JPH052016U - Piezoelectric vibration gyro - Google Patents
Piezoelectric vibration gyroInfo
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- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来の圧電振動ジャイロの支持法における欠
点を除去し、直角な方向の屈曲振動に与える影響を少な
くし、しかも、影響の与え方が各々の振動方向に対して
対称的で、圧電振動ジャイロの特性に与える影響の少な
い圧電ジャイロを提供すること。
【構成】 柱状圧電セラミックス20の外周面に長さ方
向と平行な帯状電極21を形成し、該帯状電極を用いて
分極処理を施し、前記柱状圧電セラミックスの圧電効果
による屈曲振動モードを利用して駆動および検出を行な
う圧電振動ジャイロにおいて、布や不織布などの繊維あ
るいは発砲スチロールやスポンジなどの発砲材からなる
帯状リング30を介して柱状圧電セラミックス20をそ
の屈曲振動の節点の位置で支持固定する。
(57) [Abstract] [Purpose] The drawbacks of the conventional method of supporting a piezoelectric vibrating gyro have been eliminated, and the influence on the bending vibration in the perpendicular direction has been reduced, and the influence has to be made for each vibration direction. To provide a piezoelectric gyro that is symmetrical and has a small influence on the characteristics of the piezoelectric vibration gyro. [Structure] A strip-shaped electrode 21 parallel to the length direction is formed on the outer peripheral surface of the columnar piezoelectric ceramic 20, polarization treatment is performed using the strip-shaped electrode, and a bending vibration mode by the piezoelectric effect of the columnar piezoelectric ceramic is utilized. In a piezoelectric vibrating gyro that is driven and detected, the columnar piezoelectric ceramics 20 are supported and fixed at the nodes of flexural vibration through a belt-shaped ring 30 made of a fiber such as cloth or non-woven fabric or a foam material such as foam styrene or sponge.
Description
【0001】[0001]
本考案は圧電振動ジャイロに関するものであり、さらに詳しくは船舶や自動車 などに搭載されてその姿勢や航路制御を行なうジャイロスコープのうち特に圧電 振動子の超音波振動を利用した圧電振動ジャイロにおける圧電振動子の支持構造 の改良に関するものである。 The present invention relates to a piezoelectric vibrating gyro, and more specifically, a piezoelectric vibrating gyro that uses ultrasonic vibration of a piezoelectric vibrator among gyroscopes mounted on ships and automobiles to control its attitude and route. It concerns the improvement of the child support structure.
【0002】[0002]
圧電振動ジャイロは、振動している物体に回転角速度が加わるとその振動方向 と直交する方向にコリオリ力を生じるという力学現象を利用した、ジャイロスコ ープの一種である。圧電振動を回転させると、このコリオリ力の作用によりこの 振動と直交する方向に力が働き、他方の振動が励振される。この振動の大きさは 入力側の振動の大きさおよび回転角速度に比例する。したがって入力電圧を一定 にした状態では、出力電圧の大きさから回転角速度の大きさを求めることができ る。 A piezoelectric vibrating gyro is a type of gyroscope that utilizes a mechanical phenomenon in which a Coriolis force is generated in a direction orthogonal to the vibrating direction when a rotating angular velocity is applied to a vibrating object. When the piezoelectric vibration is rotated, a force acts in the direction orthogonal to this vibration due to the action of this Coriolis force, and the other vibration is excited. The magnitude of this vibration is proportional to the magnitude of the vibration on the input side and the rotational angular velocity. Therefore, with the input voltage kept constant, the magnitude of the rotational angular velocity can be obtained from the magnitude of the output voltage.
