JPH05233072A - 真空用電空レギュレータ - Google Patents
真空用電空レギュレータInfo
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- JPH05233072A JPH05233072A JP18977991A JP18977991A JPH05233072A JP H05233072 A JPH05233072 A JP H05233072A JP 18977991 A JP18977991 A JP 18977991A JP 18977991 A JP18977991 A JP 18977991A JP H05233072 A JPH05233072 A JP H05233072A
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- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空用電空レギュレータにおいて、吸気流量
を減少させ、エアの浪費をなくし、低真空度の２次側負
圧をも制御し、制御精度を向上させる。 【構成】 真空用電空レギュレータは、負圧ポート１内
のエアの吸気および負圧ポート１への給気を調整し、２
次側負圧を制御する真空用電空レギュレータであって、
レギュレータ本体２と、圧力センサ７と、吸気用２方弁
５と、給気用２方弁６とを備え、前記圧力センサ７で検
知した２次側負圧と外部からの入力信号の示す設定負圧
との差圧に応じて吸気用および給気用２方弁５，６への
通電時間を調整し、２次側負圧を設定負圧に制御する構
造とした。
を減少させ、エアの浪費をなくし、低真空度の２次側負
圧をも制御し、制御精度を向上させる。 【構成】 真空用電空レギュレータは、負圧ポート１内
のエアの吸気および負圧ポート１への給気を調整し、２
次側負圧を制御する真空用電空レギュレータであって、
レギュレータ本体２と、圧力センサ７と、吸気用２方弁
５と、給気用２方弁６とを備え、前記圧力センサ７で検
知した２次側負圧と外部からの入力信号の示す設定負圧
との差圧に応じて吸気用および給気用２方弁５，６への
通電時間を調整し、２次側負圧を設定負圧に制御する構
造とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空用電空レギュレー
タに関し、特に、２次側負圧を制御するために適用して
有効な技術に関する。
タに関し、特に、２次側負圧を制御するために適用して
有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の真空用電空レギュレータとして
は、たとえばノズルフラッパ形の真空用電空レギュレー
タがある。
は、たとえばノズルフラッパ形の真空用電空レギュレー
タがある。
【０００３】すなわち、このノズルフラッパ形の真空用
電空レギュレータは、Ｔ字状の負圧路を設け、この負圧
路の端部にそれぞれオリフィス、負圧ポートおよびノズ
ルを形成し、このノズルに対向するフラッパをソレノイ
ドまたは圧電素子により変位させ、このフラッパの変位
に応じて負圧ポート内の２次側負圧を制御する構造とな
っている。
電空レギュレータは、Ｔ字状の負圧路を設け、この負圧
路の端部にそれぞれオリフィス、負圧ポートおよびノズ
ルを形成し、このノズルに対向するフラッパをソレノイ
ドまたは圧電素子により変位させ、このフラッパの変位
に応じて負圧ポート内の２次側負圧を制御する構造とな
っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記したノズ
ルフラッパ形の真空用電空レギュレータの構造では、フ
ラッパの変位に対応したノズルからの大気のリーク流量
に応じて負圧ポート内の２次側負圧を制御する構造とな
っているので、吸気流量が増大し、エアが浪費するとい
う問題があった。
ルフラッパ形の真空用電空レギュレータの構造では、フ
ラッパの変位に対応したノズルからの大気のリーク流量
に応じて負圧ポート内の２次側負圧を制御する構造とな
っているので、吸気流量が増大し、エアが浪費するとい
う問題があった。
【０００５】本発明の目的は、吸気流量を減少させ、エ
アの浪費をなくすことのできる真空用電空レギュレータ
を提供する。
アの浪費をなくすことのできる真空用電空レギュレータ
を提供する。
【０００６】本発明の他の目的は、低真空度の２次側負
圧をも制御することのできる真空用電空レギュレータを
提供する。
圧をも制御することのできる真空用電空レギュレータを
提供する。
【０００７】また、本発明の他の目的は、制御精度を向
上させることのできる真空用電空レギュレータを提供す
る。
上させることのできる真空用電空レギュレータを提供す
る。
【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１０】すなわち、本発明の真空用電空レギュレー
タは、負圧ポート内のエアの吸気および負圧ポートへの
給気を調整し、２次側負圧を制御する構造としたもので
ある。
タは、負圧ポート内のエアの吸気および負圧ポートへの
給気を調整し、２次側負圧を制御する構造としたもので
ある。
【００１１】この場合、負圧ポートを有するレギュレー
タ本体と、前記負圧ポート内の２次側負圧を検知する圧
力センサと、前記負圧ポート内のエアを吸引する吸気用
２方弁と、前記負圧ポートに大気を供給する給気用２方
