JPH05223613A - フローセンサ - Google Patents
フローセンサInfo
- Publication number
- JPH05223613A JPH05223613A JP4028573A JP2857392A JPH05223613A JP H05223613 A JPH05223613 A JP H05223613A JP 4028573 A JP4028573 A JP 4028573A JP 2857392 A JP2857392 A JP 2857392A JP H05223613 A JPH05223613 A JP H05223613A
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- JP
- Japan
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- heating resistor
- flow sensor
- temperature
- resistance
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Abstract
(57)【要約】
【目的】駆動電力を流した発熱抵抗体の消費電力の安定
化が早く、環境温度が変化しても消費電力の変動の少な
い、信頼性の高いフローセンサを提供する。 【構成】例えばNiのような抵抗温度係数の大きい材料の
薄膜あるいは線で測温抵抗体を形成した場合、発熱抵抗
体にはNiより抵抗温度係数の小さいPtを用いることによ
り、消費電力の安定化までの時間が速くなり、環境温度
が変化しても出力に対する影響が少なくなる。
化が早く、環境温度が変化しても消費電力の変動の少な
い、信頼性の高いフローセンサを提供する。 【構成】例えばNiのような抵抗温度係数の大きい材料の
薄膜あるいは線で測温抵抗体を形成した場合、発熱抵抗
体にはNiより抵抗温度係数の小さいPtを用いることによ
り、消費電力の安定化までの時間が速くなり、環境温度
が変化しても出力に対する影響が少なくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、発熱抵抗体により加熱
された測温抵抗体の抵抗値が流体の通過によって変化す
ることから流体の流量を測定するフローセンサに関す
る。
された測温抵抗体の抵抗値が流体の通過によって変化す
ることから流体の流量を測定するフローセンサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】上記のようなフローセンサとして、流体
をパイプ中に流し、そのパイプの外壁に発熱抵抗体と測
温抵抗体を置くものが知られている。図２はそのような
フローセンサを示し、流体21の流れるるパイプ22の外壁
上に抵抗線を巻いて、上流測温抵抗体23、下流測温抵抗
体24、発熱抵抗体25を形成し、流体の流れることによっ
て生ずる抵抗体23、24の抵抗値の差をブリッジ回路で検
出するものである。しかし、さらに感度を高めるために
熱容量の小さな誘電体層よりなるダイヤフラム上に発熱
抵抗体および測温抵抗体を金属薄膜により形成したフロ
ーセンサが製作されている。いずれの場合も、流体の通
過によって抵抗値の変化する測温抵抗体の材料には、上
流、下流の抵抗体の温度差を大きくするために金属を使
用している。たとえば、特開昭60−142268号公報にみら
れるように、抵抗温度係数4000ppm／℃オーダのパーマ
ロイ薄膜で抵抗体を製作している。
をパイプ中に流し、そのパイプの外壁に発熱抵抗体と測
温抵抗体を置くものが知られている。図２はそのような
フローセンサを示し、流体21の流れるるパイプ22の外壁
上に抵抗線を巻いて、上流測温抵抗体23、下流測温抵抗
体24、発熱抵抗体25を形成し、流体の流れることによっ
て生ずる抵抗体23、24の抵抗値の差をブリッジ回路で検
出するものである。しかし、さらに感度を高めるために
熱容量の小さな誘電体層よりなるダイヤフラム上に発熱
抵抗体および測温抵抗体を金属薄膜により形成したフロ
ーセンサが製作されている。いずれの場合も、流体の通
過によって抵抗値の変化する測温抵抗体の材料には、上
流、下流の抵抗体の温度差を大きくするために金属を使
用している。たとえば、特開昭60−142268号公報にみら
れるように、抵抗温度係数4000ppm／℃オーダのパーマ
ロイ薄膜で抵抗体を製作している。
