JPH05203833A - 光導波路型部品の製造装置 - Google Patents
光導波路型部品の製造装置Info
- Publication number
- JPH05203833A JPH05203833A JP1225292A JP1225292A JPH05203833A JP H05203833 A JPH05203833 A JP H05203833A JP 1225292 A JP1225292 A JP 1225292A JP 1225292 A JP1225292 A JP 1225292A JP H05203833 A JPH05203833 A JP H05203833A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- overlapping
- light beam
- optical
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光導波路型部品を構成する第１ホルダ、第２
ホルダ及び第３ホルダの重合部に隙間が生じたり、相対
位置がずれるのを防止する。 【構成】 光ファイバ７で光線を照射伝送する第１ホル
ダ４、導波路で光線を中継する第２ホルダ５及び光ファ
イバ７Ａで光線を受光する第３ホルダ６を縦列に連接重
合して各重合部の重合面を光学系定盤９の上面に水平に
対向させる。また、最上位の第３ホルダ６を把持したア
ーム１５を下降させて各重合部の重合面に加圧力を垂直
に強く作用させる。
ホルダ及び第３ホルダの重合部に隙間が生じたり、相対
位置がずれるのを防止する。 【構成】 光ファイバ７で光線を照射伝送する第１ホル
ダ４、導波路で光線を中継する第２ホルダ５及び光ファ
イバ７Ａで光線を受光する第３ホルダ６を縦列に連接重
合して各重合部の重合面を光学系定盤９の上面に水平に
対向させる。また、最上位の第３ホルダ６を把持したア
ーム１５を下降させて各重合部の重合面に加圧力を垂直
に強く作用させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路のホルダと光
ファイバのホルダとをレーザ溶接して光導波路型部品を
製造する光導波路型部品の製造装置に関するものであ
る。
ファイバのホルダとをレーザ溶接して光導波路型部品を
製造する光導波路型部品の製造装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、光通信や光情報処理などの技術分
野における技術の発達に伴い、単一モード伝送用光ファ
イバと、光結合回路や光分岐回路などを構成する光導波
路とを高い信頼性を持って実装することが切望されてい
る。周知の如く、単一モード伝送光ファイバのコア部の
径は数μｍ〜１０μｍ程度なので、単一モード伝送用光
ファイバと上記光導波路とを接続する場合には、これら
の相対的な位置ずれを１μｍ程度以下に抑制して接続損
失の増加を防止する必要がある。
野における技術の発達に伴い、単一モード伝送用光ファ
イバと、光結合回路や光分岐回路などを構成する光導波
路とを高い信頼性を持って実装することが切望されてい
る。周知の如く、単一モード伝送光ファイバのコア部の
径は数μｍ〜１０μｍ程度なので、単一モード伝送用光
ファイバと上記光導波路とを接続する場合には、これら
の相対的な位置ずれを１μｍ程度以下に抑制して接続損
失の増加を防止する必要がある。
【０００３】図２は特開平３−３５２０５号公報等に開
示された従来の光導波路型部品の製造装置を示すもの
で、所定の間隔をおいて水平に隣接対向する支台１，２
の間には、角棒形のコラム３が同位して垂直に介在立設
され、支台１には第１ホルダ４が、、コラム３の頂部に
は第２ホルダ５が、そして支台２には第３ホルダ６が、
それぞれ配置されている。
示された従来の光導波路型部品の製造装置を示すもの
で、所定の間隔をおいて水平に隣接対向する支台１，２
の間には、角棒形のコラム３が同位して垂直に介在立設
され、支台１には第１ホルダ４が、、コラム３の頂部に
は第２ホルダ５が、そして支台２には第３ホルダ６が、
それぞれ配置されている。
【０００４】上記第１ホルダ４は、光ファイバ７が内部
に長手方向に挿着され、第２ホルダ５の端面に重合する
対向端面が研磨形成されており、光ファイバ７で図示し
ない光線を第２ホルダに照射伝送する機能を有してい
る。また、第２ホルダ５は、内部の長手方向に光線を伝
送する導波路が配設され、第１ホルダ４の端面と第３ホ
ルダ６の端面に重合する対向両端面がそれぞれ研磨形成
されており、第１ホルダ４から伝送されてきた光線を導
