JPH05206193A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH05206193A JPH05206193A JP4013378A JP1337892A JPH05206193A JP H05206193 A JPH05206193 A JP H05206193A JP 4013378 A JP4013378 A JP 4013378A JP 1337892 A JP1337892 A JP 1337892A JP H05206193 A JPH05206193 A JP H05206193A
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- wire
- thin plate
- insulating thin
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/50—Bond wires
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10W72/5522—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising gold [Au]
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体素子のボンディングパッドと同じ位置
に穴を開けた絶縁性薄板を該半導体素子上に装着し、該
穴を介してボンディングすることにより、ボンディング
ワイヤーが半導体素子に接触あるいは変形する不具合を
生じさせずにパッケージを薄型化する。 【構成】 テフロン製の絶縁性薄板1は、半導体素子2
のボンディングパッドと同じ位置に穴を有している。半
導体素子2上に絶縁性薄板1を装着した後Au線ワイヤ
ー4にて半導体素子2とリードフレーム3とをボンディ
ングする。その後モールド樹脂5にてモールドする。A
u線ワイヤー4はモールド時に変形しても半導体素子2
に接触することはない。また絶縁性薄板1を介している
ので最短距離でワイヤーボンディングでき、薄型化でき
る。
に穴を開けた絶縁性薄板を該半導体素子上に装着し、該
穴を介してボンディングすることにより、ボンディング
ワイヤーが半導体素子に接触あるいは変形する不具合を
生じさせずにパッケージを薄型化する。 【構成】 テフロン製の絶縁性薄板1は、半導体素子2
のボンディングパッドと同じ位置に穴を有している。半
導体素子2上に絶縁性薄板1を装着した後Au線ワイヤ
ー4にて半導体素子2とリードフレーム3とをボンディ
ングする。その後モールド樹脂5にてモールドする。A
u線ワイヤー4はモールド時に変形しても半導体素子2
に接触することはない。また絶縁性薄板1を介している
ので最短距離でワイヤーボンディングでき、薄型化でき
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置に関し、特
に半導体素子表面に絶縁性薄板をはさみ込んだモールド
パッケージに関する。
に半導体素子表面に絶縁性薄板をはさみ込んだモールド
パッケージに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の半導体装置のパッケージ
は、プラスチックのモールド樹脂等の非導電性材を成形
することにより、半導体素子をとり囲む構造となってい
る。
は、プラスチックのモールド樹脂等の非導電性材を成形
することにより、半導体素子をとり囲む構造となってい
る。
【0003】すなわち、半導体素子は、リードフレーム
のアイランド部にマウントされた後、リードフレームの
内部リード部と、半導体素子の外部との電気的接続をと
るためのアルミパッドとを、Au線やAl線といった導
電性ワイヤーで接続し、モールド樹脂等の非導電性材で
封止、成形することでパッケージとしている。
のアイランド部にマウントされた後、リードフレームの
内部リード部と、半導体素子の外部との電気的接続をと
るためのアルミパッドとを、Au線やAl線といった導
電性ワイヤーで接続し、モールド樹脂等の非導電性材で
封止、成形することでパッケージとしている。
【0004】従って、半導体素子表面と、モールド樹脂
との間には何も挿入されていないのが通常である。
との間には何も挿入されていないのが通常である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】半導体素子(ペレッ
ト)上のアルミパッドと、リードフレームとの電気的接
続は、通常Au線、Al線等の導電性ワイヤーによって
接続することで行なっている。
ト)上のアルミパッドと、リードフレームとの電気的接
続は、通常Au線、Al線等の導電性ワイヤーによって
接続することで行なっている。
【0006】この際、導電性ワイヤーの長さ、太さ、材
質や半導体チップのアルミパッドと、リードフレームの
内部リードとの位置関係によっては、ワイヤーがペレッ
トに接触したり、封入時に張力がかかり切断したり、樹
脂の封入方向にワイヤーが流れたりする問題点がある。
質や半導体チップのアルミパッドと、リードフレームの
内部リードとの位置関係によっては、ワイヤーがペレッ
トに接触したり、封入時に張力がかかり切断したり、樹
脂の封入方向にワイヤーが流れたりする問題点がある。
【0007】さらに、ワイヤーの上述した不具合を避け
るために、ワイヤーにペレットからの一定の高さが必要
で、パッケージの薄型化には不利となる問題点があっ
た。
るために、ワイヤーにペレットからの一定の高さが必要
で、パッケージの薄型化には不利となる問題点があっ
た。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置のパ
ッケージでは、半導体素子をリードフレームにマウント
後、半導体素子表面に絶縁性薄板を適当な接着材で装着
する。
ッケージでは、半導体素子をリードフレームにマウント
後、半導体素子表面に絶縁性薄板を適当な接着材で装着
する。
【0009】この絶縁性薄板には、半導体素子のアルミ
パッド部と同じ位置に、アルミパッド(約100μm
□)より、数μm 大きい穴があいており、この穴を通し
て導電性のワイヤーで半導体素子のアルミパッドとリー
ドフレームの内部リードとを接続させた構造となってい
る。
パッド部と同じ位置に、アルミパッド(約100μm
□)より、数μm 大きい穴があいており、この穴を通し
て導電性のワイヤーで半導体素子のアルミパッドとリー
ドフレームの内部リードとを接続させた構造となってい
る。
【0010】この構造の為、導電性ワイヤーがペレット