【０００３】図１(a) 、(b) は薄膜抵抗体を有する従来
のフローセンサの構造を示し、例えば特開平１−195327
号公報に記載されているように上流側の測温抵抗体１、
下流側の測温抵抗体２および発熱抵抗体３は下地誘電体
層４の上に同一平面上に近接して同一材質により形成さ
れている。発熱抵抗体３に電極５を介して定電流が流さ
れると測温抵抗体１、２の温度が上昇する。そして、そ
の温度は測温抵抗体１、２の面上をその長さ方向に直角
に流体が流れると低下し、その温度変化による測温抵抗
体１、２の抵抗値変化を電極６を介して接続されるブリ
ッジ回路で算出する。下地誘電体層５は、発熱抵抗体３
および測温抵抗体１、２の絶縁とそれらからの放熱を抑
えて消費電力の低減を図るためのものである。
のフローセンサの構造を示し、例えば特開平１−195327
号公報に記載されているように上流側の測温抵抗体１、
下流側の測温抵抗体２および発熱抵抗体３は下地誘電体
層４の上に同一平面上に近接して同一材質により形成さ
れている。発熱抵抗体３に電極５を介して定電流が流さ
れると測温抵抗体１、２の温度が上昇する。そして、そ
の温度は測温抵抗体１、２の面上をその長さ方向に直角
に流体が流れると低下し、その温度変化による測温抵抗
体１、２の抵抗値変化を電極６を介して接続されるブリ
ッジ回路で算出する。下地誘電体層５は、発熱抵抗体３
および測温抵抗体１、２の絶縁とそれらからの放熱を抑
えて消費電力の低減を図るためのものである。
【０００４】このフローセンサは、通常パルス駆動され
る。すなわち、消費電力を少なくするために、発熱抵抗
体３には、例えば一定の間隔をおいてmsオーダの幅のパ
ルス電流を流し、発熱量を少なくして感度を高めるため
に、測温抵抗体１には、例えば一定の幅のパルス状に電
圧を印加して抵抗値を検知する。従って、応答速度を速
くするにはこれらのパルスの立上りを急峻にする必要が
ある。
る。すなわち、消費電力を少なくするために、発熱抵抗
体３には、例えば一定の間隔をおいてmsオーダの幅のパ
ルス電流を流し、発熱量を少なくして感度を高めるため
に、測温抵抗体１には、例えば一定の幅のパルス状に電
圧を印加して抵抗値を検知する。従って、応答速度を速
くするにはこれらのパルスの立上りを急峻にする必要が
ある。
【０００５】このようなフローセンサは、熱酸化膜４を
4000Åの厚さに形成したシリコン基体８の表面上にＣＶ
Ｄ法によりSiＯ2 層５を形成し、次にその上に温度係数
の大きいNi膜を成膜してフォトリソグラフィ法により測
温抵抗体１、２および発熱抵抗体３にパターニングし、
同時に電極６、７を形成したのち、基体８の裏面よりプ
ラズマエッチングによって測温抵抗体１、２および発熱
抵抗体３の下方に空洞部９を加工することによって製造
する。空洞部９の加工の際、熱酸化膜４はプラズマによ
り除去されているので、測温抵抗体１、２および発熱抵
抗体３の下側にはＣＶＤ法によるSiＯ2 層５のみ存在
し、熱容量が小さくなるので、測温抵抗体１、２の温度
変化は鋭敏となる。
4000Åの厚さに形成したシリコン基体８の表面上にＣＶ
Ｄ法によりSiＯ2 層５を形成し、次にその上に温度係数
の大きいNi膜を成膜してフォトリソグラフィ法により測
温抵抗体１、２および発熱抵抗体３にパターニングし、
同時に電極６、７を形成したのち、基体８の裏面よりプ
ラズマエッチングによって測温抵抗体１、２および発熱
抵抗体３の下方に空洞部９を加工することによって製造
する。空洞部９の加工の際、熱酸化膜４はプラズマによ
り除去されているので、測温抵抗体１、２および発熱抵
抗体３の下側にはＣＶＤ法によるSiＯ2 層５のみ存在
し、熱容量が小さくなるので、測温抵抗体１、２の温度
変化は鋭敏となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のように従来のフ
ォトリソグラフィでは、センサ部の発熱抵抗体、測温抵
抗体を温度係数の大きい同一材質で形成しているため、
その形成プロセスは簡便であったが、発熱抵抗の駆動電
流をオンした場合にセンサ部が形成されている熱絶縁部
が熱容量に応じてある定常的な温度分布に達するまで
に、温度係数の大きい発熱抵抗体の抵抗値の増加分が大
きいため消費電力が変動し、立ち上がり時間が長くなっ
てしまう。上記のように流体が通過した際の温度差を測
定する測温抵抗体の信号検出はmsオーダで行うため、定
常的な温度分布に達する時間が長いとそれだけ余分な消
費電力が必要となる。このことは、図２のような抵抗線
