JPH05236357A - 固体撮像素子の線状欠陥検出装置 - Google Patents
固体撮像素子の線状欠陥検出装置Info
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- JPH05236357A JPH05236357A JP4072684A JP7268492A JPH05236357A JP H05236357 A JPH05236357 A JP H05236357A JP 4072684 A JP4072684 A JP 4072684A JP 7268492 A JP7268492 A JP 7268492A JP H05236357 A JPH05236357 A JP H05236357A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 縦線状欠陥の検出を高精度にて実現可能な固
体撮像素子の線状欠陥検出装置を提供する。 【構成】 水平転送クロックパルスＨφ1 ，Ｈφ2 を発
生するタイミングジェネレータ２１において、縦線状欠
陥の検出モードでは、水平転送クロックパルスＨφ1 ，
Ｈφ2 の発生を所定時間だけ停止して水平電荷転送部１
５における電荷転送を一時中断させることにより、垂直
電荷転送部１３から転送された電荷を水平電荷転送部１
５に蓄積させ、垂直電荷転送部１３に発生した欠陥に伴
う出力レベルを増大させる。
体撮像素子の線状欠陥検出装置を提供する。 【構成】 水平転送クロックパルスＨφ1 ，Ｈφ2 を発
生するタイミングジェネレータ２１において、縦線状欠
陥の検出モードでは、水平転送クロックパルスＨφ1 ，
Ｈφ2 の発生を所定時間だけ停止して水平電荷転送部１
５における電荷転送を一時中断させることにより、垂直
電荷転送部１３から転送された電荷を水平電荷転送部１
５に蓄積させ、垂直電荷転送部１３に発生した欠陥に伴
う出力レベルを増大させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の線状欠
陥検出装置に関し、特に固体撮像素子の垂直電荷転送部
に発生した欠陥に起因する縦線状欠陥を検出する線状欠
陥検出装置に関する。
陥検出装置に関し、特に固体撮像素子の垂直電荷転送部
に発生した欠陥に起因する縦線状欠陥を検出する線状欠
陥検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＣＤイメージャ等の固体撮像素子で
は、垂直電荷転送部に発生した欠陥に起因してノイズが
発生することがあり、このノイズ成分は縦線状欠陥とし
て再生画面上に現れ、画質劣化の一因となる。このた
め、製品化された固体撮像素子に対し、縦線状欠陥の如
き画像欠陥の検出がなされる。従来、この縦線状欠陥の
検出は、半導体メモリ上に各点のデータを記憶させ、こ
れら記憶データに基づくコンピュータ（又はハードウェ
ア）による演算処理によって行われていた。
は、垂直電荷転送部に発生した欠陥に起因してノイズが
発生することがあり、このノイズ成分は縦線状欠陥とし
て再生画面上に現れ、画質劣化の一因となる。このた
め、製品化された固体撮像素子に対し、縦線状欠陥の如
き画像欠陥の検出がなされる。従来、この縦線状欠陥の
検出は、半導体メモリ上に各点のデータを記憶させ、こ
れら記憶データに基づくコンピュータ（又はハードウェ
ア）による演算処理によって行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
線状欠陥検出装置では、半導体メモリに記憶するデータ
の分解能に限界があるとともに、垂直電荷転送部に発生
した欠陥による出力レベルの変化は０．１ｍＶ程度と小
さいため、高精度の欠陥検出は難しいという欠点があっ
た。
線状欠陥検出装置では、半導体メモリに記憶するデータ
の分解能に限界があるとともに、垂直電荷転送部に発生
した欠陥による出力レベルの変化は０．１ｍＶ程度と小
さいため、高精度の欠陥検出は難しいという欠点があっ
た。
【０００４】本発明は、上述した点に鑑みてなされたも
のであって、縦線状欠陥の検出を高精度にて実現可能な
固体撮像素子の線状欠陥検出装置を提供することを目的
とする。
のであって、縦線状欠陥の検出を高精度にて実現可能な
固体撮像素子の線状欠陥検出装置を提供することを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による線状欠陥検
出装置は、画素単位で２次元配列されたフォトセンサ
と、このフォトセンサから読み出された信号電荷を垂直
転送する垂直電荷転送部と、この垂直電荷転送部によっ
て転送された信号電荷を水平転送する水平電荷転送部と
を有する固体撮像素子の線状欠陥検出装置であって、水
平電荷転送部を駆動する水平転送クロックパルスを発生
するとともに、縦線状欠陥の検出モードでは水平転送ク
ロックパルスの発生を所定時間だけ停止して水平電荷転
送部における電荷転送を一時中断させるタイミングジェ
