JPH05226749A - 波長可変レーザー装置 - Google Patents
波長可変レーザー装置Info
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- JPH05226749A JPH05226749A JP4023913A JP2391392A JPH05226749A JP H05226749 A JPH05226749 A JP H05226749A JP 4023913 A JP4023913 A JP 4023913A JP 2391392 A JP2391392 A JP 2391392A JP H05226749 A JPH05226749 A JP H05226749A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
-
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- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/082—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors defining a plurality of resonators, e.g. for mode selection or suppression
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 広帯域の波長可変範囲を有し、簡易に出力波
長を変化できる波長可変レーザー装置を提供する。 【構成】 励起手段１は、主共振器２中のレーザー媒質
２ａを励起する。主共振器２はレーザー媒質２ａの他に
２つの共振器鏡２ｂと光入出力ポート２ｃとを備える。
励起手段１と主共振器２とによってレーザー発振を生じ
させる。副共振器３は、波長選択手段３ａとフィードバ
ック手段３ｂを備え、主共振器２からのレーザー出力を
分光した後、再び共振器鏡２ｂ間に戻す役割を有してい
る。これら励起手段１、主共振器２及び副共振器３から
なる装置には、光出力ポートが設けられ、それから光出
力を取り出すことによって波長可変レーザー装置を実現
できる。この波長可変レーザー装置は、主共振器内に波
長選択手段を設ける必要が無いので、レーザー発振が容
易である。したがって、レーザー媒質のゲインや励起エ
ネルギーが小さい場合でも発振が可能になる。
長を変化できる波長可変レーザー装置を提供する。 【構成】 励起手段１は、主共振器２中のレーザー媒質
２ａを励起する。主共振器２はレーザー媒質２ａの他に
２つの共振器鏡２ｂと光入出力ポート２ｃとを備える。
励起手段１と主共振器２とによってレーザー発振を生じ
させる。副共振器３は、波長選択手段３ａとフィードバ
ック手段３ｂを備え、主共振器２からのレーザー出力を
分光した後、再び共振器鏡２ｂ間に戻す役割を有してい
る。これら励起手段１、主共振器２及び副共振器３から
なる装置には、光出力ポートが設けられ、それから光出
力を取り出すことによって波長可変レーザー装置を実現
できる。この波長可変レーザー装置は、主共振器内に波
長選択手段を設ける必要が無いので、レーザー発振が容
易である。したがって、レーザー媒質のゲインや励起エ
ネルギーが小さい場合でも発振が可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、波長可変レーザー装置
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２８は、従来の波長可変レーザー装置
の基本的構成を示す。また図２９は、図２８の装置の実
際の構成例を示す。図示のように、一対のレーザー共振
器鏡の間の光路上に波長選択手段が配置されている。こ
のような装置で出力光の波長を変化させるためには、図
２９においてプリズムＰＳＭを回転させるか、或いは共
振器鏡兼出力ポートの平面鏡ＦＭＲを回転させていた。
の基本的構成を示す。また図２９は、図２８の装置の実
際の構成例を示す。図示のように、一対のレーザー共振
器鏡の間の光路上に波長選択手段が配置されている。こ
のような装置で出力光の波長を変化させるためには、図
２９においてプリズムＰＳＭを回転させるか、或いは共
振器鏡兼出力ポートの平面鏡ＦＭＲを回転させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の装置で
は、波長選択手段が共振器内にあるので、レーザー発振
させることが困難である。また、レーザー媒質のゲイン
が小さいときや、励起エネルギーが小さいときは、発振
を生じさせることができない場合もある。
は、波長選択手段が共振器内にあるので、レーザー発振
させることが困難である。また、レーザー媒質のゲイン
が小さいときや、励起エネルギーが小さいときは、発振
を生じさせることができない場合もある。
【０００４】さらに、出力光の波長を変化させるとき、
波長可変範囲を超えてプリズム等を回転させると、発振
が停止してしまう。したがって、このようなレーザー光
源を用いて実験等を行う際に大きな障害となる場合があ
った。
波長可変範囲を超えてプリズム等を回転させると、発振
が停止してしまう。したがって、このようなレーザー光
源を用いて実験等を行う際に大きな障害となる場合があ
った。
【０００５】一方、光出力を共振器鏡から得るとき、広
い波長域にわたって一定の透過率を持たせて、広帯域波
長可変レーザー装置を実現させたい要求がある。
い波長域にわたって一定の透過率を持たせて、広帯域波
長可変レーザー装置を実現させたい要求がある。
【０００６】しかし、このような特製の反射鏡は容易で
ない。図３０は、図２９の共振器鏡兼出力ポートの平面
鏡ＦＭＲとしてミラーＡ、Ｂを用いた場合の実際のレー
ザーの分光出力特性を示す（この場合、図２９中の凹面
鏡ＤＭＲは、広帯域全反射鏡とする。）。図３０（ａ）
はミラーＡを用いた場合を示し、図３０（ｂ）はミラー