を用いたフローセンサについてもあてはまる。
ォトリソグラフィでは、センサ部の発熱抵抗体、測温抵
抗体を温度係数の大きい同一材質で形成しているため、
その形成プロセスは簡便であったが、発熱抵抗の駆動電
流をオンした場合にセンサ部が形成されている熱絶縁部
が熱容量に応じてある定常的な温度分布に達するまで
に、温度係数の大きい発熱抵抗体の抵抗値の増加分が大
きいため消費電力が変動し、立ち上がり時間が長くなっ
てしまう。上記のように流体が通過した際の温度差を測
定する測温抵抗体の信号検出はmsオーダで行うため、定
常的な温度分布に達する時間が長いとそれだけ余分な消
費電力が必要となる。このことは、図２のような抵抗線
を用いたフローセンサについてもあてはまる。
【０００７】本発明の目的は、上記の欠点を除去し、発
熱抵抗体の駆動電流をオンした場合の消費電力の安定度
が向上し、msオーダの検出を行った際にドリフトの少な
いフローセンサを提供することにある。
熱抵抗体の駆動電流をオンした場合の消費電力の安定度
が向上し、msオーダの検出を行った際にドリフトの少な
いフローセンサを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、流体の流れる方向に上流側測温抵抗体、
発熱抵抗体および下流側測温抵抗体が順に配列されたフ
ローセンサにおいて、発熱抵抗体が測温抵抗体の材料よ
り抵抗温度係数の小さい材料からなるものとする。そし
て発熱抵抗体および測温抵抗体は誘電体層よりなるダイ
ヤフラム上に形成された薄膜であっても、あるいは流体
の導管の上に巻かれた線であってもよい。また発熱抵抗
体がNb、Pt、Ir、Taの内の一つあるいはその合金よりな
り、測温抵抗体がNi、Fe、Co、Be、Ｗ、Rh、Zr、Cu、M
o、Tiの内の一つあるいはその合金よりなることが有効
である。もしくは、発熱抵抗体がＷ、Rh、Zr、Cu、Mo、
Tiの内の一つあるいはその合金よりなり、測温抵抗体が
Ni、Fe、Co、Beの内の一つあるいはその合金よりなるこ
とが有効である。特に、発熱抵抗体はPtよりなり、測温
抵抗体がNi、Ｗ、Rh、Zr、Mo、TiおよびNi−Fe合金のう
ちの一つよりなること、あるいは発熱抵抗体はＷよりな
り、測温抵抗体がNi、Fe、Coのうちの一つよりなること
が有効である。
めに本発明は、流体の流れる方向に上流側測温抵抗体、
発熱抵抗体および下流側測温抵抗体が順に配列されたフ
ローセンサにおいて、発熱抵抗体が測温抵抗体の材料よ
り抵抗温度係数の小さい材料からなるものとする。そし
て発熱抵抗体および測温抵抗体は誘電体層よりなるダイ
ヤフラム上に形成された薄膜であっても、あるいは流体
の導管の上に巻かれた線であってもよい。また発熱抵抗
体がNb、Pt、Ir、Taの内の一つあるいはその合金よりな
り、測温抵抗体がNi、Fe、Co、Be、Ｗ、Rh、Zr、Cu、M
o、Tiの内の一つあるいはその合金よりなることが有効
である。もしくは、発熱抵抗体がＷ、Rh、Zr、Cu、Mo、
Tiの内の一つあるいはその合金よりなり、測温抵抗体が
Ni、Fe、Co、Beの内の一つあるいはその合金よりなるこ
とが有効である。特に、発熱抵抗体はPtよりなり、測温
抵抗体がNi、Ｗ、Rh、Zr、Mo、TiおよびNi−Fe合金のう
ちの一つよりなること、あるいは発熱抵抗体はＷよりな
り、測温抵抗体がNi、Fe、Coのうちの一つよりなること
が有効である。
【０００９】
【作用】発熱抵抗体に抵抗温度係数の小さい金属抵抗線
あるいは金属薄膜抵抗体を使用し、測温抵抗体は発熱抵
抗体の材料より抵抗温度係数の大きい金属抵抗線あるい
は金属薄膜抵抗体により形成することにより、流量に対
するセンサ出力を低下させずに、流体の温度の変化から
消費電力が変動することを防止し、また発熱抵抗体に駆
動電流をオン状態にした際の消費電力が定常化する時間
の短縮化ができ、測温抵抗体の検出速度を早くすること
ができる。
あるいは金属薄膜抵抗体を使用し、測温抵抗体は発熱抵
抗体の材料より抵抗温度係数の大きい金属抵抗線あるい
は金属薄膜抵抗体により形成することにより、流量に対
するセンサ出力を低下させずに、流体の温度の変化から
消費電力が変動することを防止し、また発熱抵抗体に駆
動電流をオン状態にした際の消費電力が定常化する時間
の短縮化ができ、測温抵抗体の検出速度を早くすること
ができる。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例のフローセンサの構造は図
