JPH05205695A - 多段多重電極及び質量分析装置 - Google Patents
多段多重電極及び質量分析装置Info
- Publication number
- JPH05205695A JPH05205695A JP4012921A JP1292192A JPH05205695A JP H05205695 A JPH05205695 A JP H05205695A JP 4012921 A JP4012921 A JP 4012921A JP 1292192 A JP1292192 A JP 1292192A JP H05205695 A JPH05205695 A JP H05205695A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrodes
- shaft
- stage
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
- H05H7/22—Details of linear accelerators, e.g. drift tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/12—Lenses electrostatic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/049—Focusing means
- H01J2237/0492—Lens systems
- H01J2237/04924—Lens systems electrostatic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多段多重電極の構造の簡略化を図りつつ、各
段のレンズ軸ずれひいては収差を極力少なくして精度を
高める。 【構成】 円筒ケース２内には計４本の電極支持用の軸
棒４が内挿される。軸棒４は荷電ビーム通路（レンズ中
心軸）の周りに等間隔で配置され、各軸４に第１段，第
２段，第３段の各多重電極レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃの電
極３Ａ，３Ｂ，３Ｃが直列配置状態で貫通支持される。
軸棒４は各多重電極レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃを仕切るシ
ールド円板７も貫通し、その両端が支持円板５に支持さ
れる。
段のレンズ軸ずれひいては収差を極力少なくして精度を
高める。 【構成】 円筒ケース２内には計４本の電極支持用の軸
棒４が内挿される。軸棒４は荷電ビーム通路（レンズ中
心軸）の周りに等間隔で配置され、各軸４に第１段，第
２段，第３段の各多重電極レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃの電
極３Ａ，３Ｂ，３Ｃが直列配置状態で貫通支持される。
軸棒４は各多重電極レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃを仕切るシ
ールド円板７も貫通し、その両端が支持円板５に支持さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、荷電ビームを収束する
レンズ系等に用いる多段多重電極に係り、例えば粒子線
加速器，質量分析器，イオンビーム分析器等に応用され
る。
レンズ系等に用いる多段多重電極に係り、例えば粒子線
加速器，質量分析器，イオンビーム分析器等に応用され
る。
【０００２】
【従来の技術】２重収束質量分析装置等においては、特
開昭５９−２１５６５０号公報等に開示されるように、
荷電粒子（イオンビーム）を収束させる手段として４重
電極系レンズが広く用いられているが、１段（１個）の
レンズでは十分な収束性が得られない場合、このレンズ
を２段，３段と直列に多段に並べて使用する場合があ
る。
開昭５９−２１５６５０号公報等に開示されるように、
荷電粒子（イオンビーム）を収束させる手段として４重
電極系レンズが広く用いられているが、１段（１個）の
レンズでは十分な収束性が得られない場合、このレンズ
を２段，３段と直列に多段に並べて使用する場合があ
る。
【０００３】図４は従来の多段多重電極系レンズの一例
を示す透視斜視図である。
を示す透視斜視図である。
【０００４】この従来例は３段４重電極の場合を示し、
円筒ケース２にそれぞれ独立した構成体よりなる第１段
の４重電極レンズ１Ａ，第２段の４重電極レンズ１Ｂ，
第３段の４重電極レンズ１Ｃが連ねて収納される。
円筒ケース２にそれぞれ独立した構成体よりなる第１段
の４重電極レンズ１Ａ，第２段の４重電極レンズ１Ｂ，
第３段の４重電極レンズ１Ｃが連ねて収納される。
【０００５】これらの多重電極系レンズは、各段とも荷
電ビームの通路の周りに４本のロッド状の電極３（第１
段の４本の電極３Ａ，第２段の４本の電極３Ｂ，第３段
の４本の電極３Ｃの総称を電極３とする）が９０°間隔
で平行配置され、各電極３の中心には軸方向に電極支持
用の軸４´が挿通してある。４重電極はその軸方向の両
端に円板５−１，５−２が対向配置され、この円板５−
１，５−２に各電極３の支持軸４´の両端が固着され
る。円板５にはビーム通過孔６が設けてある。
電ビームの通路の周りに４本のロッド状の電極３（第１