弁とを備え、前記圧力センサで検知した２次側負圧と外
部からの入力信号の示す設定負圧との差圧に応じて前記
吸気用および給気用２方弁への通電時間を調整し、２次
側負圧を設定負圧に制御する構造としたものである。
タ本体と、前記負圧ポート内の２次側負圧を検知する圧
力センサと、前記負圧ポート内のエアを吸引する吸気用
２方弁と、前記負圧ポートに大気を供給する給気用２方
弁とを備え、前記圧力センサで検知した２次側負圧と外
部からの入力信号の示す設定負圧との差圧に応じて前記
吸気用および給気用２方弁への通電時間を調整し、２次
側負圧を設定負圧に制御する構造としたものである。
【００１２】
【作用】前記構成の真空用電空レギュレータによれば、
負圧ポート内のエアの吸気および負圧ポートへの給気を
調整し、２次側負圧を制御する構造としたので、吸気流
量を減少させ、エアの浪費をなくすことができる。
負圧ポート内のエアの吸気および負圧ポートへの給気を
調整し、２次側負圧を制御する構造としたので、吸気流
量を減少させ、エアの浪費をなくすことができる。
【００１３】また、前記負圧ポート内のエアの吸気およ
び負圧ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する
構造としたので、エア源を不要にすることができる。
び負圧ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する
構造としたので、エア源を不要にすることができる。
【００１４】また、前記負圧ポート内のエアの吸気およ
び負圧ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する
構造としたので、低真空度の２次側負圧をも制御するこ
とができる。
び負圧ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する
構造としたので、低真空度の２次側負圧をも制御するこ
とができる。
【００１５】この場合、負圧ポートを有するレギュレー
タ本体と、前記負圧ポート内の２次側負圧を検知する圧
力センサと、前記負圧ポート内のエアを吸引する吸気用
２方弁と、前記負圧ポートに大気を供給する給気用２方
弁とを備え、前記圧力センサで検知した２次側負圧と外
部からの入力信号の示す設定負圧との差圧に応じて吸気
用および給気用２方弁への通電時間を調整し、２次側負
圧を設定負圧に制御する構造としたので、前記圧力セン
サで２次側負圧を検知し、この検知した２次側負圧のフ
ィードバック制御により、制御精度を向上させることが
できる。
タ本体と、前記負圧ポート内の２次側負圧を検知する圧
力センサと、前記負圧ポート内のエアを吸引する吸気用
２方弁と、前記負圧ポートに大気を供給する給気用２方
弁とを備え、前記圧力センサで検知した２次側負圧と外
部からの入力信号の示す設定負圧との差圧に応じて吸気
用および給気用２方弁への通電時間を調整し、２次側負
圧を設定負圧に制御する構造としたので、前記圧力セン
サで２次側負圧を検知し、この検知した２次側負圧のフ
ィードバック制御により、制御精度を向上させることが
できる。
【００１６】
【実施例】図１は本発明の一実施例である真空用電空レ
ギュレータを示す断面図である。
ギュレータを示す断面図である。
【００１７】本実施例における真空用電空レギュレータ
は、負圧ポート１内のエアの吸気および負圧ポート１へ
の給気を調整し、２次側負圧を制御する直接作動形のも
ので、レギュレータ本体２を有している。
は、負圧ポート１内のエアの吸気および負圧ポート１へ
の給気を調整し、２次側負圧を制御する直接作動形のも
ので、レギュレータ本体２を有している。
【００１８】前記レギュレータ本体２は、一側に吸気ポ
ート３および給気ポート４が形成され、他側に負圧ポー
ト１が形成されている。
ート３および給気ポート４が形成され、他側に負圧ポー
ト１が形成されている。
【００１９】また、レギュレータ本体２には、吸気用２
方弁５および給気用２方弁６が搭載され、前記吸気用２
方弁５は負圧ポート１内のエアの吸引と停止とを切り換
える弁構造であり、給気用２方弁６は負圧ポート１への
大気の供給と停止とを切り換える弁構造である。
方弁５および給気用２方弁６が搭載され、前記吸気用２
方弁５は負圧ポート１内のエアの吸引と停止とを切り換
える弁構造であり、給気用２方弁６は負圧ポート１への
大気の供給と停止とを切り換える弁構造である。
【００２０】また、負圧ポート１に圧力センサ７が接続
され、この圧力センサ７は負圧ポート１内の２次側負圧
を検知し、この検知した信号をコントローラ８に送る構
造となっている。
され、この圧力センサ７は負圧ポート１内の２次側負圧
を検知し、この検知した信号をコントローラ８に送る構
造となっている。
【００２１】前記コントローラ８は外部からの入力信号
の示す設定負圧と、圧力センサ７で検知し、帰還させた
２次側負圧とを比較して差圧を求め、この差圧に応じて
吸気用および給気用２方弁５，６への通電時間（パルス
幅）を調整し、パイロット室内のパイロット負圧を調整
し、２次側負圧を設定負圧に制御する機能を有する。
の示す設定負圧と、圧力センサ７で検知し、帰還させた
２次側負圧とを比較して差圧を求め、この差圧に応じて
吸気用および給気用２方弁５，６への通電時間（パルス
幅）を調整し、パイロット室内のパイロット負圧を調整
