JPH0520158B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0520158B2 JPH0520158B2 JP61089575A JP8957586A JPH0520158B2 JP H0520158 B2 JPH0520158 B2 JP H0520158B2 JP 61089575 A JP61089575 A JP 61089575A JP 8957586 A JP8957586 A JP 8957586A JP H0520158 B2 JPH0520158 B2 JP H0520158B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wastewater
- coagulation
- pac
- flocculant
- treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Separation Of Suspended Particles By Flocculating Agents (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、切削、研磨等により生じた排水の凝
集沈殿処理方法である。
集沈殿処理方法である。
（従来の技術）
シリコンウエーハの製造工程における代表的な
排水の一つとして、シリコンインゴツトの切削、
スライスおよびウエーハの研磨工程から出る排水
があげられるが、これには高濃度のシリコン粉の
ほかに、種々の研磨剤、海面活性剤、珪藻土等の
プレコート濾過助剤および切削油等が含まれてい
るのが一般的で、その浮遊物濃度（以下SSとい
う）は数百mg／〜数千mg／、浮遊物粒子径は
数μm〜数百μmの範囲になる。
排水の一つとして、シリコンインゴツトの切削、
スライスおよびウエーハの研磨工程から出る排水
があげられるが、これには高濃度のシリコン粉の
ほかに、種々の研磨剤、海面活性剤、珪藻土等の
プレコート濾過助剤および切削油等が含まれてい
るのが一般的で、その浮遊物濃度（以下SSとい
う）は数百mg／〜数千mg／、浮遊物粒子径は
数μm〜数百μmの範囲になる。
このような切削、研磨排水の処理方法として、
塩基性塩化アルミニウム（以下PACという）等
の無機系凝集剤を数百mg／〜二千mg／、およ
び高分子系凝集剤を数mg／添加する凝集沈殿法
により固液分離をする方法が行われている。この
とき沈殿池で生成したスラツジは汚泥処理工程へ
送り、上澄み液は放流するか、あるいは溶解性
BOD等を含む場合は次段の活性汚泥処理等の
BOD除去工程へ導かれる。
塩基性塩化アルミニウム（以下PACという）等
の無機系凝集剤を数百mg／〜二千mg／、およ
び高分子系凝集剤を数mg／添加する凝集沈殿法
により固液分離をする方法が行われている。この
とき沈殿池で生成したスラツジは汚泥処理工程へ
送り、上澄み液は放流するか、あるいは溶解性
BOD等を含む場合は次段の活性汚泥処理等の
BOD除去工程へ導かれる。
（発明が解決しようとする問題点）
一般に、排水の凝集沈殿処理方法では、流入排
水のSSの上昇に応じて、PACを増量する必要が
あり、また切削油等に含まれる分散剤、防錆剤等
が多いときは、PACをさらに増量する必要があ
る。その結果PACより生ずる水酸化アルミニウ
ムのスラツジ量も増えるため、汚泥処理費にかな
りの負担増を招く結果となる。
水のSSの上昇に応じて、PACを増量する必要が
あり、また切削油等に含まれる分散剤、防錆剤等
が多いときは、PACをさらに増量する必要があ
る。その結果PACより生ずる水酸化アルミニウ
ムのスラツジ量も増えるため、汚泥処理費にかな
りの負担増を招く結果となる。
全処理系のランニングコストにおいては、前記
PACに係る処理費が支配的であり、コストダウ
ンのために有効な薬注量の低減策がかねてより要
望されていた。
PACに係る処理費が支配的であり、コストダウ
ンのために有効な薬注量の低減策がかねてより要
望されていた。
（問題点を解決するための手段）
上記要望にそうため本発明者は、鋭意検討を重
ねた結果本発明を達成したのであつて、これは
PACと有機高分子系の凝集剤を添加する切削研
磨排水の凝集沈殿処理方法において、該凝集剤に
加えて、活性汚泥法等の生物処理により生ずる、
水量比で１〜５％の余剰泥を該排水に添加し予備
混合することを特徴とする排水の凝集沈殿処理方
法である。
ねた結果本発明を達成したのであつて、これは
