JPH05203418A - 寸法測定用光電装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 受信スケールの受信要素上に物体の表面によ
って反射された線の痕跡の分析によって、この物体の装
置までの距離を測定し、またその表面の形状および状態
を測定すること。 【構成】 それ自体平行で円錐形二方向束６を生じ、一
定の定数の位相網を有する透明グリッド５から成る光学
器械３、およびグリッドの定数に比例する定数Ｃの差動
型の感光性受信要素網８から成る円形スケール７を、個
々に、ケーブル１４によって、計算機の回路と連結す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電磁線源、この源から
来る射線の径を測定する(calibrer)ための光学器械、径
が測定された射線が照射された目盛り付きスケール、お
よび電子回路に連結されることになっている感光性受信
要素であって、スケールのこれらに対する照射作用の利
用によって、測定値を数量化する役割を果たす要素を備
える寸法測定用光電装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】このような要素を備えている既知の装置
は、特に、加工された部品の寸法の測定および制御のた
めに用いられる。これらが装備している測定装置の型お
よび目的によって、これらの要素は様々に配列される。

【０００３】このようにして、文献CH-623 411に記載さ
れたスライドゲイジ(calibre a coulisse)では、探触子
測定用の可動キーと連結された透明な目盛り付きスケー
ルは、この器具の本体の内部において、固定線源と、下
記のものからなる固定装置全体との間に配置されてい
る。この固定装置全体は、この源の射線の径測定用の透
明なレチクルと、この源の光学軸を中心とする感光性受
信セルを有する受信機とからなるものである。スケール
とレチクルには、同一または比例ピッチを有する、透明
度が異なる交互線網が記されている。

【０００４】文献CH-667 726に記載された高さ測定用カ
ラムの光電装置は同様な要素を備えているが、このカラ
ムでは、目盛り付きスケールがカラムに固定されてお
り、一方で電磁源、他方でレチクルおよび感光性受信セ
ルを有する受信機は、カラムおよびスケールに沿って可
動的に備えられた、探触子測定キーを備えたキャリジと
連動している。

【０００５】これら２つの型の測定装置において、光電
装置は振幅を表し、かつスケールと感光性セルを有する
受信機との間の相関的移動方向を表す電気信号を送る。
一連のインパルスの形態で送られる信号は、スケールお
よび径測定レチクルの目盛りの相関的遮蔽(defilement)
によって、感光性受信セル上に生じる交互対比効果によ
って発せられる。

【０００６】これらの装置を用いた場合、測定には、測
定キーと、測定される製品とを接触させる必要がある。
これは、可動キーと、例えばスライドゲージを伴う固定
キーとの間に置かれるか、あるいは測定カラムを伴うよ
うな対象平面テーブル上に固定される。

【０００７】光電装置の要素のもう１つの配列におい
て、源、径測定用レチクルおよび感光性セルを有する受
信機は、源から来る射線が受信機上のスケールによっ
て、また径測定用レチクルを通って反射されるように、
反射平面において、スケールと同じ側に配置される。

【０００８】文献CH-646 514に記載されているこの種類
の装置は、２つの物体の相関的移動を検知するのに用い
られるが、この装置では、スケールとして用いられるこ
れらの物体のうちの１つは、なんらかの規則的な粒状化
反射面を備え、源、径測定用レチクル、および受信機
は、スケールの反射面の一定の高さにこれを維持するた
めの配置要素を備えているケース内の、相互固定位置内
に配置されている。

【０００９】この装置は、レチクルの網の投影と、受信
機上のスケールの反射面のアルベドとの重ね合わせの結
果生じる映像の特別な性質に関する実験データに基づい
ており、これはなんらかの機械の非常に数多くの機械的
部分、例えばある器具の配置ジャッキの棒、または車輪
の円周の移動の現場での直接の測定ができるように考え
られた。これらの部品は、装置の反射表面の付いたスケ
ールとして用いられる。

