JPH05220690A - 移載アーム装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 信号線のねじれによる事故を防止することが
でき、ウエハカセットの検出を確実に行なうことができ
る移載アーム装置を提供する。 【構成】 アーム部同士が関節部５により回動自在に連
結された移載アーム装置であって、関節部５における一
方のアーム部２に、カセット載置台６上の載置を検出す
るセンサー７への配線のための、円弧状の電極を設ける
とともに、他方のアーム部３に、前記電極１０と間隔を
あけて向かい合う電極を設け、両電極間にコンデンサＣ
２を形成したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム内等で使
用されるウエハカセット等の移載アーム装置に関する。
特に、アーム部の関節部における信号線のねじれを防止
することができる移載アーム装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来の移載アーム装置を示す正
面図、図１１は図１０の右側面図である。

【０００３】これらの図面において、１はウエハカセッ
トの移載装置内に設けられた移載アーム装置であり、第
１，第２のアーム部２，３を有している。第１のアーム
部２は、移載装置１の昇降台４上に設けられたベース部
４ａの間接部４ｂに回動自在に設けられており、図示し
ないウエハカセット収納棚に向けて回動するようになっ
ている。

【０００４】第２のアーム部３は、第１のアーム部２の
先端に設けられた関節部５によって回動自在に設けられ
ており、アーム部２内に設けられた図示しない歯車の回
動により、収納棚側に延びるようになっている。

【０００５】第２のアーム部３の先端には、関節部５ａ
を介してウエハカセットの載置台６が回動自在に設けら
れており、ウエハカセットＣを前後に２個吊り下げられ
るようになっている。載置台６には、２つのセンサー
７，７が設けられており、ウエハカセットＣが載置台６
上に載置されているかどうかの検出が行なわれるように
なっている。２つのセンサー７，７の信号線７ａは、関
節部５ａから第２のアーム部３，関節部５，第１のアー
ム部２，ベース部４ａを通ってから昇降台４に渡されて
いる。信号線７ａは、関節部５ａ，５，４ｂにおけるア
ーム部２，３の回動を考慮して、たるませて余裕を持た
せてある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の移載ア
ーム装置には、次のような問題があった。

【０００７】センサー７，７の信号線７ａは、アーム部
２，３の関節部５，４ｂにおいてたるませてあったた
め、ねじれを生じて断線するおそれがあり、ウエハカセ
ットの検出が確実に行なわれないことがあった。

【０００８】本発明の目的は、以上のような問題点を解
決し、信号線のねじれによる事故を防止することがで
き、ウエハカセットの検出を確実に行なうことができる
移載アーム装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の第１の構成は、アーム部同士が関節部により
回動自在に連結された移載アーム装置であって、前記関
節部における一方のアーム部に、円弧状の電極を設ける
とともに、他方のアーム部に、前記円弧状の電極と間隔
をあけて向かい合う電極を設け、前記円弧状の電極との
間でコンデンサを形成した。

【００１０】本発明の第２の構成は、アーム部同士が関
節部により回動自在に連結された移載アーム装置であっ
て、前記関節部におけるアーム部の対向面にそれぞれ形
成した円弧状の溝と、これらの溝内に配置された電極
と、前記溝内に摺動自在に設けられ、前記電極間を接続
する接続子とを具備した。

【００１１】本発明の第３の構成は、アーム部同士が関
節部により回動自在に連結された移載アーム装置であっ
て、前記関節部の回動軸を中心として回動し、関節部の
外側で各アーム部からの信号線を接続する中継レバーを
設けた。

【００１２】

【作用効果】本発明の移載アーム装置は上記の構成とし
たので、次のような作用効果を奏する。

【００１３】第１の構成に関し、

【００１４】関節部の一方のアーム部には、円弧状の電
極が設けられているとともに、他方のアーム部には、円
弧状の電極と間隔をあけて向かい合う電極が設けられ、
円弧状の電極とのあいだでコンデンサが形成されている
ので、交流電源を印加することにより関節部において信
号線を用いずに信号の伝達を行なうことができる。

【００１５】したがって、本発明の第１の構成によれ
ば、関節部に信号線を用いていないので、信号線によっ
て事故を生じることがなく、ウエハカセットの検出を確
実に行なうことができるという効果がある。

【００１６】第２の構成に関し、

【００１７】関節部におけるアーム部の対向面には、そ
れぞれ円弧状の溝が形成され、これらの溝内に電極が配
置されるとともに、これらの電極間を接続する接続子が
溝内に摺動自在に設けられているので、接続子を介して
アーム部間の導通をとることができる。

