JPH05198210A - 誘電体磁器組成物 - Google Patents

誘電体磁器組成物

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JPH05198210A
JPH05198210A JP4007449A JP744992A JPH05198210A JP H05198210 A JPH05198210 A JP H05198210A JP 4007449 A JP4007449 A JP 4007449A JP 744992 A JP744992 A JP 744992A JP H05198210 A JPH05198210 A JP H05198210A
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智広 鶴田
Yoichiro Yokoya
洋一郎 横谷
Koichi Kugimiya
公一 釘宮
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 マイクロ波、ミリ波帯などの高周波領域にお
いて使用される誘電体共振器、及び誘電体フィルター等
に好適な誘電体磁器組成物において、高い無負荷Qと小
さな共振周波数の温度変化率を同時に満足する高性能な
誘電体磁器を提供する。 【構成】 組成式Ba1-X-Y (Mg1-Z-V CoZ
V X TaY n で表わされる誘電体磁器組成物で特
定のz+v、x、yの範囲において特に0.4800≦x+y
≦0.4998の範囲とすることにより、BaO−MgO−T
2 5 系の複合ペロブスカイト型組成物の高い無負荷
Qを劣化させることなく、共振周波数の温度変化率を低
減することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波、ミリ波帯
などの高周波領域において使用される誘電体共振器、及
び誘電体フィルター等に好適な誘電体磁器組成物に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来から高周波領域において、回路のイ
ンピーダンス整合、誘電体共振器、及びフィルター等に
誘電体が応用されているが、近年通信の高周波化及び高
密度化に対応するため、無負荷Qが大きく、かつ温度変
化による共振周波数の変動が小さい誘電体が求められて
いる。
【0003】BaO−MgO−Ta2 5 系の複合ペロ
ブスカイト型組成物は、既存の材料の中で高い無負荷Q
を有する材料のひとつとして知られるが、共振周波数の
温度変化率に問題があった。
【0004】これに対し共振周波数の温度変化率の低減
を図った組成として、BaO−MgO−Ta2 5 系の
MgOの一部を、NiOで置き換えた組成系(特開昭6
0−216407号公報)、及びBaO−MgO−Ta
2 5 系のMgOの一部を、CoOで置き換えた組成系
などが提案されている(特開昭61−8804号公
報)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来から提案されているこれらのMgOへのNiO,Co
Oの置換組成系は、共振周波数の温度変化率の低減がは
かれる一方で、無負荷Qの低下の問題点を有していた。
【0006】本発明は、前記従来の問題点を解決するた
め、BaO−MgO−Ta2 5 系系の複合ペロブスカ
イト型組成物において、高い無負荷Qを保ちながら共振
周波数の温度変化率の低減を図れる誘電体磁器組成物を
提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の第1番目の誘電体磁器組成物は、一般式B
1-X-Y (Mg1-Z CoZ X TaY n で表わされ、
0.01≦z≦0.45の範囲にあるzに対し、0.13≦x≦0.1
9、0.31≦y≦0.37、かつ0.4800≦x+y≦0.4998の範
囲にある(ただしnは任意の数)という構成を備えたも
のである。
【0008】また本発明の第2番目の誘電体磁器組成物
は、一般式Ba1-X-Y (Mg1-Z NiZ X TaY n
で表わされ、0.01≦z≦0.40の範囲にあるzに対し、0.
12≦x≦0.18、0.32≦y≦0.38、かつ0.4800≦x+y≦
0.4998の範囲にある(ただしnは任意の数)という構成
を備えたものである。
【0009】さらに本発明の第3番目の誘電体磁器組成
物は、一般式Ba1-X-Y (Mg1-Z- V CoZ NiV X
TaY n で表わされ、0.01≦z+v≦0.40、z>0 、
かつv>0 の範囲にあるzとvに対し、 0.13 ≦x≦0.
18 0.32 ≦y≦0.37かつ0.4800≦x+y≦0.4998の範囲
にある(ただしnは任意の数)という構成を備えたもの
である。
【0010】
【作用】前記本発明の第1〜第3番目の誘電体磁器組成
物の構成によれば、組成式Ba 1-X-Y (Mg1-Z-V Co
Z NiV X TaY n で表わされる誘電体磁器組成物
であってかつ特定のz+v、x、yの範囲とすることに
より、高い無負荷Qを有し、共振周波数の温度変化率:
τf の小さい磁器を得ることができる。
【0011】
【実施例】
実施例1 出発原料として、化学的に高純度なBaCO3 ,Mg
O,CoO,Ta2 5 を使用し、表1〜表3に示され
た所定の組成に秤量を行い、これをボールミルを用い湿
式混合処理した。
【0012】この混合物を乾燥し、800℃で2時間仮
焼成を行った後、この仮焼成粉をさらにボールミルで粉
砕し、脱水乾燥後に粘結材としてポリビニルアルコール
を適当量加え、1ton/cm2 の圧力を加えて、直径
8mm、厚み4mmの円板に成形した。
【0013】この成形体を1500〜1550℃で12
時間本焼成を行い磁器試料を得た。尚、焼成は高温にお
ける成分の蒸発を考慮して、同一組成の仮焼成粉体で十
分に充填された白金容器中に成形体試料を入れた状態で
行った。
【0014】得られた各磁器試料について、10GHz
の周波数における比誘電率: εr 、無負荷Q値: Q、及
び−50℃〜50℃における共振周波数の温度変化率:
τf (ppm/ ℃) を測定した。結果を表1〜表3に示す。
【0015】
【表1】
【0016】
【表2】
【0017】
【表3】
【0018】表1〜表3から明かなようにx+y<0.48
の組成では焼結性が悪く、x+y>0.4998の組成ではQ