【００１０】この配置によって、ここでは、移動の測定
を行ないたい部品を接触させる必要がない。測定は接触
を行なわないタイプのものである。

【００１１】電磁波を用いた移動の測定ではなく、光学
センサと物体との距離の接触を行なわない測定は、三角
測量方法の適用によって、既知の方法で行なわれる。

【００１２】入射線の反射が測定される物体上に生じる
三角測量の際に、反射角度、従って三角測定の角度は、
物体の表面の形状によって影響される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】光電成分の小型化技術
の進歩によって、その結果生じる解像度の改良から、詳
細な測定の分野での適用が可能になる。しかしながら、
これらの進歩は、入射線の反射角度に対する、測定され
る物体の表面の状態の影響によって提起される問題に
は、それ自体の解決法をもたらさない。

【００１４】これらの問題は、物体の表面が変化する
時、すなわち例えば一連の物体の表面が、それらの反射
角度およびそれらの表面構造に関して同じでない時に生
じる。

【００１５】チップ(copeaux) の除去によって作られる
表面は、普通、グリッドとして作用する周期構造を示
し、従って回折角度と、反射角度の変化と重ね合わせと
を生じ、その結果、測定誤差が生じる。さらに、この反
射角度はまた、表面の機械加工操作の方向にもよってお
り、これは、物体が測定操作の間、絶えず同じ方向に向
けられていない時、反射角度の方向を変えることもあり
うる。

【００１６】最後に、物体の表面が平らでない時、反射
角度は、入射線が当たる点において、この表面に垂直な
線に沿って逸らされる。従って例えば円筒部分のこのよ
うな表面の測定は難しくなる。

【００１７】この発明は、前記技術の状態によって得ら
れる測定の制限が取り除かれた、接触を行なわない寸法
測定を可能にする光電装置を製作することを目的とす
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】このため本発明による装
置は、源から来る束を平行な束として正立させるため
の、少なくとも１つのコリメーター要素と、平行束を、
一定なある開口角度を有するそれ自体平行な二方向線の
束に変換するのに適した屈曲要素とからなる光学器械を
備えること、および光学器械の軸に垂直な平面内に位置
する目盛り付きスケールは、光学器械の軸の周りに対称
的に分配されたある一定の定数の差動型の感光性受信要
素網からなり、源、光学器械、およびスケールは、適切
な支持体内においての固定相対位置に維持されることを
特徴とする。

【００１９】従ってこのように構成された光電装置は、
物体の上または内部に配置されてもよい。この物体と
は、光学器械の軸の周りのスケールの感光性要素上に、
およびこの軸に対して、この表面によって反射された線
の痕跡の広がり、および／または形状の検知によって、
それの距たり、および／または表面の幾何学的コンフォ
ーメーションを測定したい物体である。

【００２０】この発明の結果生じる測定の原理は、三角
形の一定の角度を用いて実施される三角測定、およびス
ケールの検知要素によって構成される底辺に関する。こ
のスケールにおいて底辺の長さは、スケールの感光性検
知要素の大きさの単位として、物体の反射線からの光学
器械の軸までの距離によって測定される。これらの検知
要素は、非常に小さいサイズのものであってもよい。

【００２１】

【作用】屈曲光学器械の使用によって、この装置は、平
行な射線の三次元測定マークを生じる。このマークは、
物体の表面によるこのマークの反射後、同様な幾何学構
造を構成するスケールの感光性受信要素によって検知さ
れる。スケールの平面上に反射された測定マークの大き
さは、物体によって反射された線のこのスケール上の痕
跡によって構成されるが、これは、装置から物体までの
距離によっている大きさを示す。

【００２２】物体の表面の形状および構成は、スケール
上に反射されたマークの痕跡の幾何学に影響を与える。
光学器械の軸の周りの、スケールの感光性受信要素の幾
何学配列によって表される理想的幾何学に対して、スケ
ール上の測定マークの痕跡の差を検知することによっ
て、物体の表面の整備(amenagement) により生じる測定
誤差を修正することができる。および／またはこの表面
の形状に関するデータ、およびその構造およびその周期
性に関するデータを提供することができる。