Ｂを用いた場合を示す。
ない。図３０は、図２９の共振器鏡兼出力ポートの平面
鏡ＦＭＲとしてミラーＡ、Ｂを用いた場合の実際のレー
ザーの分光出力特性を示す（この場合、図２９中の凹面
鏡ＤＭＲは、広帯域全反射鏡とする。）。図３０（ａ）
はミラーＡを用いた場合を示し、図３０（ｂ）はミラー
Ｂを用いた場合を示す。
【０００７】ミラーＡはフラットな分光透過特性を持た
せたもので、このミラーＡの使用により、例えば８２５
ｎｍ〜８９０ｎｍの幅６５ｎｍにわたって出力波長を連
続可変することができる。しかしながら、このミラーＡ
ではフラットな分光透過特性を広帯域にわたって持たせ
ることが困難である。一方、ミラーＢはできるだけ広帯
域で分光透過特性を持たせたもので、このミラーＢの使
用により、例えば８２０ｎｍ〜９１２ｎｍの幅９２ｎｍ
にわたって出力波長を得ることができるが、グラフ上の
点で示した波長でしか発振せず、連続的に発振波長を変
化させることができなかった。発振しない波長では、ミ
ラーＢの透過率が大きくなり過ぎているものと考えられ
る。
せたもので、このミラーＡの使用により、例えば８２５
ｎｍ〜８９０ｎｍの幅６５ｎｍにわたって出力波長を連
続可変することができる。しかしながら、このミラーＡ
ではフラットな分光透過特性を広帯域にわたって持たせ
ることが困難である。一方、ミラーＢはできるだけ広帯
域で分光透過特性を持たせたもので、このミラーＢの使
用により、例えば８２０ｎｍ〜９１２ｎｍの幅９２ｎｍ
にわたって出力波長を得ることができるが、グラフ上の
点で示した波長でしか発振せず、連続的に発振波長を変
化させることができなかった。発振しない波長では、ミ
ラーＢの透過率が大きくなり過ぎているものと考えられ
る。
【０００８】このように、通常、広帯域で一定の透過特
性を有するミラーの作製は困難であり、透過率を一定に
しようとすると狭帯域となり、広帯域にしようとすると
透過特性が一定でなくなる。この結果、従来のレーザー
では、共振器鏡の特性に大きく依存した出力特性となら
ざるを得ないと言う問題があった。しかも、図３０
（ａ）および（ｂ）の出力特性において、各波長での発
振時のスペクトル幅が４ｎｍ程度と比較的広いものとな
っていた。
性を有するミラーの作製は困難であり、透過率を一定に
しようとすると狭帯域となり、広帯域にしようとすると
透過特性が一定でなくなる。この結果、従来のレーザー
では、共振器鏡の特性に大きく依存した出力特性となら
ざるを得ないと言う問題があった。しかも、図３０
（ａ）および（ｂ）の出力特性において、各波長での発
振時のスペクトル幅が４ｎｍ程度と比較的広いものとな
っていた。
【０００９】そこで、本発明は、広帯域の波長可変範囲
を有し、簡易に出力波長を変化させることができる波長
可変レーザー装置を提供することを目的とする。
を有し、簡易に出力波長を変化させることができる波長
可変レーザー装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る波長可変レーザー装置は、（ａ）励起
手段と、（ｂ）レーザー媒質と、少なくとも２つの共振
器鏡と、光入出力ポートとからなる主共振器と、（ｃ）
光入出力ポートからの出力光を波長選択する波長選択手
段と、波長選択された光を前記光入出力ポートから前記
主共振器へ戻す光フィードバック手段とからなる副共振
器と、（ｄ）励起手段、主共振器または副共振器のいず
れかに設けた光出力ポートとから構成され、この光出力
ポートから出力光を取り出すこととしている。
め、本発明に係る波長可変レーザー装置は、（ａ）励起
手段と、（ｂ）レーザー媒質と、少なくとも２つの共振
器鏡と、光入出力ポートとからなる主共振器と、（ｃ）
光入出力ポートからの出力光を波長選択する波長選択手
段と、波長選択された光を前記光入出力ポートから前記
主共振器へ戻す光フィードバック手段とからなる副共振
器と、（ｄ）励起手段、主共振器または副共振器のいず
れかに設けた光出力ポートとから構成され、この光出力
ポートから出力光を取り出すこととしている。
【００１１】
【作用】上記の波長可変レーザー装置にあっては、主共
振器内に波長選択手段を設ける必要が無いので、レーザ
ー発振が容易である。したがって、レーザー媒質のゲイ
ンが小さいときや励起エネルギーが小さい場合であって
も発振が可能になる。しかも、常に主共振器を発振状態
におくことができるので、波長可変レーザー装置が停止
することを防止でき、これを用いた実験を行うに際して
障害とならない。
振器内に波長選択手段を設ける必要が無いので、レーザ
ー発振が容易である。したがって、レーザー媒質のゲイ
ンが小さいときや励起エネルギーが小さい場合であって
も発振が可能になる。しかも、常に主共振器を発振状態
におくことができるので、波長可変レーザー装置が停止
することを防止でき、これを用いた実験を行うに際して
障害とならない。
【００１２】
【実施例】図１は、本発明の波長可変レーザーの基本構
成を示した図である。励起手段１は、主共振器２中のレ
ーザー媒質２ａを励起する。主共振器２はレーザー媒質
２ａの他に２つの共振器鏡２ｂと光入出力ポート２ｃと
を備える。励起手段１と主共振器２とによってレーザー
発振を生じさせることができる。副共振器３は、波長選
択手段３ａとフィードバック手段３ｂを備え、主共振器
２からのレーザー出力を分光した後、再び共振器鏡２ｂ
間に戻す役割を有している。これら励起手段１、主共振
器２及び副共振器３からなる装置には、光出力ポート４
が設けられている。この光出力ポート４から光出力を取
り出すことによって波長可変レーザー装置を実現するこ
とができる。
成を示した図である。励起手段１は、主共振器２中のレ
ーザー媒質２ａを励起する。主共振器２はレーザー媒質
２ａの他に２つの共振器鏡２ｂと光入出力ポート２ｃと
を備える。励起手段１と主共振器２とによってレーザー
発振を生じさせることができる。副共振器３は、波長選
択手段３ａとフィードバック手段３ｂを備え、主共振器
２からのレーザー出力を分光した後、再び共振器鏡２ｂ