段の４本の電極３Ａ，第２段の４本の電極３Ｂ，第３段
の４本の電極３Ｃの総称を電極３とする）が９０°間隔
で平行配置され、各電極３の中心には軸方向に電極支持
用の軸４´が挿通してある。４重電極はその軸方向の両
端に円板５−１，５−２が対向配置され、この円板５−
１，５−２に各電極３の支持軸４´の両端が固着され
る。円板５にはビーム通過孔６が設けてある。
【０００６】なお、従来の多重電極レンズとしては、特
表昭５９−５００６４２号、特開平２−２５７５５８
号、特開平２−２７０２５６号公報等に開示されたもの
がある。
表昭５９−５００６４２号、特開平２−２５７５５８
号、特開平２−２７０２５６号公報等に開示されたもの
がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の多段多重電極系
のレンズは、前述したように、それぞれ独立した多重電
極を１段１段と組み合わせて直列に並べるが、この方式
によれば、次のような改善すべき点があった。
のレンズは、前述したように、それぞれ独立した多重電
極を１段１段と組み合わせて直列に並べるが、この方式
によれば、次のような改善すべき点があった。
【０００８】（１）多段にするには、レンズの軸ずれを
なくすため、各段の電極の中心軸をよく合わせて多重電
極を一直線上に並べて組み立てる必要があるが、各段の
電極の支持軸が別々に存在するため、電極同士の軸合わ
せ精度を出すのが難しい。なお、電極の軸合わせに誤差
が出ると、荷電ビームに対してレンズの軸ずれ収差が発
生し、理論予測通りの収束性が得られなくなる。
なくすため、各段の電極の中心軸をよく合わせて多重電
極を一直線上に並べて組み立てる必要があるが、各段の
電極の支持軸が別々に存在するため、電極同士の軸合わ
せ精度を出すのが難しい。なお、電極の軸合わせに誤差
が出ると、荷電ビームに対してレンズの軸ずれ収差が発
生し、理論予測通りの収束性が得られなくなる。
【０００９】（２）また、ｎ段の多重電極レンズには、
ｎ倍の部品点数が必要になり、組立に手間がかかると共
にコスト高になる。
ｎ倍の部品点数が必要になり、組立に手間がかかると共
にコスト高になる。
【００１０】本発明は以上の点に鑑みてなされ、その目
的は、簡単な構造にして精度の高い多段多重電極を提供
することにある。
的は、簡単な構造にして精度の高い多段多重電極を提供
することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、複数の多重電極を直列に並べて成る多段
多重電極において、直線上（直列）に並んだ各電極を支
持する軸を共通にすると共に、前記各電極がその軸より
電気的に絶縁されて独自の電圧が印加できる機能を与え
た。
成するために、複数の多重電極を直列に並べて成る多段
多重電極において、直線上（直列）に並んだ各電極を支
持する軸を共通にすると共に、前記各電極がその軸より
電気的に絶縁されて独自の電圧が印加できる機能を与え
た。
【００１２】
【作用】本発明は、上記構成をなすことにより、多段多
重電極系レンズの直列に並ぶ各段の電極を共通の支持軸
により一直線上に精度良く配列することができるので、
レンズの軸ずれひいてはそれに伴う収差を極力少なくす
る。
重電極系レンズの直列に並ぶ各段の電極を共通の支持軸
により一直線上に精度良く配列することができるので、
レンズの軸ずれひいてはそれに伴う収差を極力少なくす
る。
【００１３】また、共通の支持軸としたため、部品点数
も少なくなり、組立も容易になる。
も少なくなり、組立も容易になる。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例を図１〜図３により説明す
る。
る。
【００１５】図１は本発明の一実施例に係る多段多重電
極（一例として、３段４重電極を例示する）で、その
（ａ）が透視側面図、（ｂ）が（ａ）のＡ方向矢視図
（正面図）を示す。なお、図中、図３の従来例で説明し
た符号と同一のものは同一或いは共通する要素を示す。
極（一例として、３段４重電極を例示する）で、その
（ａ）が透視側面図、（ｂ）が（ａ）のＡ方向矢視図
（正面図）を示す。なお、図中、図３の従来例で説明し
た符号と同一のものは同一或いは共通する要素を示す。
【００１６】図１において、円筒ケース２の両端にはビ
ーム通過孔６付きの電極支持用の円板５−１，５−２が
固定配置され、円筒ケース２の内部に４本の電極支持用
の軸棒（以下、支持軸とする）４が荷電ビームの通路の
周りに９０°間隔の配置状態で挿通され、支持軸４はそ
の両端が各円板５−１，５−２により保持される。円板
５−１，５−２への支持軸４への固定は、ねじ等の固着
手段や圧入等を介して可能である。
ーム通過孔６付きの電極支持用の円板５−１，５−２が
固定配置され、円筒ケース２の内部に４本の電極支持用
の軸棒（以下、支持軸とする）４が荷電ビームの通路の
周りに９０°間隔の配置状態で挿通され、支持軸４はそ
の両端が各円板５−１，５−２により保持される。円板
５−１，５−２への支持軸４への固定は、ねじ等の固着
手段や圧入等を介して可能である。
【００１７】各支持軸４は、第１段，第２段，第３段の
４重電極系レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃの直列配置の電極３