【００１８】したがって、本発明の第２の構成によれ
ば、関節部において信号線を用いずに信号の伝達を行な
うことができ、ウエハカセットの検出を確実に行なうこ
とができるという効果がある。

【００１９】第３の構成に関し、

【００２０】中継レバーは、関節部の回動軸を中心とし
て回動し、関節部の外側で各アーム部からの信号線を接
続するようになっているので、アーム部の回動に合わせ
て、各アーム部の信号線に負担がかからない位置に回動
することとなる。

【００２１】したがって、本発明の第３の構成によれ
ば、アーム部の回動によって各アーム部の信号線に負担
がかからないので、信号線が断線することがなく、ウエ
ハカセットの検出を確実に行なうことができるという効
果がある。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００２３】＜第１実施例＞

【００２４】図１は本発明に係る移載アーム装置の第１
実施例を示すアーム部の側面図、図２は関節部の縦断面
拡大図、図３は回路図である。

【００２５】図２において、１０は関節部５における第
１のアーム部２の内側に設けられた円弧状の電極であ
り、樹脂板１０ａとステンレス等の導通材１０ｂとを重
ね合わせて形成してある。

【００２６】１１は第２のアーム部３側に設けられた電
極である。この電極１１は、第１のアーム部２の円弧状
の電極１０と間隔をあけて向かい合うように配置されて
おり、電極１０との間にコンデンサＣ２を形成してい
る。電極１０および電極１１には信号線７ａがそれぞれ
接続されている。

【００２７】このような電極１０と電極１１とによるコ
ンデンサは、図１に示すように、昇降台４の支持部４ａ
と第１のアーム部２との間、および第２のアーム部３と
載置台６との間にも同様にコンデンサＣ１，Ｃ３として
設けられている。

【００２８】コンデンサＣ１〜Ｃ３を用いた信号伝達回
路は、図３に示すように、コンデンサＣ１〜Ｃ３に直列
に載置台６のセンサ７，７を接続し、高周波電源Ｅを供
給するとともに、これを検出する検出器１２を接続する
ことにより構成することができる。すなわち、載置台６
のセンサ７，７がウエハカセット搭載によりＯＮする
と、回路内を交流電流が流れ、検出器１２によってこれ
が検出され、ウエハ搭載が検知される。また、センサ
７，７のどちらかがＯＦＦしているときには、回路内を
交流電流が流れず、検出器１２によりウエハ未搭載が検
知される。

【００２９】このように、本実施例の移載アーム装置に
よれば、関節部５において信号線を用いずに信号の伝達
を行なうことができ、ウエハカセットの検出を確実に行
なうことができる。

【００３０】＜第２実施例＞

【００３１】図４は本発明に係る移載アーム装置の第２
実施例を示す関節部の縦断面図、図５は図４のV-V 矢視
図、図６は接続子の斜視図である。

【００３２】これらの図面において、本実施例の関節部
の構造は、関節部５におけるアーム部２，３の対向面に
それぞれ形成した円弧状の溝２ａ，３ａと、これらの溝
２ａ，３ａ内に配置された電極２ｂ，３ｂと、溝２ａ，
３ａ内に摺動自在に設けられ、電極２ｂ，３ｂ間を接続
する接続子１３とからなっている。

【００３３】円弧状の溝２ａ，３ａは、第１のアーム部
２および第２のアーム部３の先端部に、ねじ１４により
取り付けられたプラスチック樹脂材１５，１６にそれぞ
れ形成されている。電極２ｂ，３ｂは、銅板等の導通材
よりなっており、溝２ａ，３ａの底部全体に設けられて
いる。

【００３４】接続子１３は、フェノール樹脂材よりな
り、円弧状の溝２ａ，３ａに係合可能に湾曲形成されて
いる。接続子１３の両側には、電極２ｂ，３ｂに接触す
るカーボンブラシ１７，１７がばね１８により附勢され
て突出している。

【００３５】このような構成を有する移載アーム装置に
よれば、関節部５におけるアーム部２，３の対向面に
は、それぞれ円弧状の溝２ａ，３ａが形成され、これら
の溝２ａ，３ａ内に電極２ｂ，３ｂが配置されるととも
に、これらの電極２ｂ，３ｂ間を接続する接続子１３が
溝２ａ，３ａ内に摺動自在に設けられているので、接続
子１３を介してアーム部２，３間の導通をとることがで
きる。