ネレータを具備し、固体撮像素子の出力レベルに基づい
て縦線状欠陥を検出する構成となっている。
出装置は、画素単位で２次元配列されたフォトセンサ
と、このフォトセンサから読み出された信号電荷を垂直
転送する垂直電荷転送部と、この垂直電荷転送部によっ
て転送された信号電荷を水平転送する水平電荷転送部と
を有する固体撮像素子の線状欠陥検出装置であって、水
平電荷転送部を駆動する水平転送クロックパルスを発生
するとともに、縦線状欠陥の検出モードでは水平転送ク
ロックパルスの発生を所定時間だけ停止して水平電荷転
送部における電荷転送を一時中断させるタイミングジェ
ネレータを具備し、固体撮像素子の出力レベルに基づい
て縦線状欠陥を検出する構成となっている。
【０００６】
【作用】固体撮像素子の電荷転送の駆動源となるタイミ
ングジェネレータにおいて、縦線状欠陥の検出モードで
は、水平転送クロックパルスの発生を所定時間だけ停止
して水平電荷転送部における電荷転送を一時中断させる
ことで、垂直電荷転送部から転送された電荷が水平電荷
転送部に蓄積される。この水平電荷転送部における電荷
の蓄積により、垂直電荷転送部に発生した欠陥に伴う出
力レベルが増大するため、固体撮像素子の縦線状欠陥を
より高精度にて検出できる。
ングジェネレータにおいて、縦線状欠陥の検出モードで
は、水平転送クロックパルスの発生を所定時間だけ停止
して水平電荷転送部における電荷転送を一時中断させる
ことで、垂直電荷転送部から転送された電荷が水平電荷
転送部に蓄積される。この水平電荷転送部における電荷
の蓄積により、垂直電荷転送部に発生した欠陥に伴う出
力レベルが増大するため、固体撮像素子の縦線状欠陥を
より高精度にて検出できる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は、例えばインターライン転送方式の
ＣＣＤイメージャに適用された本発明の一実施例を示す
構成図である。図において、画素単位で２次元配列され
て入射光を信号電荷に変換して蓄積するフォトセンサ１
１と、これらフォトセンサ１１の垂直列毎に配されかつ
読出しゲート１２を介して読み出された信号電荷を垂直
転送する垂直電荷転送部１３とによって撮像領域１４が
構成されている。
に説明する。図１は、例えばインターライン転送方式の
ＣＣＤイメージャに適用された本発明の一実施例を示す
構成図である。図において、画素単位で２次元配列され
て入射光を信号電荷に変換して蓄積するフォトセンサ１
１と、これらフォトセンサ１１の垂直列毎に配されかつ
読出しゲート１２を介して読み出された信号電荷を垂直
転送する垂直電荷転送部１３とによって撮像領域１４が
構成されている。
【０００８】垂直電荷転送部１３は、垂直転送クロック
パルスＶφ1 〜Ｖφ4 によって４相駆動される。この垂
直電荷転送部１３のゲート電極のうち、第１，第３相の
垂直転送クロックパルスＶφ1 ，Ｖφ3 が印加されるゲ
ート電極は、フォトセンサ１１に蓄積された信号電荷を
読み出す読出しゲート電極１２を兼ねている。垂直電荷
転送部１３に読み出された信号電荷は、１水平走査期間
の周期で水平電荷転送部１５へ転送される。
パルスＶφ1 〜Ｖφ4 によって４相駆動される。この垂
直電荷転送部１３のゲート電極のうち、第１，第３相の
垂直転送クロックパルスＶφ1 ，Ｖφ3 が印加されるゲ
ート電極は、フォトセンサ１１に蓄積された信号電荷を
読み出す読出しゲート電極１２を兼ねている。垂直電荷
転送部１３に読み出された信号電荷は、１水平走査期間
の周期で水平電荷転送部１５へ転送される。
【０００９】水平電荷転送部１５は、水平転送クロック
パルスＨφ1 ，Ｈφ2 によって２相駆動され、垂直電荷
転送部１３から転送された１走査線分の信号電荷を水平
転送する。水平電荷転送部１５の出力端には、例えばフ
ローティング・ディフュージョン・アンプからなる電荷
検出部１６が配されており、この電荷検出部１６は水平
電荷転送部１５において転送された信号電荷を検出して
電圧信号に変換し、各フォトセンサ１１に対応した画素
信号を時系列的に出力する。以上により、ＣＣＤイメー
ジャ１０が構成されている。
パルスＨφ1 ，Ｈφ2 によって２相駆動され、垂直電荷
転送部１３から転送された１走査線分の信号電荷を水平
転送する。水平電荷転送部１５の出力端には、例えばフ
ローティング・ディフュージョン・アンプからなる電荷
検出部１６が配されており、この電荷検出部１６は水平
電荷転送部１５において転送された信号電荷を検出して
電圧信号に変換し、各フォトセンサ１１に対応した画素
信号を時系列的に出力する。以上により、ＣＣＤイメー
ジャ１０が構成されている。
【００１０】タイミングジェネレータ２１からは、４相
の垂直転送クロックパルスＶφ1 〜Ｖφ4 や、２相の水
平転送クロックパルスＨφ1 ，Ｈφ2 などの各種のタイ
ミング信号が発生される。そして、これらタイミング信
号のうち、垂直転送クロックパルスＶφ1 〜Ｖφ4 およ