Ａ，３Ｂ，３Ｃの中心を一通しで貫通して、これらの電
極３Ａ，３Ｂ，３Ｃを支持する共通の支持軸４としての
役割をなす。電極３Ａ，電極３Ｂ，電極３Ｃはそれぞれ
４本づつよりなる。
４重電極系レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃの直列配置の電極３
Ａ，３Ｂ，３Ｃの中心を一通しで貫通して、これらの電
極３Ａ，３Ｂ，３Ｃを支持する共通の支持軸４としての
役割をなす。電極３Ａ，電極３Ｂ，電極３Ｃはそれぞれ
４本づつよりなる。
【００１８】また、円筒ケース２内には、各段の４重電
極レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃを仕切るシールド円板７，７
が配設される。このシールド円板７には荷電ビーム通過
孔１０（図２に示す）が設けてある。各支持軸４は電極
３Ａ，３Ｂ，３Ｃの他にシールド円板７も貫通する。シ
ールド円板７は補助的に散乱粒子を除去したり、端縁電
界をシールドする役割をなす。
極レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃを仕切るシールド円板７，７
が配設される。このシールド円板７には荷電ビーム通過
孔１０（図２に示す）が設けてある。各支持軸４は電極
３Ａ，３Ｂ，３Ｃの他にシールド円板７も貫通する。シ
ールド円板７は補助的に散乱粒子を除去したり、端縁電
界をシールドする役割をなす。
【００１９】本実施例では、支持軸４を絶縁材（例えば
アルミナ製）で構成することで、直列配置の各段の電極
３Ａ，３Ｂ，３Ｃが電気的に絶縁され、各電極に独自の
電圧が印加される。
アルミナ製）で構成することで、直列配置の各段の電極
３Ａ，３Ｂ，３Ｃが電気的に絶縁され、各電極に独自の
電圧が印加される。
【００２０】上記構成をなす多段多重電極は、例えば次
のようにして組立られる。
のようにして組立られる。
【００２１】まず、各段の４重電極レンズの電極３Ａ，
３Ｂ，３Ｃ及びシールド円板７を共通の支持軸４に貫通
装着しておき、これを円筒ケース２の一端側から内挿
し、その後、各支持軸４の端部を円板５の取付穴に嵌合
固着しつつ円板５−１，５−２を円筒ケース２の両端に
取付ける。
３Ｂ，３Ｃ及びシールド円板７を共通の支持軸４に貫通
装着しておき、これを円筒ケース２の一端側から内挿
し、その後、各支持軸４の端部を円板５の取付穴に嵌合
固着しつつ円板５−１，５−２を円筒ケース２の両端に
取付ける。
【００２２】本実施例によれば、多段多重電極系レンズ
の各段の電極３Ａ，３Ｂ，３Ｃが共通の支持軸４上に直
列に軸ずれが生じることなく一直線上に配列される。そ
の結果、各段のレンズの軸ずれも極力少なくし収差の発
生が少なくなる。
の各段の電極３Ａ，３Ｂ，３Ｃが共通の支持軸４上に直
列に軸ずれが生じることなく一直線上に配列される。そ
の結果、各段のレンズの軸ずれも極力少なくし収差の発
生が少なくなる。
【００２３】また、共通の支持軸４としたため、多段多
重電極系レンズの部品点数を少なくでき、構造簡単にし
て装置全体の組立も容易になる。例えば図３に示した従
来の方式と本実施例とを比較した場合、部品点数は３１
点と２１点で、本実施例の方が１０点部品を少なくする
ことができる。
重電極系レンズの部品点数を少なくでき、構造簡単にし
て装置全体の組立も容易になる。例えば図３に示した従
来の方式と本実施例とを比較した場合、部品点数は３１
点と２１点で、本実施例の方が１０点部品を少なくする
ことができる。
【００２４】図２は本発明の第２実施例を示す部分断面
図である。
図である。
【００２５】本実施例も３段４重電極系レンズを示す。
本実施例も第１実施例と同様に共通の支持軸４により各
段の多重電極レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃの各電極３Ａ，３
Ｂ，３Ｃを貫通支持するが、支持軸４としては金属棒
（導電部材）を用い、この支持軸４に電気絶縁筒８を介
して各電極３Ａ，３Ｂ，３Ｃを挿着したことにある。支
持軸４の両端は円板５−１，５−２の位置決め穴に嵌合
してねじ９により固着してある。
本実施例も第１実施例と同様に共通の支持軸４により各
段の多重電極レンズ１Ａ，１Ｂ，１Ｃの各電極３Ａ，３
Ｂ，３Ｃを貫通支持するが、支持軸４としては金属棒
（導電部材）を用い、この支持軸４に電気絶縁筒８を介
して各電極３Ａ，３Ｂ，３Ｃを挿着したことにある。支
持軸４の両端は円板５−１，５−２の位置決め穴に嵌合
してねじ９により固着してある。
【００２６】本実施例においても、第１実施例同様の効
果を奏する。
果を奏する。
【００２７】なお、上記各実施例では、３段４重電極の
場合を例示したが、段数は任意でよく、また６重極，８
重極…と多重電極も任意の数のものに適用できる。
場合を例示したが、段数は任意でよく、また６重極，８
重極…と多重電極も任意の数のものに適用できる。
【００２８】図３は上記実施例の多段多重電極をタンデ
ム形質量分析装置に収束用の静電レンズとして適用した
応用例である。
ム形質量分析装置に収束用の静電レンズとして適用した
応用例である。
【００２９】図３において、第１の２重収束質量分析計
３０−１は、イオン源３１、イオン源スリット３２、静
電４重電極レンズ３３、扇形磁場３４、扇形電場３５、