【0003】 図4に示すのは従来のこのような圧電振動ジャイロの構造概略の一例である。 正方形断面の金属製角柱7の隣り合う面に、両面に電極が形成され、厚さ方向に 分極された圧電セラミックス薄板8、9が接合されている。この金属角柱7は互 いに直交する2つの方向にほぼ同じ共振周波数で屈曲振動することが可能であり 、圧電セラミックス薄板8にこの共振周波数に等しい周波数の電圧を印加すると 、圧電セラミックス薄板8を接合した面が凹凸となる方向に屈曲振動する。この 状態で金属角柱7の圧電セラミックス薄板9には電圧は発生しないが、金属角柱 7を長さ方向を軸として回転させると、コリオリ力の作用により金属角柱7は圧 電セラミックス9を接合した面が凹凸になる方向に屈曲振動し、圧電セラミック ス9に回転角速度に比例した電圧が発生する。FIG. 4 shows an example of a schematic structure of a conventional piezoelectric vibrating gyro. Electrodes are formed on both surfaces of adjacent metal prisms 7 having a square cross section, and piezoelectric ceramic thin plates 8 and 9 polarized in the thickness direction are bonded to the adjacent surfaces. This metal prism 7 can flexurally vibrate in two directions orthogonal to each other at substantially the same resonance frequency. When a voltage having a frequency equal to this resonance frequency is applied to the piezoelectric ceramic thin plate 8, the piezoelectric ceramic thin plate 8 is moved. Flexural vibration occurs in the direction in which the joined surface becomes uneven. In this state, no voltage is generated on the piezoelectric ceramic thin plate 9 of the metal prism 7. However, when the metal prism 7 is rotated about the longitudinal direction, the Coriolis force causes the metal prism 7 to join the piezoelectric ceramic 9 surface. Bends and vibrates in the direction of the unevenness, and a voltage proportional to the rotational angular velocity is generated in the piezoelectric ceramics 9.
【0004】 ところで、上記したような構造、性質の圧電振動子である金属角柱7の長さ方 向の一方の端面から全長のほぼ22.4%の位置に対向する金属面の中央部に垂 直にそれぞれ細い金属線からなる支持線10、10’が熔接されている。さらに 他方の端面から全長のほぼ22.4%の位置に対向する金属面の中央部に垂直に それぞれ細い金属線からなる支持線11、11’が熔接されている。これら金属 線10、10、11および11’が熔接されている位置は、角柱7の屈曲共振振 動モードに対する振動の節点となっており、互いに直交する屈曲振動でそれぞれ に対する影響を極力少なくするように、支持には細い金属線を用いているのであ る。By the way, from the one end face in the length direction of the metal prism 7 which is the piezoelectric vibrator having the above-mentioned structure and properties, the metal prism 7 is hung from the central portion of the metal face facing the position of approximately 22.4% of the total length. Directly, supporting wires 10 and 10 'each made of a thin metal wire are welded. Further, supporting wires 11 and 11 'each made of a thin metal wire are welded perpendicularly to the central portion of the metal surface facing the position of about 22.4% of the entire length from the other end surface. The positions where these metal wires 10, 10, 11 and 11 'are welded are the nodes of vibration for the bending resonance vibration mode of the prism 7, and the bending vibrations orthogonal to each other should have minimal influence on them. Moreover, a thin metal wire is used for support.
【0005】[0005]
しかし、図4に示すような従来の支持方法によると、図5に示すように支持線 10、10’は矢印の方向の屈曲振動に対してはほぼ理想的に振動の接点を支持 していることになる。しかしこのとき支持線11、11’には屈曲の歪みが発生 し、矢印の方向の屈曲振動に悪い影響を与えることになる。一方図中の矢印と直 交する方向の屈曲振動に対しては、支持線10、10’が同様に影響を与える。 屈曲振動に与える影響をすくなくするためには支持線の直径をできるだけ 小さ くすればよいが、支持線をあまり細くすると、圧電振動子自身の耐振動特性や耐 衝撃特性を劣化させる危険がある。 However, according to the conventional supporting method as shown in FIG. 4, as shown in FIG. 5, the supporting lines 10 and 10 ′ support the contact of vibration almost ideally against bending vibration in the direction of the arrow. It will be. However, at this time, bending strain is generated in the support lines 11 and 11 ', which adversely affects the bending vibration in the direction of the arrow. On the other hand, the supporting lines 10 and 10 'similarly affect the bending vibration in the direction perpendicular to the arrow in the figure. In order to minimize the effect on flexural vibration, the diameter of the support wire should be made as small as possible, but if the support wire is made too thin, there is a risk that the vibration resistance and shock resistance characteristics of the piezoelectric vibrator itself will deteriorate.
