JPH05198655A - ウエハ反転装置 - Google Patents
ウエハ反転装置Info
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- JPH05198655A JPH05198655A JP3050486A JP5048691A JPH05198655A JP H05198655 A JPH05198655 A JP H05198655A JP 3050486 A JP3050486 A JP 3050486A JP 5048691 A JP5048691 A JP 5048691A JP H05198655 A JPH05198655 A JP H05198655A
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Landscapes
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハに損傷を与えることなく円滑に１８０
゜反転するための装置を提供する。 【構成】 搬送路７の一側に配設した回転機５に回転機
５と共に回転可能なヘッド１を設け、前記ヘッド１に、
搬送路７を横切って第１アーム２を取付け、回転機５の
反転を指示する力センサ６を第１アーム２に内蔵し、前
記ヘッド１の他端部にＬ字状第２アーム３を枢着し、第
１アーム２を中心として、搬送路７上に対称的に第２ア
ーム３の回転及びその元の位置に復帰すること並びに反
転したウエハが次工程への搬送完了後回転機５を再度反
転させることを指示する一対の光センサ９ａ，９ｂを配
設してなり、前記第１アーム２と第２アーム３とにより
ウエハ１１の縁部を挟持したまま回転機５が回転するこ
とにより、ウエハ１１は１８０゜反転することを特徴と
するウエハ反転装置である。
゜反転するための装置を提供する。 【構成】 搬送路７の一側に配設した回転機５に回転機
５と共に回転可能なヘッド１を設け、前記ヘッド１に、
搬送路７を横切って第１アーム２を取付け、回転機５の
反転を指示する力センサ６を第１アーム２に内蔵し、前
記ヘッド１の他端部にＬ字状第２アーム３を枢着し、第
１アーム２を中心として、搬送路７上に対称的に第２ア
ーム３の回転及びその元の位置に復帰すること並びに反
転したウエハが次工程への搬送完了後回転機５を再度反
転させることを指示する一対の光センサ９ａ，９ｂを配
設してなり、前記第１アーム２と第２アーム３とにより
ウエハ１１の縁部を挟持したまま回転機５が回転するこ
とにより、ウエハ１１は１８０゜反転することを特徴と
するウエハ反転装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハ反転装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より使用されているこの種のウエハ
反転装置について添付図６を参照して説明する。搬送路
２６一側に、エレベータ２５により昇降自在のヘッド２
１を設け、このヘッド２１に回転機２２を取付け、回転
機２２に設けたアーム２３の端部にはウエハ２０を吸着
するためのエア吸着孔２４を穿設する。搬送路２６に直
角に形成した長溝２７には、エレベータ２５の操作によ
り、ヘッド２１と共に下降してきた回転機２２のアーム
２３が収容可能である。符号２８はウエハ２０の移動を
規制するために搬送路２６に出没自在に設けたストッパ
であり、又符号２９はウエハ２０の位置を感知する光セ
ンサである。エレベータ２５が下降して、アーム２３を
長溝２７内に収納した状態で、長溝２７の上面を浮上し
つつ、図面に向かって左側から移動してきたウエハ２０
は、浮上位置で、その下方に位置するアーム２３のエア
吸着孔２４に吸着されたまま、エレベータ２５の上昇に
伴い、所定の高さまで到達すると回転機２２が作動し
て、アーム２３を一回転させ、ウエハ２０を反転する。
又ストッパ２８は搬送路２６内に没する。次にエレベー
タ２５が下降するとウエハ２０は搬送路２６に配置した
光センサ２９や搬送路２６と適宜なスペースを保ちつつ
浮上した状態で停止する。ウエハ２０は浮上しつつ次の
工程へ送られるために図６に向かって右方向へ移動す
る。
反転装置について添付図６を参照して説明する。搬送路
２６一側に、エレベータ２５により昇降自在のヘッド２
１を設け、このヘッド２１に回転機２２を取付け、回転
機２２に設けたアーム２３の端部にはウエハ２０を吸着
するためのエア吸着孔２４を穿設する。搬送路２６に直