び水平転送クロックパルスＨφ1 ，Ｈφ2 は、駆動回路
２２を介して垂直電荷転送部１３および水平電荷転送部
１５にそれぞれ供給される。
の垂直転送クロックパルスＶφ1 〜Ｖφ4 や、２相の水
平転送クロックパルスＨφ1 ，Ｈφ2 などの各種のタイ
ミング信号が発生される。そして、これらタイミング信
号のうち、垂直転送クロックパルスＶφ1 〜Ｖφ4 およ
び水平転送クロックパルスＨφ1 ，Ｈφ2 は、駆動回路
２２を介して垂直電荷転送部１３および水平電荷転送部
１５にそれぞれ供給される。
【００１１】ＣＣＤイメージャ１０の出力、即ち電荷検
出部１６の出力はサンプルホールド（Ｓ／Ｈ）回路２３
を経た後、通常の転送モードでは、そのままビデオ出力
となるとともに、縦線状欠陥の検出モードでは、高精度
のＡ／Ｄ変換器２４でディジタル化されて平均化処理回
路２５に供給され、その出力レベルに基づいて垂直電荷
転送部１３に発生した欠陥に起因する縦線状欠陥の検出
が行われる。この欠陥による出力レベルの変化は、通常
の転送モードでは、０．１ｍＶ程度である。
出部１６の出力はサンプルホールド（Ｓ／Ｈ）回路２３
を経た後、通常の転送モードでは、そのままビデオ出力
となるとともに、縦線状欠陥の検出モードでは、高精度
のＡ／Ｄ変換器２４でディジタル化されて平均化処理回
路２５に供給され、その出力レベルに基づいて垂直電荷
転送部１３に発生した欠陥に起因する縦線状欠陥の検出
が行われる。この欠陥による出力レベルの変化は、通常
の転送モードでは、０．１ｍＶ程度である。
【００１２】タイミングジェネレータ２１は、通常の転
送モードでは、所定のタイミングで垂直転送クロックパ
ルスＶφ1 〜Ｖφ4 および水平転送クロックパルスＨφ
1 ，Ｈφ2 を発生する一方、縦線状欠陥の検出モードで
は、垂直転送クロックパルスＶφ1 〜Ｖφ4 については
通常の転送モードと同様に発生するが、水平転送クロッ
クパルスＨφ1 ，Ｈφ2 については所定時間だけ発生を
停止するように構成されている。
送モードでは、所定のタイミングで垂直転送クロックパ
ルスＶφ1 〜Ｖφ4 および水平転送クロックパルスＨφ
1 ，Ｈφ2 を発生する一方、縦線状欠陥の検出モードで
は、垂直転送クロックパルスＶφ1 〜Ｖφ4 については
通常の転送モードと同様に発生するが、水平転送クロッ
クパルスＨφ1 ，Ｈφ2 については所定時間だけ発生を
停止するように構成されている。
【００１３】このように、縦線状欠陥の検出モードにお
いて、水平電荷転送部１５に印加する水平転送クロック
パルスＨφ1 ，Ｈφ2 の発生を一定期間だけ停止するこ
とにより、その停止期間では水平電荷転送部１５におけ
る電荷転送が中断される。これにより、水平電荷転送部
１５には、垂直電荷転送部１３から転送されてきた電荷
がその停止期間だけ蓄積される。
いて、水平電荷転送部１５に印加する水平転送クロック
パルスＨφ1 ，Ｈφ2 の発生を一定期間だけ停止するこ
とにより、その停止期間では水平電荷転送部１５におけ
る電荷転送が中断される。これにより、水平電荷転送部
１５には、垂直電荷転送部１３から転送されてきた電荷
がその停止期間だけ蓄積される。
【００１４】その停止期間の経過後、タイミングジェネ
レータ２１から再度発生される水平転送クロックパルス
Ｈφ1 ，Ｈφ2 を水平電荷転送部１５に印加することに
よって電荷検出部１６からその蓄積電荷を順次読み出
す。これにより、垂直電荷転送部１３に発生した欠陥に
伴う出力レベルが、水平電荷転送部１５で電荷を蓄積し
ない通常の転送モードの場合に比べ、その蓄積期間に応
じて増大するため、ＣＣＤイメージャ１０の縦線状欠陥
をより高精度にて検出できることになる。
レータ２１から再度発生される水平転送クロックパルス
Ｈφ1 ，Ｈφ2 を水平電荷転送部１５に印加することに
よって電荷検出部１６からその蓄積電荷を順次読み出
す。これにより、垂直電荷転送部１３に発生した欠陥に
伴う出力レベルが、水平電荷転送部１５で電荷を蓄積し
ない通常の転送モードの場合に比べ、その蓄積期間に応
じて増大するため、ＣＣＤイメージャ１０の縦線状欠陥
をより高精度にて検出できることになる。
【００１５】図２に、１００ライン分の電荷を水平電荷
転送部１５に蓄積した場合の平均時間に対する検出レベ
ルおよび標準偏差の各データを示す。同図において、一
点鎖線は本発明による標準偏差、点線は従来例による標
準偏差、二点鎖線は本発明による検出レベル、実線は従
来例による検出レベルをそれぞれ示している。この特性
図から明かなように、従来例によるものと本発明による
ものとを比較すると、検出レベルも標準偏差も向上して
いることがわかる。
転送部１５に蓄積した場合の平均時間に対する検出レベ
ルおよび標準偏差の各データを示す。同図において、一
点鎖線は本発明による標準偏差、点線は従来例による標
準偏差、二点鎖線は本発明による検出レベル、実線は従
来例による検出レベルをそれぞれ示している。この特性
図から明かなように、従来例によるものと本発明による