【００２３】

【実施例】図１〜４によって示される第一実施例は、下
記のものを備える: −円錐線束２を発する、例えばダイオードのような、電
磁線源１、 −源１から来る円錐束の径を測定するための光学器械３
であって、円錐束を平行束に正立させるためのコリメー
ター要素４と、平行束を、一定のある決定された開口角
度Ａを有する、それ自体平行な二方向束６に転換するの
に適した、屈曲要素５とからなるもの、 −および、光学器械の軸Ｘに垂直なスケール７であっ
て、光学器械の軸Ｘの周りに対称的に分配された、ある
一定の定数Ｃの、最適差動型の感光性受信要素網８から
なるもの。

【００２４】源１、光学器械３およびスケール７は、そ
の都度、実施される測定型に適切な支持体９内の固定相
対位置に維持される。

【００２５】この装置全体において、光学器械３は図２
および３で詳細に説明されているが、これは透明な部品
であり、例えば圧縮ガラス(verre presse)でできてお
り、源１側には、コリメーターレンズ４を有する。この
レンズは、とりわけフレネルレンズ、またはホログラフ
レンズからなっていてもよいであろう。反対側では、屈
曲要素５を有する。この要素はここでは、この光学器械
の軸Ｘと同心の、一定の定数Ｃの位相網を有する円形グ
リッドからなる。

【００２６】スケール７は、図４によれば、孔のある丸
いディスクの形状である。このディスクは、ここでは中
央孔１０に光学器械を組込んでいる。従ってこの孔を経
て、源１から来る射線束６が出る。このディスク上に、
例えば光ダイオードの感光性受信要素８が、光学装置の
軸Ｘと同心のリング１１状に、かつ位相グリッド５の定
数に比例する定数Ｃを有する網を構成し、かつこの装置
の具体化された測定限界を示す径の直線分布に従って配
置されている。

【００２７】光ダイオード８のリング１１の全体から構
成される円は、等しい扇形１２に分割される。従ってス
ケール７は、光ダイオードの規則的な幾何学的配置によ
って製作される。光ダイオードは電気的に互いに絶縁さ
れており、これらは一つずつ調べることができる。この
後者の目的のために、光ダイオード８は、個々のコンダ
クタ１３によって、かつ接続ケーブル１４を通って、図
示されていない計算機の電子回路に電気的に連結されて
いる。この計算機は、測定値を数量化するために、光ダ
イオード８の差動照射の作用を利用するのに適した型の
ものである。スケールの構造の境界(limite)によって、
補間(interpolation) が可能になり、各リング内に統合
された光ダイオード８の測定データは、１つのリングあ
たり１個の補間を可能にするように作成される。これら
の光ダイオードは、最適化された差を有する。

【００２８】この測定が基づく原理は、図１〜４によっ
て例証される。より広くは、図５、６および７の二重の
図面から利点が明らかになる。

【００２９】説明を単純化するために、測定される物体
は、図１に示された厚みが一定の平らな物体１５であ
る。これは平らな測定台１７上に位置する。実際には接
触を行なわない探触子をなす測定装置のケース９は、台
１７に対して一定の距離のところに置かれ、かつ物体の
表面および場合によっては台１７も、この探触子の測定
範囲内に位置するように、かつ光学軸Ｘが、台１７の平
面に対して、かつこれによって物体１５の表面に対して
垂直になるように、安定的に配置される。

【００３０】光学器械によって発せられる二方向入射束
６は、物体の表面上に落ち、これを円形に照射する。射
線は、この表面によって、スケール７上に、同じ反射角
度Ａで反射され、このスケールの感光性受信要素８上に
反射されるこの射線の痕跡１６は、図４では小さい点で
陰影をつけて示されているが、これもまた、物体の照射
表面の平面性、およびこの表面上の光学軸Ｘの垂直性に
よって円である。スケール７は、位相グリッド５と同じ
幾何学ベース構造の光ダイオード８のリング１１の各限
界は、測定目盛りを表す。理解しやすくするために、部
品１５の第二位置レベル１５’、およびこのレベルに相
当する射線の進行は、図１では点線で表され、スケール
７上のこのレベルに相当する射線の痕跡は、図４では１
６’で表されている。

【００３１】スケール上に反射された円１６は、一般に
不均質に光ダイオードのリング１１を照射する。これら
のリングの強度の相対比較によって、測定スケールの補
間が可能になる。この測定の実施、使用および文書化
は、光ダイオード８が連結されている計算機によって行
なわれる。

【００３２】この原理によって、光学器械の軸Ｘ上のあ
る高さ、ここでは物体１５の照射表面のレベルでの、二
方向入射束６の開口部の大きさは、スケール７によって
測定できる。この開口部は、ここでは、このスケールの
感光面と、物体１５の照射表面とを分離している距離に
比例する。

【００３３】平らな物体１５が装置の光学軸Ｘに垂直に
位置していない時、これは二重図面の図５に示されてい
るが、入射束６の反射形状は変形している。反射によっ
て、変形を引起こす角度欠陥は二倍にされ、反射束の痕
跡は、スケール７のレベルで、このスケールのベース構
造の軸に対して中心がずれた楕円１８の形状である。

【００３４】この場合、楕円１８の長軸と短軸との比に
よって、物体１５の傾斜角度を計算することができる。
これによって同様に、これらの２つの軸の大きさの積分
(integration) によって、光学器械の軸Ｘ上でのこの物
体の距離を決定することができる。

【００３５】また例えば計算機と組合わされたスクリー
ン上に視覚化された、楕円１８形のこの変形によって、
オペレータが物体および／または必要であれば測定装置
の位置決めを修正することもできる。

【００３６】測定される物体の表面が製造の時にでこぼ
こになったような場合、この表面の状態は、たわみが追
加されたグリッドとして現れる。円形の射線のスケール
上の痕跡は楕円形に変形され、検知器の基本構造の中心
に位置する。この場合、楕円の短軸は物体と装置との距
離の値を表す。

【００３７】測定される物体の表面が、磨き上げられて
いると同時にでこぼこしているような場合、この表面の
状態は分散スクリーンとして現われ、それ自体平行な二
方向束６は分散される。この場合、スケールの光ダイオ
ード８のレベルにおける強度の分布は、普通は、ガウス
による分布である。このことによって、測定スケールは
強度が最大限に補間されうる。距離は、最大強度の痕跡
の平均直径から出発して計算することができる。

【００３８】測定される物体が円弧形の湾曲のある表面
を有する時、例えば図６に示されているように、軸Ｘに
対して、かつこの軸上で垂直な回転軸Ｏを有する円筒物
体の表面１９のようである時、反射された線の束は、こ
の場合、円筒物体の表面が円筒レンズとして作用するか
らには、スケール７のレベルで、このスケールのベース
構造に対して中央に置かれた楕円２０の形状で再現され
る。

【００３９】円筒表面を有する円錐形の二方向束６の断
面図の分析的幾何学から出発して、ここでは下記のもの
が得られる: −楕円の短軸の測定によって、物体と装置との間の距
離、測定点における強度曲線によって、修正値としての
表面の周期的粗さ; 軸の交差点における楕円の幅の比
は、既知の円筒の直径が平面内の幅の標準化を可能にす
るという条件で分析できる。従ってこのことによって、
長軸内の分布を無視することができるであろう。