し、２次側負圧を設定負圧に制御する機能を有する。
【００２２】次に、本実施例の作用について説明する。
【００２３】真空度を上げて２次側負圧を設定負圧に制
御する場合、入力信号が入ると、この入力信号の示す設
定負圧と圧力センサ７の検知した２次側負圧との差圧が
求められ、この差圧に応じて吸気用２方弁５への通電時
間が調整され、この調整した通電時間だけ吸気用２方弁
５がＯＮ作動し、負圧ポート１内のエアは吸気ポート３
より真空ポンプで吸引され、負圧ポート１内の真空度が
上昇する。
御する場合、入力信号が入ると、この入力信号の示す設
定負圧と圧力センサ７の検知した２次側負圧との差圧が
求められ、この差圧に応じて吸気用２方弁５への通電時
間が調整され、この調整した通電時間だけ吸気用２方弁
５がＯＮ作動し、負圧ポート１内のエアは吸気ポート３
より真空ポンプで吸引され、負圧ポート１内の真空度が
上昇する。
【００２４】真空度が上昇する２次側負圧は圧力センサ
７で検知され、コントローラ８で入力信号の示す設定負
圧と比較され、一致したところで吸気用２方弁５は閉じ
られる。
７で検知され、コントローラ８で入力信号の示す設定負
圧と比較され、一致したところで吸気用２方弁５は閉じ
られる。
【００２５】真空度を下げて２次側負圧を設定負圧に制
御する場合、入力信号が入ると、この入力信号の示す設
定負圧と圧力センサ７の検知した２次側負圧との差圧が
求められ、この差圧に応じて給気用２方弁６への通電時
間が調整され、この調整した通電時間だけ給気用２方弁
６がＯＮ作動し、給気ポート４からの大気は負圧ポート
１に供給され、その真空度が下降する。
御する場合、入力信号が入ると、この入力信号の示す設
定負圧と圧力センサ７の検知した２次側負圧との差圧が
求められ、この差圧に応じて給気用２方弁６への通電時
間が調整され、この調整した通電時間だけ給気用２方弁
６がＯＮ作動し、給気ポート４からの大気は負圧ポート
１に供給され、その真空度が下降する。
【００２６】真空度が下降する２次側負圧は圧力センサ
７で検知され、コントローラ８で入力信号の示す設定負
圧と比較され、一致したところで給気用２方弁６は閉じ
られる。
７で検知され、コントローラ８で入力信号の示す設定負
圧と比較され、一致したところで給気用２方弁６は閉じ
られる。
【００２７】このように、負圧ポート１内のエアの吸気
および負圧ポート１への給気を調整し、２次側負圧を制
御できるので、吸気流量を減少させ、エアの浪費をなく
すことができる。
および負圧ポート１への給気を調整し、２次側負圧を制
御できるので、吸気流量を減少させ、エアの浪費をなく
すことができる。
【００２８】また、前記負圧ポート１内のエアの吸気お
よび負圧ポート１への給気を調整し、２次側負圧を制御
する構造としたので、エア源を不要にすることができ
る。
よび負圧ポート１への給気を調整し、２次側負圧を制御
する構造としたので、エア源を不要にすることができ
る。
【００２９】また、前記負圧ポート１内のエアの吸気お
よび負圧ポート１への給気を調整し、２次側負圧を制御
する構造としたので、低真空度の２次側負圧をも制御す
ることができる。
よび負圧ポート１への給気を調整し、２次側負圧を制御
する構造としたので、低真空度の２次側負圧をも制御す
ることができる。
【００３０】また、圧力センサ７で２次側負圧を検知
し、この検知した２次側負圧のフィードバック制御する
構造としたので、制御精度を向上させることができる。
し、この検知した２次側負圧のフィードバック制御する
構造としたので、制御精度を向上させることができる。
【００３１】なお、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
【００３２】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００３３】(1).負圧ポート内のエアの吸気および負圧
ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する構造と
したので、吸気流量を減少させ、エアの浪費をなくすこ
とができる。
ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する構造と
したので、吸気流量を減少させ、エアの浪費をなくすこ
とができる。
【００３４】(2).負圧ポート内のエアの吸気および負圧
ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する構造と
したので、エア源を不要にすることができる。
ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する構造と
したので、エア源を不要にすることができる。
【００３５】(3).負圧ポート内のエアの吸気および負圧
ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する構造と
したので、低真空度の２次側負圧をも制御することがで
きる。
ポートへの給気を調整し、２次側負圧を制御する構造と
したので、低真空度の２次側負圧をも制御することがで
きる。
【００３６】(4).前記(1) の場合、負圧ポートを有する
レギュレータ本体と、前記負圧ポート内の２次側負圧を
検知する圧力センサと、前記負圧ポート内のエアを吸引
する吸気用２方弁と、前記負圧ポートに大気を供給する