に接触することはなく、ワイヤーの高さも低くすること
が可能である。
に接触することはなく、ワイヤーの高さも低くすること
が可能である。
【0011】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【0012】図1は、本発明の実施例1の縦断面図であ
る。また、図2(a)は、本実施例で用いた絶縁性薄板
の上方より見た図である。絶縁性薄板の厚さは約200
μmであり、材質はテフロンである。従って、耐熱性、
耐薬品性に優れている。
る。また、図2(a)は、本実施例で用いた絶縁性薄板
の上方より見た図である。絶縁性薄板の厚さは約200
μmであり、材質はテフロンである。従って、耐熱性、
耐薬品性に優れている。
【0013】半導体素子のアルミパッド位置に合わせて
絶縁性薄板1には120μm 四方の四角い穴があけられ
ており、この穴を通して半導体素子2のアルミパッド
と、リードフレーム3の内部リードとを、30μm φの
Au線ワイヤー4で接続する。
絶縁性薄板1には120μm 四方の四角い穴があけられ
ており、この穴を通して半導体素子2のアルミパッド
と、リードフレーム3の内部リードとを、30μm φの
Au線ワイヤー4で接続する。
【0014】絶縁性薄板1の穴の周囲は20μm 程の導
電性の縁取り7があり、本実施例ではCuが蒸着されて
いる(図2(b))。これによってワイヤーが穴の縁で
こすれて切断されにくい構造となっている。
電性の縁取り7があり、本実施例ではCuが蒸着されて
いる(図2(b))。これによってワイヤーが穴の縁で
こすれて切断されにくい構造となっている。
【0015】図3は、本発明の実施例2で用いた絶縁性
薄板の上方より見た図である。
薄板の上方より見た図である。
【0016】ワイヤーがあたる穴の部分はすべてテフロ
ンでできており、それ以外の部分は、導電性薄板8でで
きている。
ンでできており、それ以外の部分は、導電性薄板8でで
きている。
【0017】導電性薄板としては、Cu板を使用してい
る。
る。
【0018】本実施例では、導電性薄板8が外部からの
電界及び磁界を緩和する効果を有する。
電界及び磁界を緩和する効果を有する。
【0019】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明は半導体素子
の表面に半導体素子のアルミパッドと同じ位置に穴を形
成させた絶縁性薄板を装着し、上述した穴を通して半導
体素子のアルミパッドとリードフレームとの電気的接続
をとる構造としたのでワイヤーがペレットに接続したり
せず、また、ワイヤーを最短距離で接続できるため、樹
脂封入時にワイヤーが流れるといった不具合が起こりに
くい。
の表面に半導体素子のアルミパッドと同じ位置に穴を形
成させた絶縁性薄板を装着し、上述した穴を通して半導
体素子のアルミパッドとリードフレームとの電気的接続
をとる構造としたのでワイヤーがペレットに接続したり
せず、また、ワイヤーを最短距離で接続できるため、樹
脂封入時にワイヤーが流れるといった不具合が起こりに
くい。
【0020】さらにワイヤーのペレットからの高さを低
くすることができ、パッケージの薄型化にも有利となる
といった効果を有する。
くすることができ、パッケージの薄型化にも有利となる
といった効果を有する。
【図1】本発明の実施例1の縦断面図である。
【図2】(a)は本発明の実施例1で用いた絶縁性薄板
の上方より見た図である。(b)は本発明の絶縁性薄板
のボンディング用穴部分の拡大図である。
の上方より見た図である。(b)は本発明の絶縁性薄板
のボンディング用穴部分の拡大図である。
【図3】本発明の実施例2で用いた絶縁性薄板の上方よ
り見た図である。
り見た図である。
1 絶縁性薄板 2 半導体素子(チップ) 3 リードフレーム 4 Au線ワイヤー 5 モールド樹脂 6 ボンディング用穴 7 導電性(Cu)の縁取り 8 導電性薄板
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体装置のモールドパッケージにおい
て、半導体素子の表面に半導体素子のアルミパッドと同
じ位置に穴を形成させた絶縁性薄板を装着し、上述した
穴を通して半導体素子のアルミパッドとリードフレーム
とを電気的に接続することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4013378A JPH05206193A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4013378A JPH05206193A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05206193A true JPH05206193A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=11831437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4013378A Withdrawn JPH05206193A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05206193A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100483459B1 (ko) * | 1998-08-14 | 2005-07-07 | 삼성전자주식회사 | Fbga소자 |
| US7739118B2 (en) | 2004-06-01 | 2010-06-15 | Nec Corporation | Information transmission system and information transmission method |
-
1992
- 1992-01-28 JP JP4013378A patent/JPH05206193A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100483459B1 (ko) * | 1998-08-14 | 2005-07-07 | 삼성전자주식회사 | Fbga소자 |
| US7739118B2 (en) | 2004-06-01 | 2010-06-15 | Nec Corporation | Information transmission system and information transmission method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |