JPH05215181A - サスペンション装置 - Google Patents

サスペンション装置

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JPH05215181A
JPH05215181A JP4299159A JP29915992A JPH05215181A JP H05215181 A JPH05215181 A JP H05215181A JP 4299159 A JP4299159 A JP 4299159A JP 29915992 A JP29915992 A JP 29915992A JP H05215181 A JPH05215181 A JP H05215181A
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JP
Japan
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spring
platform
mounting means
composition
flange portion
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JP4299159A
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English (en)
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Masami Taguchi
マサミ・タグチ
Timothy P Sheridan
ティモシー・ピー・シェリダン
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Applied Biosystems Inc
Original Assignee
Perkin Elmer Corp
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Publication date
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    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F3/00—Spring units consisting of several springs, e.g. for obtaining a desired spring characteristic
    • F16F3/02—Spring units consisting of several springs, e.g. for obtaining a desired spring characteristic with springs made of steel or of other material having low internal friction
    • F16F3/04—Spring units consisting of several springs, e.g. for obtaining a desired spring characteristic with springs made of steel or of other material having low internal friction composed only of wound springs
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16F13/00—Units comprising springs of the non-fluid type as well as vibration-dampers, shock-absorbers, or fluid springs
    • F16F13/02—Units comprising springs of the non-fluid type as well as vibration-dampers, shock-absorbers, or fluid springs damping by frictional contact between the spring and braking means
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    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16F7/08—Vibration-dampers; Shock-absorbers with friction surfaces rectilinearly movable along each other

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 プラットホームを外部振動から隔離する新規
なサスペンション装置を提供すること。 【構成】 外部振動からプラットホームを隔離するサス
ペンション装置は、プラットホームを懸架するばね組成
体を含む。それぞれのばね組成体において、長尺の外部
コイルばねが支持構造からその上端に懸架される。チュ
ーブを外部ばね内にゆるやかに配置して、上部方向に延
びるようにばねの下端に取付ける。長尺の内側コイルば
ねをチューブ内にゆるやかに配置して、チューブの上部
点より懸吊させる。内側ばねはプラットホームへ取付け
た下端部を有する。摩擦減衰のためにＯリングを内側ば
ね上にチューブをスライド接触するように取付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、振動を隔離するサスペ
ンション装置、殊に、走査トンネル顕微鏡の如き高感度
計器からの振動を隔離するサスペンション装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】多くの科学計器は外部源よりの振動に対
して敏感であるが、それはそのような振動が計器の正確
な測定に干渉作用を及ぼすからである。かかる計器の例
は走査トンネル顕微鏡で、同器の場合、原子的な精度ま
で表面を観察するために使用される。分析中サンプルの
直ぐ上部の微細な金属先端まで走査されるからどんな振
動も測定結果を歪めることになる。
【０００３】上記問題点は若干の刊行物で取組まれてい
る。例えば、博士論文“表面科学における走査トンネル
顕微法”（サングーイルパーク、Ｇ．Ｌ．Ｎｏ．４１３
０（スタンフォード大学１９８７年）、と論文“走査ト
ンネル顕微法における振動隔離”（Ｍ．オカノ，Ｋ．カ
ジムラ、Ｓ．ワキヤマ、Ｆ．サカイ、Ｗ．ミズタニ、
Ｍ．オイ，Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ，Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ａ５
（６），３３１３〜３３２０（１９８７）などがある。
【０００４】両者とも一組のばねにより懸架された外部
段と、もう一組のばねによって上記外部段から懸架され
た内側段とについて開示している。振動の減衰は磁石に
よって行う。これらの構成は相当量のスペースを要し、
磁石からの渦電流が表面分析技術を使用してデータを取
得するプロセスに干渉する恐れがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は外部振動からプラットホームを隔離する新たなサスペ
ンション装置を提供することである。もう一つの目的は
最小限のスペースしか利用しない装置を提供することで
ある。更にもう一つの目的は磁石によらない減衰を行う
新規なサスペンション装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は外部振動から
隔離さるべきプラットホームを含むサスペンション装置
によって実現される。支持構造は少なくとも一つの隆起
した支持部分を有する。少なくとも一つのばね組成体を
連携する支持部分とプラットホーム間に接続する。それ
ぞれのばね組成体において、長い外部コイルばねを連携
する支持部分からその上端に懸架する。チューブ状のア
ームを外部ばね内にゆるやかに配置し、上部方向に延び
るようにばねの下端にとりつける。長い内側コイルばね
をチューブ状部材内にゆるやかに配置し、同チューブ状
部材の上部点から懸架させる。内側ばねはプラットホー
ムに取り付けた下端を有する。
【０００７】上記組成体の振動を摩擦によって減衰させ
るために、少なくとも一個のリング部材をチューブ状部
材とスライド接触する形に内側ばね上に取り付ける。リ
ング部材はエラストマ製とすべきである。また、ばねと
チューブ形部材の取付け点に高周波振動からプラットホ
ームを隔離するように配置したエラストマ部品を設ける
ことが望ましい。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明のサスペンション装置の好適
な構成を示す。ベース１２はそこから上部方向に延びる
円筒形体の形をした支持構造１４を有する。外部振動か
ら隔離さるべきプラットホーム１６は上記円筒体内に支
持する。かかるプラットホームはそのように隔離さるべ
き装置部品（図示せず）、例えば、走査トンネル顕微鏡
のトンネル組成体を保持することができる。一つもしく
はそれ以上の、例えば４個のばね組成体１８を支持構造
とプラットホーム間に接続してプラットホームを懸架す
る。各組成体は支持構造の連携隆起支持部分２０で支持
構造に取付ける。プラットホームを安定させるために、
各ばね組成体は更に外側ばねの下端とピン２３間の支持
構造の隣接部分上に緊張させて保持したＯリングのよう
な弾性部材２２を備えることができる。
【０００９】各ばね組成体１８（図２）は連携支持部分
２０からその上端２６に上部取付手段２８によって懸架
した長尺外部コイルばね２４を含んでいる。チューブ形
部材３０の形をしたアームを外部ばね内にゆるやかに配
置してばね内を上部方向に延びるようにその下端３２へ
添付する。長尺内側コイルばね３４を外部ばね２４内に
ゆるやかに配置し、特にアームがチューブである場合に
は、チューブ３０内にゆるやかに配置する。内側ばね３
４はチューブの上端３６から中間取付手段３８によって
懸架させる。内側ばねの下端４０は下部取付手段４２を
介してプラットホーム１６へ取付ける。
【００１０】好適例では、ばね組成体１８は更にチュー
ブとスライド接触するように内側ばね上に取付けた少な
くとも一つのリング部材４４を備えることによって組成
体内の振動の摩擦減衰を行うようにする。そのようなリ
ングが若干、例えば図のように３個存在するようにする
のが有利である。上記リングはエラストマー製とすべき
である。ヴイトンＯリングが好適である。チューブは少
なくとも内側面上をポリテトラフルオロエチレンその他
の低摩擦材料により構成してＯリングに対して低いが大
きな摩擦面を設けるようにすることが有利である。
【００１１】全構成部品は本文中に別言なき限り、低磁
性の、例えばステンレス鋼とすることが望ましい。取付
手段の好適構成を図２に示す。上部取付手段２８は内部
を貫通する開口４８を有する上部フランジ部分４６を備
えた連携支持部分２０を備える。コネクタ５０を、例え
ば、ばねをコネクタ上の対応するねじ５２上へねじ込む
ことによって外部ばね２４の上端２６へ固定する。上部
ピン５４はフランジ４６内を通り、その内部の孔内へね
じ込むことによってコネクタ５０へ取付け、ピンを外部
ばねに添付する。その他、直接ばねにねじ込む大きなピ
ンを使用することもできる。
【００１２】少なくとも一個のリング５６と、図のよう
にほぼ３個の上下リングをフランジ４６とピンのヘッド
５８間に保持する。もう一対のそのようなリングをフラ
ンジ４６とコネクタ５０間に保持し、リング組成体全体
が僅かに加圧された状態にする。取付組成体ではヴイト
ンＯリングが好適である。それらはプラットホームを高
周波振動から隔離することができる。
【００１３】中間取付手段３８も同様な構成を有する。
チューブ３０は孔がチューブの上端にある中間フランジ
部分６２を有する。中間ピン６４はこのフランジを通
り、ばねを螺刻ピン上へねじ込むことによって内側ばね
の上端６６に固定する。もう一対のＯリング６８を更に
高周波を濾波するためにピンヘッド６９と中間フランジ
６２間に保持する。
【００１４】下部取付手段４２はその内部に孔７１を有
する下部フランジ部分７０を有するプラットホーム１６
を備える。下部ピン７２はこのフランジを通過し、ねじ
によって内部ばね３４の下端４０に固定する。更にもう
一対のＯリング７４をフランジとピン７６のヘッド間に
保持して高周波を更に隔離する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のサスペンション装置の斜視図である。
【図２】図１のサスペンション組成部品の詳細図であ
る。
【符号の説明】
１２ ベース １４ 支持構造 １６ プラットホーム １８ ばね組成体 ２０ 支持部分 ３０ チューブ ３４ 内側ばね ３８ 中間取付手段 ４２ 下部取付手段 ４６ フランジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ティモシー・ピー・シェリダン アメリカ合衆国 ミネソタ 55416、セン ト・ルイス・パーク、イングルウッド・ア ヴェニュー・エス 3746

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 外部振動から隔離さるべきプラットホー
    ムと、少なくとも一つの隆起した支持部分を有する支持
    構造と、連携支持部分とプラットホーム間に接続される
    少なくとも一つのばね組成体と、から成り、それぞれの
    ばね組成体が前記連携支持部分からその上端に懸架され
    る長尺外部コイルばねと、上部方向に延びるように外部
    ばね内にゆるやかに配置されその下端に取付けられたア
    ームと、外部ばね内にゆるやかに配置されアームの上部
    点から懸架された長尺内側コイルばねと、を備え、前記
    内側ばねがプラットホームに取付けられた下端を有する
    サスペンション装置。
  2. 【請求項２】 アームが内側ばねがその内部にゆるやか
    に配置されたチューブ状部材より成る請求項１の装置。
  3. 【請求項３】 ばね組成体が更に組成体内の振動を摩擦
    減衰させるようにチューブ状部材とスライド接触状態に
    内側ばね上に取付けられた少なくとも一つのリング部材
    より成る請求項２の装置。
  4. 【請求項４】 リング部材がエラストマ製である請求項
    ３の装置。
  5. 【請求項５】 チューブ状部材が少なくとも一個のリン
    グ部材と接触する低摩擦材料より形成した内側面を有す
    る請求項３の装置。
  6. 【請求項６】 ばね組成体が更に連携支持部分から外側
    ばねを懸架する上部取付手段と、内側ばねを長尺部材か
    ら懸架する中間取付手段と、内側ばねをプラットホーム
    へ取付ける下部取付手段と、より成り、前記取付手段の
    少なくとも一つがプラットホームからの高周波振動を隔
    離するように配置された連携エラストマ部品より成る請
    求項１の装置。
  7. 【請求項７】 アームが内側ばねが内部にゆるやかに配
    置されたチューブ状部材より成り、上部取付手段が上部
    フランジ部分を有する連携支持部分を備え、更に、上部
    フランジ部分を通過し、外側ばねの上端に固定される上
    部ピンを備え、中間取付手段が、取付点に中間フランジ
    部分を有するチューブ状部材を備えると共に、更に、中
    間フランジ部分を通過し内側ばねの上端に固定される中
    間ピンを備え、下部取付手段が内部に下部フランジ部分
    を有するプラットホームを備えると共に、更にフランジ
    部分を通過して内側ばねの下端に固定される下部ピンを
    備え、それぞれの取付手段が更にフランジ部分とピン上
    のヘッド間に保持されるエラストマ部品を構成する少な
    くとも一つのエラストマリング部品を備える請求項６の
    装置。
  8. 【請求項８】 ばね組成体が更に組成体内の振動を摩擦
    減衰させるようにチューブ状部材とスライド接触して内
    側ばね上に取付けた少なくとも一つのエラストマーリン
    グ部材より成る請求項７の装置。
  9. 【請求項９】 前記少なくとも一つのばね組成体がプラ
    ットホームを支持するように構成された複数のばね組成
    体より成る請求項１の装置。
  10. 【請求項１０】 各ばね組成体が更に外部ばねの下端と
    支持構造の隣接部分との間に緊張して保持されたエラス
    トマ部材より成る請求項９の装置。
JP4299159A 1991-12-17 1992-10-13 サスペンション装置 Pending JPH05215181A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07-809-691 1991-12-17
US07/809,691 US5213301A (en) 1991-12-17 1991-12-17 Suspension system for isolating vibrations

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05215181A true JPH05215181A (ja) 1993-08-24

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ID=25201997

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JP4299159A Pending JPH05215181A (ja) 1991-12-17 1992-10-13 サスペンション装置

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EP (1) EP0547303A1 (ja)
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EP0547303A1 (en) 1993-06-23

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