１と同じで、次のようにして作製された。すなわち、シ
リコン基体８の上にプラズマエッチングの際の損傷を抑
える熱酸化膜４を形成し、その上に下地誘電体層５を形
成する。次いで下地誘電体層５の上にスパッタ法で成膜
したPt薄膜をパターニングして発熱抵抗体３を形成し、
またスパッタ法で成膜したNi薄膜をパターニングして上
流側測温抵抗体１および下流側測温抵抗体２をそれぞれ
形成する。このあと、基体８の裏面からプラズマエッチ
ングにより凹加工を行い、800 μｍ角の空洞部９を形成
する。本実施例では発熱抵抗体３を形成したのち、上流
側測温抵抗体１、下流側測温抵抗体２を形成する場合、
パターニングに適当なエッチャントを使用できるが、金
属の組合わせでエッチャントの選定が困難な場合は、発
熱体の形成後にその上を別の誘電体層で被覆しその後に
測温抵抗体を形成することも可能である。
１と同じで、次のようにして作製された。すなわち、シ
リコン基体８の上にプラズマエッチングの際の損傷を抑
える熱酸化膜４を形成し、その上に下地誘電体層５を形
成する。次いで下地誘電体層５の上にスパッタ法で成膜
したPt薄膜をパターニングして発熱抵抗体３を形成し、
またスパッタ法で成膜したNi薄膜をパターニングして上
流側測温抵抗体１および下流側測温抵抗体２をそれぞれ
形成する。このあと、基体８の裏面からプラズマエッチ
ングにより凹加工を行い、800 μｍ角の空洞部９を形成
する。本実施例では発熱抵抗体３を形成したのち、上流
側測温抵抗体１、下流側測温抵抗体２を形成する場合、
パターニングに適当なエッチャントを使用できるが、金
属の組合わせでエッチャントの選定が困難な場合は、発
熱体の形成後にその上を別の誘電体層で被覆しその後に
測温抵抗体を形成することも可能である。
【００１１】図３に発熱抵抗体をオン状態にしたときの
消費電力が一定となる時間を温度係数の大小のもので比
較を行った。これにより抵抗温度係数αの小さいものの
方が短時間で定常状態になることがわかった。図４は、
環境条件として室温と70℃とをｔ0 ＝30秒の周期で変化
させた場合の発熱抵抗体の消費電力の変動を示してい
る。これにより、温度係数の小さい発熱抵抗体の方が消
費電力が安定していることがわかった。
消費電力が一定となる時間を温度係数の大小のもので比
較を行った。これにより抵抗温度係数αの小さいものの
方が短時間で定常状態になることがわかった。図４は、
環境条件として室温と70℃とをｔ0 ＝30秒の周期で変化
させた場合の発熱抵抗体の消費電力の変動を示してい
る。これにより、温度係数の小さい発熱抵抗体の方が消
費電力が安定していることがわかった。
【００１２】従って、上記の実施例のように測温抵抗体
１、２を抵抗温度係数6750ppm ／℃のNiにより形成し、
発熱抵抗体３を抵抗温度係数3920ppm ／℃のPtにより形
成することにより、駆動電流を流したときの発熱抵抗体
３の温度および消費電力の立ち上がり時間が短縮し、セ
ンサ表面温度の均一性が向上した。また流体の温度変化
に対しての消費電力の変動が少なく、感度のばらつきも
小さくなった。
１、２を抵抗温度係数6750ppm ／℃のNiにより形成し、
発熱抵抗体３を抵抗温度係数3920ppm ／℃のPtにより形
成することにより、駆動電流を流したときの発熱抵抗体
３の温度および消費電力の立ち上がり時間が短縮し、セ
ンサ表面温度の均一性が向上した。また流体の温度変化
に対しての消費電力の変動が少なく、感度のばらつきも
小さくなった。
【００１３】発熱抵抗体と測温抵抗体との材料の組み合
わせとして種々の例が考えられる。表１は抵抗体として
用いることのできる融点1000℃以上、０〜20℃の温度範
囲の温度係数3500ppm ／℃以上の金属を示す。
わせとして種々の例が考えられる。表１は抵抗体として
用いることのできる融点1000℃以上、０〜20℃の温度範
囲の温度係数3500ppm ／℃以上の金属を示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】例えば、発熱抵抗体３の材料に群III の金
属あるいはその合金の一つを選び、測温抵抗体１、２の
材料には群Ｉあるいは群IIの金属あるいはその合金の一
つを選ぶ。発熱抵抗単結晶３がPtよりなるときは、測温
抵抗体１、２をNi、Ｗ、Rh、Zr、Mo、TiあるいはNi−Fe
合金 (パーマロイ) により形成する。別の組み合わせと
しては、発熱抵抗体３の材料に群IIの金属あるいはその
合金の一つを選び、測温抵抗体１、２の材料に群Ｉの金
属あるいはその合金の一つを選ぶ。発熱抵抗体３がＷよ
りなるときは、測温抵抗体１、２をNi、FeあるいはCoに
より形成する。しかし、同一の群の中で抵抗温度係数の
小さいものと大きいものを選んで組み合わせてもよい。
属あるいはその合金の一つを選び、測温抵抗体１、２の
材料には群Ｉあるいは群IIの金属あるいはその合金の一
つを選ぶ。発熱抵抗単結晶３がPtよりなるときは、測温
抵抗体１、２をNi、Ｗ、Rh、Zr、Mo、TiあるいはNi−Fe
合金 (パーマロイ) により形成する。別の組み合わせと
しては、発熱抵抗体３の材料に群IIの金属あるいはその
合金の一つを選び、測温抵抗体１、２の材料に群Ｉの金
属あるいはその合金の一つを選ぶ。発熱抵抗体３がＷよ
りなるときは、測温抵抗体１、２をNi、FeあるいはCoに
より形成する。しかし、同一の群の中で抵抗温度係数の
小さいものと大きいものを選んで組み合わせてもよい。
【００１６】このような材料の組み合わせは抵抗体が薄
膜よりなるときにも線よりなるときにも適用できる。な
お、表１の温度係数はバルクの場合で、薄膜のときには
この値より40％位小さくなる。
膜よりなるときにも線よりなるときにも適用できる。な
お、表１の温度係数はバルクの場合で、薄膜のときには
この値より40％位小さくなる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、発熱抵抗体に測温抵抗
体より抵抗温度係数の小さい材料の線あるいは薄膜を用
いることに出力感度を低下させないで、発熱抵抗体の消
費電力の安定化するまでの時間を短縮し、また発熱抵抗
体の消費電力の環境温度に対する安定性を向上させるこ
とができる。これにより出力の検出時間が短く、駆動回
路の消費電力が小さく、また環境温度の変化の出力に対
する影響の少ないフローセンサを得ることができた。
体より抵抗温度係数の小さい材料の線あるいは薄膜を用
いることに出力感度を低下させないで、発熱抵抗体の消
費電力の安定化するまでの時間を短縮し、また発熱抵抗
体の消費電力の環境温度に対する安定性を向上させるこ
とができる。これにより出力の検出時間が短く、駆動回
路の消費電力が小さく、また環境温度の変化の出力に対
する影響の少ないフローセンサを得ることができた。
【図１】本発明の実施される薄膜抵抗体式フローセンサ
の一例を示し、(a) が平面図、(b) が(a) のＡ−Ａ線断
面図
の一例を示し、(a) が平面図、(b) が(a) のＡ−Ａ線断
面図
【図２】本発明の実施されるワイヤ抵抗体式フローセン
サの一例を示す側面図
サの一例を示す側面図
【図３】発熱抵抗体の駆動電流を流し始めた時点からの
消費電力の変化線図
消費電力の変化線図
【図４】環境温度の変化する場合の発熱抵抗体の消費電
力の変化線図
力の変化線図
１ 上流側測温抵抗体 ２ 下流側測温抵抗体 ３ 発熱抵抗体 ５ 下地誘電体層 ８ シリコン基体 ９ 空洞部 ２３ 上流側測温抵抗体 ２４ 下流側測温抵抗体 ２５ 発熱抵抗体
Claims (7)
- 【請求項１】流体の流れる方向に上流側測温抵抗体、発
熱抵抗体および下流側測温抵抗体が順に配列されたもの
において、発熱抵抗体が測温抵抗体の材料より抵抗温度
係数の小さい材料からなることを特徴とするフローセン
サ。 - 【請求項２】発熱抵抗体および測温抵抗体が誘電体層よ
りなるダイヤフラム上に形成された薄膜である請求項１
記載のフローセンサ。 - 【請求項３】発熱抵抗体および測温抵抗体が流体の導管
の上に巻かれた線である請求項１記載のフローセンサ。 - 【請求項４】発熱抵抗体がニオブ，白金，イリジウムお
よびタンタルの内の一つあるいはその合金よりなり、測
温抵抗体がニッケル、鉄、コバルト、ベリリウム、タン
グステン、ロジウム、ジルコニウム、銅、モリブデンお
よびチタンの内の一つあるいはその合金よりなる請求項
１、２あるいは３記載のフローセンサ。 - 【請求項５】発熱抵抗体は白金よりなり、測温抵抗体が
ニッケル、タングステン、ロジウム、ジルコニウム、モ
リブデン、チタンおよびニッケル、鉄合金のうちの一つ
よりなる請求項４記載のフローセンサ。 - 【請求項６】発熱抵抗体がタングステン、ロジウム、ジ
ルコニウム、銅、モリブデンおよびチタンの内の一つあ
るいはその合金よりなり、測温抵抗体がニッケル、鉄、
コバルトおよびベリリウムの内の一つあるいはその合金