間に戻す役割を有している。これら励起手段１、主共振
器２及び副共振器３からなる装置には、光出力ポート４
が設けられている。この光出力ポート４から光出力を取
り出すことによって波長可変レーザー装置を実現するこ
とができる。
【００１３】主共振器２の光入出力ポート２ｃは、レー
ザー媒質２ａ、２つの共振器鏡２ｂのいずれか一方で行
うことができ、また、それぞれの間に配置することもで
きる。さらに、光出力ポート４は、励起手段１、主共振
器２及び副共振器３のいずれかで行うことが可能であ
り、また、それぞれの間に配置することもできる。
ザー媒質２ａ、２つの共振器鏡２ｂのいずれか一方で行
うことができ、また、それぞれの間に配置することもで
きる。さらに、光出力ポート４は、励起手段１、主共振
器２及び副共振器３のいずれかで行うことが可能であ
り、また、それぞれの間に配置することもできる。
【００１４】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１５】図２は、第１実施例の具体的構成を示す。
第１実施例では、励起手段１として半導体レーザー（Ｌ
Ｄ）光による光励起を用いた場合が示してある。励起の
ためには、ＬＤ光の他に、電流、放電、Ａｒレーザーな
どの気体レーザー光、フラッシュランプ光、色素レーザ
ーなどの液体レーザー光等を用いることができる。主共
振器２中のレーザー媒質としては、固体レーザー媒質で
あるＣｒ3+：ＬｉＳｒＡｌＦ6 媒質を用いたが、これ以
外であってもよく、例えば色素レーザー媒質、気体レー
ザー媒質等を使用することができる。
第１実施例では、励起手段１として半導体レーザー（Ｌ
Ｄ）光による光励起を用いた場合が示してある。励起の
ためには、ＬＤ光の他に、電流、放電、Ａｒレーザーな
どの気体レーザー光、フラッシュランプ光、色素レーザ
ーなどの液体レーザー光等を用いることができる。主共
振器２中のレーザー媒質としては、固体レーザー媒質で
あるＣｒ3+：ＬｉＳｒＡｌＦ6 媒質を用いたが、これ以
外であってもよく、例えば色素レーザー媒質、気体レー
ザー媒質等を使用することができる。
【００１６】主共振器２の２つの共振器鏡のうち一方
は、レーザー媒質にコーティングを施すことによって形
成されている。他方の共振器鏡は凹面反射鏡で、これに
一部の光を透過する特性を持たせることによって入出力
ポート２ｃとしても機能させている。副共振器３は、凹
面反射鏡や反射鏡からなる共振器、ブリュースタープリ
ズム等によって構成される。この副共振器３の共振器内
にはビームスプリッターが設けられている。このビーム
スプリッターは光出力ポート４として機能する。
は、レーザー媒質にコーティングを施すことによって形
成されている。他方の共振器鏡は凹面反射鏡で、これに
一部の光を透過する特性を持たせることによって入出力
ポート２ｃとしても機能させている。副共振器３は、凹
面反射鏡や反射鏡からなる共振器、ブリュースタープリ
ズム等によって構成される。この副共振器３の共振器内
にはビームスプリッターが設けられている。このビーム
スプリッターは光出力ポート４として機能する。
【００１７】図２の第１実施例の動作例について説明す
る。半導体レーザーＬＤ1 、ＬＤ2は共に６７０ｎｍの
波長の励起光を発生する。半導体レーザーＬＤ1 は紙面
内の偏光方向を有し、半導体レーザーＬＤ2 は紙面に垂
直の偏光方向を有する。コリメートレンズ（ＣＬ；coll
imating lens）は、各半導体レーザーからの出力光を平
行にする。補償光学系（ＡＰ；anamorfic prism pair）
は、半導体レーザ特有の楕円の光束を円形の光束に変換
する。偏光ビームスプリッター（ＰＢＳ）は、各半導体
レーザーＬＤ1 、ＬＤ2 からの出力光を合成し、集光レ
ンズ（ＦＬ；focusing lens ）とともに全ての光を主共
振器２に注入する。偏光ビームスプリッター、集光レン
ズ等はＡＲコートを施してあることが望ましい。
る。半導体レーザーＬＤ1 、ＬＤ2は共に６７０ｎｍの
波長の励起光を発生する。半導体レーザーＬＤ1 は紙面
内の偏光方向を有し、半導体レーザーＬＤ2 は紙面に垂
直の偏光方向を有する。コリメートレンズ（ＣＬ；coll
imating lens）は、各半導体レーザーからの出力光を平
行にする。補償光学系（ＡＰ；anamorfic prism pair）
は、半導体レーザ特有の楕円の光束を円形の光束に変換
する。偏光ビームスプリッター（ＰＢＳ）は、各半導体
レーザーＬＤ1 、ＬＤ2 からの出力光を合成し、集光レ
ンズ（ＦＬ；focusing lens ）とともに全ての光を主共
振器２に注入する。偏光ビームスプリッター、集光レン
ズ等はＡＲコートを施してあることが望ましい。
【００１８】レーザー媒質（Ｃｒ3+：ＬｉＳｒＡｌ
Ｆ6 ）は、波長可変の固体レーザー媒質である。レーザ
ー媒質の左端面（ＨＴ，ＨＲ）は、６７０ｎｍの光を高
率で透過し、８６５ｎｍの光を高率で反射する。この左
端面は、励起光を効率よくレーザー媒質に入射させると
ともに、誘導放出光を閉じこめる共振器鏡としても利用
される。レーザー媒質の左端面（ＡＲ）は、８６５ｎｍ
の光を反射しない。これにより、主共振器２内のレーザ
ー発振光のロスを小さくすることができる。共振器鏡
（ＲＭ；resonatinng mirror）は、９９％反射で曲率半
径１０ｃｍの凹面鏡からなり、主共振器２の出力鏡とし
て本レーザーでは共振器鏡として作用するのみならず、
光入出力ポート２ｃを兼ねる。つまり、副共振器３がな
くてもレーザー発振するようになっている。
Ｆ6 ）は、波長可変の固体レーザー媒質である。レーザ
ー媒質の左端面（ＨＴ，ＨＲ）は、６７０ｎｍの光を高
率で透過し、８６５ｎｍの光を高率で反射する。この左
端面は、励起光を効率よくレーザー媒質に入射させると
ともに、誘導放出光を閉じこめる共振器鏡としても利用
される。レーザー媒質の左端面（ＡＲ）は、８６５ｎｍ
の光を反射しない。これにより、主共振器２内のレーザ
