JPH05206533A - 圧電素子の使用方法 - Google Patents
圧電素子の使用方法Info
- Publication number
- JPH05206533A JPH05206533A JP4014830A JP1483092A JPH05206533A JP H05206533 A JPH05206533 A JP H05206533A JP 4014830 A JP4014830 A JP 4014830A JP 1483092 A JP1483092 A JP 1483092A JP H05206533 A JPH05206533 A JP H05206533A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- temperature
- voltage
- polarization
- piezoelectric plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】電圧印加時の圧電素子の変位量を増大させる。
【構成】圧電板と圧電板の表裏両面に形成された一対の
電極とからなる圧電素子の使用方法であって、圧電板の
残留分極が低下し始める温度以上で圧電板のキュリー温
度未満の温度範囲に制御するとともに、一対の電極に圧
電板の抗電圧以上の電圧を印加する。残留分極が低下す
るとともに、電圧印加時には残留分極していなかった結
晶が再度分極し、かつ熱の影響により大きな分極が得ら
れるので、変位量が増大する。
電極とからなる圧電素子の使用方法であって、圧電板の
残留分極が低下し始める温度以上で圧電板のキュリー温
度未満の温度範囲に制御するとともに、一対の電極に圧
電板の抗電圧以上の電圧を印加する。残留分極が低下す
るとともに、電圧印加時には残留分極していなかった結
晶が再度分極し、かつ熱の影響により大きな分極が得ら
れるので、変位量が増大する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電アクチュエータと
して利用される圧電素子の使用方法に関する。
して利用される圧電素子の使用方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電磁力を利用したアクチュエータ
に代わって、圧電特性を利用した圧電アクチュエータが
利用されている。例えばＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系
セラミックス（ＰＺＴ）は優れた圧電特性を示し、圧電
アクチュエータとして多用されている。
に代わって、圧電特性を利用した圧電アクチュエータが
利用されている。例えばＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系
セラミックス（ＰＺＴ）は優れた圧電特性を示し、圧電
アクチュエータとして多用されている。
【０００３】ところで、なるべく低い印加電圧でＰＺＴ
などの圧電材料の圧電特性を最大に引き出すためには、
圧電材料から薄い板状の圧電板を形成し、その表裏両面
に電圧を印加して用いることが必要である。しかし薄い
板状では変位量が極めて小さい。そこで圧電板の表裏両
面に銀ペーストなどから電極を形成して圧電素子とし、
この圧電素子を電極板と交互に複数枚積層した圧電積層
体として、それぞれの圧電素子の変位の合計で所定の変
位量を得ている。
などの圧電材料の圧電特性を最大に引き出すためには、
圧電材料から薄い板状の圧電板を形成し、その表裏両面
に電圧を印加して用いることが必要である。しかし薄い
板状では変位量が極めて小さい。そこで圧電板の表裏両
面に銀ペーストなどから電極を形成して圧電素子とし、
この圧電素子を電極板と交互に複数枚積層した圧電積層
体として、それぞれの圧電素子の変位の合計で所定の変
位量を得ている。
【０００４】なお、圧電素子の圧電特性の尺度として、
電圧１Ｖ当たりの変位量に相当する圧電定数（以下ｄ定
数という）が代表的に用いられている。そしてこのｄ定
数は、図１に示すように温度が上昇するにつれて徐々に
大きくなるが、キュリー温度近傍で大幅に低下すること
が知られている。そのため従来はキュリー温度よりもか
なり低い温度で使用されるのが常識であり、むしろ熱膨
張差によるクラックの発生などを防止するために冷却し
ながら使用する方法まで提案されている。
電圧１Ｖ当たりの変位量に相当する圧電定数（以下ｄ定
数という）が代表的に用いられている。そしてこのｄ定
数は、図１に示すように温度が上昇するにつれて徐々に
大きくなるが、キュリー温度近傍で大幅に低下すること
が知られている。そのため従来はキュリー温度よりもか
なり低い温度で使用されるのが常識であり、むしろ熱膨
張差によるクラックの発生などを防止するために冷却し
ながら使用する方法まで提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来の圧電素
子では、電圧印加時の変位量が小さいという不具合があ
る。すなわち圧電素子が複数個積層されてなる積層型圧
電アクチュエータであっても、同一長さの電磁アクチュ
エータなどに比べて変位量が小さく、油圧機構やリンク
機構を利用した機械的な変位拡大機構を利用せざるを得
なかった。したがって部品点数が増大するとともに配置
スペースも大きくなり、使用するためのコストの上昇を
招いていた。
子では、電圧印加時の変位量が小さいという不具合があ
る。すなわち圧電素子が複数個積層されてなる積層型圧
電アクチュエータであっても、同一長さの電磁アクチュ
エータなどに比べて変位量が小さく、油圧機構やリンク
機構を利用した機械的な変位拡大機構を利用せざるを得
なかった。したがって部品点数が増大するとともに配置
スペースも大きくなり、使用するためのコストの上昇を
招いていた。
【０００６】このように圧電素子の変位量が小さい理由
は、以下のように説明される。すなわち、圧電材料の変
位量は電圧印加時の分極の程度に依存し、分極が大きい
ほど変位量が大きくなる。ところで圧電材料の電界と分
極の程度との関係は、図４に示すようなヒステリシス曲
線を描く。図４からわかるように、電界がゼロとなって
も分極はゼロとならず一定の値を示している。これを残
留分極といい図４のｂ点で示される。一般の積層型圧電
アクチュエータでは、それぞれの圧電素子は分極処理さ
れ残留分極を保持した状態で市販されている。したがっ
て使用時に例えば正の電圧を印加すると、分極の最大値
は図４のａ点となり、結局電圧印加時にはａとｂの分極
の差に相当する変位量しか得られないこととなる。
は、以下のように説明される。すなわち、圧電材料の変
位量は電圧印加時の分極の程度に依存し、分極が大きい
ほど変位量が大きくなる。ところで圧電材料の電界と分
極の程度との関係は、図４に示すようなヒステリシス曲
線を描く。図４からわかるように、電界がゼロとなって
も分極はゼロとならず一定の値を示している。これを残
留分極といい図４のｂ点で示される。一般の積層型圧電
アクチュエータでは、それぞれの圧電素子は分極処理さ
れ残留分極を保持した状態で市販されている。したがっ
て使用時に例えば正の電圧を印加すると、分極の最大値
は図４のａ点となり、結局電圧印加時にはａとｂの分極
の差に相当する変位量しか得られないこととなる。
【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、電圧印加時の圧電素子の変位量を増大させ
ることを目的とする。
ものであり、電圧印加時の圧電素子の変位量を増大させ
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】ところが本発明者は鋭意
研究の結果、従来はキュリー温度よりもかなり低い温度
で使用されるのが常識である圧電素子をキュリー温度近
傍の温度に加熱した状態で抗電圧以上の電圧を印加する
と、ｄ定数は大幅に低下するのに反して変位量が大幅に
増大することを発見し、本発明を完成したものである。
研究の結果、従来はキュリー温度よりもかなり低い温度
で使用されるのが常識である圧電素子をキュリー温度近
傍の温度に加熱した状態で抗電圧以上の電圧を印加する
と、ｄ定数は大幅に低下するのに反して変位量が大幅に
増大することを発見し、本発明を完成したものである。
【０００９】すなわち上記課題を解決する本発明の圧電
素子の使用方法は、圧電板と圧電板の表裏両面に形成さ
れた一対の電極とからなる圧電素子の使用方法であっ
て、圧電板の残留分極が低下し始める温度以上で圧電板
のキュリー温度未満の温度範囲に制御するとともに、一
対の電極に圧電板の抗電圧以上の電圧を印加することを
特徴とする。
素子の使用方法は、圧電板と圧電板の表裏両面に形成さ
れた一対の電極とからなる圧電素子の使用方法であっ
て、圧電板の残留分極が低下し始める温度以上で圧電板
のキュリー温度未満の温度範囲に制御するとともに、一
対の電極に圧電板の抗電圧以上の電圧を印加することを
特徴とする。
【００１０】圧電素子は圧電板と一対の電極とから構成
される。圧電板はＰＺＴなどの圧電材料から形成された
従来と同様のものを用いることができ、電極は銀ペース
トなどから従来と同様に形成することができる。すなわ
ち、本発明に用いられる圧電素子は、従来の圧電素子を
そのまま用いることができる。本発明の最大の特徴は、
上記圧電素子を従来使用不可とされていた高温すなわ
ち、圧電板の残留分極が低下し始める温度以上で圧電板
のキュリー温度未満の温度範囲で使用するところにあ
る。使用温度がキュリー温度以上となると、圧電特性が
破壊されるので使用が困難である。また圧電板の残留分
極が低下し始める温度より低い温度で使用したのでは、
従来の使用条件とほとんど同一となり変位量の増大が得
られない。なお圧電板の残留分極が低下し始める温度
は、圧電板の材質によって異なるけれども、ｄ定数が低
下し始める温度とほぼ等しい温度となることがわかって
いる。またキュリー温度における静電容量の５０％以内
の静電容量となる温度ということもできる。
される。圧電板はＰＺＴなどの圧電材料から形成された
従来と同様のものを用いることができ、電極は銀ペース
トなどから従来と同様に形成することができる。すなわ
ち、本発明に用いられる圧電素子は、従来の圧電素子を
そのまま用いることができる。本発明の最大の特徴は、
上記圧電素子を従来使用不可とされていた高温すなわ
ち、圧電板の残留分極が低下し始める温度以上で圧電板
のキュリー温度未満の温度範囲で使用するところにあ
る。使用温度がキュリー温度以上となると、圧電特性が
破壊されるので使用が困難である。また圧電板の残留分
極が低下し始める温度より低い温度で使用したのでは、
従来の使用条件とほとんど同一となり変位量の増大が得
られない。なお圧電板の残留分極が低下し始める温度
は、圧電板の材質によって異なるけれども、ｄ定数が低
下し始める温度とほぼ等しい温度となることがわかって
いる。またキュリー温度における静電容量の５０％以内
の静電容量となる温度ということもできる。
【００１１】本発明のもう一つの特色は、圧電板の抗電
圧以上の電圧を印加して使用するところにある。ここで
抗電圧とは圧電板の分極が反転し始める電圧をいう。キ
ュリー温度近傍では、残留分極が大幅に低下している。
しかし抗電圧以上の電圧を印加することにより再度分極
し、しかも後述するように従来の使用温度における同電
圧の分極量より大きい分極が得られるため、変位量が増
大する。抗電圧より低い電圧を印加したのでは、再度の
分極が困難となり変位量が得られない。なお、抗電圧は
温度が上昇するほど低下するので、キュリー温度近傍の
ような高温で使用する本発明においては、従来と同様の
変位量を得るのであれば印加電圧を従来より小さくする
ことも可能である。
圧以上の電圧を印加して使用するところにある。ここで
抗電圧とは圧電板の分極が反転し始める電圧をいう。キ
ュリー温度近傍では、残留分極が大幅に低下している。
しかし抗電圧以上の電圧を印加することにより再度分極
し、しかも後述するように従来の使用温度における同電
圧の分極量より大きい分極が得られるため、変位量が増
大する。抗電圧より低い電圧を印加したのでは、再度の
分極が困難となり変位量が得られない。なお、抗電圧は
温度が上昇するほど低下するので、キュリー温度近傍の
ような高温で使用する本発明においては、従来と同様の
変位量を得るのであれば印加電圧を従来より小さくする
ことも可能である。
【００１２】
【作用】キュリー温度近傍の温度においては、電界と分
極の程度との関係は図３のようになる。すなわち温度上
昇により分子運動が活発となるため結晶の動きも活発化
し、残留分極（ｂ点）は低下している。したがって電圧
の印加が無い状態では、変位量は残留分極に依存し極め
て小さい。そして抗電圧以上の電圧を印加することによ
り、分極していない結晶が再度分極し、かつ熱膨張や分
子運動の活発さの影響などにより従来よりも大きな分極
（ａ点）が得られる。したがってａとｂの差に基づく変
位量は極めて大きくなる。
極の程度との関係は図３のようになる。すなわち温度上
昇により分子運動が活発となるため結晶の動きも活発化
し、残留分極（ｂ点）は低下している。したがって電圧
の印加が無い状態では、変位量は残留分極に依存し極め
て小さい。そして抗電圧以上の電圧を印加することによ
り、分極していない結晶が再度分極し、かつ熱膨張や分
子運動の活発さの影響などにより従来よりも大きな分極
（ａ点）が得られる。したがってａとｂの差に基づく変
位量は極めて大きくなる。
【００１３】なお、ｄ定数が低下するのに変位量が増大
するという矛盾は、以下のように説明される。すなわ
ち、ｄ定数は電気機械結合定数や静電容量から求めら
れ、測定装置上の関係から比較的低い電圧で測定せざる
を得ない。そのため本発明の使用温度域では、再度の分
極が困難となってｄ定数が急激に低下していた。しかし
抗電圧以上の電圧を印加することにより、再度の分極が
可能となったのである。したがって抗電圧以上の電圧印
加状態でｄ定数を測定することができるなら、キュリー
温度近傍では高いｄ定数を示すはずである。
するという矛盾は、以下のように説明される。すなわ
ち、ｄ定数は電気機械結合定数や静電容量から求めら
れ、測定装置上の関係から比較的低い電圧で測定せざる
を得ない。そのため本発明の使用温度域では、再度の分
極が困難となってｄ定数が急激に低下していた。しかし
抗電圧以上の電圧を印加することにより、再度の分極が
可能となったのである。したがって抗電圧以上の電圧印
加状態でｄ定数を測定することができるなら、キュリー
温度近傍では高いｄ定数を示すはずである。
【００１４】
【実施例】以下、実施例により具体的に説明する。 （実施例）主成分の成分比がＰｂ（Ｚｒ0.52Ｔｉ0.48）
Ｏ3 で表されるように、酸化鉛（ＰｂＯ）５０モル％、
酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）２６モル％、酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）２４モル％の割合にした粉末、及びこれに
副成分として五酸化ニオブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）を０．１〜３
モル％加えた粉末を、蒸留水とともにボールミルにて４
８時間混合した。これを脱水乾燥後、空気中で９００℃
にて１時間仮焼を行った。
Ｏ3 で表されるように、酸化鉛（ＰｂＯ）５０モル％、
酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）２６モル％、酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）２４モル％の割合にした粉末、及びこれに
副成分として五酸化ニオブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）を０．１〜３
モル％加えた粉末を、蒸留水とともにボールミルにて４
８時間混合した。これを脱水乾燥後、空気中で９００℃
にて１時間仮焼を行った。
【００１５】仮焼粉は再び４８時間湿式混合し、脱水乾
燥した。そして乾燥粉末にバインダーとしてＰＶＡ（ポ
リビニルアルコール）を１重量％加えて造粒後、成形圧
力１０００ｋｇ／ｃｍ3 で直径２０ｍｍ、厚さ０．４ｍ
ｍの円板に成形し、１２５０℃で１時間焼成して圧電板
を得た。この圧電板のキュリー温度は２３５℃である。
燥した。そして乾燥粉末にバインダーとしてＰＶＡ（ポ
リビニルアルコール）を１重量％加えて造粒後、成形圧
力１０００ｋｇ／ｃｍ3 で直径２０ｍｍ、厚さ０．４ｍ
ｍの円板に成形し、１２５０℃で１時間焼成して圧電板
を得た。この圧電板のキュリー温度は２３５℃である。
【００１６】この圧電板の表裏両面に銀ペーストをスク
リーン印刷し、乾燥させて一対の電極を形成した。そし
て１００℃のシリコンオイル中にて、両電極間に５０ｋ
ｖ／ｃｍの電圧を印加し、３０分間分極処理を行って圧
電素子とした。この圧電板を、ステンレス製電極板と交
互に６８枚積層して、圧電アクチュエータ１を製造し
た。そして図２に示す制御装置中に配置して駆動させ、
そのときの変位量を求めた。
リーン印刷し、乾燥させて一対の電極を形成した。そし
て１００℃のシリコンオイル中にて、両電極間に５０ｋ
ｖ／ｃｍの電圧を印加し、３０分間分極処理を行って圧
電素子とした。この圧電板を、ステンレス製電極板と交
互に６８枚積層して、圧電アクチュエータ１を製造し
た。そして図２に示す制御装置中に配置して駆動させ、
そのときの変位量を求めた。
【００１７】この制御装置は、圧電アクチュエータ１
と、圧電アクチュエータ１の外周に配置された筒状のヒ
ータ３と、電気回路とからなる。圧電アクチュエータ１
は駆動電源２により矩形電圧が印加されて間欠的に連続
駆動される。圧電アクチュエータ１中には温度センサ４
が配設されている。温度センサ４の信号はヒータコント
ロール回路５へ入力されている。ヒータコントロール回
路５では温度センサ４からの信号を規定値と比較し、ヒ
ータ３を加熱するヒータ電源６を制御している。これに
より圧電アクチュエータ１は所定温度に加熱されその温
度に保たれるように構成されている。
と、圧電アクチュエータ１の外周に配置された筒状のヒ
ータ３と、電気回路とからなる。圧電アクチュエータ１
は駆動電源２により矩形電圧が印加されて間欠的に連続
駆動される。圧電アクチュエータ１中には温度センサ４
が配設されている。温度センサ４の信号はヒータコント
ロール回路５へ入力されている。ヒータコントロール回
路５では温度センサ４からの信号を規定値と比較し、ヒ
ータ３を加熱するヒータ電源６を制御している。これに
より圧電アクチュエータ１は所定温度に加熱されその温
度に保たれるように構成されている。
【００１８】この制御装置を用い、圧電アクチュエータ
１の内部温度が２３０±２℃となるように制御しつつ、
無負荷状態で４００Ｖの矩形電圧を印加した。なお、こ
の圧電素子では、２３０℃における抗電圧は約３０Ｖで
ある。その結果、圧電アクチュエータ１には最大約７５
μｍの変位量が得られた。なお、実施例の駆動条件で、
駆動温度だけを変化させたときの変位量の変化を図１に
示す。図１からわかるように、残留分極が低下し始める
１９５℃近傍までは変位量は温度の増大とともに緩やか
に増大するが、増大量は僅かである。しかし残留分極が
低下し始める温度を越えると、キュリー温度までは残留
分極の低下に伴って変位量が急激に増大している。 （比較例）実施例と同一の圧電アクチュエータ１を用
い、室温（２５℃）雰囲気にて無負荷状態で４００Ｖの
矩形電圧を印加した。その結果、圧電アクチュエータ１
には最大約３０μｍの変位量が得られた。 （評価）すなわち実施例の使用方法によれば、従来の室
温下での使用時に比べて変位量が最大で２．５倍増大し
た。
１の内部温度が２３０±２℃となるように制御しつつ、
無負荷状態で４００Ｖの矩形電圧を印加した。なお、こ
の圧電素子では、２３０℃における抗電圧は約３０Ｖで
ある。その結果、圧電アクチュエータ１には最大約７５
μｍの変位量が得られた。なお、実施例の駆動条件で、
駆動温度だけを変化させたときの変位量の変化を図１に
示す。図１からわかるように、残留分極が低下し始める
１９５℃近傍までは変位量は温度の増大とともに緩やか
に増大するが、増大量は僅かである。しかし残留分極が
低下し始める温度を越えると、キュリー温度までは残留
分極の低下に伴って変位量が急激に増大している。 （比較例）実施例と同一の圧電アクチュエータ１を用
い、室温（２５℃）雰囲気にて無負荷状態で４００Ｖの
矩形電圧を印加した。その結果、圧電アクチュエータ１
には最大約３０μｍの変位量が得られた。 （評価）すなわち実施例の使用方法によれば、従来の室
温下での使用時に比べて変位量が最大で２．５倍増大し
た。
【００１９】
【発明の効果】すなわち本発明の圧電素子の使用方法に
よれば、極めて高い変位量が得られるため、従来必要で
あった変位拡大機構が不要となり、コンパクトな圧電ア
クチュエータとすることができるとともにコストの低減
を図ることができる。
よれば、極めて高い変位量が得られるため、従来必要で
あった変位拡大機構が不要となり、コンパクトな圧電ア
クチュエータとすることができるとともにコストの低減
を図ることができる。
【図１】温度変化に対応する変位量変化と残留分極及び
ｄ定数の変化を示すグラフである。
ｄ定数の変化を示すグラフである。
【図２】本発明の一実施例で使用した制御装置のブロッ
クダイアグラムである。
クダイアグラムである。
【図３】本発明の使用方法における電界と分極の関係を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図４】従来の使用方法における電界と分極の関係を示
すグラフである。
すグラフである。
１：圧電アクチュエータ ２：駆動電源
３：ヒータ ４：温度センサ ５：ヒータコントロール回路
６：ヒータ電源
３：ヒータ ４：温度センサ ５：ヒータコントロール回路
６：ヒータ電源
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電板と該圧電板の表裏両面に形成され
た一対の電極とからなる圧電素子の使用方法であって、 該圧電板の残留分極が低下し始める温度以上で該圧電板
のキュリー温度未満の温度範囲に制御するとともに、該
一対の電極に該圧電板の抗電圧以上の電圧を印加するこ
とを特徴とする圧電素子の使用方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4014830A JPH05206533A (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 圧電素子の使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4014830A JPH05206533A (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 圧電素子の使用方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05206533A true JPH05206533A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=11871959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4014830A Pending JPH05206533A (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 圧電素子の使用方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05206533A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1519427A2 (en) | 2003-09-24 | 2005-03-30 | TDK Corporation | Piezoelectric ceramic composition and manufacturing the same, and piezoelectric element |
| GB2450620A (en) * | 2007-06-27 | 2008-12-31 | Fluke Corp | System and method of providing a thermally stabilised fixed frequency piezoelectric optical modulator |
| US7772747B2 (en) * | 2008-03-21 | 2010-08-10 | Fujifilm Corporation | Process for producing a piezoelectric film, film forming apparatus, and piezoelectric film |
| JPWO2018131343A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2020-02-06 | 国立大学法人大阪大学 | スキャナ及び走査型プローブ顕微鏡 |
-
1992
- 1992-01-30 JP JP4014830A patent/JPH05206533A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1519427A2 (en) | 2003-09-24 | 2005-03-30 | TDK Corporation | Piezoelectric ceramic composition and manufacturing the same, and piezoelectric element |