波路で中継して第３ホルダ６に伝送する機能を有してい
る。また、第３ホルダ６は、第１ホルダ４と同様に光フ
ァイバ７Ａが内部の長手方向に挿着され、第２ホルダ５
の端面に重合する対向は端面が研磨形成されており、光
ファイバ７Ａで第２ホルダ５から伝送されてきた光線を
受光して図示しない箇所に伝送する機能を有している。
に長手方向に挿着され、第２ホルダ５の端面に重合する
対向端面が研磨形成されており、光ファイバ７で図示し
ない光線を第２ホルダに照射伝送する機能を有してい
る。また、第２ホルダ５は、内部の長手方向に光線を伝
送する導波路が配設され、第１ホルダ４の端面と第３ホ
ルダ６の端面に重合する対向両端面がそれぞれ研磨形成
されており、第１ホルダ４から伝送されてきた光線を導
波路で中継して第３ホルダ６に伝送する機能を有してい
る。また、第３ホルダ６は、第１ホルダ４と同様に光フ
ァイバ７Ａが内部の長手方向に挿着され、第２ホルダ５
の端面に重合する対向は端面が研磨形成されており、光
ファイバ７Ａで第２ホルダ５から伝送されてきた光線を
受光して図示しない箇所に伝送する機能を有している。
【０００５】一方、上記コラム３の両側には、上下左右
方向に（矢印参照）に移動するレーザヘッド８がそれぞ
れ対向配置され、この一対のレーザヘッド８が同期して
移動しつつレーザ光（矢印参照）を照射することによ
り、第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６の各
重合部がレーザ溶接されるようになっている。
方向に（矢印参照）に移動するレーザヘッド８がそれぞ
れ対向配置され、この一対のレーザヘッド８が同期して
移動しつつレーザ光（矢印参照）を照射することによ
り、第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６の各
重合部がレーザ溶接されるようになっている。
【０００６】従って、第１ホルダ４、第２ホルダ及び第
３ホルダ６をレーザ溶接するには、所定の間隔をおいて
並んだ第１ホルダ４、第２ホルダ及び第３ホルダ６を横
列に連接重合し、第１ホルダ４から第２ホルダ５及び第
３ホルダ６に伝送される光線の受光量が第３ホルダ６で
最大になるように位置決めした後、一対のレーザヘッド
８で第１ホルダ４と第２ホルダ５の重合部をレーザ溶接
するとともに、第２ホルダ５と第３ホルダ６の重合部を
同様にレーザ溶接すればよい。
３ホルダ６をレーザ溶接するには、所定の間隔をおいて
並んだ第１ホルダ４、第２ホルダ及び第３ホルダ６を横
列に連接重合し、第１ホルダ４から第２ホルダ５及び第
３ホルダ６に伝送される光線の受光量が第３ホルダ６で
最大になるように位置決めした後、一対のレーザヘッド
８で第１ホルダ４と第２ホルダ５の重合部をレーザ溶接
するとともに、第２ホルダ５と第３ホルダ６の重合部を
同様にレーザ溶接すればよい。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の光導波路型部品
の製造装置は以上のように構成され、第２ホルダ５と光
線を受光する第３ホルダ６とを単に突き合わせて横列に
連接重合しているので、ホルダ形状の不完全やホルダを
固定保持する位置のばらつき等により、第２ホルダ５と
第３ホルダ６の重合部に図３に示す隙間が生じ易かっ
た。また、レーザ溶接に伴う照射部の熱膨張や表面張力
作用により、第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホル
ダ６の相対位置がずれてしまうという問題点があった。
このため、伝送光の損失が生じるという解決すべき課題
が生じていた。
の製造装置は以上のように構成され、第２ホルダ５と光
線を受光する第３ホルダ６とを単に突き合わせて横列に
連接重合しているので、ホルダ形状の不完全やホルダを
固定保持する位置のばらつき等により、第２ホルダ５と
第３ホルダ６の重合部に図３に示す隙間が生じ易かっ
た。また、レーザ溶接に伴う照射部の熱膨張や表面張力
作用により、第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホル
ダ６の相対位置がずれてしまうという問題点があった。
このため、伝送光の損失が生じるという解決すべき課題
が生じていた。
【０００８】本発明は、上記に鑑みなされたもので、隙
間の発生や相対位置のずれに伴う接続損失を制御防止す
ることのできる光導波路型部品の製造装置を提供するこ
とを目的としている。
間の発生や相対位置のずれに伴う接続損失を制御防止す
ることのできる光導波路型部品の製造装置を提供するこ
とを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上述
の目的を達成するため、光学系定盤に動作可能に配設さ
れた自動ステージと、この自動ステージの保持用治具に
垂直に支持され光線を伝送する光ファイバを保持する第
１ホルダと、該保持用治具に垂直に支持されて第１ホル
ダの上端面に縦列に連接重合され、伝送されてくる光線
を中継する導波路を保持する第２ホルダと、この第２ホ
ルダの上端面に縦列に連接重合され光線を伝送する光フ
ァイバを保持する第３ホルダと、把持した該第３ホルダ
を第２ホルダの上端面に圧接する動作可能なアームと、
第１ホルダ、第２ホルダ及び第３ホルダの各重合部をレ
ーザ溶接するレーザヘッドとを備え、しかも該光学系定
盤の上面に該重合部の重合面を対向させることを特徴と
している。
の目的を達成するため、光学系定盤に動作可能に配設さ
れた自動ステージと、この自動ステージの保持用治具に
垂直に支持され光線を伝送する光ファイバを保持する第
１ホルダと、該保持用治具に垂直に支持されて第１ホル
ダの上端面に縦列に連接重合され、伝送されてくる光線
を中継する導波路を保持する第２ホルダと、この第２ホ
ルダの上端面に縦列に連接重合され光線を伝送する光フ
ァイバを保持する第３ホルダと、把持した該第３ホルダ
を第２ホルダの上端面に圧接する動作可能なアームと、
第１ホルダ、第２ホルダ及び第３ホルダの各重合部をレ
ーザ溶接するレーザヘッドとを備え、しかも該光学系定
盤の上面に該重合部の重合面を対向させることを特徴と
している。
【００１０】
【作用】本発明によれば、第１ホルダ、第２ホルダ及び
第３ホルダを縦列に連接重合して各重合部の重合面を光
学系定盤の上面に水平に対向させ、しかも、最上位の第
３ホルダを把持したアームを下降させて各重合部の重合
面に加圧力を垂直に作用させるので、隙間の発生や相対
位置のずれに伴う光の接続損失を抑制防止することがで
きる。
第３ホルダを縦列に連接重合して各重合部の重合面を光
学系定盤の上面に水平に対向させ、しかも、最上位の第
３ホルダを把持したアームを下降させて各重合部の重合
面に加圧力を垂直に作用させるので、隙間の発生や相対
位置のずれに伴う光の接続損失を抑制防止することがで
きる。
【００１１】
【実施例】以下、図１に示す実施例に基づき本発明を詳
述すると、光学系定盤９には、自動ステージ１０が動作
可能に配設され、この自動ステージ１０には、保持用治
具１１が垂直に立設されており、この保持用治具１１に
は、縦列に連接重合した第１ホルダ４と第２ホルダ５と
が着脱自在に挟持されるようになっている。
述すると、光学系定盤９には、自動ステージ１０が動作
可能に配設され、この自動ステージ１０には、保持用治
具１１が垂直に立設されており、この保持用治具１１に
は、縦列に連接重合した第１ホルダ４と第２ホルダ５と
が着脱自在に挟持されるようになっている。
【００１２】上記自動ステージ１０は、光学系定盤９の
上面に敷設された一対のガイドレール１００と、この一
対のガイドレール１００に案内されつつＸ方向（図１の
斜め左右方向）に摺動するＸ方向自動駆動ステージ１０
１と、このＸ方向自動駆動ステージ１０１の上面に敷設
された一対のガイドレール１０２と、この一対のガイド
レール１０２に案内されつつＹ方向（図１の斜め上下方
向）に摺動するＹ方向自動駆動ステージ１０３と、この
Ｙ方向自動駆動ステージ１０３上に回動可能に配設され
た平面略円板形の回転方向自動ステージ１０４とから積
層構成され、図示しないコントローラの制御に基づき摺
動又は回転する機能を有している。また、上記保持用治
具１１は、略凹字形に構成され、回転方向自動ステージ
１０４に立設されている。
上面に敷設された一対のガイドレール１００と、この一
対のガイドレール１００に案内されつつＸ方向（図１の
斜め左右方向）に摺動するＸ方向自動駆動ステージ１０
１と、このＸ方向自動駆動ステージ１０１の上面に敷設
された一対のガイドレール１０２と、この一対のガイド
レール１０２に案内されつつＹ方向（図１の斜め上下方
向）に摺動するＹ方向自動駆動ステージ１０３と、この
Ｙ方向自動駆動ステージ１０３上に回動可能に配設され
た平面略円板形の回転方向自動ステージ１０４とから積
層構成され、図示しないコントローラの制御に基づき摺
動又は回転する機能を有している。また、上記保持用治
具１１は、略凹字形に構成され、回転方向自動ステージ
１０４に立設されている。
【００１３】一方、上記光学系定盤９には、支柱１２が
垂直に立設され、この支柱１２の自動ステージ１０側の
立面には、一対のガイドレール１３が垂設されており、
この一対のガイドレール１３には、昇降体１４が上下方
向に摺動自在に嵌合されている。
垂直に立設され、この支柱１２の自動ステージ１０側の
立面には、一対のガイドレール１３が垂設されており、
この一対のガイドレール１３には、昇降体１４が上下方
向に摺動自在に嵌合されている。
【００１４】上記昇降体１４には、上下左右方向に微調
整移動するアーム１５が水平に装着され、このアーム１
５の先端の把持部１６には、第２ホルダ５の上端面に連
接重合する第３ホルダ６が着脱自在に把持されるように
なっている。また、昇降体１４の下部には、ワイヤ１７
を介して錘１８が吊着されている。また、支柱１２の側
部近傍には、昇降体１４の下部にストッパ１９ａを係止
する停止機溝１９が配設され、該ストッパ１９ａが昇降
体１４の下部から外れることにより、昇降体１４が一対
のガイドレール１３に案内されつつ下降移動して、第２
ホルダ５の上端面に位置決め重合した第３ホルダ６が強
く圧接されるようになっている。
整移動するアーム１５が水平に装着され、このアーム１
５の先端の把持部１６には、第２ホルダ５の上端面に連
接重合する第３ホルダ６が着脱自在に把持されるように
なっている。また、昇降体１４の下部には、ワイヤ１７
を介して錘１８が吊着されている。また、支柱１２の側
部近傍には、昇降体１４の下部にストッパ１９ａを係止
する停止機溝１９が配設され、該ストッパ１９ａが昇降
体１４の下部から外れることにより、昇降体１４が一対
のガイドレール１３に案内されつつ下降移動して、第２
ホルダ５の上端面に位置決め重合した第３ホルダ６が強
く圧接されるようになっている。
【００１５】他方、保持用治具１１の上方の近傍には、
第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６を臨むよ
うに一対のレーザヘッド８が上下方向に移動可能に対向
配置され、この一対のレーザヘッド８が同期して移動し
つつレーザ光（矢印参照）を照射することにより、第１
ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６の各重合部が
水平横方向からレーザ溶接されるようになっている。
第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６を臨むよ
うに一対のレーザヘッド８が上下方向に移動可能に対向
配置され、この一対のレーザヘッド８が同期して移動し
つつレーザ光（矢印参照）を照射することにより、第１
ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６の各重合部が
水平横方向からレーザ溶接されるようになっている。
【００１６】従って、接続損失を防止しつつ第１ホルダ
４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６をレーザ溶接するに
は、保持用治具１１の開口上部に、縦列に連接重合した
第１ホルダ４及び第２ホルダ５を挟持させるとともに、
アームの把持部１６に第３ホルダ６を把持させ、第２ホ
ルダ５の上端面に第３ホルダ６を縦に連接重合した後コ
ントローラを動作させる。すると、コントローラの制御
に基づき、自動ステージ１０のＸ方向自動駆動ステージ
１０１、Ｙ方向自動駆動ステージ１０３、又は回転方向
自動ステージ１０４が摺動又は回転するとともに、アー
ム１５が上下左右方向に微調整移動し、最下位の第１ホ
ルダ４側の光ファイバ７から第２ホルダ５の導波路を経
由して最上位の第３ホルダ６の光ファイバ７Ａに伝送さ
れる光の受光量が、第３ホルダ６側の光ファイバ７ａで
最大になるように第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３
ホルダ６が位置決めされる。
４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６をレーザ溶接するに
は、保持用治具１１の開口上部に、縦列に連接重合した
第１ホルダ４及び第２ホルダ５を挟持させるとともに、
アームの把持部１６に第３ホルダ６を把持させ、第２ホ
ルダ５の上端面に第３ホルダ６を縦に連接重合した後コ
ントローラを動作させる。すると、コントローラの制御
に基づき、自動ステージ１０のＸ方向自動駆動ステージ
１０１、Ｙ方向自動駆動ステージ１０３、又は回転方向
自動ステージ１０４が摺動又は回転するとともに、アー
ム１５が上下左右方向に微調整移動し、最下位の第１ホ
ルダ４側の光ファイバ７から第２ホルダ５の導波路を経
由して最上位の第３ホルダ６の光ファイバ７Ａに伝送さ
れる光の受光量が、第３ホルダ６側の光ファイバ７ａで