コレクタスリット３６をイオンビーム通路に順に配列し
て成り、第２の２重収束質量分析計３０−２は、ソース
スリット３９、静電４重電極レンズ４０、扇形磁場４
１、扇形磁場４２、検出スリット４３、イオン検出器４
４をイオンビーム通路に順に配列して成る。
３０−１は、イオン源３１、イオン源スリット３２、静
電４重電極レンズ３３、扇形磁場３４、扇形電場３５、
コレクタスリット３６をイオンビーム通路に順に配列し
て成り、第２の２重収束質量分析計３０−２は、ソース
スリット３９、静電４重電極レンズ４０、扇形磁場４
１、扇形磁場４２、検出スリット４３、イオン検出器４
４をイオンビーム通路に順に配列して成る。
【００３０】第１，第２の質量分析計３０−１及び３０
−２は、インターフェース要素たる静電４重電極３７及
び衝突室３８を介して光学的に直列に接続される。イオ
ン源３１と一様磁場３４との間及びソーススリット３９
と一様磁場４１との間に配置される４重電極レンズ３
３，４０は、軌道平面と垂直方向に収束作用を持ち、イ
ンターフェースにおける４重電極レンズ３７は、軌道平
面と水平方向に収束作用を持つ。
−２は、インターフェース要素たる静電４重電極３７及
び衝突室３８を介して光学的に直列に接続される。イオ
ン源３１と一様磁場３４との間及びソーススリット３９
と一様磁場４１との間に配置される４重電極レンズ３
３，４０は、軌道平面と垂直方向に収束作用を持ち、イ
ンターフェースにおける４重電極レンズ３７は、軌道平
面と水平方向に収束作用を持つ。
【００３１】このようなタンデム形質量分析装置は、第
１段の２重収束質量分析計３０−１で特定の親イオンを
選択した後、ガス衝突室３８で解離させ発生した娘イオ
ンを、第２段の２重収束質量分析計３０−２でより高い
分解能で分析するものとして評価されている。
１段の２重収束質量分析計３０−１で特定の親イオンを
選択した後、ガス衝突室３８で解離させ発生した娘イオ
ンを、第２段の２重収束質量分析計３０−２でより高い
分解能で分析するものとして評価されている。
【００３２】そして、本実施例のように、４重電極レン
ズ３３，３７，４０として多段の４重電極レンズを用い
る場合に、前述の第１、第２実施例のように多段に直列
配置された電極を共通の軸により支持する多段多重電極
を用いることで、レンズ系の軸ずれ収差を少なくして、
高精度の質量分析装置を実現できる。
ズ３３，３７，４０として多段の４重電極レンズを用い
る場合に、前述の第１、第２実施例のように多段に直列
配置された電極を共通の軸により支持する多段多重電極
を用いることで、レンズ系の軸ずれ収差を少なくして、
高精度の質量分析装置を実現できる。
【００３３】なお、タンデム形以外の単一質量分析装置
であっても、イオンビーム通路に静電４重電極レンズを
組み込む場合、例えばイオン源と一様磁場との間及び磁
場と電場との間にそれぞれ４重電極レンズを組み込み場
合において、少なくともその一つを上記の共通の支持軸
使用の多段多重電極を用いることができ、その他の荷電
制御機器にも本発明を適用できる。
であっても、イオンビーム通路に静電４重電極レンズを
組み込む場合、例えばイオン源と一様磁場との間及び磁
場と電場との間にそれぞれ４重電極レンズを組み込み場
合において、少なくともその一つを上記の共通の支持軸
使用の多段多重電極を用いることができ、その他の荷電
制御機器にも本発明を適用できる。
【００３４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、多段多重
電極の直列配置の各段の電極を共通の軸棒で支持する方
式を採用することにより、各段の多重電極系レンズの中
心軸のずれを極力少なくして、レンズ精度を高め軸ずれ
に起因する収差を極力少なくすることができる。また、
多段多重電極における装置全体の部品点数を従来より大
幅に削減して、組立性の向上，生産コストの低減を図る
ことができる。
電極の直列配置の各段の電極を共通の軸棒で支持する方
式を採用することにより、各段の多重電極系レンズの中
心軸のずれを極力少なくして、レンズ精度を高め軸ずれ
に起因する収差を極力少なくすることができる。また、
多段多重電極における装置全体の部品点数を従来より大
幅に削減して、組立性の向上，生産コストの低減を図る
ことができる。
【００３５】さらに、この多段多重電極を質量分析装置
等に適用することで、質量分析等の応用機器の精度を高
めることができる。
等に適用することで、質量分析等の応用機器の精度を高
めることができる。
【図１】本発明の第１実施例に係る透視斜視図及び正面
図（Ａ方向矢視図）
図（Ａ方向矢視図）
【図２】本発明の第２実施例を示す部分断面図
【図３】上記実施例の応用例（第３実施例）たるタンデ
ム形質量分析装置を示す説明図
ム形質量分析装置を示す説明図
【図４】従来の多段多重電極の一例を示す透視斜視図
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…多段の各多重電極、２…円筒ケー
ス、３Ａ，３Ｂ，３Ｃ…電極、４…支持軸（軸棒）、５
…支持円板、６…ビーム通過孔、７…シールド円板、３
０−１，３０−２…第１，第２の質量分析装置、３１…
イオン源、３３，３７，４０…多段多重電極系レンズ
（静電４重電極レンズ）、３４，４１…磁場、３５，４
２…電場、３６…コレクタスリット、３８…衝突室、３