| EP1519427B1 (en) * | 2003-09-24 | 2009-12-16 | TDK Corporation | Piezoelectric ceramic composition and manufacturing the same, and piezoelectric element |
| GB2450620A (en) * | 2007-06-27 | 2008-12-31 | Fluke Corp | System and method of providing a thermally stabilised fixed frequency piezoelectric optical modulator |
| GB2450620B (en) * | 2007-06-27 | 2010-07-07 | Fluke Corp | System for providing a thermally stabilized fixed frequency piezoelectric optical modulator |
| US8008839B2 (en) | 2007-06-27 | 2011-08-30 | Fluke Corporation | System and method of providing a thermally stabilized fixed frequency piezoelectric optical modulator |
| US7772747B2 (en) * | 2008-03-21 | 2010-08-10 | Fujifilm Corporation | Process for producing a piezoelectric film, film forming apparatus, and piezoelectric film |
| JPWO2018131343A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2020-02-06 | 国立大学法人大阪大学 | スキャナ及び走査型プローブ顕微鏡 |
| US10884022B2 (en) | 2017-01-10 | 2021-01-05 | Osaka University | Scanner and scanning probe microscope |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7973456B2 (en) | Piezoelectric ceramic and piezoelectric element employing it | |
| JP4674405B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH05206533A (ja) | 圧電素子の使用方法 | |
| JP4779243B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2564676B2 (ja) | 電子光学用組成物 | |
| JPH05206535A (ja) | 圧電アクチュエータの制御方法 | |
| JP2001294482A (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2820000B2 (ja) | アクチュエータ用圧電材料組成物 | |
| JP3365832B2 (ja) | 圧電素子 | |
| JPH10324569A (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| JPH06224486A (ja) | 圧電セラミックスの分極方法 | |
| JP3106365B2 (ja) | 傾斜機能型圧電体 | |
| JP2003081675A (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH0516380B2 (ja) | ||
| JP2825029B2 (ja) | 圧電セラミックス組成物 | |
| JP2922769B2 (ja) | アクチュエータ用圧電磁器組成物 | |
| WO2006093043A1 (ja) | 積層型圧電体素子 | |
| JPH06244473A (ja) | 圧電セラミックスの分極方法 | |
| JP3161175B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3830345B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH0648825A (ja) | ビスマス層状化合物 | |
| JP3075447B2 (ja) | ビスマス層状化合物−圧電高分子複合体 | |
| JP3061224B2 (ja) | ビスマス層状化合物の分極方法 | |
| JP4788936B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| KR100562988B1 (ko) | 바이몰프용 압전 세라믹스 조성물 |