【００４０】−軸と、楕円の偏心率との比に従って、物
体の直径。

【００４１】円筒物体の回転軸Ｏが光学器械の軸Ｘに対
して十分に垂直であるが、その逆に光学器械に対して中
心がずれている場合、これは図７に示された測定状況に
対応する場合であるが、スケール７上に反射された線の
円錐は、このスケール上に、幅が同じでない楕円形の痕
跡を生じる。これは、卵形２１のものであり、光ダイオ
ード８の構造の中心に対して、中心がずれている。

【００４２】視覚化されるか、または分析されたこの卵
形の変形２１によって、オペレータは、測定される物体
の位置または装置の位置を修正することによって、これ
を中心に置くことができる。物体の回転軸Ｏが光学器械
の軸Ｘに垂直ではない時、楕円の短軸の偏心とその長軸
に対する変形を生じる。このことによって、オペレータ
はここでもまた図６のように、中心が十分に定められた
規則的な楕円を得るまで、物体の位置を正しく定めるこ
とができる。

【００４３】本発明の枠から逸脱することなく、変形例
が可能であろう。

【００４４】例えば図８に示された変形例において、グ
リッド５と同じ構成の位相グリッド２２は、源１に対し
て、スケール７の表面全部にわたって広がっている。コ
リメーター要素４の方は、スケール７の中央孔内に統合
されている。従って物体１５によって反射された射線
は、このグリッド２２によって、感光性受信要素８に達
する前に円筒束に転換される。従ってこのような束は、
これらの要素の上に垂直に落ちるという利点がある。

【００４５】図９で示されている第二変形例において、
スケール７と位相グリッド２３は、円筒ケース２４内に
おいて、平行な位置に、互いにスペースをあけて維持さ
れる。ここでは源１は、スケール７の中央孔に配置さ
れ、コリメーター要素４は、グリッド２３の中央の構造
から来る。このグリッドは、スケール７と同じ広がりを
有する。物体１５から反射された線は、ここではまた、
位相グリッド２３によって、感光性受信要素８に達する
前に円筒束に転換される。

【００４６】示されているグリッド５、２２および２３
のような位相グリッドは、完全に透明であり、ほとんど
射線のロスもなく、かつ逆方向の射線を、源１の方へ反
射しないという特性を有する。変形例によれば、振幅網
(reseau d'amplitudes) を有するグリッドを用いること
ができる。このことによって、振幅網がゼロのオーダー
を有するという事実から、測定される物体上に明るい中
央フレア(tache centrale)を得ることができるという利
点があろう。

【００４７】しかしながらこれに匹敵しうる効果が可能
な、他の屈曲要素も用いることができる。

【００４８】図１１に示された第三変形例は、これの比
較的単純な実施例である。ここにおいて、屈曲要素は、
自由端２５が、例えば飽和ガラス繊維２６のような、非
常に小さな直径の光の管からなる。これは、既に規定さ
れている束６に似た、二方向出口束２７を生じやすい。
この繊維はさらに、コリメーターとしてと同時に、源か
ら発せられる射線の導体としても用いられる。

【００４９】同様に、図１０および１２によって示され
ている変形例において、屈曲要素は、ギザギザのある辺
２９状の開口部を有するダイヤフラム２８からなり、管
３０の下部に位置し、この管は、上部に源１を備え、２
つの部分の間に、レンズ３１からなるコリメーター要素
を備える。出口束３２は、同様に束６に似た二方向のも
のである。

【００５０】上で記載された第一実施例において、また
円筒表面積を測定するこの適性からも、この装置は同様
に、他の修正を加えずに、例えば中ぐり(alesage) を測
定するのにも用いられる。

【００５１】このような使用法においては、装置は、そ
の光学軸Ｘがこの中ぐりにおいて輻射状に向けられ、そ
の壁の真向かいに維持されるように、中ぐりへのこれの
導入が可能になるのに適した支持体内に固定される。従
って中ぐりの回転軸に平行で、かつ光学軸Ｘに対して垂
直な軸の周りでのこの装置の回転によって、まず第一
に、スケール上に投影された映像を調べることによっ
て、この回転軸を中ぐりの軸上に配置することが可能で
あり、次に第二に、中ぐりの直径、その幾何学を決定す
ることが可能であり、必要であれば、その表面の状態を
分析することもできる。

【００５２】しかしながら図13に示された第二実施例に
従って配置された装置を用いて、より狭いスペースにお
いて、さらに簡単に操作を行なうこともできる。

【００５３】この第二実施例において、このベース構造
は、源１、コリメーター４および位相グリッド５付き光
学器械、および光ダイオード網８の付いたスケール７を
用いた第一実施例と同様に構成される。この装置の光学
器械はさらに、その軸に垂直な、ここでは平らなミラー
３３を備える。このミラーは、屈曲要素５から予め決定
された距離に配置され、前記軸に平行な母線を有する物
体の円筒内部側面表面３４、例えば中ぐりの表面を、ス
ケール７を経て、前記表面の反射によって照射すること
ができる。

【００５４】この装置は円筒ケース３５内に入れられて
いる。このケースは、同様に円筒状の延長線を有する。
これの側壁３６は透明で、これの底部３７はミラー３３
を支持している。この延長線はまた、１つまたは複数の
支柱からなっていてもよい。

【００５５】

【発明の効果】一般的に、かつ本発明の教示によって製
作されたすべての装置について、スケールの感光性要素
に対する周囲の証明の悪影響を無くすために、単色射線
源、例えば好ましくはダイオードIRを用いうる。この場
合スケールは、この射線しか通過させないフィルターを
備えている。もう１つの可能性は、源の強度の振動数(f
requence d'intensite) を変調させることからなる。こ
の振動数は、この網のものとは異なったものが選ばれ
る。交流電圧の信号の処理によって、さらに、信号と騒
音とのより有利な関係が可能になる。

【００５６】いくつかの測定の仕事を行なうために、こ
の装置は、源の射線がガラス繊維を用いて、測定場所に
伝達されるように、かつ位相グリッドが、このガラス繊
維の末端に固定されるように、また物体の反射された線
が、射線を光検知器に伝達する他のガラス繊維の中に統
合されるように配置されてもよい。このような配列にお
いては、記載されているようなスケールの幾何学構造
は、ガラス繊維の組合わせの幾何学から決められなけれ
ばならないであろう。源の中央ガラス繊維の周りには、
ガラス繊維の束が、同心に配置されるであろう。これら
の束は、離された束の形でスケールの光検知器の方へ行
くであろう。２つの隣接環状束のガラス繊維は、これら
の間の暗いゾーンが、小さいままであるように配列され
るであろう。

【００５７】スケールの感光性要素の幾何学的配列に関
して、これらの要素の長方形配列のある交差グリッドの
屈曲図面は、可能性のあるもう１つの変形例をなす。こ
の場合、光検知線を有する前記グリッドは、２つの点を
検知することしかできないが、測定される部品と装置と
の距離の測定が可能になる。

【００５８】さらに周囲の線の、場合によっては邪魔に
なる作用を除去するために、濾過材料製の円形グリッド
を製作することもできる。

【００５９】最後に、スケールの感光性受信要素は、様
々な二進コードに従って配列されうる。これらはま
た、"Position Sensible Detector"という名称で知られ
ている要素からなってもよいであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一実施例の全体の概略図

【図２】第一実施例の光学要素の下面図

【図３】第一実施例の軸断面図

【図４】第一実施例のスケールの下面図

【図５】本発明の効果を示す測定状況を示す（ａ）は軸
断面図、（ｂ）は下面図

【図６】本発明の効果を示す測定状況を示す（ａ）は軸
断面図、（ｂ）は下面図

【図７】本発明の効果を示す測定状況を示す（ａ）は軸
断面図、（ｂ）は下面図

【図８】本発明の第一実施例の第一変形例の軸断面図

【図９】本発明の第一実施例の第二変形例の軸断面図

【図１０】本発明の第一実施例の第三変形例の軸断面図

【図１１】本発明の第一実施例の第四変形例の軸断面図

【図１２】第三変形例の図１０の下面図

【図１３】第二実施例の概略軸断面図

【符号の説明】

１ 電磁線源 ３ 光学器械 ４、２６ コリメーター要素 ５、２５、２８ 屈曲要素 ７ 目盛り付きスケール ８ 受信要素網 １１ リング ２２、２３ グリッド ２８ ダイアフラム ３３ ミラー

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電磁線源１、この源から来る射線の径の
   測定をするための光学器械３、径が測定された射線によ
   って照射される目盛り付きスケール７、および感光性受
   信要素であって、スケールの照射のこれらに対する作用
   の利用によって、測定値を数量化する役割を果たす電子
   回路に連結されることになっている要素を備える寸法測
   定用光電装置において、源から来る束を平行な束として
   正立させるための少なくとも１つのコリメーター要素
   ４、２６と、平行な束を、一定なある決定された開口角
   度Ａを有する、それ自体平行な二方向線の束に転換する
   のに適した屈曲要素５、２８、２５とからなる光学器械
   を備えること、およびこの光学器械の軸Ｘに垂直な平面
   内に位置する目盛り付きスケール７が、光学器械の軸の
   周りに対称的に分配された、ある一定の定数の差動型の
   感光性受信要素網８からなり、源、光学器械およびスケ
   ールが、適切な支持体において固定された相対位置に維
   持され、従ってこのように構成された装置は、光学器械
   の軸の周りのスケールの感光性要素上に、および光学器
   械に対して、この表面によって反射された線の痕跡の広
   がりおよび／または形状を検知することによって、隔た
   りおよび／またはその表面の幾何学コンフォーメーショ
   ンを測定したい物体の上または物体の内部に配置され得
   ることを特徴とする寸法測定用光電装置。
2. 【請求項２】 光学器械の屈曲要素が、光学器械の軸と
   同心の、ある一定の定数の位相網を有する、透明な円形
   グリッド５、２２、２３から成ることを特徴とする請求
   項１に記載の寸法測定用光電装置。
3. 【請求項３】 光学器械の屈曲要素が、ギザギザした辺
   を含むダイヤフラム２８から成ることを特徴とする請求
   項１に記載の装置。
4. 【請求項４】 光学器械の屈曲要素が、飽和ガラス繊維
   の端部２６からなり、この端部は、コリメーターとして
   と同時に、源から発せられる射線の導体としても用いら
   れることを特徴とする請求項１に記載の寸法測定用光電
   装置。
5. 【請求項５】 スケール７の感光性受信要素網８が、光
   学器械の軸と同心のリング１１状に、かつ網を構成する
   直径の直線分布に従って配置されることを特徴とする請
   求項１に記載の寸法測定用光電装置。
6. 【請求項６】 スケール７の感光性受信要素リング１１
   が、放射状に扇形１２に分割されていることを特徴とす
   る請求項５に記載の寸法測定用光電装置。
7. 【請求項７】 グリッド５の位相網の定数と、スケール
   ７の感光性受信要素網の定数は、比例していることを特
   徴とする請求項１、２および５に記載の寸法測定用光電
   装置。
8. 【請求項８】 光学器械５が、スケール７の中央溝１０
   において、このスケールに組み込まれていることを特徴
   とする請求項１に記載の寸法測定用光電装置。
9. 【請求項９】 透明グリッド２２、２３が、スケール７
   の表面全体に広がっていることを特徴とする請求項１、
   ２および５に記載の寸法測定用光電装置。
10. 【請求項１０】 光学器械が、さらに、これの軸に対し
    て垂直なミラー３３を備え、このミラーは、屈曲要素５
    から予め決定された距離に配置されて、前記軸に平行な
    母線を有する物体の円筒状内部表面を、スケールを介し
    て、前記表面の反射によって照射することを特徴とする
    請求項１に記載の寸法測定用光電装置。