【0006】 さらに、この圧電振動ジャイロにおいては、振動子は圧電セラミックス単体か ら構成されており、その外周面上にに形成された帯状電極はスクリーン印刷また は蒸着などにより形成されている。従ってあまり細い金属線からなる支持線を熔 接またはハンダ付けして支持することは、耐振動特性や耐久衝撃特性の面から見 てさらに一段と危険があることになる。Further, in this piezoelectric vibrating gyroscope, the vibrator is composed of a single piezoelectric ceramic, and the strip electrodes formed on the outer peripheral surface thereof are formed by screen printing or vapor deposition. Therefore, it is more dangerous to weld or solder a support wire made of too thin a metal wire in terms of vibration resistance and durability and shock resistance.
【0007】 本考案の目的は上記従来技術の課題に鑑みて提案されたもので、従来の圧電振 動ジャイロの支持法における欠点を除去し、直角な方向の屈曲振動に与える影響 を少なくし、しかも、影響の与え方が各々の振動方向に対して対称的で、圧電振 動ジャイロの特性に与える影響の少ない圧電ジャイロを提供することにある。The purpose of the present invention was proposed in view of the above problems of the prior art, and eliminates the drawbacks in the conventional method of supporting a piezoelectric vibration gyro, and reduces the influence on bending vibration in the orthogonal direction, Moreover, the purpose of the present invention is to provide a piezoelectric gyro whose influence is symmetrical with respect to each vibration direction and which has little influence on the characteristics of the piezoelectric vibration gyro.
【0008】 また、本考案の他の目的は、圧電セラミックス単体からなる柱状振動子の外周 に帯状電極を形成した圧電振動子を用いて安定に支持可能な圧電振動ジャイロを 提供することにある。Another object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrating gyro that can be stably supported by using a piezoelectric vibrator in which a strip-shaped electrode is formed on the outer circumference of a columnar vibrator made of a single piezoelectric ceramic.
【0009】[0009]
このため、本考案の圧電振動ジャイロは、柱状圧電セラミックスの外周面に長 さ方向と平行な帯状電極を形成し、該帯状電極を用いて分極処理を施し、前記柱 状圧電セラミックスの圧電効果による屈曲振動モードを利用して駆動および検出 を行なう圧電振動ジャイロにおいて、布や不織布などの繊維あるいは発砲スチロ ールやスポンジなどの発砲材からなる帯状リングを介して前記柱状圧電セラミッ クスをその屈曲振動の節点の位置で支持固定することを基本的構成とするもので ある。 For this reason, the piezoelectric vibrating gyroscope of the present invention forms a strip electrode parallel to the longitudinal direction on the outer peripheral surface of the columnar piezoelectric ceramic, performs polarization processing using the strip electrode, and produces the piezoelectric effect of the columnar piezoelectric ceramic. In a piezoelectric vibrating gyro that drives and detects using a bending vibration mode, the columnar piezoelectric ceramic is bent and vibrated through a strip ring made of fibers such as cloth or non-woven fabric or foam such as foam styrene or sponge. The basic structure is to support and fix it at the node position of.
【0010】[0010]
図1は本考案の圧電振動ジャイロに用いられる柱状圧電セラミックスの構造例 を示す斜視図であり、圧電セラミックス円柱20の外周面上の円周を等分する位 置に長さ方向と平行に複数個の帯状電極21が形成されている。これらの帯状電 極21は入出力端子を構成するものであって、曲面スクリーン印刷により直接形 成されるか、またはメッキなどで全面に形成された電極の不要部分をフォトエッ チングにより除去することにより容易に得られるものである。 FIG. 1 is a perspective view showing an example of the structure of a columnar piezoelectric ceramic used in the piezoelectric vibrating gyro of the present invention. Individual strip electrodes 21 are formed. These strip electrodes 21 constitute input / output terminals and are formed directly by curved screen printing or by removing unnecessary portions of electrodes formed over the entire surface by plating or the like by photoetching. It is easy to obtain.