が著しく小さくなるが、0.48≦x+y≦0.4998の範囲で
は高いQ値と小さなτf が得られた。尚、本実施例の試
料No.33 は特開昭61-8804 号公報中の試料No.1と同一組
成、同じく本実施例の試料No.44 は同公開公報の試料N
o.2と、本実施例の試料No.59 は同公開公報の試料No.5
と同一組成である。これらBaとBa以外の組成比が
1:1の従来組成では、本実施例による組成域における
ものに比べQ値が著しく小さかった。
【0019】またx<0.13、z<0.01ではτf が大き
く、y<0.31、z>0.45の組成ではQ値が低下するため
に実用的ではない。本実施例による組成範囲ではいずれ
の組成でもQ値が20000 以上で且つ、共振周波数の温度
変化率が3ppm/ ℃以下と非常に良好な電気的特性を有し
ている。
【0020】実施例2 出発原料として、化学的に高純度なBaCO3 ,Mg
O,NiO,Ta2 5 を使用した。次に表4〜表6に
示された所定の組成に秤量を行い、これをボールミルを
用い湿式混合処理した。以下実施例1と同様の方法で供
試試料を得た。
【0021】表4〜表6に各組成毎の周波数10GHz
における比誘電率: εr 、無負荷Q値: Q、及び−50
℃〜50℃における共振周波数の温度変化率: τf (ppm
/ ℃) を示す。
【0022】
【表4】
【0023】
【表5】
【0024】
【表6】
【0025】表4〜表6から明かなようにx+y<0.48
の組成では焼結性が悪く、x+y>0.4998の組成ではQ
が著しく小さくなり0.48≦x+y≦0.4998の範囲では高
いQ値と小さなτf が得られた。尚、本実施例の試料N
o.131は特開昭60-216407 号公報中の試料No.1と同一組
成、同じく本実施例の試料No.143は同公報の試料No.2
と、本実施例の試料No.158は同公報の試料No.5と同一組
成である。これらBaとBa以外の組成比が1:1の従
来組成では本実施例による組成域におけるものに比べQ
値が著しく小さかった。
【0026】またx<0.12、z<0.01ではτf が大き
く、y<0.32、z>0.40の組成ではQ値が低下するため
に実用的ではない。本実施例による組成範囲では、いず
れの組成でもQ値が20000 以上で且つ、共振周波数の温
度変化率が3ppm/ ℃以下と非常に良好な電気的特性を有
していた。
【0027】実施例3 出発原料として、純度99.9%以上のBaCO3 ,M
gO,CoO,NiO,Ta2 5 を使用した。次に表
7〜表9に示された組成とするための秤量を行い、これ
をボールミルを用い湿式混合処理した。以下実施例1と
同様の方法で供試試料を得た。
【0028】表7〜表9に各組成毎の周波数10GHz
における比誘電率: εr 、無負荷Q値: Q、及び−50
℃〜50℃における共振周波数の温度変化率: τf (ppm
/ ℃) を示す。
【0029】
【表7】
【0030】
【表8】
【0031】
【表9】
【0032】表7〜表9から明かなように、各電気特性
は実施例1及び2と同様の挙動を示す。またCoとNi
の組成比に応じてCo,Ni各単体時の特性の中間的な
特性を示す。すなわちCoとNiの比を調製することに
より任意のεr に対して必要なτf を制御することがで
きる。
【0033】以上説明した通り、誘電体磁器を用いた高
周波デバイスではデバイス自体から生じる温度依存性を
有する場合もあり、この場合、デバイスに必要な磁器の
誘電率を保ちながら誘電体の温度依存性で全体としての
温度依存性を補償する必要がある。ゆえに任意のεr
対しτf を制御することは、温度依存性のない高周波デ
バイスを設計するうえで極めて有用なこととなる。した
がって本発明はこの技術分野でとくに有効であると考え
られる。
【0034】
【発明の効果】以上説明した通り本発明によれば、組成
式Ba1-X-Y (Mg1-Z-V CoZ Ni V X TaY n
で表わされる誘電体磁器組成物で特定のz+v、x、y
の範囲とし、とくに0.4800≦x+y≦0.4998の範囲とし
たことにより、高い無負荷Q値と小さい共振周波数の温
度変化率を同時に満足する誘電体磁器を得ることが可能
となる。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式Ba1-X-Y (Mg1-Z CoZ X
    Y n で表わされ、0.01≦z≦0.45の範囲にあるzに
    対し、0.13≦x≦0.19、0.31≦y≦0.37、かつ0.4800≦
    x+y≦0.4998の範囲にある誘電体磁器組成物(ただし
    nは任意の数)。
  2. 【請求項2】一般式Ba1-X-Y (Mg1-Z NiZ X
    Y n で表わされ、0.01≦z≦0.40の範囲にあるzに
    対し、0.12≦x≦0.18、0.32≦y≦0.38、かつ0.4800≦
    x+y≦0.4998の範囲にある誘電体磁器組成物(ただし
    nは任意の数)。
  3. 【請求項3】一般式Ba1-X-Y (Mg1-Z-V CoZ Ni
    V X TaY n で表わされ、0.01≦z+v≦0.40、z
    >0 、かつv>0 の範囲にあるzとvに対し、0.13 ≦
    x≦0.18, 0.32 ≦y≦0.37かつ0.4800≦x+y≦0.49
    98の範囲にある誘電体磁器組成物(ただしnは任意の
    数)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US11919779B2 (en) 2016-05-31 2024-03-05 Skyworks Solutions, Inc. Methods of making high q modified materials for high frequency applications
US11926533B2 (en) 2016-05-31 2024-03-12 Skyworks Solutions, Inc. Methods of making high q modified barium-based materials for high frequency applications

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