最大になるように第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３
ホルダ６が位置決めされる。
【００１７】第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホル
ダ６が位置決めされると、停止機構１９のストッパ１９
ａが昇降体１４の下部から外れ、昇降体１４が錘１８の
自重で一対のガイドレール１３に案内されつつ下降移動
し、アーム１５が下降して第２ホルダ５の上端面に位置
決めされた第３ホルダ６を強く圧下・圧接する。そし
て、自動ステージ１０及びアーム１５が再び動作して第
１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６を最終的に
位置決め調整する。
ダ６が位置決めされると、停止機構１９のストッパ１９
ａが昇降体１４の下部から外れ、昇降体１４が錘１８の
自重で一対のガイドレール１３に案内されつつ下降移動
し、アーム１５が下降して第２ホルダ５の上端面に位置
決めされた第３ホルダ６を強く圧下・圧接する。そし
て、自動ステージ１０及びアーム１５が再び動作して第
１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６を最終的に
位置決め調整する。
【００１８】然して、第１ホルダ４、第２ホルダ５及び
第３ホルダ６の位置決めが最終的に完了すると、一対の
レーザーヘッド８が第１ホルダ４と第２ホルダ５の重合
部を水平横方向からレーザ溶接するとともに、第２ホル
ダ５と第３ホルダ６の重合部を同様にレーザ溶接する。
第３ホルダ６の位置決めが最終的に完了すると、一対の
レーザーヘッド８が第１ホルダ４と第２ホルダ５の重合
部を水平横方向からレーザ溶接するとともに、第２ホル
ダ５と第３ホルダ６の重合部を同様にレーザ溶接する。
【００１９】上記構成によれば、第１ホルダ４、第２ホ
ルダ５及び第３ホルダ６を縦列に連接重合して各重合部
の重合面を光学系定盤９の上面に水平対向させるととも
に、第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６の各
重合面に加圧力を垂直に作用させて密着度を増大させる
ので、第２ホルダ５と第３ホルダ６の重合部に隙間が発
生するのを確実に排除して光の接続損失を抑制防止する
ことができる。また、レーザ溶接にともなう照射部の熱
膨張や表面張力作用が第１ホルダ４、第２ホルダ５及び
第３ホルダ６の垂直方向に作用する加重で抑制防止され
るので、第１ホルダ４、、第２ホルダ５及び第３ホルダ
６の相対位置のずれを確実に防止することが可能とな
る。
ルダ５及び第３ホルダ６を縦列に連接重合して各重合部
の重合面を光学系定盤９の上面に水平対向させるととも
に、第１ホルダ４、第２ホルダ５及び第３ホルダ６の各
重合面に加圧力を垂直に作用させて密着度を増大させる
ので、第２ホルダ５と第３ホルダ６の重合部に隙間が発
生するのを確実に排除して光の接続損失を抑制防止する
ことができる。また、レーザ溶接にともなう照射部の熱
膨張や表面張力作用が第１ホルダ４、第２ホルダ５及び
第３ホルダ６の垂直方向に作用する加重で抑制防止され
るので、第１ホルダ４、、第２ホルダ５及び第３ホルダ
６の相対位置のずれを確実に防止することが可能とな
る。
【００２０】なお、上記実施例では最下位に第１ホルダ
４を、、最上位に第３ホルダ６を配置したものを示した
が、上下逆に配置しても良いのは言うまでもない。
４を、、最上位に第３ホルダ６を配置したものを示した
が、上下逆に配置しても良いのは言うまでもない。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、第１ホル
ダ、第２ホルダ及び第３ホルダを縦列に連接重合して各
重合部の重合面を光学系定盤の上面に水平に対向させ、
しかも、第３ホルダを把持したアームを下降させて各重
合部の重合面に加圧力を垂直に強く作用させるので、隙
間の発生や相対位置のずれに伴う接続損失を大幅に抑制
防止することができるという顕著な効果がある。
ダ、第２ホルダ及び第３ホルダを縦列に連接重合して各
重合部の重合面を光学系定盤の上面に水平に対向させ、
しかも、第３ホルダを把持したアームを下降させて各重
合部の重合面に加圧力を垂直に強く作用させるので、隙
間の発生や相対位置のずれに伴う接続損失を大幅に抑制
防止することができるという顕著な効果がある。
【図１】本発明に係る光導波路型部品の製造装置の一実
施例を示す全体斜視図である。
施例を示す全体斜視図である。