【0011】 この圧電セラミックス円柱20は前記帯状電極を用いて分極処理を行なった後 、これらの帯状電極の一部にこの圧電セラミックス円柱20の屈曲振動の共振周 波数にほぼ等しい交流電圧を印加して屈曲振動を励振した状態で、圧電セラミッ クス円柱20を長さ軸を中心に回転させると、振動方向と直交する方向にコリオ リ力が発生し、帯状電極の一部に加えられた回転角速度に比例した電圧が発生す る。The piezoelectric ceramic cylinder 20 is polarized by using the strip electrodes, and then an AC voltage substantially equal to the resonance frequency of the bending vibration of the piezoelectric ceramic column 20 is applied to a part of the strip electrodes. When the piezoelectric ceramic cylinder 20 is rotated about the length axis with the bending vibration excited, a Coriolis force is generated in the direction orthogonal to the vibration direction, and the rotational angular velocity applied to a part of the strip electrode is generated. A voltage proportional to is generated.
【0012】 図2に示すのは本考案の圧電ジャイロに使用される支持具30であり、ガーゼ やフェルトなどの柔らかい繊維や発砲スチロールやスポンジなどの発砲材からな る帯状リングである。FIG. 2 shows a support tool 30 used in the piezoelectric gyro of the present invention, which is a band-shaped ring made of soft fibers such as gauze and felt, and foam material such as foam polystyrene and sponge.
【0013】 図3は本考案の圧電振動ジャイロの組立状態であり、図2に示すような支持具 30が圧電セラミックス円柱20の振動の節点(節線)の部分2ヶ所を周回する ように装着されている。支持具30の外周は硬い保持具31で締め付けて補強さ れ外ケース32に装着されている。FIG. 3 is an assembled state of the piezoelectric vibrating gyroscope of the present invention. The supporting tool 30 as shown in FIG. 2 is mounted so as to circulate around two portions of the vibration ceramic node 20 (node line). Has been done. The outer periphery of the support 30 is tightened and reinforced by a hard holder 31 and attached to the outer case 32.
【0014】 一般に共振している振動子をなるべく振動に影響を与えないで支持するために は、振動の節の点(あるいは線)を柔らかい材料で支持する必要がある。しかし 、外部からの振動や衝撃に対して安定的に支持するためには、支持部で振動子が ずれたりしないようように固定する必要がある。本考案の支持具30は前述した ように柔らかいシリコンゴムから構成されており、圧電セラミックス20との固 定も柔らかいシリコン接着剤で行なっているため、外部から振動や衝撃が加えら れても振動子がずれないように安定的に支持することができる。In general, in order to support a resonator that resonates without affecting vibration as much as possible, it is necessary to support a node (or line) of a vibration node with a soft material. However, in order to support it stably against external vibration and shock, it is necessary to fix it so that the vibrator does not shift at the support part. As described above, the support 30 of the present invention is made of soft silicone rubber, and is fixed to the piezoelectric ceramics 20 by a soft silicone adhesive. Therefore, the support 30 does not vibrate even if external vibration or shock is applied. The child can be stably supported so as not to shift.
【0015】 また、本考案の圧電振動ジャイロにおいては、支持具30の形状がリング状で あるため、励振振動方向とコリオリ力による振動の両方向の振動に対して対称的 に支持されるため、圧電振動ジャイロとしての特性に与える支持の影響が少なく なる。In addition, in the piezoelectric vibrating gyroscope of the present invention, since the shape of the support 30 is ring-shaped, it is supported symmetrically with respect to both the vibration direction of the excitation vibration and the vibration due to the Coriolis force. The influence of support on the characteristics of the vibration gyro is reduced.
【0016】 以上の説明では、柱状圧電セラミックスの形状として円柱状の場合について行 なったが、柱状圧電セラミックスの形状として正方形軸断面形状の角柱やその他 の正多角形軸断面形状の角柱出会っても同様に構成できるものである。In the above description, the columnar piezoelectric ceramic has a cylindrical shape. However, even if the columnar piezoelectric ceramics have a prism shape with a square axial cross-section or other regular polygonal axial cross-sectional shape. It can be similarly configured.
【0017】[0017]
本考案によれば、支持による振動特性の劣化が少なく、互いに直角な2つの方 向の屈曲振動に与える影響が少なく、しかも影響の与え方が各々の振動方向に対 して対称的であり、圧電振動ジャイロの特性に与える影響の少ない信頼性の大幅 な向上が図れる圧電ジャイロが得られる。 According to the present invention, the deterioration of the vibration characteristics due to the support is small, the influence on the bending vibration in the two directions orthogonal to each other is small, and the influence is symmetric with respect to each vibration direction. It is possible to obtain a piezoelectric gyro which has little influence on the characteristics of the piezoelectric vibration gyro and which can significantly improve reliability.
【図1】本考案の圧電振動ジャイロに用いられる圧電セ
ラミックス円柱の構造を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a piezoelectric ceramic cylinder used in a piezoelectric vibrating gyro of the present invention.
【図2】本考案に用いられる支持具を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a support used in the present invention.
【図3】本考案の圧電振動ジャイロの構造を示す斜視
図。FIG. 3 is a perspective view showing the structure of a piezoelectric vibrating gyroscope according to the present invention.
【図4】従来の圧電振動ジャイロの一例の構造概略図。FIG. 4 is a schematic structural view of an example of a conventional piezoelectric vibrating gyro.
【図5】従来の圧電振動ジャイロ支持方法を示した説明
図。FIG. 5 is an explanatory view showing a conventional piezoelectric vibration gyro support method.
1、1’、2、2’ 金属音片振動子 3、4、5、6 圧電セラミックス薄板 7 金属角柱 8、9 圧電セラミックス薄板 10、10’、11、11’ 金属支持線 20 圧電セラミックス円柱 21 帯状電極 30 支持具 31 保持具 32 外ケース 1, 1 ', 2, 2'Metallic tuning unit 3, 4, 5, 6 Piezoelectric ceramics thin plate 7 Metal prisms 8, 9 Piezoelectric ceramics thin plate 10, 10', 11, 11 'Metal support wire 20 Piezoelectric ceramic cylinder 21 Strip-shaped electrode 30 Supporting tool 31 Holding tool 32 Outer case
Claims (1)
向と平行な帯状電極を形成し、該帯状電極を用いて分極
処理を施し、前記柱状圧電セラミックスの圧電効果によ
る屈曲振動モードを利用して駆動および検出を行なう圧
電振動ジャイロにおいて、繊維あるいは発砲材からなる
帯状リングを介して前記柱状圧電セラミックスをその屈
曲振動の節点の位置で支持固定したことを特徴とする圧
電振動ジャイロ。[Claims for utility model registration] 1. A strip-shaped electrode parallel to the length direction is formed on the outer peripheral surface of the columnar piezoelectric ceramic, and polarization treatment is performed using the strip-shaped electrode to obtain the piezoelectric effect of the columnar piezoelectric ceramic. In a piezoelectric vibrating gyro which is driven and detected by utilizing the flexural vibration mode by, the columnar piezoelectric ceramics are supported and fixed at the node of the flexural vibration through a strip ring made of fiber or foam material. Piezoelectric vibration gyro.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991055222U JP2534958Y2 (en) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | Piezoelectric vibration gyro |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991055222U JP2534958Y2 (en) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | Piezoelectric vibration gyro |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH052016U true JPH052016U (en) | 1993-01-14 |
| JP2534958Y2 JP2534958Y2 (en) | 1997-05-07 |
Family
ID=12992585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991055222U Expired - Lifetime JP2534958Y2 (en) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | Piezoelectric vibration gyro |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2534958Y2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4436812B4 (en) * | 1993-10-15 | 2009-04-02 | Nikon Corp. | driving device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599149A (en) * | 1982-07-07 | 1984-01-18 | Daido Steel Co Ltd | Material for lead frame |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP1991055222U patent/JP2534958Y2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS599149A (en) * | 1982-07-07 | 1984-01-18 | Daido Steel Co Ltd | Material for lead frame |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4436812B4 (en) * | 1993-10-15 | 2009-04-02 | Nikon Corp. | driving device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2534958Y2 (en) | 1997-05-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961119 |