給気用２方弁とを備え、前記圧力センサで検知した２次
側負圧と外部からの入力信号の示す設定負圧との差圧に
応じて吸気用および給気用２方弁への通電時間を調整
し、２次側負圧を設定負圧に制御する構造としたので、
前記圧力センサで２次側負圧を検知し、この検知した２
次側負圧のフィードバック制御により、制御精度を向上
させることができる。
レギュレータ本体と、前記負圧ポート内の２次側負圧を
検知する圧力センサと、前記負圧ポート内のエアを吸引
する吸気用２方弁と、前記負圧ポートに大気を供給する
給気用２方弁とを備え、前記圧力センサで検知した２次
側負圧と外部からの入力信号の示す設定負圧との差圧に
応じて吸気用および給気用２方弁への通電時間を調整
し、２次側負圧を設定負圧に制御する構造としたので、
前記圧力センサで２次側負圧を検知し、この検知した２
次側負圧のフィードバック制御により、制御精度を向上
させることができる。
【図１】本発明の一実施例である真空用電空レギュレー
タを示す断面図である。
タを示す断面図である。
１ 負圧ポート ２ レギュレータ本体 ３ 吸気ポート ４ 給気ポート ５ 吸気用２方弁 ６ 給気用２方弁 ７ 圧力センサ ８ コントローラ
Claims (2)
- 【請求項１】 負圧ポート内のエアの吸気および負圧ポ
ートへの給気を調整し、２次側負圧を制御することを特
徴とする真空用電空レギュレータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の真空用電空レギュレータ
において、負圧ポートを有するレギュレータ本体と、前
記負圧ポート内の２次側負圧を検知する圧力センサと、
前記負圧ポート内のエアを吸引する吸気用２方弁と、前
記負圧ポートに大気を供給する給気用２方弁とを備え、
前記圧力センサで検知した２次側負圧と外部からの入力
信号の示す設定負圧との差圧に応じて前記吸気用および
給気用２方弁への通電時間を調整し、２次側負圧を設定
負圧に制御することを特徴とする真空用電空レギュレー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18977991A JPH05233072A (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 真空用電空レギュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18977991A JPH05233072A (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 真空用電空レギュレータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05233072A true JPH05233072A (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=16247065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18977991A Pending JPH05233072A (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 真空用電空レギュレータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05233072A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062939A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Ckd Corp | 電空式負圧制御弁 |
| JP2006063815A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Ckd Corp | 薬液供給システム |
| JP2007520818A (ja) * | 2004-01-21 | 2007-07-26 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 大気中に放出することを必要としない、レギュレータ用の圧力負荷式パイロット弁システムおよび方法。 |
-
1991
- 1991-07-30 JP JP18977991A patent/JPH05233072A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062939A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Ckd Corp | 電空式負圧制御弁 |
| JP2007520818A (ja) * | 2004-01-21 | 2007-07-26 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 大気中に放出することを必要としない、レギュレータ用の圧力負荷式パイロット弁システムおよび方法。 |
| JP2006063815A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Ckd Corp | 薬液供給システム |
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