ー発振光のロスを小さくすることができる。共振器鏡
（ＲＭ；resonatinng mirror）は、９９％反射で曲率半
径１０ｃｍの凹面鏡からなり、主共振器２の出力鏡とし
て本レーザーでは共振器鏡として作用するのみならず、
光入出力ポート２ｃを兼ねる。つまり、副共振器３がな
くてもレーザー発振するようになっている。
【００１９】ブリュースタープリズム（ＢＰ；brewster
prism）は、ロスなく波長選択するためのものである。
全反射鏡（ＴＲ；total reflection mirror ）は、主共
振器２に光をフィードバックする。この全反射鏡の裏
面、コリメートレンズ（ＣＬ；collimating lens）等に
は、レーザー発振光に対するＡＲコートがしてあること
が望ましい。
prism）は、ロスなく波長選択するためのものである。
全反射鏡（ＴＲ；total reflection mirror ）は、主共
振器２に光をフィードバックする。この全反射鏡の裏
面、コリメートレンズ（ＣＬ；collimating lens）等に
は、レーザー発振光に対するＡＲコートがしてあること
が望ましい。
【００２０】ビームスプリッター（ＢＳ）は、２つの反
射光を出力光として取り出す。すなわち、光出力ポート
４として機能する。ビームスプリッター（ＢＳ）のかわ
りに、ガラスプレートを用いることもできる。反射コー
ティング裏面、ガラスプレート裏面は、ＡＲコートして
あることが望ましい。
射光を出力光として取り出す。すなわち、光出力ポート
４として機能する。ビームスプリッター（ＢＳ）のかわ
りに、ガラスプレートを用いることもできる。反射コー
ティング裏面、ガラスプレート裏面は、ＡＲコートして
あることが望ましい。
【００２１】図２を参照してさらに詳細な説明を行う。
レーザー媒質であるＣｒ3+：ＬｉＳｒＡｌＦ6 は、Ｃｒ
3+を３％ドープした５ｍｍキューブの結晶である。主共
振器２の共振器長は約１０ｃｍとした。主共振器２のレ
ーザーのみでの出力光は、最大出力５２．６ｍＷで、中
心波長８４９．１ｎｍで、スペクトル幅４．３ｎｍであ
った。副共振器３の共振器長は約３０ｃｍとした。最終
的な出力光は、副共振器３中に配置されるべきビームス
プリッターとしてガラスプレートを用い、その反射によ
って外部に取り出されている。このとき、ガラスプレー
トの反射率Ｒが７％となるように角度を調節した。ただ
し、この反射率Ｒはガラス表面と裏面の両方の反射を含
んだものになっている。
レーザー媒質であるＣｒ3+：ＬｉＳｒＡｌＦ6 は、Ｃｒ
3+を３％ドープした５ｍｍキューブの結晶である。主共
振器２の共振器長は約１０ｃｍとした。主共振器２のレ
ーザーのみでの出力光は、最大出力５２．６ｍＷで、中
心波長８４９．１ｎｍで、スペクトル幅４．３ｎｍであ
った。副共振器３の共振器長は約３０ｃｍとした。最終
的な出力光は、副共振器３中に配置されるべきビームス
プリッターとしてガラスプレートを用い、その反射によ
って外部に取り出されている。このとき、ガラスプレー
トの反射率Ｒが７％となるように角度を調節した。ただ
し、この反射率Ｒはガラス表面と裏面の両方の反射を含
んだものになっている。
【００２２】図３は、得られた分光出力特性をグラフに
したものである。出力光のスペクトル幅は、いずれの波
長においても約２ｎｍであった。図３からも明らかなよ
うに、全体のレーザー装置は、固体レーザーとして最も
連続波長可変範囲の広い８２２ｎｍ〜９２２ｎｍの１０
０ｎｍにわたって２ｍＷ以上の出力が得られている。こ
の場合、レーザー装置の出力は、すでに図２に示したよ
うに２ビームとして得られる。出力光の波長の変化は、
光フィードバックのための共振器鏡となる全反射鏡（Ｔ
Ｒ）を図中の矢印のように回転させて行った。このよう
な波長変化はプリズムを回転させることによっても達成
できる。
したものである。出力光のスペクトル幅は、いずれの波
長においても約２ｎｍであった。図３からも明らかなよ
うに、全体のレーザー装置は、固体レーザーとして最も
連続波長可変範囲の広い８２２ｎｍ〜９２２ｎｍの１０
０ｎｍにわたって２ｍＷ以上の出力が得られている。こ
の場合、レーザー装置の出力は、すでに図２に示したよ
うに２ビームとして得られる。出力光の波長の変化は、
光フィードバックのための共振器鏡となる全反射鏡（Ｔ
Ｒ）を図中の矢印のように回転させて行った。このよう
な波長変化はプリズムを回転させることによっても達成
できる。
【００２３】図４は、ガラスプレートへの光入射角を変
えてＲ＝２．０％としたときの分光出力特性を示した図
である。この場合、出力は低下したが、波長８２０ｎｍ
〜９３０ｎｍまでの幅１１０ｎｍにわたって１ｍＷ以上
の出力が得られた。
えてＲ＝２．０％としたときの分光出力特性を示した図
である。この場合、出力は低下したが、波長８２０ｎｍ
〜９３０ｎｍまでの幅１１０ｎｍにわたって１ｍＷ以上
の出力が得られた。
【００２４】図５は、ビームスプリッター（ＢＳ）とし
て８μｍの薄膜の誘電体多層膜ペリクルを用いた場合の
レーザー装置の分光出力特性を示す。曲線Ａ、Ｂともに
ペリクルの分光反射特性に多少依存したカーブを示す。
波長可変領域は、曲線Ａの場合９０ｎｍで、曲線Ｂの場
合８６ｎｍであった。この場合、ともに特定の波長に限
れば高出力が得られる。このように光出力ポートに利用
するビームスプリッターは、キューブビームスプリッタ
ーであってもよい。
て８μｍの薄膜の誘電体多層膜ペリクルを用いた場合の
レーザー装置の分光出力特性を示す。曲線Ａ、Ｂともに
ペリクルの分光反射特性に多少依存したカーブを示す。
波長可変領域は、曲線Ａの場合９０ｎｍで、曲線Ｂの場
合８６ｎｍであった。この場合、ともに特定の波長に限
れば高出力が得られる。このように光出力ポートに利用
するビームスプリッターは、キューブビームスプリッタ
ーであってもよい。
【００２５】次に、第１実施例を基本とした、主要部の
変更実施例を示す。
変更実施例を示す。
【００２６】まず、励起手段における、他の実施例を示
す。
す。