９…ソーススリット、４３…検出スリット、４４…イオ
ン検出器。
ス、３Ａ，３Ｂ，３Ｃ…電極、４…支持軸（軸棒）、５
…支持円板、６…ビーム通過孔、７…シールド円板、３
０−１，３０−２…第１，第２の質量分析装置、３１…
イオン源、３３，３７，４０…多段多重電極系レンズ
（静電４重電極レンズ）、３４，４１…磁場、３５，４
２…電場、３６…コレクタスリット、３８…衝突室、３
９…ソーススリット、４３…検出スリット、４４…イオ
ン検出器。
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の多重電極を直列に並べて成る多段
多重電極において、直線上（直列）に並んだ各電極を支
持する軸を共通にすると共に、前記各電極がその軸より
電気的に絶縁されて独自の電圧が印加できる機能を有す
ることを特徴とする多段多重電極。 - 【請求項２】 請求項１において、前記各電極を支持す
る共通の軸は、絶縁材により成形された軸棒で、この軸
棒を直線上に並んだ前記各電極に貫通させたことを特徴
とする多段多重電極。 - 【請求項３】 請求項１において、前記各電極を支持す
る共通の軸は、金属により成形された軸棒で、この軸棒
を直線上に並んだ前記各電極に絶縁材を介して貫通させ
たことを特徴とする多段多重電極。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれか１項
において、前記多段の多重電極は円筒ケースに収納さ
れ、且つ前記円筒ケースの内部には前記各多重電極を仕
切るシールド円板が前記電極の支持軸を貫通させて配置
されて成ることを特徴とする多段多重電極。 - 【請求項５】 イオン源、静電多重電極レンズ、磁場、
電場、イオン検出器等を備えた質量分析装置において、 イオンビーム通路に配置される前記静電多重電極レンズ
の少なくとも一つが複数の多重電極レンズを直列に並べ
てその直列に並んだ各電極を共通の軸により支持する多
段構造の多重電極で構成され、この共通の軸により支持
される前記各電極がその軸と電気的に絶縁されて独自の
電圧が印加できる機能を有することを特徴とする質量分
析装置。 - 【請求項６】 イオン源、多重電極レンズ、磁場、電
場、コレクタスリットを有する第１の質量分析計と、ソ
ーススリット、多重電極レンズ、磁場、電場、検出スリ
ット、イオン検出器を有する第２の質量分析系とをイン
タフェース要素たる多重電極レンズ及び衝突室を介して
光学的に直列に接続したタンデム形質量分析装置におい
て、 前記第１，第２の質量分析計及びインタフェースに用い
る多重電極レンズの少なくとも一つが複数の多重電極レ
ンズを直列に並べてその直列に並んだ各電極を共通の軸
により支持する多段構造の多重電極で構成され、この共
通の軸により支持される前記各電極がその軸と電気的に
絶縁されて独自の電圧が印加できる機能を有することを
特徴とするタンデム形質量分析装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4012921A JPH05205695A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 多段多重電極及び質量分析装置 |
| US08/009,006 US5291016A (en) | 1992-01-28 | 1993-01-26 | Electrostatic lens arrangement of multi-stages of multi-pole electrodes and mass spectrometer using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4012921A JPH05205695A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 多段多重電極及び質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05205695A true JPH05205695A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=11818802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4012921A Pending JPH05205695A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 多段多重電極及び質量分析装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5291016A (ja) |
| JP (1) | JPH05205695A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007095702A (ja) * | 1995-08-11 | 2007-04-12 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
| JP2007128694A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