よりなる請求項１、２あるいは３記載のフローセンサ。 - 【請求項７】発熱抵抗体はタングステンよりなり、測温
抵抗体がニッケル、鉄およびコバルトの内の一つよりな
る請求項６記載のフローセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4028573A JPH05223613A (ja) | 1992-02-15 | 1992-02-15 | フローセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4028573A JPH05223613A (ja) | 1992-02-15 | 1992-02-15 | フローセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223613A true JPH05223613A (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=12252361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4028573A Pending JPH05223613A (ja) | 1992-02-15 | 1992-02-15 | フローセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05223613A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1762851A2 (en) | 2005-09-07 | 2007-03-14 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor with metal film resistor |
| CN102104158A (zh) * | 2009-12-16 | 2011-06-22 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种微流量阀及直接液体燃料电池燃料供给系统 |
| CN106885610A (zh) * | 2011-01-13 | 2017-06-23 | 霍尼韦尔国际公司 | 具有改进的热稳定性的传感器 |
-
1992
- 1992-02-15 JP JP4028573A patent/JPH05223613A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1762851A2 (en) | 2005-09-07 | 2007-03-14 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor with metal film resistor |
| US7404320B2 (en) | 2005-09-07 | 2008-07-29 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor using a heat element and a resistance temperature detector formed of a metal film |
| EP2293084A1 (en) | 2005-09-07 | 2011-03-09 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor with metal film resistor |
| USRE43660E1 (en) | 2005-09-07 | 2012-09-18 | Hitachi, Ltd. | Flow sensor using a heat element and a resistance temperature detector formed of a metal film |
| CN102104158A (zh) * | 2009-12-16 | 2011-06-22 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种微流量阀及直接液体燃料电池燃料供给系统 |
| CN106885610A (zh) * | 2011-01-13 | 2017-06-23 | 霍尼韦尔国际公司 | 具有改进的热稳定性的传感器 |
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