【００２７】第１実施例では、励起は２つのＬＤにより
行ったが、図６のように、１つのＬＤにより励起しても
良い。ここで、Ａｒレーザー等で励起するときは、コリ
メートレンズや補償光学系は省略できる。このことは、
後述する他の励起手段においても同様である。
行ったが、図６のように、１つのＬＤにより励起しても
良い。ここで、Ａｒレーザー等で励起するときは、コリ
メートレンズや補償光学系は省略できる。このことは、
後述する他の励起手段においても同様である。
【００２８】また、図７のように凹面鏡を用いて励起光
を集光することにより、レーザー媒質（図示せず）を励
起しても良い。もちろん、レーザー結晶の横から励起す
ることとしても良い。
を集光することにより、レーザー媒質（図示せず）を励
起しても良い。もちろん、レーザー結晶の横から励起す
ることとしても良い。
【００２９】図８のように、シリンドリカルレンズを励
起光の集光レンズに用いても良い。また、図９のよう
に、励起光が強い光であれば、集光しなくても良い。こ
の場合、ＬＤはレーザー媒質にできるだけ近づける必要
がある。
起光の集光レンズに用いても良い。また、図９のよう
に、励起光が強い光であれば、集光しなくても良い。こ
の場合、ＬＤはレーザー媒質にできるだけ近づける必要
がある。
【００３０】次に、主共振器における、他の実施例を示
す。
す。
【００３１】図１０のように、レーザー媒質にコーティ
ングを施して得た共振器鏡を光入出力ポートとしても良
く、また、凹面鏡を光入出力ポートとしても良い。この
場合、２つのビームの少なくとも一方を用いる。
ングを施して得た共振器鏡を光入出力ポートとしても良
く、また、凹面鏡を光入出力ポートとしても良い。この
場合、２つのビームの少なくとも一方を用いる。
【００３２】図１１のように、共振器鏡を構成する２つ
の凹面鏡のどちらかを光入出力ポートとしても良い。図
１２のように、２つの凹面鏡と光入出力ポートとなる共
振器鏡により主共振器を構成しても良い。この場合、２
つのビームの少なくとも一方を出力光として用いる。ま
た、凹面鏡はパラボラ型反射鏡でも良い。
の凹面鏡のどちらかを光入出力ポートとしても良い。図
１２のように、２つの凹面鏡と光入出力ポートとなる共
振器鏡により主共振器を構成しても良い。この場合、２
つのビームの少なくとも一方を出力光として用いる。ま
た、凹面鏡はパラボラ型反射鏡でも良い。
【００３３】また、図１３のように、レーザー媒質と共
振器鏡の間に、ほぼブリュースター角で配置したビーム
スプリッターＢＳを光入出力ポートとして用いても良
い。このとき、２つのビームのうち少なくとも一方を光
入出力ポートとする。この場合、ビームスプリッターＢ
Ｓの他端はＡＲコーティングすることが望ましい。ま
た、このビームスプリッターは、ガラスプレートでも良
い。
振器鏡の間に、ほぼブリュースター角で配置したビーム
スプリッターＢＳを光入出力ポートとして用いても良
い。このとき、２つのビームのうち少なくとも一方を光
入出力ポートとする。この場合、ビームスプリッターＢ
Ｓの他端はＡＲコーティングすることが望ましい。ま
た、このビームスプリッターは、ガラスプレートでも良
い。
【００３４】図１０から図１２に示した実施例の共振器
内の光に対し、ビームスプリッターを入れて、これを入
出力ポートとして利用できる。この場合、共振器鏡には
透過率をもたせる必要がなく、全反射コーティングを施
せば良く、コーティングがしやすい。
内の光に対し、ビームスプリッターを入れて、これを入
出力ポートとして利用できる。この場合、共振器鏡には
透過率をもたせる必要がなく、全反射コーティングを施
せば良く、コーティングがしやすい。
【００３５】次に、副共振器の他の実施例を示す。
【００３６】図１４に示すように、透過グレーティング
と光フィードバック手段として全反射鏡を用いる構成で
もよい。図１５に示すように、波長選択手段と光フィー
ドバック手段を兼ねて反射グレーティングを用いる構成
でもよい。また、図１６に示すように、角度により波長
を変えるようにした複屈折フィルターを用いる構成でも
良い。この場合、ブリュースター角度で配置することが
望ましい。
と光フィードバック手段として全反射鏡を用いる構成で
もよい。図１５に示すように、波長選択手段と光フィー
ドバック手段を兼ねて反射グレーティングを用いる構成
でもよい。また、図１６に示すように、角度により波長
を変えるようにした複屈折フィルターを用いる構成でも
良い。この場合、ブリュースター角度で配置することが
望ましい。
【００３７】他に、エタロン、干渉フィルター等を波長
選択手段に用いても良く、組み合わせたり、多段に接続
したりして用いても良い。また、図１２および図１３に
示したように、光入出力ポートが２ビーム得られる時
は、一方から取り出し、他方へ入力するようにしても良
い。
選択手段に用いても良く、組み合わせたり、多段に接続
したりして用いても良い。また、図１２および図１３に
示したように、光入出力ポートが２ビーム得られる時
は、一方から取り出し、他方へ入力するようにしても良
い。
【００３８】図１７に示した矢印の光の進行方向と逆の
進行方向の光も存在するが、共に選択する波長を等しく
することもできるし、一方のみの進行方向の光だけ用い
るように、途中に光アイソレータを入れても良い。
進行方向の光も存在するが、共に選択する波長を等しく
することもできるし、一方のみの進行方向の光だけ用い
るように、途中に光アイソレータを入れても良い。
【００３９】図１８は、光フィードバック手段を進行レ
ンズ、光ファイバ、レンズ、全反射鏡の組み合わせとし
た例である。波長を変化させるには、光フィードバック
手段を一体化して、回転しても良いし、プリズムＰＳＭ
を回転しても良い。
ンズ、光ファイバ、レンズ、全反射鏡の組み合わせとし
た例である。波長を変化させるには、光フィードバック
手段を一体化して、回転しても良いし、プリズムＰＳＭ
を回転しても良い。
【００４０】また、プリズムＰＳＭで分光した光を全て
光ファイバーに入射するようにして、プリズムと光フィ