ものとを比較すると、検出レベルも標準偏差も向上して
いることがわかる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
水平転送クロックパルスを発生するタイミングジェネレ
ータにおいて、縦線状欠陥の検出モードでは、水平転送
クロックパルスの発生を所定時間だけ停止して水平電荷
転送部における電荷転送を一時中断させることにより、
垂直電荷転送部から転送された電荷を水平電荷転送部に
蓄積させる構成としたので、垂直電荷転送部に発生した
欠陥に伴う出力レベルが増大し、その結果、固体撮像素
子の縦線状欠陥をより高精度にて検出できることにな
る。
水平転送クロックパルスを発生するタイミングジェネレ
ータにおいて、縦線状欠陥の検出モードでは、水平転送
クロックパルスの発生を所定時間だけ停止して水平電荷
転送部における電荷転送を一時中断させることにより、
垂直電荷転送部から転送された電荷を水平電荷転送部に
蓄積させる構成としたので、垂直電荷転送部に発生した
欠陥に伴う出力レベルが増大し、その結果、固体撮像素
子の縦線状欠陥をより高精度にて検出できることにな
る。
【図１】インターライン転送方式のＣＣＤイメージャに
適用された本発明の一実施例を示す構成図である。
適用された本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】平均時間に対する検出レベルおよび標準偏差の
特性図である。
特性図である。
１０ ＣＣＤイメージャ １１ フォトセンサ １３ 垂直電荷転送部 １５ 水平電荷転送部 ２１ タイミングジェネレータ ２３ サンプルホールド回路 ２５ 平均化処理回路
Claims (1)
- 【請求項１】 画素単位で２次元配列されたフォトセン
サと、前記フォトセンサから読み出された信号電荷を垂
直転送する垂直電荷転送部と、前記垂直電荷転送部によ
って転送された信号電荷を水平転送する水平電荷転送部
とを有する固体撮像素子の線状欠陥検出装置であって、 前記水平電荷転送部を駆動する水平転送クロックパルス
を発生するとともに、縦線状欠陥の検出モードでは前記
水平転送クロックパルスの発生を所定時間だけ停止して
前記水平電荷転送部における電荷転送を一時中断させる
タイミングジェネレータを具備し、 前記固体撮像素子の出力レベルに基づいて縦線状欠陥を
検出することを特徴とする固体撮像素子の線状欠陥検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4072684A JP2995996B2 (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 固体撮像素子の線状欠陥検出装置およびその欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4072684A JP2995996B2 (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 固体撮像素子の線状欠陥検出装置およびその欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05236357A true JPH05236357A (ja) | 1993-09-10 |
| JP2995996B2 JP2995996B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=13496453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4072684A Expired - Fee Related JP2995996B2 (ja) | 1992-02-21 | 1992-02-21 | 固体撮像素子の線状欠陥検出装置およびその欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2995996B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006148441A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | 撮像装置 |
-
1992
- 1992-02-21 JP JP4072684A patent/JP2995996B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006148441A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | 撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2995996B2 (ja) | 1999-12-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |