーダ』を
構成した一例であり、例えば構成要素を一部変更したり
順番を変えたり追加省略をしても同様の原理に基づく
『格子干渉方式のエンコーダ』であれば良いことは言う
までもない。

【００５６】

【発明の効果】以上、本発明により従来よりも、使用者
により良好な操作性を与える新たなヘッド位置決め装置
が実現できた。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来例の図である。

【図２】反射部をヘッドに設け非接触センサとしてのオ
ートコリメータとの相対位置関係を変えないように制御
する実施例の図である。

【図３】サーボトラックのトラックピッチＰと回転角θ
の関係を示す図である。

【図４】反射、非反射部からなる指標をヘッドに設け、
非接触センサとの相対位置関係を変えないように制御す
る実施例の図である。

【図５】図４の実施例の非接触センサとその周辺の構成
説明図である。

【図６】図４の実施例の非接触センサと指標との位置ず
れに伴う受光素子入射光量変動の説明図である。

【図７】図４の実施例の非接触センサの変形例を示す図
である。

【図８】回折格子をヘッドに設け、非接触センサとの相
対関係を変えないように制御する実施例の図である。

【図９】図８の実施例の非接触センサとその周辺の構成
説明図である。

【符号の説明】

２２ 回転テーブル ２３ オートコリメータ ２４ ミラー ２５ オートコリメータ検出ユニット ２６ 制御装置Ｉ ２７ 制御装置ＩＩ ２８ 主制御装置 ３１ 固定磁気ディスク本体 ３２ 揺動アーム ３３ 磁気ヘッド ３４ 駆動機構部 １００ 磁気ディスク本体 １０１ 磁気ディスク １０２ 磁気ディスク回転駆動アクチュエーター １０３ 記録ヘッド １０４ 記録ヘッド支持用アーム １０５ アーム駆動用アクチュエーター １０６ アーム駆動用アクチュエーターコントローラー ２００ 回転テーブル ２０１ 回転テーブル駆動用アクチュエーター ２０２ 回転テーブル位置検出装置 ３００ 記録ヘッド位置またはアーム位置検出装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 哲治 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 百瀬 克己 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 保坂 光太郎 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 鳴海 廣治 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の軸を中心に記録媒体に対し相対的
   に回転可能且つ前記第１と平行な第２の軸を中心にして
   該相対的回転の方向に交差する方向にも相対回動可能な
   情報記録または再生用ヘッドを、前記記録媒体に対して
   相対位置決めする装置で、前記第２軸中心回動の方向に
   略沿った前記ヘッドとの相対位置関係を計測するための
   オートコリメータと、前記記録媒体及び前記ヘッドより
   なる組み合わせと前記オートコリメータとのうちの一方
   を載置して前記第２軸を略中心とした回動方向に回動駆
   動するための回転テーブルと、前記ヘッドの前記記録媒
   体に対する位置決め位置に対応して前記回転テーブルを
   回転させ、且つ前記オートコリメータの計測結果に基づ
   き前記回転テーブルの回転中の前記オートコリメータと
   ヘッドとの相対位置関係を一定に保つ様に相対位置制御
   するコントロールユニットとを有することを特徴とする
   ヘッド位置決め装置。
2. 【請求項２】 第１の軸を中心に記録媒体に対し相対的
   に回転可能且つ前記第１と平行な第２の軸を中心にして
   該相対的回転の方向に交差する方向にも相対回動可能な
   情報記録または再生用ヘッドを、前記記録媒体に対して
   相対位置決めする装置で、前記第２軸中心回動の方向に
   略沿った前記ヘッドとの相対位置関係を計測するため、
   前記第１軸または第２軸を中心とした回転方向を含む面
   に交差する方向から前記ヘッドを支持する部材に設けら
   れた位置検出用指標を光電的に検出する光電検出系と、
   前記記録媒体及び前記ヘッドよりなる組み合わせと前記
   光電検出系とのうちの一方を載置して駆動するための駆
   動テーブルと、前記ヘッドの前記記録媒体に対する位置
   決め位置に対応して前記駆動テーブルを駆動させ、且つ
   前記光電検出系の計測結果に基づき前記回転テーブルの
   回転中の前記光電検出系とヘッドとの相対位置関係を一
   定に保つ様に相対位置制御するコントロールユニットと
   を有することを特徴とするヘッド位置決め装置。
3. 【請求項３】 前記位置検出用指標として回折格子を有
   し、前記光電検出系は格子干渉方式のエンコーダを有す
   ることを特徴とする請求項２のヘッド位置決め装置。