ードバック手段の間に配置されたスリットを移動するよ
うにしても良い（図１９）。また、位相共役光発生用結
晶、例えば、ＢａＴｉＯ3 結晶を光フィードバック手段
に用いて、その位相共役光を光フィードバックしても良
い（図２０）。
光ファイバーに入射するようにして、プリズムと光フィ
ードバック手段の間に配置されたスリットを移動するよ
うにしても良い（図１９）。また、位相共役光発生用結
晶、例えば、ＢａＴｉＯ3 結晶を光フィードバック手段
に用いて、その位相共役光を光フィードバックしても良
い（図２０）。
【００４１】次に、光出力ポートにおける第１実施例以
外の実施例を示す。
外の実施例を示す。
【００４２】副共振器中に光出力ポートを設ける場合
は、図１４、１６、１７、１８、１９における全反射鏡
を、一部透過可能な反射鏡として、そこから出力を得る
かまたは、波長選択素子の反射光を光出力ポートとす
る。この他、図２のレンズ表面での反射光などを利用す
ることもできる。この場合、凸レンズは平凸レンズとし
て、凸側をＡＲコートし、平端面の反射光を用いるよう
にしても良い。さらに、平端面に反射コーティングを施
すと良い。
は、図１４、１６、１７、１８、１９における全反射鏡
を、一部透過可能な反射鏡として、そこから出力を得る
かまたは、波長選択素子の反射光を光出力ポートとす
る。この他、図２のレンズ表面での反射光などを利用す
ることもできる。この場合、凸レンズは平凸レンズとし
て、凸側をＡＲコートし、平端面の反射光を用いるよう
にしても良い。さらに、平端面に反射コーティングを施
すと良い。
【００４３】主共振器中に光出力ポートを用いる場合
は、図１２、１３などの２つのビームが主共振器の光入
出力ポートとして利用できる時、一方を光入出力ポート
として利用し、他のビームを光出力ポートとして利用す
る。
は、図１２、１３などの２つのビームが主共振器の光入
出力ポートとして利用できる時、一方を光入出力ポート
として利用し、他のビームを光出力ポートとして利用す
る。
【００４４】また、図１０、１１などのように、共振器
鏡を一部透過する反射鏡として、主共振器の光入出力ポ
ートとして利用する時、他の共振器鏡を一部透過する反
射鏡として、これを光出力ポートとする。図２１に図８
の実施例における光出力ポートに関する実施例を示し、
また、図２２にそれを励起手段にも用いる場合を示す。
鏡を一部透過する反射鏡として、主共振器の光入出力ポ
ートとして利用する時、他の共振器鏡を一部透過する反
射鏡として、これを光出力ポートとする。図２１に図８
の実施例における光出力ポートに関する実施例を示し、
また、図２２にそれを励起手段にも用いる場合を示す。
【００４５】また、光出力ポートから２ビームが得られ
る時、全反射を用いて、一方から出力するようにしても
良い（図２３）。さらに、図２４のように、レーザーの
構成をリングレーザーとしても良い。
る時、全反射を用いて、一方から出力するようにしても
良い（図２３）。さらに、図２４のように、レーザーの
構成をリングレーザーとしても良い。
【００４６】以上、各部において、説明した実施例を種
々組み合わせて、波長可変レーザーを構成することがで
きる。
々組み合わせて、波長可変レーザーを構成することがで
きる。
【００４７】第２の発明として、副共振器の共振器長
（Ｌsub ）を主共振器の共振器長（Ｌmain）の整数倍、
あるいは整数分の１とし、 ｆ＝Ｃ／２Ｌmain （主共振器がリングの時は、ｆ＝Ｃ／Ｌmain）で決定さ
れるｆの整数倍（１、２、３、…）で強度変調をかける
構成がある。
（Ｌsub ）を主共振器の共振器長（Ｌmain）の整数倍、
あるいは整数分の１とし、 ｆ＝Ｃ／２Ｌmain （主共振器がリングの時は、ｆ＝Ｃ／Ｌmain）で決定さ
れるｆの整数倍（１、２、３、…）で強度変調をかける
構成がある。
【００４８】Ａ−Ｏ素子、Ｅ−Ｏ素子を用いて主共振器
に変調部を設け、固体レーザー媒質自体をＡ−Ｏ素子と
して使用した例を図２５に示す。この時、ｆの強度変調
をさせるには、ｆ／２の周波数を印加する。この他、レ
ーザー媒質自体の光非線形性を利用したカーレンズモー
ドロックも利用できる。この場合、自励モードロックし
てパルスレーザーとなる。
に変調部を設け、固体レーザー媒質自体をＡ−Ｏ素子と
して使用した例を図２５に示す。この時、ｆの強度変調
をさせるには、ｆ／２の周波数を印加する。この他、レ
ーザー媒質自体の光非線形性を利用したカーレンズモー
ドロックも利用できる。この場合、自励モードロックし
てパルスレーザーとなる。
【００４９】また、主共振器の光入出力ポートを兼ねた
出力鏡を厚くし、これをＡ−Ｏ素子として用い、副共振
器に変調部を設けたても良い（図２６）。この他、図１
８、図１９の例のように、光の干渉効果を利用したアデ
ィティブモードロックも利用できる。この場合、自励モ
ードロックして、パルスレーザーとなる。
出力鏡を厚くし、これをＡ−Ｏ素子として用い、副共振
器に変調部を設けたても良い（図２６）。この他、図１
８、図１９の例のように、光の干渉効果を利用したアデ
ィティブモードロックも利用できる。この場合、自励モ
ードロックして、パルスレーザーとなる。
【００５０】第３の発明として、光出力ポートが２ビー
ムある時、一方のビームを光電変換器で光強度を電流あ
るいは電圧に変換し、この信号をもとにレーザー光を安
定させる構成がある。図２７に示すように、光電変換器
からの出力信号は、制御回路を経て、励起用光源である
ＬＤにフィードバックされて、ＬＤの出力を変化させ、
光出力を安定化する。この他に、出力信号はピエゾ素子
に入力し、主共振器の光入出力ポートを兼ねた光共振器
鏡（Ａ）、あるいは、副共振器の光フィードバック手段
（Ｂ）を光軸方向に変化させて、Ｌmain、あるいは、Ｌ
sub の少なくとも一方を変化させて安定化させる構成で
も良い。
ムある時、一方のビームを光電変換器で光強度を電流あ
るいは電圧に変換し、この信号をもとにレーザー光を安
定させる構成がある。図２７に示すように、光電変換器