| JPWO2022049825A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | ||
| JPWO2024135285A1 (ja) * | 2022-12-20 | 2024-06-27 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19520319A1 (de) * | 1995-06-02 | 1996-12-12 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung für die Einführung von Ionen in Quadrupol-Ionenfallen |
| EP0904145B1 (en) * | 1996-05-14 | 2005-08-03 | Analytica Of Branford, Inc. | Ion transfer from multipole ion guides into multipole ion guides and ion traps |
| US6417511B1 (en) * | 2000-07-17 | 2002-07-09 | Agilent Technologies, Inc. | Ring pole ion guide apparatus, systems and method |
| JP3914750B2 (ja) * | 2001-11-20 | 2007-05-16 | 日本電子株式会社 | 収差補正装置を備えた荷電粒子線装置 |
| EP2434522B8 (en) * | 2002-07-16 | 2014-07-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-charged beam lens, charged-particle beam exposure apparatus using the same, and device manufacturing method |
| US6936815B2 (en) * | 2003-06-05 | 2005-08-30 | Thermo Finnigan Llc | Integrated shield in multipole rod assemblies for mass spectrometers |
| WO2008090600A1 (ja) * | 2007-01-23 | 2008-07-31 | Shimadzu Corporation | 質量分析装置 |
| AU2010307046B2 (en) | 2009-10-12 | 2016-04-28 | Perkinelmer U.S. Llc | Assemblies for ion and electron sources and methods of use |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3376449A (en) * | 1967-01-20 | 1968-04-02 | Ion Physics Corp | Electrostatic quadrapole lens assembly with transverse intermediate termination elements of resistive material joining together the quadrapole electrodes for preventing beam aberration |
| FR2076567A5 (ja) * | 1970-01-20 | 1971-10-15 | Commissariat Energie Atomique | |
| JPS59500642A (ja) * | 1982-01-15 | 1984-04-12 | プ−マライセン ツトキムスライトス オユ | 質量分析法 |
| JPS59215650A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-05 | Jeol Ltd | 質量分析装置 |
| JPH02257558A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-18 | Shimadzu Corp | 多重極電極 |
| JPH0812773B2 (ja) * | 1989-04-11 | 1996-02-07 | 日本電子株式会社 | 同時検出型質量分析装置 |
-
1992
- 1992-01-28 JP JP4012921A patent/JPH05205695A/ja active Pending
-
1993
- 1993-01-26 US US08/009,006 patent/US5291016A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007095702A (ja) * | 1995-08-11 | 2007-04-12 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
| JP2009076466A (ja) * | 1995-08-11 | 2009-04-09 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