【００３６】したがって、本実施例の移載アーム装置に
よれば、関節部５において信号線を用いずに信号の伝達
を行なうことができ、ウエハカセットの検出を確実に行
なうことができるという効果がある。

【００３７】＜第３実施例＞

【００３８】図７は本発明に係る移載アーム装置の第３
実施例を示す関節部の斜視図、図８（ａ）は関節部の拡
大縦断面図、図８（ｂ）は中継レバーの平面図、図９は
図８（ａ）の右側面図である。

【００３９】これらの図面において、１９は中継レバー
であり、関節部５の回動軸５ａを中心として回動し、関
節部５の外側で各アーム部２，３からの信号線７ａ，７
ｂを接続するためのものである。中継レバー１９は、左
右のレバー１９ａ，１９ｂと、これらのレバー１９ａ，
１９ｂを連結するバー１９ｃとからなっている。左右の
レバー１９ａ，１９ｂおよびバー１９ｃは、合成樹脂材
等よりなり、支持円盤２０，２０により関節部５の回動
軸５ａの回りに回動自在に支持されている。バー１９ｃ
は、レバー１９ａ，１９ｂ間に渡されて固定されてお
り、バー１９ｃ上には、図８（ｂ）に示すように、図信
号線７ａ，７ｂと同様の連絡線７ｃが配置されており、
この連絡線７ｃを介して信号線７ａ，７ｂが接続される
ようになっている。

【００４０】２１はアーム部２，３の側部に突設したス
トッパであり、中継レバー１９の回動を規制するように
なっている。中継レバー１９の回動範囲は、図９に示す
ように、１５０°＋αにセットされている。アーム部２
からの信号線７ａは、図７に示すように、アーム部２の
端部２２に沿わせて固定され、バー１９ｃの下を通って
上方に湾曲され、バー１９ｃに接続されている。また、
アーム部３の信号線７ｂは、アーム部３の端部３３に沿
わせて固定され、バー１９ｃの下を通って上方に湾曲さ
れ、バー１９ｃに同様に接続されている。

【００４１】このような構成を有する移載アーム装置に
よれば、中継レバー１９は、関節部５の回動軸５ａを中
心として回動し、関節部５の外側で各アーム部２，３か
らの信号線７ａ，７ｂを接続するようになっているの
で、アーム部２，３が回動すると、アーム部２，３の回
動に合わせて、各アーム部２，３の信号線７ａ，７ｂに
負担がかからない位置に好適に回動することとなる。

【００４２】したがって、本実施例の移載アーム装置に
よれば、各アーム部２，３の信号線７ａ，７ｂに負担が
かからないので、信号線７ａ，７ｂが断線することがな
く、ウエハカセットの検出を確実に行なうことができ
る。

【００４３】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る移載アーム装置の第１実施例を示
すアーム部の側面図。

【図２】関節部の縦断面拡大図。

【図３】回路図。

【図４】本発明に係る移載アーム装置の第２実施例を示
す関節部の縦断面図。

【図５】図４のV-V 矢視図。

【図６】接続子の斜視図。

【図７】本発明に係る移載アーム装置の第３実施例を示
す関節部の斜視図。

【図８】（ａ）は関節部の拡大縦断面図、（ｂ）は中継
レバーの平面図。

【図９】図８（ａ）の右側面図。

【図１０】従来の移載アーム装置を示す正面図。

【図１１】図１０の右側面図。

【符号の説明】

２，３ アーム部 ５ 関節部 １０ 円弧状の電極 １１ 電極

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アーム部同士が関節部により回動自在に
   連結された移載アーム装置であって、前記関節部におけ
   る一方のアーム部に、円弧状の電極を設けるとともに、
   他方のアーム部に、前記円弧状の電極と間隔をあけて向
   かい合う電極を設け、前記円弧状の電極との間にコンデ
   ンサを形成したことを特徴とする移載アーム装置。
2. 【請求項２】 アーム部同士が関節部により回動自在に
   連結された移載アーム装置であって、前記関節部におけ
   るアーム部の対向面にそれぞれ形成した円弧状の溝と、
   これらの溝内に配置された電極と、前記溝内に摺動自在
   に設けられ、前記電極間を接続する接続子を設けたこと
   を特徴とする移載アーム装置。
3. 【請求項３】 アーム部同士が関節部により回動自在に
   連結された移載アーム装置であって、前記関節部の回動
   軸を中心として回動し、関節部の外側で各アーム部から
   の信号線を接続する中継レバーを設けたことを特徴とす
   る移載アーム装置。