からの出力信号は、制御回路を経て、励起用光源である
ＬＤにフィードバックされて、ＬＤの出力を変化させ、
光出力を安定化する。この他に、出力信号はピエゾ素子
に入力し、主共振器の光入出力ポートを兼ねた光共振器
鏡（Ａ）、あるいは、副共振器の光フィードバック手段
（Ｂ）を光軸方向に変化させて、Ｌmain、あるいは、Ｌ
sub の少なくとも一方を変化させて安定化させる構成で
も良い。
【００５１】以上、第２、第３の発明を合わせて、第１
の発明に適用することもできる。
の発明に適用することもできる。
【００５２】図３の分光出力特性１は、副共振器の光フ
ィードバック手段であるミラーに、図３０の（ｂ）の特
性が得られた時のミラーＢを用い、主共振器の共振器
鏡、兼、光入出力ポートである凹面鏡に図３０（ａ）の
特性が得られた時のミラーＢと同一のコーティングをし
たミラーを用いた場合に得られた特性である。
ィードバック手段であるミラーに、図３０の（ｂ）の特
性が得られた時のミラーＢを用い、主共振器の共振器
鏡、兼、光入出力ポートである凹面鏡に図３０（ａ）の
特性が得られた時のミラーＢと同一のコーティングをし
たミラーを用いた場合に得られた特性である。
【００５３】このように、主共振器の共振器鏡のや光フ
ィードバック手段の分光特性に大きくは依存しないの
で、広帯域連続波長可変レーザーを構成できる。また、
その出力特性もフラットに近づけることができる。ま
た、出力光のスペクトル幅は１〜２ｎｍと、従来より狭
くすることができた。
ィードバック手段の分光特性に大きくは依存しないの
で、広帯域連続波長可変レーザーを構成できる。また、
その出力特性もフラットに近づけることができる。ま
た、出力光のスペクトル幅は１〜２ｎｍと、従来より狭
くすることができた。
【００５４】さらに、主共振器は発振しているので、副
共振器に光出力ポートを配置する場合、多くのビームを
取り出すことができ、このうちの１つを安定化に用いる
ことができる。
共振器に光出力ポートを配置する場合、多くのビームを
取り出すことができ、このうちの１つを安定化に用いる
ことができる。
【００５５】
【発明の効果】本発明では、主共振器に波長選択手段を
必要としないので、レーザー発振が容易である。また、
レーザー媒質の利得が小さい時や、励起エネルギーが小
さい場合でも発振させることができる。また、常に主共
振器は発振状態にあり、レーザーが停止することはない
ので、実験を行うのに障害とならない。
必要としないので、レーザー発振が容易である。また、
レーザー媒質の利得が小さい時や、励起エネルギーが小
さい場合でも発振させることができる。また、常に主共
振器は発振状態にあり、レーザーが停止することはない
ので、実験を行うのに障害とならない。
【図１】基本構成ブロック図である。
【図２】第１実施例の構成を示す図である。
【図３】レーザーの分光出力特性を示す図である。
【図４】レーザーの分光出力特性２を示す図である。
【図５】レーザーの分光出力特性３を示す図である。
【図６】励起手段の他の実施例を示す図である。
【図７】励起手段の他の実施例を示す図である。
【図８】励起手段の他の実施例を示す図である。
【図９】励起手段の他の実施例を示す図である。
【図１０】主共振器鏡の他の実施例を示す図である。
【図１１】主共振器鏡の他の実施例を示す図である。
【図１２】主共振器鏡の他の実施例を示す図である。
【図１３】主共振器鏡の他の実施例を示す図である。
【図１４】副共振器の他の実施例を示す図である。
【図１５】副共振器の他の実施例を示す図である。
【図１６】副共振器の他の実施例を示す図である。
【図１７】副共振器の他の実施例を示す図である。
【図１８】副共振器の他の実施例を示す図である。
【図１９】副共振器の他の実施例を示す図である。
【図２０】副共振器の他の実施例を示す図である。
【図２１】図８の実施例における光出力ポートに関する
他の実施例を示す図である。
他の実施例を示す図である。
【図２２】光出力ポートの他の実施例を示す図である。
【図２３】波長可変レーザーの他の実施例を示す図であ
る。
る。
【図２４】波長可変レーザーの他の実施例を示す図であ
る。
る。
【図２５】第２の発明に関わる実施例を示す図である。
【図２６】第２の発明に関わる他の実施例を示す図であ
る。
る。
【図２７】第３の発明に関わる実施例を示す図である。
【図２８】従来技術の基本構成ブロック図である。
【図２９】従来技術の実際の構成例を示す図である。
【図３０】従来技術の分光出力特性を示す図である。
１…励起手段、２…主共振器、２ａ…レーザー媒質、２
ｂ…共振器鏡、２ｃ…光入出力ポート、３…副共振器、
３ａ…波長選択手段、３ｂ…フィードバック手段、４…
光出力ポート
ｂ…共振器鏡、２ｃ…光入出力ポート、３…副共振器、
３ａ…波長選択手段、３ｂ…フィードバック手段、４…
光出力ポート
Claims (29)
- 【請求項１】 励起手段と、 この励起手段により励起されるレーザー媒質と、少なく
とも２つの共振器鏡と、光入出力ポートとからなる主共
振器と、 前記光入出力ポートからの出力光を波長選択する波長選
択手段と、波長選択された光を前記光入出力ポートから
前記主共振器へ戻す光フィードバック手段とからなる副
共振器と、 前記励起手段、主共振器または副共振器のいずれかに設
けた光出力ポートとから構成され、この光出力ポートか
ら出力光を取り出すことを特徴とする波長可変レーザー
装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記励起手段は半導
体レーザーを含み、この出力光を利用して前記レーザー
媒質の光励起を行うことを特徴とする装置。 - 【請求項３】 請求項２において、前記励起手段からの
励起光は凸レンズ、凹面鏡、パラボラ型反射鏡またはシ
リンドリカルレンズのいずれかで集光されて、前記主共
振器内の前記レーザー媒質を励起することを特徴とする
装置。 - 【請求項４】 請求項１において、前記主共振器はファ
ブリーペロ型共振器あるいはリング共振器であり、前記