【図２】従来における光導波路型部品の製造装置を示す
要部斜視図である。
要部斜視図である。
【図３】従来における光導波路型部品の製造装置の第２
ホルダと第３ホルダの重合部に隙間が生じた不良状態を
示す斜視図である。
ホルダと第３ホルダの重合部に隙間が生じた不良状態を
示す斜視図である。
４…第１ホルダ、５…第２ホルダ、６…第３ホルダ、７
…光ファイバ、７Ａ…光ファイバ、８…レーザヘッド、
９…光学系定盤、１０…自動ステージ、１１…保持用治
具、１５…アーム。
…光ファイバ、７Ａ…光ファイバ、８…レーザヘッド、
９…光学系定盤、１０…自動ステージ、１１…保持用治
具、１５…アーム。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斎藤 眞秀 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内
Claims (1)
- 【請求項１】 光学系定盤に動作可能に配置された自動
ステージと、この自動ステージの保持用治具に垂直に支
持され光線を伝送する光ファイバを保持する第１ホルダ
と、該保持用治具に垂直に支持されて第１ホルダの上端
面に縦列に連接重合され、伝送されてくる光線を中継す
る導波路を保持する第２ホルダと、この第２ホルダの上
端面に縦列に連接重合され光線を伝送する光ファイバを
保持する第３ホルダと、把持した該第３ホルダを第２ホ
ルダの上端面に圧接する動作可能なアームと、前記第１
ホルダ、第２ホルダ及び第３ホルダの各重合部をレーザ
溶接するレーザヘッドとを備え、該光学系定盤の上面に
該重合部の重合面を対向させることを特徴とする光導波
路型部品の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1225292A JPH05203833A (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 光導波路型部品の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1225292A JPH05203833A (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 光導波路型部品の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05203833A true JPH05203833A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=11800176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1225292A Pending JPH05203833A (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 光導波路型部品の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05203833A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08201650A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Ngk Insulators Ltd | 光基板の端面の平行度の調整装置 |
| EP1067417A1 (en) * | 1999-04-26 | 2001-01-10 | Corning Incorporated | Automated Optical Chip Holder in a Pigtailing System |
-
1992
- 1992-01-27 JP JP1225292A patent/JPH05203833A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08201650A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Ngk Insulators Ltd | 光基板の端面の平行度の調整装置 |
| EP1067417A1 (en) * | 1999-04-26 | 2001-01-10 | Corning Incorporated | Automated Optical Chip Holder in a Pigtailing System |
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