角に形成した長溝２７には、エレベータ２５の操作によ
り、ヘッド２１と共に下降してきた回転機２２のアーム
２３が収容可能である。符号２８はウエハ２０の移動を
規制するために搬送路２６に出没自在に設けたストッパ
であり、又符号２９はウエハ２０の位置を感知する光セ
ンサである。エレベータ２５が下降して、アーム２３を
長溝２７内に収納した状態で、長溝２７の上面を浮上し
つつ、図面に向かって左側から移動してきたウエハ２０
は、浮上位置で、その下方に位置するアーム２３のエア
吸着孔２４に吸着されたまま、エレベータ２５の上昇に
伴い、所定の高さまで到達すると回転機２２が作動し
て、アーム２３を一回転させ、ウエハ２０を反転する。
又ストッパ２８は搬送路２６内に没する。次にエレベー
タ２５が下降するとウエハ２０は搬送路２６に配置した
光センサ２９や搬送路２６と適宜なスペースを保ちつつ
浮上した状態で停止する。ウエハ２０は浮上しつつ次の
工程へ送られるために図６に向かって右方向へ移動す
る。
【０００３】
【発明の解決すべき課題】従来例の吸着式のウエハ反転
装置では、ウエハの表面をアームで吸着して後、反転作
用を行うものであるからウエハ表面に吸着痕が残った
り、アームの吸着作用により不要のゴミ等を吸着したり
する不具合が発生した。さらにはウエハ反転用のアーム
をエレベータにより昇降したり、又ウエハの移動を規制
するために搬送路に出没自在のストッパ等を配設する等
の煩瑣な構成を必要とすると共にゴミの発生を招く等の
問題点があった。
装置では、ウエハの表面をアームで吸着して後、反転作
用を行うものであるからウエハ表面に吸着痕が残った
り、アームの吸着作用により不要のゴミ等を吸着したり
する不具合が発生した。さらにはウエハ反転用のアーム
をエレベータにより昇降したり、又ウエハの移動を規制
するために搬送路に出没自在のストッパ等を配設する等
の煩瑣な構成を必要とすると共にゴミの発生を招く等の
問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の課題を解
決することを目的とするもので、添付図面に採用した符
号を用いてその目的を達成する手段を以下開示する。搬
送路７の一側に配設した回転機５に回転機５と共に回転
可能なヘッド１を設け、前記ヘッド１に、搬送路７を横
切って第１アーム２を取付け、回転機５の反転を指示す
る力センサ６を第１アーム２に内臓し、前記ヘッド１の
他端部にＬ字状第２アーム３を枢着し、第１アーム２を
中心として、搬送路７上に対称的に第２アーム３の回転
及びその元の位置に復帰すること、並びに反転したウエ
ハが次工程への搬送完了後回転機５を再度反転させるこ
とを指示する一対の光センサ９ａ，９ｂを配設してな
り、前記第１アーム２と第２アーム３とによりウエハ１
１の縁部を挟持したまま回転機５が回転することによ
り、ウエハ１１は１８０゜反転することを特徴とするウ
エハ反転装置である。
決することを目的とするもので、添付図面に採用した符
号を用いてその目的を達成する手段を以下開示する。搬
送路７の一側に配設した回転機５に回転機５と共に回転
可能なヘッド１を設け、前記ヘッド１に、搬送路７を横
切って第１アーム２を取付け、回転機５の反転を指示す
る力センサ６を第１アーム２に内臓し、前記ヘッド１の
他端部にＬ字状第２アーム３を枢着し、第１アーム２を
中心として、搬送路７上に対称的に第２アーム３の回転
及びその元の位置に復帰すること、並びに反転したウエ
ハが次工程への搬送完了後回転機５を再度反転させるこ
とを指示する一対の光センサ９ａ，９ｂを配設してな
り、前記第１アーム２と第２アーム３とによりウエハ１
１の縁部を挟持したまま回転機５が回転することによ
り、ウエハ１１は１８０゜反転することを特徴とするウ
エハ反転装置である。
【０００５】
【作用】浮上搬送してきたウエハ１１が、第１アーム２
に接触して所定位置にあることを感知した第１光センサ
９ａよりの指令により、第２アーム３がウエハ１１方向
へ回動してきて第１アーム２と共にウエハ１１を挟持
し、挟持状態の正常を感知した力センサ６の指令によ
り、第２アーム３の移動は停止すると同時に回転機５は
１８０゜反転する。ウエハ１１が完全に反転状態にあり
その所定位置に存在することを感知した第２光センサ９
ｂよりの指令により、第２アーム３は元の位置に復帰す
る。ウエハ１１が第１アーム２、第２アーム３よりの挟
持を脱して次工程へ浮上搬送された時点で第２光センサ
９ｂの指令により回転機５は反転して元の位置に戻る。