光入出力ポートは前記共振器鏡にレーザー光の一部を透
過する特性を持たせて、当該共振器鏡に入出力の作用を
兼ねさせることにより構成されたもの、あるいは当該共
振器内にビームスプリッターを配置して構成されたもの
であることを特徴とする装置。 - 【請求項５】 請求項４において、前記レーザー媒質は
Ｃｒ3 + ：ＬｉＳｒＡｌＦ6 等の固体レーザー媒質であ
ることを特徴とする装置。 - 【請求項６】 請求項５において、前記共振器鏡の少な
くとも１つを固体レーザー媒質にコーティングして構成
したことを特徴とする装置。 - 【請求項７】 請求項１において、前記副共振器の有す
る前記波長選択手段は、透過型グレーティング、三角形
状プリズム、または複屈折フィルターであり、前記光フ
ィードバック手段は全反射鏡であることを特徴とする装
置。 - 【請求項８】 請求項７において、前記光フィードバッ
ク手段は光ファイバーと全反射鏡とを含むものであるこ
とを特徴とする装置。 - 【請求項９】 請求項７において、前記光フィードバッ
ク手段はＢａＴｉＯ3 結晶等の位相共役波発生結晶、あ
るいは光ファイバーと位相共役波発生結晶とを含むもの
であることを特徴とする装置。 - 【請求項１０】 請求項１において、前記副共振器は反
射型グレーティング等を用いて、前記波長選択手段と前
記光フィードバック手段を兼ねて作用させるものである
ことを特徴とする装置。 - 【請求項１１】 請求項６、または請求項９において、
前記波長選択手段はエタロン、または干渉フィルター等
も含めて、多段に複数個併用したものであることを特徴
とする装置。 - 【請求項１２】 請求項１１において、前記光出力ポー
トは、前記主共振器、または副共振器内のレーザー光を
一部反射して取り出すビームスプリッターであることを
特徴とする装置。 - 【請求項１３】 請求項１、または請求項２において、
前記光出力ポートは、前記主共振器の共振器鏡、あるい
は前記副共振器の光フィードバック手段にレーザー光の
一部を透過させる特性を持たせて光出力作用を生じさ
せ、レーザー光を取り出すようにすることで構成したこ
とを特徴とする装置。 - 【請求項１４】 請求項１において、前記光出力ポート
は、前記主共振器および副共振器からなる波長可変レー
ザーを構成する光学素子表面の反射を利用して、反射光
をレーザー光出力として取り出すことを特徴とする装
置。 - 【請求項１５】 請求項１３において、前記励起手段か
らの励起光は三角プリズムで入射し、前記光出力ポート
は、前記主共振器の励起光入射端面からの出力光を三角
プリズムで分光出力した後、全反射鏡でレーザー光を取
り出すように作用させた光出力ポートを有することを特
徴とする装置。 - 【請求項１６】 請求項１、または請求項１５におい
て、光出力ポートが逆方向に２ビーム得られる時、一方
のビームを反射鏡で反射させ、他方のビームに重ねて出
力することを特徴とする装置。 - 【請求項１７】 請求項１、または請求項１６におい
て、前記主共振器と副共振器からなる波長可変レーザー
をリングレーザーとすることを特徴とする装置。 - 【請求項１８】 請求項１、または請求項１７におい
て、前記主共振器の光入出力ポートからの出力光がビー
ム拡がりをもつとき、これを平行光にするためのコリメ
ートレンズ、凹面鏡、またはパラボラ型反射鏡のいずれ
かを前記光入出力ポートと、前記副共振器の波長選択手
段との間に配置したことを特徴とする装置。 - 【請求項１９】 請求項１８において、前記コリメート
レンズを平−凸レンズとし、平端面からの反射光をレー
ザー光出力として取り出すようにして、光出力ポートを
作用させることを特徴とする装置。 - 【請求項２０】 請求項１９において、前記コリメート
レンズの平端面に反射コーティングを施したことを特徴
とする装置。 - 【請求項２１】 請求項１、または請求項２０におい
て、前記主共振器および副共振器からなる波長可変レー
ザーを構成する素子の反射を必要としない各端面のう
ち、少なくとも１つに無反射コーティングを施したこと
を特徴とする装置。 - 【請求項２２】 請求項１、または請求項２１におい
て、前記副共振器の共振器長を前記主共振器の共振器長
の整数倍、または整数分の１とし、縦モード間の周波数
間隔の整数倍で強度変調をかけ、パルス光を発生するよ
うに構成したことを特徴とする装置。 - 【請求項２３】 請求項２２において、前記レーザー媒
質をＡ−Ｏ素子として利用したことを特徴とする装置。 - 【請求項２４】 請求項２２において、前記レーザー媒
質の光非線形性を利用し、カーレンズモードロック等の
自励モードロックを行うことを特徴とする装置。 - 【請求項２５】 請求項２２において、前記主共振器の
共振器鏡を構成する前記副共振器側の透明光学媒質をＡ
−Ｏ素子として利用することを特徴とする装置。 - 【請求項２６】 請求項２２において、前記副共振器の
光フィードバック手段に、光ファイバー等の分散媒質を
利用し、光の干渉を利用してアディティブパルスモード
ロック等の自励モードロックを行うよう構成したことを
特徴とする装置。 - 【請求項２７】 請求項１、または請求項２６におい
て、前記光出力ポートから少なくとも２つの出力光を得
て、そのうちの１つを光電変換器に入力し、この光電変
換器の出力信号をもとに、他のレーザー出力光強度を安
定化制御するように構成したことを特徴とする装置。 - 【請求項２８】 請求項２７において、前記光電変換器
の出力信号をもとに、前記励起手段の励起エネルギーを
フィードバック制御して、レーザー出力強度を安定化し
たことを特徴とする装置。 - 【請求項２９】 請求項２７において、前記光電変換器
の出力信号をもとに、前記主共振器の共振器長あるいは
前記副共振器の共振器長の少なくとも一方をフィードバ
ック制御して変化させ、レーザー出力強度を安定化する
ように構成したことを特徴とする装置。
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