PACと有機高分子系の凝集剤を添加する切削研
磨排水の凝集沈殿処理方法において、該凝集剤に
加えて、活性汚泥法等の生物処理により生ずる、
水量比で１〜５％の余剰泥を該排水に添加し予備
混合することを特徴とする排水の凝集沈殿処理方
法である。
（作用）
つぎに本発明を詳しく説明する。
活性汚泥法等の生物処理より生ずるところの、
水量費で１〜５％程度の余剰泥を、前記排水に連
続的あるいは断続的に添加し、数時間以上の予備
混合をした後凝集槽へ導き、H2SO4、Ca（OH）2
によつてPHを6.5〜7.0に調整しながら、PACと有
機高分子凝集剤を添加した後、沈殿池に導くと迅
速、確実に固液分離させることができる。
水量費で１〜５％程度の余剰泥を、前記排水に連
続的あるいは断続的に添加し、数時間以上の予備
混合をした後凝集槽へ導き、H2SO4、Ca（OH）2
によつてPHを6.5〜7.0に調整しながら、PACと有
機高分子凝集剤を添加した後、沈殿池に導くと迅
速、確実に固液分離させることができる。
余剰泥を使うことによつて固液分離が促進され
る理由は、当該排水とZooglea等の生物フロツク
が数時間以上予備混合されることにより、数μm
〜数百μmの微細なシリコン粉を包み込んだ凝集
核が適度に成長するため、凝集槽でなされる
PACと有機高分子系凝集剤による凝集現象がよ
り効果的に促進されるためである。
る理由は、当該排水とZooglea等の生物フロツク
が数時間以上予備混合されることにより、数μm
〜数百μmの微細なシリコン粉を包み込んだ凝集
核が適度に成長するため、凝集槽でなされる
PACと有機高分子系凝集剤による凝集現象がよ
り効果的に促進されるためである。
（実施例）
まずシリコンの切削、研磨工程で生じた排水
（SS1500mg／）を、最大貯量240m3、平均貯量
150m3の原水槽に平均７時間滞留させる（原水槽
は貯量が70m3になつたとき送水ポンプが停止し、
240m3で水位高限アラームとなるので、原水槽レ
ベルは70〜240m3の範囲で上下する。通常400〜
700m3／日の流入量があるので、排水の滞留時間
は約３〜８時間となる）。この間にSSが4000mg／
の生物系余剰泥を20m3／日の割合で添加した。
この間の曝気量は60Nm3-air／時であつた。
（SS1500mg／）を、最大貯量240m3、平均貯量
150m3の原水槽に平均７時間滞留させる（原水槽
は貯量が70m3になつたとき送水ポンプが停止し、
240m3で水位高限アラームとなるので、原水槽レ
ベルは70〜240m3の範囲で上下する。通常400〜
700m3／日の流入量があるので、排水の滞留時間
は約３〜８時間となる）。この間にSSが4000mg／
の生物系余剰泥を20m3／日の割合で添加した。
この間の曝気量は60Nm3-air／時であつた。
原水槽の滞留を終えた排水は容量５m3の凝集槽
に導かれ、ここには12分間滞留するが、この間
に、H2SO4、Ca（OH）2を添加して排水のPH6.5に
自動制御しながら、ポリ塩化アルミニウム（Al2
O3分を10％含有）500mg／、クリフロツク
2ppmを注入した。
に導かれ、ここには12分間滞留するが、この間
に、H2SO4、Ca（OH）2を添加して排水のPH6.5に
自動制御しながら、ポリ塩化アルミニウム（Al2
O3分を10％含有）500mg／、クリフロツク
2ppmを注入した。
ついで排水を広さ36m2、深さ３ｍの沈殿池に流
速0.7ｍ／時で導き、４時間滞留させたところ、
排水規制を十分満足させる上澄濁度の排水とする
ことができた。
速0.7ｍ／時で導き、４時間滞留させたところ、
排水規制を十分満足させる上澄濁度の排水とする
ことができた。
生物泥を注入しないときは、同じ上澄濁度を得
るために、前記ポリ塩化アルミニウムを1200mg／
まで増加しなければならなかつた。
るために、前記ポリ塩化アルミニウムを1200mg／
まで増加しなければならなかつた。
（発明の効果）
本発明によれば、下記のような多くの効果をあ
げることができるので、産業上きわめて優れたも
のであることは明白である。
げることができるので、産業上きわめて優れたも
のであることは明白である。
ａ PAC等の無機系凝集剤消費量の大幅削減が
可能となつた。
可能となつた。
ｂ 前記ａ）に伴うアルミニウム系スラツジ生成
量の削減により、汚泥処理費が低減された。
量の削減により、汚泥処理費が低減された。
ｃ PACの単独使用では、ともすれば凝集を安