に接触して所定位置にあることを感知した第１光センサ
９ａよりの指令により、第２アーム３がウエハ１１方向
へ回動してきて第１アーム２と共にウエハ１１を挟持
し、挟持状態の正常を感知した力センサ６の指令によ
り、第２アーム３の移動は停止すると同時に回転機５は
１８０゜反転する。ウエハ１１が完全に反転状態にあり
その所定位置に存在することを感知した第２光センサ９
ｂよりの指令により、第２アーム３は元の位置に復帰す
る。ウエハ１１が第１アーム２、第２アーム３よりの挟
持を脱して次工程へ浮上搬送された時点で第２光センサ
９ｂの指令により回転機５は反転して元の位置に戻る。
【０００６】
【実施例】以下添付図面を参照して本発明の一実施例を
説明する。搬送路７の一側に設けた回転機５は、この回
転機と一体に回転可能なヘッド１を具えている。ヘッド
１には搬送路７を横切って直角方向へのびた第１アーム
２を回動自在に設ける。前記第１アーム２を装着したヘ
ッド１の反対側には逆Ｌ字状の第２アーム３を枢着１０
する。前記第１アーム２、第２アーム３の内側面にクッ
ション部材４をそれぞれ取り付ける。クッション部材４
には、後述するように、第１アーム２、第２アーム３が
ウエハ１１の外周で滑り落ちないように挟持するための
円弧状くぼみを形成する。また第１アーム２のほぼ中央
に力センサ６を配設する。第１アーム２の下方の搬送路
７に、第１アーム２の回動自在の変位を円滑にするため
の半円形溝８を形成し、前記溝８の中心に前記第１アー
ム２が回動自在に配置してある。また第１アーム２をは
さんで、搬送路７の両側にウエハ１１の直径に等しい間
隔の第１光センサ９ａ，第２光センサ９ｂを配設する。
これら光センサは後述するウエハ１１の位置を検出す
る。
説明する。搬送路７の一側に設けた回転機５は、この回
転機と一体に回転可能なヘッド１を具えている。ヘッド
１には搬送路７を横切って直角方向へのびた第１アーム
２を回動自在に設ける。前記第１アーム２を装着したヘ
ッド１の反対側には逆Ｌ字状の第２アーム３を枢着１０
する。前記第１アーム２、第２アーム３の内側面にクッ
ション部材４をそれぞれ取り付ける。クッション部材４
には、後述するように、第１アーム２、第２アーム３が
ウエハ１１の外周で滑り落ちないように挟持するための
円弧状くぼみを形成する。また第１アーム２のほぼ中央
に力センサ６を配設する。第１アーム２の下方の搬送路
７に、第１アーム２の回動自在の変位を円滑にするため
の半円形溝８を形成し、前記溝８の中心に前記第１アー
ム２が回動自在に配置してある。また第１アーム２をは
さんで、搬送路７の両側にウエハ１１の直径に等しい間
隔の第１光センサ９ａ，第２光センサ９ｂを配設する。
これら光センサは後述するウエハ１１の位置を検出す
る。
【０００７】次に本発明の実施例の作用について説明す
る。まず図１のように第２アーム３が開の状態であると
き、エア浮上により搬送路７上を図１に向かって左側よ
り搬送されてきた環状ウエハ１１は、第１アーム２のク
ッション４にその端部を接触した状態で第１アーム２の
内側に浮上したまま位置する。ウエハ１１の下方の搬送
路７上に配設した第１光センサ９ａがウエハ１１の前記
の位置を確認すると制御回路（図示せず）へ第２アーム
３の回転指示信号を送り、この信号の指示により第２ア
ーム３は枢着部１０を芯としてウエハ１１の方へ回転
し、第１アーム２と共にそのクッション４でウエハ１１
を挟持する（図２）。この様に第２アーム３と第１アー
ム２とがウエハ１１を挟持すると、第１アーム２に設置
した力センサ６が作動して、ウエハ１１が損傷せず且
つ、前記アーム２，３より滑り落ちない程度に保持され
ているか否かを検知して制御回路に信号を送ると、制御
回路の指令により、第２アーム３の移動は停止する。と
同時に搬送路７上で、図４に示す矢印方向へ１８０゜反
転するよう回転機５に指令する。回転機５は第１アーム
２、第２アーム３でウエハ１１を挾んだまま図４で示す
矢印方向へと第１アーム２を芯として１８０゜回転する
ので、ウエハ１１は第１アーム２、第２アーム３と共に
搬送路７の反対側へ方向を転換する（図４）。図５は回
転機５がウエハ１１と共に反転した状態を示す拡大平面
図である。図５の状態にいたるまでの過程ににおいて、
力センサ６の検出情報は制御回路へ送りつづけられ、常
にウエハ１１が第１アーム２と第２アーム３との間に存
在していることをしらせており、何等かの不具合が発生
して、ウエハ１１が存在しなくなった場合には、力セン