| JP2007128694A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
| JPWO2022049825A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | ||
| WO2022049825A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 株式会社島津製作所 | イオン分析装置 |
| CN116097394A (zh) * | 2020-09-04 | 2023-05-09 | 株式会社岛津制作所 | 离子分析装置 |
| JPWO2024135285A1 (ja) * | 2022-12-20 | 2024-06-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5291016A (en) | 1994-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Badman et al. | A parallel miniature cylindrical ion trap array | |
| US5955730A (en) | Reflection time-of-flight mass spectrometer | |
| DE69220943T2 (de) | Tandem flugzeit massenspektrometer | |
| US4700069A (en) | Mass spectrometer of a quadrupole electrode type comprising a divided electrode | |
| EP0490626B1 (en) | Mass spectrometer with electrostatic energy filter | |
| JPH05205695A (ja) | 多段多重電極及び質量分析装置 | |
| CA2101330C (en) | Isotopic-ratio plasma source mass spectrometer | |
| US4536652A (en) | Hybrid mass spectrometer | |
| US20060097147A1 (en) | Ion optics for mass spectrometers | |
| US3939344A (en) | Prefilter-ionizer apparatus for use with quadrupole type secondary-ion mass spectrometers | |
| US3280326A (en) | Mass filter with sheet electrodes on each side of the analyzer rod that intersect on the ion beam axis | |
| Rogers et al. | An electrospray/inductively coupled plasma dual-source time-of-flight mass spectrometer for rapid metallomic and speciation analysis: instrument design | |
| US4360760A (en) | Electrostatic quadrupole array for focusing parallel beams of charged particles | |
| JP3457103B2 (ja) | 四重極型質量分析計 | |
| JP2870910B2 (ja) | 可変分散質量分析計 | |
| EP2822021B1 (en) | Reduction of cross-talk between RF components in a mass spectrometer | |
| JP3395458B2 (ja) | Ｍｓ／ｍｓ型四重極質量分析装置 | |
| US11756780B2 (en) | Multipole assembly configurations for reduced capacitive coupling | |
| US7470900B2 (en) | Compensating for field imperfections in linear ion processing apparatus | |
| US9536723B1 (en) | Thin field terminator for linear quadrupole ion guides, and related systems and methods | |
| JP2010118308A (ja) | イオンガイド及びそれを備えた質量分析装置 | |
| JPS59230246A (ja) | 四重極形質量分析装置 | |
| Yavor | Progress in ion optics for mass-separator design | |
| JP3096375B2 (ja) | ハイブリッドタンデム質量分析装置 | |
| JPS62202449A (ja) | ４極静電レンズ |