定させるために必要以上に凝集剤を加える傾向
がある。このため次段に生物処理工程を有する
場合は、凝集剤のリークにより菌体フロツクを
不必要に大きくし過ぎ、菌体単位重量あたりの
比表面積が大となり、生物反応速度を遅くする
おそれがあるが、PACを大幅に低減できるの
でこのおそれは少ない。
定させるために必要以上に凝集剤を加える傾向
がある。このため次段に生物処理工程を有する
場合は、凝集剤のリークにより菌体フロツクを
不必要に大きくし過ぎ、菌体単位重量あたりの
比表面積が大となり、生物反応速度を遅くする
おそれがあるが、PACを大幅に低減できるの
でこのおそれは少ない。
ｄ 生物処理系余剰泥は、本来直接脱水処理工程
に導かれるのが一般的であるが、それを切削研
磨排水の凝集助剤として用いるので、汚泥処理
への負担増とならないだけでなく、逆に比較的
濃度の低い沈殿池底泥を一ケ所に集中させるわ
けであるから、汚泥処理工程へ導かれる水量が
減り、濃度は高くなり、汚泥処理の負担は軽減
される。
に導かれるのが一般的であるが、それを切削研
磨排水の凝集助剤として用いるので、汚泥処理
への負担増とならないだけでなく、逆に比較的
濃度の低い沈殿池底泥を一ケ所に集中させるわ
けであるから、汚泥処理工程へ導かれる水量が
減り、濃度は高くなり、汚泥処理の負担は軽減
される。
Claims (1)
- １ 塩基性塩化アルミニウムと有機高分子系凝集
剤を添加する切削研磨排水の凝集沈殿処理方法に
おいて、該凝集剤に加えて、活性汚泥法等の生物
処理により生ずる、水量比で１〜５％の余剰泥を
該排水に添加し予備混合することを特徴とする排
水の凝集沈殿処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8957586A JPS62247888A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 排水の凝集沈殿処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8957586A JPS62247888A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 排水の凝集沈殿処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62247888A JPS62247888A (ja) | 1987-10-28 |
| JPH0520158B2 true JPH0520158B2 (ja) | 1993-03-18 |
Family
ID=13974599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8957586A Granted JPS62247888A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 排水の凝集沈殿処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62247888A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104609668A (zh) * | 2015-01-23 | 2015-05-13 | 先达恩那社水处理工程（天津）有限公司 | 芯片生产线的废水处理方法 |
| CN104671590B (zh) * | 2015-01-23 | 2017-12-29 | 先达恩那社水处理工程（天津）有限公司 | 芯片生产线的废水处理方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5053280A (ja) * | 1973-09-12 | 1975-05-12 | ||
| JPS5215901A (en) * | 1975-07-29 | 1977-02-05 | Babcock Hitachi Kk | Water collector from exhaust smoke |
-
1986
- 1986-04-18 JP JP8957586A patent/JPS62247888A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62247888A (ja) | 1987-10-28 |
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