サ６の検出情報は中断して制御回路に生じた不具合をア
ラーム表示（図示せず）によりしらせるものである。ウ
エハ１１が完全に反転し、図５の状態にある場合には、
ウエハ１１が定位値に存在することを搬送路７上に設け
た第２光センサ９ｂが感知し、その情報を制御回路へ送
ると、制御回路は第２アーム３が元の位置に復帰するよ
う指令する。そこで第２アーム３は枢着部１０を芯とし
て１８０゜回転して元の位置に復帰する。第２アーム３
が速やかに定位値に戻ると、ウエハ１１は、反転した状
態のまま第１アーム２より離れて右方向（図５に向かっ
て）へ浮上しつつ次工程へ搬送される。ウエハ１１が次
工程へ搬送完了した時点では、第２光センサ９ｂの情報
感知は中止され、この信号は制御回路へ送られ、回転機
５に元の位置に戻る様指令を発するので、回転機５は１
８０゜反転して図１の状態に復帰する。以上の動作を繰
り返すものである。第２アーム３は、枢着部１０により
ヘッド１から取外し自在であるから、挟持するウエハ１
１の径の大きさに対応して適宜なサイズのものと交換す
ることが可能である。また第１アーム２、第２アーム３
のクッション４はゴミ等の発生しにくい材料例えばテフ
ロン等を使用し、第１アーム２、第２アーム３に着脱自
在に装着してもよい。
る。まず図１のように第２アーム３が開の状態であると
き、エア浮上により搬送路７上を図１に向かって左側よ
り搬送されてきた環状ウエハ１１は、第１アーム２のク
ッション４にその端部を接触した状態で第１アーム２の
内側に浮上したまま位置する。ウエハ１１の下方の搬送
路７上に配設した第１光センサ９ａがウエハ１１の前記
の位置を確認すると制御回路（図示せず）へ第２アーム
３の回転指示信号を送り、この信号の指示により第２ア
ーム３は枢着部１０を芯としてウエハ１１の方へ回転
し、第１アーム２と共にそのクッション４でウエハ１１
を挟持する（図２）。この様に第２アーム３と第１アー
ム２とがウエハ１１を挟持すると、第１アーム２に設置
した力センサ６が作動して、ウエハ１１が損傷せず且
つ、前記アーム２，３より滑り落ちない程度に保持され
ているか否かを検知して制御回路に信号を送ると、制御
回路の指令により、第２アーム３の移動は停止する。と
同時に搬送路７上で、図４に示す矢印方向へ１８０゜反
転するよう回転機５に指令する。回転機５は第１アーム
２、第２アーム３でウエハ１１を挾んだまま図４で示す
矢印方向へと第１アーム２を芯として１８０゜回転する
ので、ウエハ１１は第１アーム２、第２アーム３と共に
搬送路７の反対側へ方向を転換する（図４）。図５は回
転機５がウエハ１１と共に反転した状態を示す拡大平面
図である。図５の状態にいたるまでの過程ににおいて、
力センサ６の検出情報は制御回路へ送りつづけられ、常
にウエハ１１が第１アーム２と第２アーム３との間に存
在していることをしらせており、何等かの不具合が発生
して、ウエハ１１が存在しなくなった場合には、力セン
サ６の検出情報は中断して制御回路に生じた不具合をア
ラーム表示（図示せず）によりしらせるものである。ウ
エハ１１が完全に反転し、図５の状態にある場合には、
ウエハ１１が定位値に存在することを搬送路７上に設け
た第２光センサ９ｂが感知し、その情報を制御回路へ送
ると、制御回路は第２アーム３が元の位置に復帰するよ
う指令する。そこで第２アーム３は枢着部１０を芯とし
て１８０゜回転して元の位置に復帰する。第２アーム３
が速やかに定位値に戻ると、ウエハ１１は、反転した状
態のまま第１アーム２より離れて右方向（図５に向かっ
て）へ浮上しつつ次工程へ搬送される。ウエハ１１が次
工程へ搬送完了した時点では、第２光センサ９ｂの情報
感知は中止され、この信号は制御回路へ送られ、回転機
５に元の位置に戻る様指令を発するので、回転機５は１
８０゜反転して図１の状態に復帰する。以上の動作を繰
り返すものである。第２アーム３は、枢着部１０により
ヘッド１から取外し自在であるから、挟持するウエハ１
１の径の大きさに対応して適宜なサイズのものと交換す
ることが可能である。また第１アーム２、第２アーム３
のクッション４はゴミ等の発生しにくい材料例えばテフ
ロン等を使用し、第１アーム２、第２アーム３に着脱自
在に装着してもよい。
【０００８】
【効果】本発明においては、第１アーム、第２アームで
ウエハの縁部を挟持した状態で回転機により１８０゜反
転するものであるから、従来例の装置のようなアームを
昇降するための機構、ウエハの位置ぎめのためのストッ
パ等の複雑な構成を必要とせず、ウエハ表面に損傷を生
じたり、ゴミ等の付着によりウエハを汚染することを防
止する。さらにセンサや制御回路を採用したのでウエハ
反転装置の円滑な作動を行う等の効果がある。
ウエハの縁部を挟持した状態で回転機により１８０゜反
転するものであるから、従来例の装置のようなアームを
昇降するための機構、ウエハの位置ぎめのためのストッ
パ等の複雑な構成を必要とせず、ウエハ表面に損傷を生
じたり、ゴミ等の付着によりウエハを汚染することを防
止する。さらにセンサや制御回路を採用したのでウエハ
反転装置の円滑な作動を行う等の効果がある。
１ ヘッド ２ 第１アーム ３ 第２アーム ４ クッション ５ 回転機 ６ 力センサ ７ 搬送路 ８ 溝 ９ａ 第１光センサ ９ｂ 第２光センサ １０ 枢着部 １１ ウエハ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１２月１５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】追加
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウエハ反転装置の構成の初期状態を示
す平面図。
す平面図。
【図２】本発明のウエハ反転装置がウエハを挾み込んだ
状態を示す平面図。
状態を示す平面図。
【図３】図２の断面図。
【図４】反転装置が左側に反転した状態の断面図。
【図５】図４の平面図。
【図６】従来例の吸着式ウエハ反転装置の斜視図。
【符号の説明】 １ ヘッド ２ 第１アーム ３ 第２アーム ４ クッション ５ 回転機 ６ 力センサ ７ 搬送路 ８ 溝 ９ａ 第１光センサ ９ｂ 第２光センサ １０ 枢着部 １１ ウエハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 49/07 9244−3Ｆ Ｂ６５Ｈ 15/00 Ａ 8922−3Ｆ
Claims (7)
- 【請求項１】 搬送路の一側に配設した回転機と共に回
転可能なヘッドを設け、前記ヘッドに搬送路を横切って
第１アームを取付け、前記ヘッドの他端部に第２アーム
を枢着し、前記第１アームと第２アームとによりウエハ
縁部を挟持したまま回転機が回転することによりウエハ
は１８０゜反転することを特徴とするウエハ反転装置。 - 【請求項２】 搬送路の一側に配設した回転機と共に回
転可能なヘッドを設け、前記ヘッドに、搬送路を横切っ
て第１アームを取付け、回転機の反転を指示する力セン
サを第１アームに内蔵し、前記ヘッドの他端部にＬ字状
第２アームを枢着し、第１アームを中心として、対称的
に第２アームの回転及びその元の位置に復帰することを
指示する一対の第１、第２光センサを搬送路上に配設し
て、前記第１アームと第２アームとによりウエハの縁部
を挟持したまま回転機が回転することにより、ウエハは
１８０゜反転することを特徴とするウエハ反転装置。 - 【請求項３】 搬送路上に対称的に設けた前記一対の光
センサの距離は、反転用ウエハの直径と等しくあること
を特徴とする請求項１または２に記載のウエハ反転装
置。 - 【請求項４】 第１アームと第２アームのウエハを挟持
する側に円弧状のくぼみを具えたクッションを着脱自在
に設けた請求項１又は２に記載のウエハ反転装置。 - 【請求項５】 第１アームの下方位置の搬送路に、この
第１アームの直径よりも大きい径の半円形長溝を穿設
し、この長溝内を第１アームが回転自在となした請求項
１又は２に記載のウエハ反転装置。 - 【請求項６】 浮上搬送されたウエハが、第１アームに
接触し、第１アームと第２アームとで挟持可能な位置に
あることを感知し、第２アームへ回転を指示する第１光
センサと、第１アームと第２アームとで挟持した状態
で、ウエハが１８０゜反転した後、所定位置にあること
を感知し、第２アームが元の位置へ復帰すること並びに
反転したウエハが次工程への搬送完了すると回転機を再
度反転させて元の位置に復帰することを指示する第２光
センサとを有する請求項１又は２記載のウエハ反転装
置。 - 【請求項７】 第１アームと第２アームとがウエハを抜
け落ちないように適宜な圧力で挟持していることを感知
し、第２アームの移動を中止すると同時に回転機が１８
０゜回転することを指示する力センサ第１アームに内蔵
した請求項１又は２記載のウエハ反転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3050486A JPH05198655A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | ウエハ反転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3050486A JPH05198655A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | ウエハ反転装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05198655A true JPH05198655A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=12860250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3050486A Withdrawn JPH05198655A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | ウエハ反転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05198655A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002089183A3 (de) * | 2001-04-28 | 2004-01-29 | Leica Microsystems | Haltevorrichtung für wafer |
| KR20200091296A (ko) * | 2019-01-22 | 2020-07-30 | 주식회사 비아스피앤피 | 인쇄물 패키지 회전 장치 |
| CN113059280A (zh) * | 2021-03-25 | 2021-07-02 | 深圳市尚鼎芯科技有限公司 | 一种芯片晶圆加工用切割装置 |
| CN115818237A (zh) * | 2022-11-18 | 2023-03-21 | 苏州特斯特半导体设备有限公司 | 一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机 |
| CN119615099A (zh) * | 2024-12-03 | 2025-03-14 | 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 | 一种晶片镀膜设备及工艺 |
-
1991
- 1991-02-22 JP JP3050486A patent/JPH05198655A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002089183A3 (de) * | 2001-04-28 | 2004-01-29 | Leica Microsystems | Haltevorrichtung für wafer |
| KR20200091296A (ko) * | 2019-01-22 | 2020-07-30 | 주식회사 비아스피앤피 | 인쇄물 패키지 회전 장치 |
| CN113059280A (zh) * | 2021-03-25 | 2021-07-02 | 深圳市尚鼎芯科技有限公司 | 一种芯片晶圆加工用切割装置 |
| CN113059280B (zh) * | 2021-03-25 | 2022-12-06 | 深圳市尚鼎芯科技有限公司 | 一种芯片晶圆加工用切割装置 |
| CN115818237A (zh) * | 2022-11-18 | 2023-03-21 | 苏州特斯特半导体设备有限公司 | 一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机 |
| CN119615099A (zh) * | 2024-12-03 | 2025-03-14 | 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 | 一种晶片镀膜设备及工艺 |
| CN119615099B (zh) * | 2024-12-03 | 2025-11-18 | 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 | 一种晶片镀膜设备及工艺 |
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